【課題】 強度の弱いＸ線を試料に照射できるＸ線分析装置を提供する。
【解決手段】 試料４を照射する１次Ｘ線の強度が強すぎる場合、メッシュ７がＸ線管５と試料４の間に配置される。Ｘ線管５からの１次Ｘ線１５は、メッシュ７で吸収されて遮断される。すなわち、メッシュ７の金７ｃは全波長領域にわたってＸ線吸収係数が高い材料なので、１次Ｘ線１５はその金７ｃで吸収されて遮断される。メッシュ７の開口７ｄを通過した１次Ｘ線１５’が試料４を照射する。このように、Ｘ線管５からの１次Ｘ線はメッシュ７によりその強度が弱められて試料４を照射する。 （もっと読む）

【課題】 構造が簡単で、安全・衛生性に優れたＸ線検査装置を提供するものである。
【解決手段】 Ｘ線が外部漏洩しないように遮断する筐体と、筐体に設けられる本体扉と、筐体への入口から出口まで被検査物を搬送する搬送手段と、入口及び出口に着脱可能に設けられるＸ線漏洩防止カーテンと、本体扉が閉鎖されていないときにＸ線照射を停止するインターロックスイッチと、本体扉と筐体とが対向する側の一方に設けられる挿入部材と、挿入部材と対向する位置に設けられ、挿入部材の挿入により本体扉の閉鎖を可能とする被挿入部と、垂直面内で揺動する揺動部材と、を備え、揺動部材は、自重により一端が挿入阻止位置へ変位して挿入部材の被挿入部への挿入を阻止し、カーテンの装着で一端が挿入可能位置へ揺動して挿入部材の挿入を可能とし、カーテン未装着の場合、本体扉が閉鎖不能となることでＸ線発生手段からのＸ線の照射を停止することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
半導体デバイス等の基板上に回路パターンを形成するデバイス製造工程において、製造
工程中に発生する微小な異物やパターン欠陥を、高速で高精度に検査できる装置および方
法を提供すること。
【解決手段】
表面に透明膜が形成された被検査対象物に対し、高ＮＡ対物レンズを真空チャンバ内に設置し、対物レンズ内に照明光路を設けたことにより、暗視野照明を可能にし被検査対象物表面の異物または欠陥の反射散乱光を高感度に検出できるようにした。 （もっと読む）

【課題】 動画像表示から静止画像表示への切替操作直後に、直ちにＸ線静止画像を表示させることができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線検出器１２により撮影された映像信号に基づいて透視Ｘ線像の画像データを１コマずつ繰り返し作成する画像データ作成部３１と、表示器２３と、透視Ｘ線像の最新画像データが作成されるごとにその最新画像データを動画像表示する動画像表示制御部３２と、画像バッファメモリ２４に画像データを蓄積し、蓄積した画像データと透視Ｘ線像の最新画像データとを用いて静止画像データを作成する静止画像データ作成部３３と、動画像表示と静止画像データの表示とを切り替える表示切替部３４とを備え、静止画像データ作成部３３は、透視Ｘ線像の最新画像データが作成されるごとに、予め、静止画像データを作成し、画像データバッファメモリに静止画像データとともに次回の静止画像データ作成に用いる画像データを蓄積する。 （もっと読む）

【課題】 簡便で非破壊的に薄膜結晶の極性を判別する手段を提供する。
【解決手段】
O極性面に対する検量線と、Zn極性面に対する検量線を求める。測定対象の薄膜結晶に
対して、２つの2θにおける回折強度の比を求め、それがO極性面に対する検量線とZn極性面に対する検量線のいずれかの上に乗るかを調べる。回折強度の比がO極性面に対する検
量線上にあれば、測定対象の薄膜結晶の表面はO極性面であると判定する。回折強度の比
がZn極性面に対する検量線上にあれば、測定対象の薄膜結晶の表面はZn極性面であると判定する。 （もっと読む）

