【課題】 既知情報及び実測データに基づく特定サテライトピークのフィッティングにより、十分な精度のプロファイル解析が行えるＸ線回折測定解析方法及びプログラムを実現し、また、一致状態を一般性を失うことなく大局的に見通しよく２次元表示する。
【解決手段】 実測プロファイルから周期Ｌと平均格子定数ａを求め、交互に積層された一方の薄膜の膜厚Ｌ１及び格子定数ａ１の初期値を設定する設定段階と、Ｌ、ａ並びにＬ１及びａ１の初期値から、他方の薄膜の膜厚Ｌ２及び格子定数ａ２の値を算出する変数算出段階と、Ｌ、ａ、Ｌ１及びａ１の初期値並びにＬ２、ａ２の計算値に基づいて解析プロファイルを得る解析プロファイル作成段階と、両プロファイルを比較して一致の度合いを調べる比較段階と、一致の度合いが一致基準を満たすか否かを判定し、満たすときはＬ１、ａ１、Ｌ２及びａ２の値を測定値とし、満たさないときは、Ｌ１及びａ１の初期値のいずれかを変更して再び変数算出段階に戻る判定段階とを含む。 （もっと読む）

【課題】従来の４軸ゴニオメータよりも簡素な３軸ゴニオメータを用いて格子定数の測定を可能にし，かつ，従来よりも試料表面上のＸ線照射面積の変化を小さくする。
【解決手段】試料ホルダー３６とＸ線検出器４８の間に，開口幅可変の第１スリット５０と第２スリット５２を配置する。第１スリットの開口は，回折平面（入射Ｘ線と回折Ｘ線とを含む平面）に平行に延びている。第２スリットの開口は回折平面に垂直に延びている。Ｘ線検出器と第１スリットと第２スリットは２Θ軸の周りに２θ回転する。試料ホルダー３６は，２Θ軸と同軸のΩ軸の周りにω回転でき，かつ，回折平面内に存在するΦ軸の周りにφ回転できる。この３軸ゴニオメータと二つのスリット５０，５２を用いて，少なくとも三つのミラー指数について，回折Ｘ線が検出できる三つの角度２θ，ω，φを測定し，それに基づいて格子定数を算出する。 （もっと読む）

【課題】 樹脂封止された電子部品内部の軽元素異物の位置や形状を非破壊で調べる。
【解決手段】 Ｘ線源１６と、第１の結晶２、第２の結晶４及び第３の結晶６を備えるＸ線干渉計７と、Ｘ線検出器２０を備えたＸ線撮像装置１において、第１のビームの光路上であって、第１の結晶２と第２の結晶４の間もしくは第２の結晶４と第３の結晶６の間に、第１の集光用ゾーンプレート２６とそれと対になる第１の平行化用ゾーンプレート２８が設定され、第２のビームの光路上であって、第１の結晶２と第２の結晶４の間もしくは第２の結晶４と第３の結晶６の間に、第２の集光用ゾーンプレート３０とそれと対になる第２の平行化用ゾーンプレート３２が設定されたことを特徴とするＸ線撮像装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】パラメトリックＸ線発生装置において、１つの高エネルギー電子ビームから複数のＸ線を取り出す。
【解決手段】高エネルギー電子線加速器１で、高エネルギー電子ビームを発生する。高エネルギー電子ビームを当ててパラメトリックＸ線を発生するための複数個のＸ線発生用の薄板単結晶２、４、６、８を、高エネルギー電子ビームの方向に沿って直線状に並べる。１つのＸ線発生用単結晶から、１つまたは複数のパラメトリックＸ線を発生する。それぞれのパラメトリックＸ線を、Ｘ線選択用の反射単結晶３、５、７、９、10で選択的に反射させて取り出す。このようにして、小型でＸ線エネルギーを変えることができるとともに、単色でコヒーレントなＸ線を発生できるパラメトリックＸ線発生装置において、１つの高エネルギー電子ビーム１から複数のＸ線を取り出せる。 （もっと読む）

