【課題】波長分散型Ｘ線分析装置において状態分析のために高波長分解能でのＸ線プロファイルを取得する際の時間を短縮する。また、定量／定性分析のための広い波長範囲に亘るＸ線プロファイルの取得に並行的に状態分析用Ｘ線プロファイルの取得を可能とする。
【解決手段】分光結晶４とＸ線検出器６とを倍角の関係（θ，２θ）を保って移動させる従来の波長走査駆動部２１とは別に、分光結晶４のみを軸４ａを中心に微小角度範囲だけ高速で回動させる微小駆動部２２を設ける。例えば波長走査駆動部２１により比較的大きな波長ステップ幅で波長走査する際に目的元素のピーク位置に達すると、Ｘ線検出器６の位置を停止して分光結晶４のみを繰り返し往復回動させ、その動作に同期してデータ処理部２４はＸ線検出データを取得してＸ線プロファイルを作成する。 （もっと読む）

【課題】エネルギー分散型Ｘ線分析装置において検出器で検出されたＸ線をエネルギー弁別して計数する場合の計数の精度を向上させる。
【解決手段】入力データが閾値ＴＨを越えるとＲＳ−ＦＦ３２はセットされ、入力データの正ピークＰ２の最大値データを検出・保持した後、その最大値データと入力データとの差分が設定値ＴＰを越えたならばＲＳ−ＦＦ３２はリセットされる。このリセットのタイミングで正ピーク検出部２１に保持されている最大値データをラッチ回路３６にラッチする。設定値ＴＰは決定処理部３８により、その時点で保持されている最大値データに応じて決められ、最大値データが大きい場合には設定値ＴＰも大きくなる。これにより高エネルギー側でのノイズの重畳による信号波形の窪みを無視することでピークの誤検出を防止でき、低エネルギー側での低いピークの見逃しも防止することができる。 （もっと読む）

【課題】波長分解能の高い湾曲分光結晶を用いた分光器を試料から離して配置できるようにすることで、ＥＰＭＡだけでなく走査顕微鏡等の他のＸ線分析装置にも対応可能とする。
【解決手段】点／点型のマルチキャピラリＸ線レンズ１０を、その入射側焦点Ｆ３が試料２の微小領域３に合致するように配置し、出射側焦点Ｆ４が湾曲分光結晶４の入射側焦点Ｆ１と合致するように延伸させる。電子線１の照射に応じて試料２上の微小領域３から放出された固有Ｘ線はＸ線レンズ１０で効率良く収集されて試料２から離れた位置まで案内され、焦点Ｆ４に収束するように出射される。湾曲分光結晶４にはその入射側焦点Ｆ１からＸ線が拡がりつつ到来するから、効率よく回折面に当たって特定波長のＸ線が焦点Ｆ２に集まってＸ線検出器７に入射する。 （もっと読む）

【課題】煩雑な焦点補正の作業を行うことなく、試料上の線分析や面分析を簡便かつ自動的に行うことができる斜出射電子線プローブマイクロＸ線分析方法を提供すること。
【解決手段】斜出射電子線プローブマイクロＸ線分析方法は、電子線が照射された試料から発せられる特性Ｘ線をＸ線検出器により検出する際に、試料ステージを傾斜させることにより特性Ｘ線の取出角度を制御し、試料内部で励起された特性Ｘ線が全反射現象により検出さない角度に特性Ｘ線の取出角度を設定する斜出射電子線プローブマイクロＸ線分析方法において、前記取出角度が得られるように試料ステージを傾斜させた状態で予め任意の分析点の焦点調整を完了させた後、その焦点を維持しつつ試料表面の他の分析点を分析するのに必要な試料ステージの制御データを求め、求めた制御データに基づいて試料ステージを移動させることにより試料表面の微粒子又は薄層の線分析又は面分析を行う。 （もっと読む）