【課題】 磁気ディスク装置の製造ラインに発生する塵埃の種類と、その発生源について詳細に検証でき、磁気ディスク装置の製造環境管理および品質管理に貢献する製造環境のモニター方法を提供する。
【解決手段】 製造に係る磁気ディスク装置と同一モデルで、吸気口および排気口、および強制吸排気機構を有するモニター用磁気ディスク装置１０ａ〜１０ｄを製造ライン周囲の特定の位置に置く。吸気口および排気口を開放した状態で強制吸排気機構を作動させ製造ライン周辺の雰囲気を内部に導入する。製造ラインを稼働させた状態で約２４〜４８時間程度雰囲気を導入する。その後、同装置に対してリード／ライト試験を行う。基準値以上のエラー・レートでエラーが発生した場合、同装置の磁気ディスクおよび磁気ヘッドを分解して詳細な分析を行う。 （もっと読む）

【課題】 栗の果実における虫食い等の有無を非破壊検査する方法において、渋皮のスジをＸ線が透過すると、透過画像情報において当該スジに対応する領域がモニタ等の画面に白又は灰色っぽく表示され、これを内部欠陥と誤認する問題を解消する。
【解決手段】 Ｘ線による撮像工程Ｓ１と、透過画像情報を複数の平滑化フィルタにて平滑化処理して、各々の平滑化画像情報から果実領域を特定する平滑化工程Ｓ２と、任意の１つの平滑化果実領域と他の平滑化果実領域との差分演算にて抽出された抽出領域を第１次欠陥候補領域として特定する差分工程Ｓ３と、透過画像情報を二値化処理して果実領域及び第２次欠陥候補領域を特定する二値化工程Ｓ４と、第２次欠陥候補領域の面積を求める面積算出工程Ｓ５と、第１次欠陥候補領域に対応する第２次孤立領域の面積が予め設定された設定面積の範囲外であれば、互いに対応する第１次及び第２次欠陥候補領域は果実の内部欠陥に当たると判断する第１判断工程Ｓ６とを備える。 （もっと読む）

【課題】
マイクロチップを用いて複数元素を同時に高感度に分析できるようにする。
【解決手段】
マイクロチップ１は、基板３０と、基板３０の内部に形成された流路２３と、基板３０の平坦な表面の一部からなり、流路２３の出口が開口９ｃとして形成され、その開口９ｃから溢れ出た測定対象液が基板３０の平坦な表面にとどまって分析試料となる分析部１０とを備えている。このマイクロチップ１を使用して、分析部１０に測定対象液を分析試料として溢れ出させ、好ましくは分析試料を乾燥させた後、１次Ｘ線を全反射の条件で入射させて蛍光Ｘ線を検出する。 （もっと読む）

X線検査装置10が、X線源20及びX線検出器18の形式での放射線モジュールと、両側に端部セクションS1,S2を持つ主湾曲アーム12と、主アームの片側の端部セクションS1に与えられる第１の予備アーム14とを有する。第１の予備アームは、１つの放射線モジュール18を運び、別の放射線モジュール20は、主アームの他の端部セクションに結合される。第１の予備アームは、少なくとも第１の端部セクションにおいて主湾曲アームの湾曲を補う形状を持ち、この端部セクションに対して少なくともそれから離れる方向に移動可能である。こうして、装置の回転自由度を制限することなく、良好な患者カバーだけでなく、広範な検査角度も実現される。
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【課題】 焼結後のセラミックス基材内の焼結助剤分布を均一化することによって、以上述べた焼結後の熱処理による増加変形量を低減すること、即ちセラミックス基材の高温での熱処理時に生ずる変形量を小さくする。
【解決手段】 焼結助剤を含むセラミックス基材であって、蛍光Ｘ線によるその一方の主面側および他方の主面側の主成分元素の検出強度に対する焼結助剤成分元素の検出強度の比を、それぞれａおよびｂとし、ａ＞ｂとした場合に、ａ／ｂ≦１．３であるセラミックス基材を提供する。 （もっと読む）

【課題】 記憶されている複数の測定データの管理が容易である分析装置を提供する。
【解決手段】 測定データを取得する装置と、画面３２を備えた表示装置とを有する分析装置である。測定データは座標Ｇｃ，Ｇｄと共に画面３２上に画像として表示される。移動子３０及び３１を移動させると座標Ｇｃ，Ｇｄ上の測定データの表示内容が更新される。座標Ｇｃ，Ｇｄの画像を矢印Ａ，Ｂのようにウインドウ４２へドラッグすると、測定データがビットマップイメージＭと関連してメモリ内に記憶され、ビットマップイメージＭはウインドウ４２内に表示される。表示されているビットマップイメージＭをダブルクリックすると、記憶した測定データをいつでも再表示できる。ビットマップイメージＭは座標Ｇｃ，Ｇｄの画像そのものとすることができるので、分析者はビットマップイメージＭによって測定データの内容を容易に判別できる。 （もっと読む）