【課題】薄層の積層構造を有する分析試料中の薄層測定層の元素組成を決定することをすることができる方法および装置を提供する。
【解決手段】本発明は、薄層の積層構造を有する分析試料に斜めエッチングまたは斜め研磨を行なって、測定層を露出させる工程；電子線照射によって、露出させた測定層から特性Ｘ線を励起させる工程；測定層からの特性Ｘ線のみを検出する工程；および検出した特性Ｘ線から元素組成を決定する工程からなる薄層の分析方法を提供する。本発明はまた、照射手段；試料保持手段；入射Ｘ線調整手段；および、Ｘ線検出手段を備える特性Ｘ線分析装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 ＥＰＭＡ等の電子プローブＸ線分析装置において、メール等の自然文から分析条件を抽出し、自動的に分析条件の設定を行うことにより、条件入力を簡易化し間違いを減らす。
【解決手段】 正規表現などの文字列検索方法により、メールや一般のテキストファイルから分析方法、元素と特性Ｘ線種、その他分析条件に特徴的な単語を抽出し分析条件として設定する。抽出されなかった条件のうち設定が必要な条件については、抽出された条件から導かれた条件を設定するか、若しくは予め決めてある条件を設定する。 （もっと読む）

【課題】 シート状部材の厚さ測定精度を向上させると共に，放射線源を含む測定構成機器の耐圧防爆構造を実現すること，及び，成形されたシート状部材の形状にかかわらずシート成形直後におけるシート厚さの測定を可能とし，ダイの間隙の早期調整を実現すること。
【解決手段】 Ｘ線源１（放射線源）と，Ｘ線検出器２（放射線検出器）と，Ｘ線が照射された際に固有のエネルギーを持つ特性Ｘ線を発生するＴｉ板６（特性Ｘ線発生物質）とが適宜配置されてなり，上記Ｘ線源１から出射されたＸ線が上記Ｔｉ板６に照射され，該照射により上記Ｔｉ板６で発生しシートＳ（被測定部材）を透過して上記Ｘ線検出器２に入射した特性Ｘ線の強度の減衰量に基づいて上記シートＳの厚さを演算，算出するように構成する。 （もっと読む）

【課題】 試料に電子線を照射してＸ線分析を行う電子プローブＸ線分析装置において、試料表面形状や状態の変化による影響を低減した元素分布像を得る。
【解決手段】 試料または電子線を走査して複数元素の特性Ｘ線強度データを二次元的に収集し、二次元データの全ての座標位置について、標準試料を用いて各元素の特性Ｘ線強度データを相対強度に変換する。これら相対強度に定量補正計算を施し、各々の元素の質量濃度を得る。座標位置毎の全元素の相対強度または質量濃度の合計値を用いて、各元素の相対強度または質量濃度を規格化し、その値をレベル分けして元素分布像として表示するようにした。さらに必要に応じて、質量濃度を用いて、座標位置毎の原子濃度、化合物濃度、原子個数などを求め、規格化して表示するようにしたので、試料表面形状や状態の変化による影響を低減した元素分布像を得ることができるようになった。 （もっと読む）