【課題】スリット幅を連続的に変更することができ、且つコンパクトなソーラスリットを提供する。
【解決手段】複数の平行に配設された隔壁板を有するソーラスリットにおいて、各隔壁板の間に介挿された弾性体と、前記ソーラスリットの両端の隔壁板を押圧する圧縮機構と、を備えたソーラスリットとする。圧縮機構を作動させることにより弾性部材が積層方向に一斉に圧縮され、又は一斉に伸長するため、各隔壁板が平行な状態を保持しつつ、隔壁板間隔、つまりスリット幅を任意に調節することが可能となる。弾性部材としては、各種のばねやゴムを使用することができる。このように、本発明のソーラスリットは非常に簡単な構成であるため、従来欠かすことができなかった分析装置における設置スペースが不要となり、分析装置の小型化を図ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 コンパクトな光学系で高分解能なＸ線分光器を備えた電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】 真空ポンプで排気され、不等間隔回折格子（１２）が配置されるとともに、端部にＸ線検出器（１４）が取り付けられた分光室を有するＸ線分光器（１０）をゲートバルブ（４）を介して電子顕微鏡の側壁に取り付けたものであって、電子線が照射された試料から放出される特性Ｘ線を不等間隔回折格子面に斜めに入射させ、その回折Ｘ線をＸ線検出器で検出するようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】分析時間の短縮を図れるとともに分析対象体表面のコンタミネーションの発生を抑制して分析精度の向上を図れるといった、優れた電子顕微鏡装置と共に用いる分析装置を提供する。
【解決手段】
電子顕微鏡装置Ｐが電子線を照射した際に試料Ｓから放射され且つ前記電子顕微鏡装置Ｐでの解析に用いるエネルギー線とは別のエネルギー線に関するデータを一時的に記憶するデータ記憶部１と、電子線照射条件に変化が生じたか否かを監視する電子線照射条件変化監視部２と、前記試料Ｓの分析を前記別のエネルギー線を利用して行う際に、前記電子線照射条件変化監視部２を参照し前記電子線照射条件に変化が生じていないとの監視結果を得た場合には、前記データ記憶部１に一時的に記憶している前記別のエネルギー線に関するデータを読み出して、前記試料Ｓの分析に用いるエネルギー線分析部３と、を具備して成ることを特徴とする電子顕微鏡装置Ｐと共に用いる分析装置。 （もっと読む）

【課題】集光素子上の金属薄膜は、帯電を防ぐ大きな効果をもたらすが、逆にこの金属薄膜による軟Ｘ線の吸収が行われ、信号強度の大きな減衰を招き、結果として検出感度の大幅な劣化となる。
【解決手段】試料と集光素子の間に接地電位の金属グリッドを置くことにより集光素子上での帯電による電界を遮蔽し、照射電子線の位置変動を抑える。又、集光素子上の金属薄膜の蒸着を止めることにより、軟Ｘ線の金属薄膜による吸収を無くし、検出感度の向上を行う。 （もっと読む）

【課題】測定試料中の臭素化合物の同定を高精度、非破壊で迅速に行なうための臭素化合物の分析方法および分析装置を提供する。
【解決手段】測定試料のＸ線吸収スペクトルを測定し、Ｂｒ−Ｋ吸収端近傍での吸収端の立ち上がりピークＡと該立ち上がりピークＡよりも高エネルギー側に現れるピークＢとのエネルギー間隔ΔＥならびに該立ち上がりピークＡおよび該ピークＢの強度比Ａ／Ｂを検出する測定ステップと、エネルギー間隔ΔＥの値と強度比Ａ／Ｂの値との組み合わせで測定試料に含まれる臭素化合物の構成元素の結合状態を特定する解析ステップとを含む臭素化合物の分析方法である。 （もっと読む）

【課題】アンギオグラフィーシステムにおいて、造影剤のＫ吸収端エネルギーを跨いだ２色のＸ線ビームを発生して鮮明な画像を撮影する。
【解決手段】100MeVクラスの電子加速器（リニアック）からの電子ビーム１をシリコン単結晶２に照射して、ヨウ素Ｋ吸収端を中心エネルギーとするパラメトリックＸ線を発生させる。低域Ｘ線ビームの光路を結晶回折によってシフトさせ、高域Ｘ線ビームに重畳する。２色のＸ線ビームを、サンプル６に照射してイメージ化する。低域Ｘ線ビームの画像には造影剤の像は出ず、高域Ｘ線ビームの画像には造影剤の像が出る。シャッター８、９、10で２色のＸ線ビームを切り替えて撮影し、差分を求めることで、造影剤のみの鮮明な吸収画像を得ることができる。加速器および造影剤注入を患者の心拍と同期させることにより、最小の造影剤とＸ線照射量で心臓血管の静止像が得られる。 （もっと読む）

