【課題】複数種類の特性Ｘ線を同時に試料に照射して，複数種類の特性Ｘ線によるＸ線回折測定を同時に実施できるようにする。
【解決手段】Ｘ線管１０は，Ｃｏからなる第１ターゲット領域２４と，Ｃｕからなる第２ターゲット領域２６とを備える対陰極を有している。第１ターゲット領域２４と第２ターゲット領域２６はＸ線の取り出し方向に垂直な方向（Ｚ方向）に区分けされている。入射側のソーラースリット１４と受光側のソーラースリット１８はＺ方向のＸ線の発散を制限する。Ｘ線検出器２０は，Ｃｏの特性Ｘ線が照射された第１試料領域から出てくる回折Ｘ線とＣｕの特性Ｘ線が照射された第２試料領域から出てくる回折Ｘ線とを分離して検出できるような，少なくともＺ方向に位置感応型のＸ線検出器であり，例えば，ＴＤＩ動作が可能な２次元ＣＣＤセンサである。 （もっと読む）

【課題】 高速・高精度な蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】 蛍光Ｘ線分析装置１は、測定試料７が配置される試料ステージ２と、測定試料７に向けてＸ線１５を発生するＸ線管球３と、測定試料７からの蛍光Ｘ線１６を検出するための検出器と、試料７と検出器４との間、またはＸ線管球３と試料７との間に配置されたＸ線を集光するためのＸ線光学素子１１とを備えている。 （もっと読む）

本発明の一態様によれば、検査される対象物のジオメトリについてのいかなる仮定もなしで、エネルギー分解回折方法で測定されるX線強度の補正が多重散乱放射に対して提供されることができる。本発明の例示的な実施の形態によれば、一次スペクトラム中の陽極材料の特性線が評価され、その多重散乱部分の補正を可能にすることができる被検出スペクトラムの成分分析をもたらす。
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【課題】 小型であり、光軸調整のための作業が簡単であり、光軸調整の自動化が容易であるＸ線ビーム処理装置を提供する。
【解決手段】 所定の回折角度でＸ線を回折する第１結晶ブロック２ａ及び第２結晶ブロック２ｂを支持する結晶ホルダ３と、Ｘ線Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３の光軸を含む面に直交する軸線Ｘ１を中心として結晶ホルダ３を回転させることができ且つ結晶ホルダ３をその回転範囲内で固定状態に支持できるモータ４とを有するＸ線ビーム処理装置１Ａである。結晶ホルダ３は、第１結晶ブロック２ａと第２結晶ブロック２ｂの両方でＸ線回折が生じるように互いの角度が調整された状態でそれら２つの結晶ブロック２ａ，２ｂを固定状態で支持する。２つの結晶ブロック２ａ，２ｂの光軸調整は軸線Ｘ１を中心として結晶ホルダ３を１軸回転させるだけで行われる。 （もっと読む）

【課題】 分析精度の高いエネルギー分散型蛍光Ｘ線装置、蛍光Ｘ線分析方法、およびプログラムを提供する。
【解決手段】 本発明にかかるエネルギー分散型蛍光Ｘ線装置１００は、試料にＸ線を照射することにより発生する蛍光Ｘ線に基づいて前記試料を分析するエネルギー分散型蛍光Ｘ線装置であって、前記試料から発生した蛍光Ｘ線を検出する検出部１４と、前記検出部が検出した前記蛍光Ｘ線のスペクトルを作成するスペクトル作成部２２と、前記スペクトル作成部によって作成された前記スペクトルが、鉛元素に対応する複数のエネルギー位置のすべてにピークを有する場合に、前記試料が鉛を含有すると判断する鉛同定部２４と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 Ｐｂ、Ｈｇ、Ｂｒ等の有害元素の検出下限を下げて分析感度を向上させる。
【解決手段】 Ｘ線源１と試料３との間の励起Ｘ線の光路上に挿入する一次Ｘ線フィルタ２としてＡｇ箔又はＰｄ箔を用いる。これらの箔は５〜１３ｋｅＶ付近と２５ｋｅＶ付近以上のＸ線を同時に吸収するから、これらの範囲のＸ線強度が減衰した励起Ｘ線が試料３に照射される。そのため、Ｐｂ、Ｈｇ、Ｂｒ等の元素の蛍光Ｘ線が現れる９〜１３ｋｅＶの範囲では散乱Ｘ線によるバックグラウンドが低減され、また、２５ｋｅＶ以上の高エネルギー範囲の散乱Ｘ線も減ってＸ線検出器４において９〜１３ｋｅＶの範囲のＸ線の検出効率が相対的に向上する。これにより、９〜１３ｋｅＶに蛍光Ｘ線を持つＰｂ、Ｈｇ、Ｂｒ等の元素の検出下限が下がる。 （もっと読む）