この発明は、簡便な構造でＸ線撮像が可能な装置を提供するものである。 この装置においては、まず、Ｘ線源１と第１の回折格子２との間に被検体１０を配置する。ついで、Ｘ線源１から第１の回折格子２に向けてＸ線を照射する。照射されたＸ線は、第１の回折格子２を通過する。このとき、第１の回折格子２では、タルボ効果を生じる。ここで、被検体１０によるＸ線の位相のずれがあるので、第１の回折格子２の自己像は、それに依存して変形している。続いて、Ｘ線は、第２の回折格子３を通過する。その結果、上記の変形した第１の回折格子２の自己像と第２の回折格子３との重ね合わせにより、Ｘ線に、一般的にはモアレ縞となる画像コントラストを生成することができる。生成したモアレ縞をＸ線画像検出器４により検出することができる。生成されたモアレ縞は、被検体１０により変調を受けている。したがって、検出されたモアレ縞を解析することにより、被検体１０およびその内部の構造を検出することができる。
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【課題】 実用的な寸法形状で、十分に強度の大きい軟Ｘ線を取り出せる横型Ｘ線管などを提供する。
【解決手段】 筒状の筐体4 内にその軸方向Y に並ぶフィラメント2 とターゲット3 を有し、陰極であるフィラメント2 から放射した熱電子e_tを陽極であるターゲット3 に衝突させて、そのターゲット3 から筐体の側壁4aに向かうＸ線B を窓7 を介して出射する横型のＸ線管1 であって、筐体の側壁4aから外方向X に突出する筒状で非磁性体の突出部8 を有し、その突出部8 の先端部に前記窓7 が設けられており、突出部の側壁8aを外側から挟むように磁石10A,10B を有することにより、突出部8 を含む空間に磁場を形成して、ターゲット3 からの散乱電子e を窓7 へ到達しないように偏向させる。 （もっと読む）

【課題】 試料の元素分析を的確に行うことができ、且つ蛍光Ｘ線装置の小型化を実現できる試料ホルダ、試料ホルダ用蓋及び蛍光Ｘ線測定装置を提供すること。
【解決手段】 本発明は、ホルダ本体部１、本体部１に連結される蓋２を備える試料ホルダ１００で、蓋２が、開口５及び開口５を囲む包囲面６を有する蓋本体部４、包囲面６に対向する領域に収納可能で且つ包囲面６に平行な方向に移動させることで開口５を覆うことが可能な複数のカバー部材１２を備える。 （もっと読む）

【課題】 試料表面の平滑性が求められる分析において、粉体であっても容易に測定用試料を製造することができ、測定効率の向上を可能とする粉体ホルダ、測定用試料製造方法及び試料分析方法を提供すること。
【解決手段】 本発明の粉体ホルダは、基台部と、基台部上に設けられた粉体保持部と、を備え、粉体保持部が、粉体保持部の基台部と反対側に粉体を収容する粉体収容孔を少なくとも１つ有し、粉体保持部の硬度が、基台部の硬度よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線光学素子の位置決め精度を緩和でき、可干渉性の低いＸ線源でもＸ線干渉を実現でき、一般用途への実用化が図られるＸ線シアリング干渉計を提供する。
【解決手段】Ｘ線シアリング干渉計は、Ｘ線を分割するＸ線分割光学系１０と、Ｘ線分割光学系１０によって分割されたＸ線を干渉させるＸ線干渉光学系２０などで構成され、Ｘ線分割光学系１０とＸ線干渉光学系２０との間には物体Ｗが配置され、Ｘ線分割光学系１０は、間隔Ｄ１で配置された一対の人工格子１１，１２と、人工格子１２からの回折Ｘ線のうち所望の回折Ｘ線だけをブラッグ回折によって選択する結晶格子１３を含み、Ｘ線干渉光学系２０は、間隔Ｄ２で配置された一対の人工格子２１，２２と、人工格子２２からの回折Ｘ線のうち所望の回折Ｘ線だけをブラッグ回折によって選択する結晶格子２３を含む。 （もっと読む）

【課題】 波長分散形Ｘ線分光器（ＷＤＳ）とエネルギー分散形Ｘ線分光器（ＥＤＳ）を同時に装着した装置において、ＷＤＳで検出されたＸ線の波高分布をリアルタイムに得ることを可能とし、ＷＤＳの波高分析器の条件設定を簡単に行えるようにする。
【解決手段】 ＷＤＳのＸ線検出器に接続されている信号処理回路からの出力信号を、ＥＤＳ用として構成されているマルチチャンネルアナライザに入力できるように切換スイッチを設ける。ＷＤＳの信号処理回路の出力を、マルチチャンネンルアナライザに入力するために必要なマッチング処理を行った後、マルチチャンネンルアナライザで波高識別して積算する。波高分布をＥＤＳスペクトル表示装置に表示する。表示された波高分布からＷＤＳの波高分析器の条件を設定すると、ＷＤＳ用として構成されているシングルチャンネルアナライザの条件が自動的に設定される。 （もっと読む）