【課題】 基準片を用意してそれを撮影することなく、正確に撮影倍率を求めることのできるＸ線撮影装置を提供する。
【解決手段】 任意の第１の状態で取り込んだ試料ＷのＸ線透視像Ｗ_A の寸法情報ａと、第１の状態から試料ステージ３をＸ線光軸方向に既知量ΔＺ１だけ移動させた第２の状態で取り込んだ試料ＷのＸ線透視像Ｗ_B の寸法情報ｂと、ΔＺ１とからＳＯＤを算出するとともに、第１の状態からＸ線検出器２をＸ線光軸方向に既知量ΔＺ２だけ移動させた第３の状態で取り込んだ試料ＷのＸ線透視像Ｗ_C の寸法情報ｃと上記第１の状態でのＸ線透視像Ｗ_A の寸法情報ａ並びにΔＺ２からＳＩＤを算出し、これらを用いて第１の状態における撮影倍率を求めることにより、基準片の撮影を行うことなく正確な撮影倍率の算出を可能とする。 （もっと読む）

【課題】 安価かつ少数のＸ線発生装置とＸ線検出器を用いて、被検査物の材質を識別することができ、これにより装置を小型かつ安価にできるＸ線検査装置とＸ線検査方法を提供する。
【解決手段】 所定の最大出力Ｉ_ｍａｘと最小出力Ｉ_ｍｉｎとの間で、一定の時間周期Ｔで出力が変動するＸ線３を連続して発生するＸ線発生装置１２と、このＸ線を被検査物１に照射するＸ線照射装置１４と、被検査物を透過したＸ線の強度を検出するＸ線検出器１６と、Ｘ線発生装置とＸ線検出器を制御する制御装置１８とを備える。制御装置１８により、Ｘ線発生装置１２で発生するＸ線出力の高出力時と低出力時に、Ｘ線検出器１６で検出する高出力時のＸ線強度Ｉ_１と低出力時のＸ線強度Ｉ_２を検出し、これから被検査物の材質を識別する。 （もっと読む）

【課題】石膏模型を別途作製すること無く、歯顎の表面に対応する三次元形状データを作成し、また歯科用補綴物をＣＡＤ／ＣＡＭシステムを利用した自動切削加工機により切削用ブロックを切削加工して作製する際に用いる歯科用補綴物の三次元形状データの基本となる歯牙に直接固着される面の歯科用ＣＡＤ／ＣＡＭ用三次元形状データや、更には歯科用補綴物の口腔内に露出する面の歯科用ＣＡＤ／ＣＡＭ用三次元形状データを作成する。
【解決手段】印象材により患者の歯顎の印象を採得し、Ｘ線ＣＴ装置により該印象材を走査して印象材の三次元形状データを作成し、該三次元形状データから患者の歯顎の表面に対応する三次元形状データを取り出す。歯科用補綴物を作製する場合には、歯科用補綴物を作製する部位の前記患者の歯顎の表面に対応する三次元形状データから歯牙に固着される面や、口腔内に露出する面側の歯科用ＣＡＤ／ＣＡＭ用三次元形状データを取り出す。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線回折法による多層構造結晶の構造劣化の評価において、従来法と比較して検出感度を向上させた結晶の構造解析方法を提供する。
【解決手段】 所定の結晶面の基板上に形成された多層構造結晶を、Ｘ線回折により測定して、該多層構造結晶の回折プロファイルを取得する際、Ｘ線回折装置の受光系の開口角条件のみを変えて、同一の反射指数をもつ回折プロファイルを複数測定する工程と、得られた該複数の回折プロファイル中に観測される多層構造に対応するピーク又は一連のピーク群の最大回折強度を示す点を、回折強度軸及び回折角度軸とも揃えることにより、該複数の回折プロファイルを重ねて表示する工程と、表示された該複数の回折プロファイル間のプロファイル形状の差異を比較抽出する工程とを有し、差異の比較抽出により、多層構造結晶の構造劣化の有無及び程度を判定する結晶の構造解析方法。 （もっと読む）