【課題】未知サンプルを測定するのに用いられる分光計と同様の分解能及び効率である基準物質からのスペクトルを測定するのに用いられる分光計を提供する。
【解決手段】Ｘ線放射特性を用いた物質同定方法が提供される。監視されるＸ線放射特性を表すＸ線データは、入射エネルギービームに応答して試料から得られる。同様に、複数の物質の組成データを含むデータセットが得られる。試料物質はデータセット内に含まれる。組成データを用いてデータセット内の物質の各々について予測Ｘ線データが計算される。取得Ｘ線データと予測Ｘ線データとが比較され、この比較に基づいて試料物質の可能性のある素性が判定される。 （もっと読む）

【課題】 分析内容に応じて冷凍機本体の運転を切替えて、振動による影響の低減と冷却性能の向上とを両立させるようにした試料分析装置を提供する。
【解決手段】
電子顕微鏡２０またはＥＤＳ検出器１０のどちらが運転されているかという運転状態を検出して冷凍機本体１ａに対して運転切替信号を出力する運転状態検出制御部７と、運転切替信号に基づいて冷凍機本体１ａの駆動を制御する駆動電源部６と、を備え、電子顕微鏡２０の運転時ではＸ線検出素子の許容上限温度まで温度上昇させて予冷運転し、ＥＤＳ検出器１０の運転時ではＸ線検出素子の運転温度まで温度下降させて本運転するような試料分析装置１０００とした。 （もっと読む）

【課題】
MEM構造解析により得られる電子密度を、たんぱく質に代表される高分子に適用して、その高分子の静電ポテンシャルの計算に応用する。
【解決手段】
実験的に得られるX線回折データにMEM構造解析を適用することで詳細な電子密度分布を求め，これをもとに観測されていないX線回折データを予測することで静電ポテンシャルを求める。 （もっと読む）

【課題】電子写真感光体を破壊、加工することなく、連続して検査することのできるＥＰＭＡ法による検査装置および検査方法を提供することである。
【解決手段】試料に電子線を照射する電子線光学手段が接続され、所定の真空度に保持された試料室と、真空排気手段および給気手段とが接続され、前記試料室との間で試料の出し入れを行う第１開口部および外部との間で試料の出し入れを行う第２開口部を有する予備排気室と、前記第１開口部を開閉するための第１仕切り弁と、前記第２開口部を開閉するための第2仕切り弁と、試料を保持して外部と予備排気室と試料室との間を移動する試料台と、この試料台の移動に対応して、前記第１仕切り弁および第２仕切り弁の開閉、予備排気室の給・排気を行う制御手段とを備えたことを特徴とするＥＰＭＡ法による検査装置である。 （もっと読む）

【課題】 半導体デバイス用の基板として好ましく用いられ得るように結晶を破壊することなく直接かつ確実に評価された結晶表面層を有する窒化物結晶、窒化物結晶基板、エピ層付窒化物結晶基板、ならびに半導体デバイスおよびその製造方法を提供する
【解決手段】 窒化物結晶の任意の特定結晶格子面のＸ線回折条件を満たしながら結晶の表面からのＸ線侵入深さを変化させるＸ線回折測定から得られる特定結晶格子面の面間隔において、０．３μｍのＸ線侵入深さにおける面間隔ｄ₁と５μｍのＸ線侵入深さにおける面間隔ｄ₂とから得られる｜ｄ₁−ｄ₂｜／ｄ₂の値で表される結晶の表面層の均一歪みが２．１×１０^-3以下であることを特徴とする窒化物結晶。 （もっと読む）