【課題】 高分解能の電子顕微鏡の特徴であるノイズ成分を多く含む画像に対し、ノイズの低減と画像の輪郭の強調という、従来技術では相反する画像処理を同時に行うことのできる電子顕微鏡の画像処理システムを提供する。
【解決手段】 走査電子顕微鏡１０は、電子銃から電子線を試料に照射し、試料から発生した二次電子を検出することによって顕微鏡画像を生成する。パーソナルコンピュータ２０は電子顕微鏡１０によって生成された顕微鏡画像を取得し、前記顕微鏡画像に最大エントロピー法を用いた画像処理を施す。パーソナルコンピュータ２０は、前記顕微鏡画像に最大エントロピー法を用いた画像処理を施す際に、あらかじめ取得された大照射電流量の電子顕微鏡画像と、最大エントロピー法を用いた画像との比較に対する評価結果に基づいて前記画像処理のためのフィルタリング条件を決定する。 （もっと読む）

【課題】 鉄鋼中のカーボン分析において、定性分析で得られるスペクトルに基づく簡易的な定量分析の精度を向上させることの可能な定量分析方法を提供する。
【解決手段】 試料10に電子線を照射し、該試料10の表面より放出される特性Ｘ線を検出して試料10の定量分析を行う定量分析方法において、鉄鋼の定性分析時にカーボンの分析に要する電子線照射時間の検出Ｘ線強度に対する影響を測定し、分析計測時間影響曲線を作成し登録するステップと、鉄鋼の定性分析を行い、カーボンの分析に要した分析計測時間に応じて、予め登録されている前記分析計測時間影響曲線に基づいて、定性分析結果得られたエネルギースペクトル強度によるカーボンの定量分析結果に対して定量補正を行うステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】ソーラスリットを設けるための空間を節約することができ、この空間の節約によりＸ線強度を上げることができるＸ線供給装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線源から発生したＸ線Ｒをソーラスリット１８の後方へ供給するＸ線供給装置である。ソーラスリット１８は、スペーサ２８によって互いに間隔をおいて積層された複数の金属箔２７を有し、スペーサ２８はＸ線進行経路の片側において金属箔２７の一端部を支持し、Ｘ線源からのＸ線Ｒはスペーサ２８によって支持された金属箔２７の一端部に隣接する端部から入射し、その端部の反対側の端部から出射し、複数の金属箔２７のうちスペーサ２８によって支持された一端部と反対側の端部は開放端である。Ｘ線Ｒの進行経路に対して直角の方向に沿って金属箔２７の開放端に対向してモノクロメータ又は試料が設けられる。 （もっと読む）

【課題】構成がさほど複雑にならず、しかも微量成分の分析についてバックグラウンドを低減できる多元素同時型蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】試料１に１次Ｘ線３を照射するＸ線源４を備えるとともに、分光素子８および検出器１０を有して試料１から発生する蛍光Ｘ線５の強度を測定する固定ゴニオメータ１４を測定すべき波長ごとに備えた多元素同時型蛍光Ｘ線分析装置において、少なくとも一つの固定ゴニオメータ１４Ｂについて、分光素子８Ｂの分光角２θ_Ｂを定義する回転軸１１Ｂが、試料表面１ａと平行な位置から分光しようとする蛍光Ｘ線５の進行方向１２Ｂを軸として９０度回転した位置にある。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で６価クロムを定量分析できる蛍光Ｘ線分析装置などを提供する。
【解決手段】Ｘ線源４、発散スリット１１、分光素子６、受光スリット２０、検出器８、分光素子６と受光スリット２０および検出器８とを連動させる連動手段１０、ならびに、検出器８の測定結果に基づいて定量分析を行う定量分析手段１８を備えた走査型蛍光Ｘ線分析装置である。定量分析手段１８が、Ｃr −Ｋα線２２において強度が最大となるピーク分光角が６価クロムの含有率対クロム全体の含有率の比に応じて変化することに基づいて、６価クロムの含有率を算出する。発散スリット１１、分光素子６、受光スリット２０および検出器８の組合せとして分解能が相異なる複数の検出手段２３を備え、ピーク分光角の変化を検出する際に、クロム全体の含有率または強度を求める際に選択される検出手段２３Ａよりも分解能が高い検出手段２３Ｂが選択される。 （もっと読む）