【課題】 Ｃｒの特性Ｘ線を用いてＸ線分析を行う際に試料から広角度に発生する回折線を正確に測定する。
【解決手段】 試料Ｓに照射するＣｒの特性Ｘ線を発生するＸ線源Ｆと、試料Ｓから出る回折線を受光する蓄積性蛍光体プレートと、試料Ｓと蓄積性蛍光体プレートとの間に配置されたヘリウムパス１３とを有するＸ線分析装置である。ヘリウムパス１３の内部にはヘリウムガスが流される。また、ヘリウムパス１３は試料Ｓから出る回折線を通過させる第１窓５４ａと蓄積性蛍光体プレートの前に位置する第２窓とを有する。蓄積性蛍光体プレートのＸ線受光面は試料Ｓを中心として湾曲する。第１窓５４ａは第２窓よりも小さく形成されており、このため、ヘリウムパス１３は空間的に扇形状に広がっている。Ｃｒの特性Ｘ線、ヘリウムパス及び湾曲する蓄積性蛍光体プレートを用いるので、タンパク質のような複雑な分子の結晶構造をＸ線を用いて簡単且つ迅速に決定できる。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも０．０１８モル／ｋｇの、フッ化物の状態で存在する２価の陽イオンＭがドーピングされている、特に単結晶の形をしている、結晶性のフッ化リチウムに関する。イオンは、Ｍｇ^２＋、Ｚｎ^２＋又はＣｏ^２＋であることができる。このフッ化物は、高い反射性と、それから放出される強い放射線とを有することができ、また、この放射線は、とりわけ希土類ハロゲン化物タイプの高速光シンチレータによって効果的に受容することができる。この物質は、元素分析の目的のため、Ｘ線蛍光放射線用のモノクロメータとして特に有用である。 （もっと読む）

サンプルを分析するために、Ｘ線、中性子線、ガンマ線、または粒子ビーム放射を使用して、分析エンジンの放射境界面にサンプルを呈示する技法が開示される。保護障壁は、放射に対して透過性であり、かつサンプルをエンジンから分離し、障壁移動システムを使用して、放射境界面に対して可動である。一実施形態の障壁は、サンプルが配置される空洞にわたって可動であり、空洞にわたって膜のほぼ連続的な供給を提供および回収するリールシステムで可動である膜である。空洞は、サンプルが通って可動であるサンプル経路の一部を形成することが可能である。サンプル経路が加圧される場合、膜は、分析エンジンによるサンプルの分析中に圧力を維持する。

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【課題】 試料を支持する試料板からの回折Ｘ線の影響を排除して、試料に関する正確なＸ線回折測定をできるようにする。
【解決手段】 単結晶試料板２１によって支持する試料ＳにＸ線を照射し、試料Ｓから発生する回折Ｘ線を２次元Ｘ線検出器２によって検出し、検出された回折Ｘ線の座標及び強度をＸ線読取り装置によって読み取り、そしてその読取り結果に基づいて演算を行って回折Ｘ線強度分布を求めるＸ線測定装置である。単結晶試料板２１から出る回折Ｘ線が２次元Ｘ線検出器２によって検出される座標位置を、回折Ｘ線強度分布の演算に寄与させないブランク領域として認識する。単結晶試料板２１からの回折Ｘ線がＸ線強度の演算に算入されないので、試料Ｓからの回折Ｘ線だけに関して正確にＸ線強度分布を求めることができる。 （もっと読む）