【課題】 衣類等の検査対象物に混入した針等の異物を検出するにあたって、検査官の見落としによる異物の不検出を防止し、小さな異物をも検出することが可能な異物検出装置を提供する。
【解決手段】 検査対象物を輸送する輸送手段３と、輸送手段３上の検査対象物にＸ線を照射するＸ線照射手段４、５と、Ｘ線照射手段４、５から輸送手段３上の検査対象物にＸ線が照射された際のＸ線透過率を測定する複数の電離箱検出器６と、複数の電離箱検出器６の各々の測定値と、予め記録した基準値から検査対象物中に異物が混入しているか否かを判定する判定手段とを備えた異物検出装置１において、複数の電離箱検出器６を、検査対象物を挟んでＸ線照射手段４、５の反対側に、２段にわたって配置した。判定手段によって検査対象物に異物が混入していると判定された場合には、検査対象物は、輸送手段３の入口側に戻すことができる。 （もっと読む）

【解決手段】 封入物検査装置１１において、封書投入ステーションＡに封書２が投入されると、外観検査手段２７及びＸ線検査手段３３により、封書の厚さと、封書に封入された封入物が所定の擬似対象物であるか否かが判定される。
所定厚さ以上の封書は第１選別ステーションＤでリジェクトされ、所定厚さ以下で擬似対象物の検出されなかった封書は第２選別ステーションＧまでそのまま搬送され、所定厚さ以下で擬似対象物の検出された封書は位置決めステーションＥにおいて封書内の擬似対象物の位置が位置決めされた後、擬似対象物査ステーションＦではテラヘルツ波を用いて上記擬似対象物が爆薬や麻薬などの所定の対象物であるか否かが判定される。
【効果】 大量の封書であっても、迅速に対象物の有無を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】双晶の実空間単位格子，逆格子空間基本格子及び逆格子点群を立体的に表示することにより，双晶成分間の３次元的な相互関係を容易に理解できるようにして，双晶試料のＸ線構造解析の成功率を高める。
【解決手段】単結晶Ｘ線構造解析装置４２を用いて，複数の双晶成分の各結晶方位行列を得る。第１演算手段３４は，結晶方位行列に基づいて，複数の双晶成分の実空間単位格子を求めて，それを回転，拡大・縮小，平行移動の各操作が可能なように立体的に表示するための表示データを作成する。第２演算手段３６は，結晶方位行列に基づいて，複数の双晶成分の逆格子空間基本格子を求めて，それを同様に立体的に表示するための表示データを作成する。第３演算手段３８は，結晶方位行列に基づいて，Ｘ線回折が生じる逆格子点群を，双晶成分ごとに区別して，それを同様に立体的に表示するための表示データを作成する。 （もっと読む）

【課題】 土壌中の有害物質の分析において、溶出法に極めて近似する測定結果を得られるとともに、簡易的かつ迅速に分析が可能な土壌有害物質含有量分析方法を提供する。
【解決手段】 土壌有害物質含有量分析方法においては、前分析工程として、採取された土壌を試料として蛍光Ｘ線分析により有害物質の含有量を分析する。溶出工程として、試料とされた土壌から有害物質を溶出するように前記土壌に水系溶媒を加えて混合した後に固液分離する。後分析工程として、固液分離されたうちの固体成分を試料として蛍光Ｘ線分析法により有害物質の含有量を分析する。溶出量算出工程として、前記前分析工程で分析された有害物質の含有量から後分析工程で分析された有害物質の含有量を減算し、溶出された有害物質の含有量を算出する。 （もっと読む）