【課題】 画面上に３次元表示された分析装置の測定結果を、より一層有効に活用できるようにする。
【解決手段】 ３つのパラメータをそれぞれ直線状の座標軸Ｘａ，Ｘｂ，Ｘｃとする３次元座標上に測定データを立体画像Ｇａとして表示する３次元立体画像生成プログラムと、３つのパラメータのうちの２つを直交座標軸Ｘａ，Ｘｂとする２次元座標上に当該２つのパラメータに関する測定データをプロットして２次元画像Ｇｃ，Ｇｄを表示する２次元画像生成プログラムと、座標軸Ｘａ，Ｘｂ，Ｘｃ及びその座標軸上の座標値を指示するデータを入力するための入力用画像Ｇｅを画面３２上に表示すると共に入力用画像Ｇｅに入力された座標軸及び座標値を読み取る入力用画像処理プログラムとを有し、３次元立体画像生成プログラムは、入力用画像Ｇｅを用いて入力された座標値を３次元立体画像Ｇａ上で線Ｌ１，Ｌ２によって表示する。 （もっと読む）

【課題】従来、定量基準となるハンダ試料が存在しないため、蛍光Ｘ線分析装置によるハンダ材料の定量分析が行えない。また、溶融ハンダは冷却固化の際に含有成分が偏析するため、表面分析装置では、十分な分析精度が得られない。
【解決手段】溶融状態のハンダ材料を冷却固化してハンダ試料とする工程と、冷却固化したハンダ試料を折畳んで重ね合わせる工程と、前記ハンダ試料を圧延する工程により、含有成分の偏析の少ないハンダ試料が作製でき、前記ハンダ試料を表面分析装置で定量分析することにより、簡便かつ高精度な分析ができる。 （もっと読む）

【課題】 判定対象物に含まれる特定物質のＸ線分析において、処理にかかる時間の短縮化、さらには作業工程の簡易化や判定対象物の処理量の向上を図る。
【解決手段】 判定対象物１０６における特定物質の含有を判定する方法において、判定対象物１０６にＸ線を照射し、判定対象物１０６のスペクトルを測定する測定工程（Ｓ３）と、判定対象物１０６のスペクトルと、判定対象物１０６に応じて予め記憶されている基準スペクトルと、における特定物質の成分を比較し、判定対象物１０６に特定物質が所定の値以上含まれるか否かを判定する判定工程（Ｓ４）とを備える。 （もっと読む）

【課題】 クリープ損傷が大きい領域でも状態を把握することが可能で、全体の損傷傾向が正確に把握できる、特にＮｉ基超合金を対象とするクリープ損傷診断あるいは余寿命推定方法および装置を提供する。
【解決手段】 回動する試料台２、単色Ｘ線を照射するＸ線照射装置１、回折スポットのＸ線強度を測定するＸ線センサ３、これらの配置を調整するセンサ位置調整装置４、Ｘ線センサの出力を入力して回折ピーク形状を特定するデータ処理装置５、回折ピーク形状とクリープ寿命消費率の関数を格納する記憶装置６、関数を用いて回折ピーク形状に基づきクリープ寿命消費率と余寿命を推定して提示する演算装置７から構成され、Ｘ線センサ３が所定の回折スポットに照準を合わせた後に、試料台２をＸ線照射装置に対して相対的に回動させて対象の回折ピークの形状を測定する。 （もっと読む）

【課題】 従来のゲル拡散法における不具合を改善し、蛋白質など生体高分子の単結晶を大型で良質な状態で均一に生成する結晶成長方法及び装置を提供すること。
【解決手段】 生体高分子を含有する溶液から、その生体高分子を結晶成長させる方法において、生体高分子溶液と、半透過性物質と、生体高分子の結晶化を促進する溶液とを、この順に各界面を接触させて並列させると共に、略水平に配置し、結晶化促進溶液を、半透過性物質を通過させ生体高分子溶液中に拡散させることで過飽和状態とし、生体高分子の結晶を析出させる。生体高分子溶液の下面に、生体高分子溶液より比重が大きな不活性液体を接触させて配置して、生体高分子溶液中における結晶化促進溶液の分散の均一化に寄与させてもよい。 （もっと読む）