【課題】 ＥＰＭＡ装置の検出感度を増大する。
【解決手段】 試料台３上の試料２と分光結晶８との間にはＸ線集光手段としてのフレネルゾーンプレート９が設けられている。そして、フィラメント５から加速されて放出された電子線６が試料台３上の試料２表面に照射されると、試料２表面領域から特性Ｘ線１１が発生する。この発生した特性Ｘ線１１は、フレネルゾーンプレート９により集光されて分光結晶８に入射され、分光結晶８で分光され、Ｘ線検出器１０に入射される。この場合、Ｘ線集光手段としてのフレネルゾーンプレート９を用いているので、分光結晶８に入射される特性Ｘ線量が増加し、検出感度を増大することができる。 （もっと読む）

【課題】合金化溶融亜鉛めっき鋼板における組成が深さ方向に不均一なめっき被膜の付着量および組成を十分正確に分析できる蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】所定の入射角φで試料１に１次Ｘ線６を照射するＸ線源７と、所定の取り出し角α，βで試料１から発生する蛍光Ｘ線８の強度を測定する検出手段９とを備え、前記入射角φと取り出し角α，βの組合せにおいて少なくとも一方が相異なる２つの組合せで蛍光Ｘ線８の強度を測定し、蛍光Ｘ線８の強度が測定対象膜の付着量を増大させたときの上限値の９９％となる付着量で示される測定深さについて、前記２つの組合せでの測定深さがいずれも前記めっき被膜３の付着量よりも大きくなるように、各組合せにおける入射角φおよび取り出し角α，βが設定されている。 （もっと読む）

【課題】十分な発散角を持ち、積分反射能が高い単色化Ｘ線を一次Ｘ線方向と平行に取り出し可能なＸ線光学素子とそれを利用したＸ線分析装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線源と、試料を保持する試料ステージと、試料ステージに保持された試料からのＸ線を検出するための検出器と、Ｘ線源からのＸ線を記試料ステージに保持された試料へ導くための光路とを備えたＸ線分析装置において、この光路の一部に、２枚のグラフィトモノクロメータ２１、２２、又は、多層膜ミラー２１’、２２’、を、対向させ、かつ、反射面が互いに平行になるように、所定の隙間を介して配置し、一方のＸ線反射面に対して所定の入射角で入射した一次Ｘ線を当該Ｘ線反射面上で反射し、その後、他方のＸ線反射面で反射し、もって、単色化されたＸ線を、入射した一次Ｘ線と平行に取り出すＸ線光学素子１０００を配置する。 （もっと読む）

【課題】 多数のキャピラリを平行に束ねた平行端から出射したＸ線は原理的に拡がるため、平行端端面と分光結晶との距離が離れていると、一部のＸ線が分光結晶に当たらずに無駄になる。
【解決手段】 本発明に係るマルチキャピラリＸ線レンズは、平行Ｘ線を出射するための端部において、最外周に位置する複数のキャピラリの中心線が臨界角θに相当する角度だけ中心軸Ａに向くように屈曲され、それに応じて全体が絞られた形状を有する。これにより、原理的に外方に拡がろうとするＸ線はちょうど中心軸Ａに平行に進行し、端面から出たＸ線の照射範囲は端面のサイズとほぼ同一になって、該端面からの離間距離にも依存しない。 （もっと読む）

【課題】
マイクロチップを用いて複数元素を同時に高感度に分析できるようにする。
【解決手段】
マイクロチップ１は、基板３０と、基板３０の内部に形成された流路２３と、基板３０の平坦な表面の一部からなり、流路２３の出口が開口９ｃとして形成され、その開口９ｃから溢れ出た測定対象液が基板３０の平坦な表面にとどまって分析試料となる分析部１０とを備えている。このマイクロチップ１を使用して、分析部１０に測定対象液を分析試料として溢れ出させ、好ましくは分析試料を乾燥させた後、１次Ｘ線を全反射の条件で入射させて蛍光Ｘ線を検出する。 （もっと読む）