【課題】 管設備へＸ線を放射するシステムを提供する。
【解決手段】 管路などの検査に用いられる移動式放射線透過写真装置は、移動運搬車両に連結された連接型空中ブームを備える。空中ブームの遠位端に、ピボットマウントが回転可能に連結される。スライドレールを有するプラットフォームが、ピボットマウントに動作可能に連結される。マウント固定具が、クレードルに回転可能にマウントされ、クレードルはプラットフォームのスライドレールに連結される。管路の外表面又は他の物体に放射線を照射するために、放射線源と放射線検出器とが、固定具の、直径に沿って対向する側面にマウントされる。管路に対して走査装置を粗く位置決めするために、第１の位置決め手段が設けられる。管路に対して走査装置を微細に位置決めするために、第２の位置決め手段が設けられる。第２の位置決め手段は、放射線源が管路に放射線を照射しているときに、遠隔場所から操作することが可能である。第１及び第２の位置決め手段は、走査装置を位置決めするための複数の自由度を与える。 （もっと読む）

【課題】コンピュータ断層撮影装置について、装置停止時間に応じた条件による適切なエージング運転を自動的に行えるようにする。
【解決手段】コンピュータ断層撮影装置は、装置立上げ時に徐々に所望の設定電圧まで昇圧させるエージング運転を自動的に行わせる自動エージング部９を備えており、その自動エージング部は、入力された次回の撮像予定に基づいて装置停止時間を算出する停止期間算出部１７、および停止期間算出部で求めた装置停止時間に応じたエージング条件を設定するエージング条件設定部１８を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】 被検査物を管理領域内のＸ線検査位置を通過させ、その間にＸ線検査するＸ線検査設備において、長尺の敷地を必要とせず、遮蔽扉が軽量化され、運転手の移動距離も少なくかつ監視要員数も削減できるＸ線検査設備を提供する。
【解決手段】 遮蔽壁６で囲まれ、入側遮蔽扉５ａと出側遮蔽扉５ｂとを有する管理領域３を有し、前記管理領域３に搬入された被検査物が、前記管理領域３内のＸ線検査位置１８を移動する間にＸ線検査されるＸ線検査設備１において、前記被検査物が前記入側遮蔽扉５ａを介して前記管理領域３内に搬入される搬入方向と、前記被検査物が前記出側遮蔽扉５ｂを介して前記管理領域３外に搬出される搬出方向との少なくとも一方が、前記被検査物が前記Ｘ線検査位置１８を移動する方向と異なる直線上にある。 （もっと読む）

【課題】 基底面内転位などの、面内方向に配向した転位線を有する結晶欠陥を、簡易な装置構成により高い分解能で撮影可能なＸ線トポグラフによる結晶欠陥の撮影方法を提供する。
【解決手段】 Ｘ線源から放射されたＸ線を４結晶コリメータを通過させることによって、分解能に異方性がある入射Ｘ線を生成し、面内に６回対称反射または４回対称反射を有する単結晶試料について、その等価な回折面のうち、結晶欠陥の転位線の方向と、入射Ｘ線における発散角が小さい方向とが成す角度がより垂直に近い回折面からのＸ線回折像を撮影する。さらに、４結晶コリメータを、入射Ｘ線の方向を軸として傾斜させた配置とすることによって、入射Ｘ線における発散角が小さい方向を傾斜させて単結晶試料へ入射Ｘ線を入射させ、これにより、結晶欠陥の転位線の方向と、入射Ｘ線における分解能が高い方向とが成す角度をさらに垂直に近づけてトポグラフ撮影を行う。 （もっと読む）

【課題】 ＦＰ法で試料の組成を分析する蛍光Ｘ線分析装置などにおいて、非測定元素を多く含み、その原子番号を特定できない種々の試料についてより広い適用範囲で十分正確に分析できるものを提供する。
【解決手段】 仮定した元素の濃度に基づいて、試料13中の各元素から発生する２次Ｘ線4 の理論強度を計算し、その理論強度と検出手段9 で測定した測定強度とが合致するように、仮定した元素の濃度を最適化計算して、試料13における元素の濃度を算出する算出手段10を備え、その算出手段10が、蛍光Ｘ線4 を測定しない非測定元素については、複数の非測定元素の濃度を仮定するとともに、試料中の非測定元素から発生する２次Ｘ線に代えて、濃度を仮定する非測定元素と少なくとも同数の１次Ｘ線の散乱線を用い、用いる１次Ｘ線の散乱線に、試料で散乱される前の波長が相異なる散乱線を含める。 （もっと読む）