【課題】結晶構造が回転対称の試料だけでなく、回転対称でない試料であっても、簡単に精度のよい分析をすることができるコンパクトな蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】本発明の蛍光Ｘ線分析装置は、結晶構造を有する試料Ｓが載置される試料台８と、試料Ｓに１次Ｘ線２を照射するＸ線源１と、試料Ｓからの２次Ｘ線４を検出する検出手段７と、試料台８を回転させる回転手段１１と、試料台８を平行移動させる平行移動手段１２と、試料Ｓの回転角度とその角度で発生する２次Ｘ線４の強度とを対応させて取得した回折パターンに基づいて、隣り合う間隔が１８０°未満であって、回折Ｘ線を回避できる回避角度を少なくとも３つ選択するための選択手段１７とを備え、制御手段１５が、試料台８、回転手段１１および平行移動手段１２が当該装置の他の構造物と干渉しない回避角度に試料Ｓを設定するように回転手段１１を制御する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線分析装置において湾曲モノクロメータ等といったＸ線光学要素を用いる場合と用いない場合とで、Ｘ線管等といったＸ線光学機器の位置及び角度を簡単な操作だけで適正な状態に正確に設定できるようにする。
【解決手段】試料Ｓに照射されるＸ線を発生するＸ線管２７と、Ｘ線管２７を保持するＸ線源アーム３と、Ｘ線管２７が回転自在に取付けられＸ線源アーム３上を移動可能である可動部材１８と、可動部材１８を移動させるネジ軸２１と、試料Ｓが置かれる位置へ向かって可動部材１８と共に移動するＸ線管２７が当接する第１の位置決め部材２８ａと、試料Ｓが置かれる位置から遠ざかる方向へ可動部材１８と共に移動するＸ線管２７が当接する第２の位置決め部材２８ｂとを有しており、第１及び第２の位置決め部材はＸ線管２７をＸ線源アーム３に対する互いに異なる角度で位置決めする。 （もっと読む）

【課題】高温雰囲気中において、高電界を印加したときの絶縁破壊電圧が高い積層セラミックコンデンサを提供する。
【解決手段】積層セラミックコンデンサ１は、コンデンサ本体１０と、第１及び第２の電極１１，１２とを備えている。コンデンサ本体１０は、誘電体セラミックスからなる。第１及び第２の電極１１，１２は、コンデンサ本体１０内に設けられている。第１及び第２の電極１１，１２は、セラミック層１０ｅを介して互いに対向している。積層セラミックコンデンサ１では、３００Ｋにおいて電界を印加していない状態の第１及び第２の電極１１，１２の格子定数をａ_０とし、４００Ｋにおいて３０ｋＶ／ｍｍの電界を印加したときの第１及び第２の電極１１，１２の格子定数をａ_１としたときに、（｜ａ_１−ａ_０｜×１００）／ａ_０が０．１８以下である。 （もっと読む）

【課題】 高アスペクト比な金属微細構造体を高精度で容易に得ることができる微細構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】 微細構造体の製造方法は、Ｓｉ基板に第１の絶縁膜を形成する第１工程と、第１の絶縁膜の一部を除去してＳｉ表面を露出する第２工程と、露出されたＳｉ表面からＳｉ基板をエッチングして凹部を形成する第３工程と、凹部の側壁及び底部に第２の絶縁膜を形成する第４工程と、凹部の底部に形成された第２の絶縁膜の少なくとも一部を除去してＳｉの露出面を形成する第５工程と、Ｓｉの露出面より凹部に金属を電解めっきにより充填する第６工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】４以上の元素を含む試料の相解析を効率良く行えるようにする。
【解決手段】相解析画面上に表示された２元散布図（又は３元散布図）上で、分析者がマウス操作等によりプロット点の集まり（クラスター）を異なる色の囲み線ａ、ｂ、ｃで指定すると、各囲み線内に含まれるプロット点は囲み線と同色に変更される（ａ）。同時に、相解析画面上に表示された分布図上では、散布図上のプロット点に対応した位置が同色で示される。したがって、分布図上でクラスターに対応する領域がそれぞれ異なる色Ｍａ、Ｍｂ、Ｍｃで示される（ｂ）。表示される散布図が別の元素組合せのものに切り替えられても、分布図上の各位置に対応したプロット点に同じ色が与えられる（ｃ）。これにより、異なる元素組合せの散布図を関連付けることができる。また、異なる散布図上で指定したクラスターの位置を１つの分布図上で確認することができる。 （もっと読む）

【課題】４以上の多数の元素の中から相解析を行う３元素を簡便に且つ的確に選択できるようにする。
【解決手段】分析者により指定された６元素をｘ、ｙ、ｚ軸の原点を中心とする＋ｘ、＋ｙ、＋ｚ、−ｘ、−ｙ、−ｚの各方向に割り当て、８個の象限の各空間に、分析した各微小領域の３元素のＸ線強度データをプロットした３次元散布図（ＸＹＺ表示）を表示部の画面上に表示させる。３次元散布図上で分析者が任意の位置をクリック操作すると、その位置に応じた３元素が選択され、３次元散布図は、選択された３元素の３元散布図を底面としそれに直交する方向に３元素の強度和をとった三角柱状のグラフ（トライアングル表示）に変更される。同時に、相解析画面には選択された３元素の３元散布図が表示され、該散布図を用いて相解析が可能となる。これにより、簡便な操作で６元素中の任意の３元素の組み合わせを選択することができる。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線分光性能が良好なＸ線モノクロメータを提供する。
【解決手段】 Ｘ線モノクロメータ１１は、凹面を有する基板１８と、凹面上に形成された複数の細孔を有する無機酸化物膜と、を備える。無機酸化物膜の複数の細孔は、凹面の法線方向に周期的に積層されている。 （もっと読む）

【課題】従来の三元散布図では表現できなかった３元素の強度の絶対値情報を併せて表示することにより、相解析の効率化や精度向上を図る。
【解決手段】
３元素の強度を強度和で規格化した相対値を表す軸（Ａ軸、Ｂ軸、Ｃ軸）を正三角形の三辺に割り当て、その三角形が載る平面に直交する方向に３元素の強度の和を表す軸（Ｄ軸）を追加した、三角柱状の３次元空間を、マッピング分析において１箇所の微小領域で得られたデータ点をプロットする空間として設定する。そして、この３次元的なグラフを平面化して表示部の画面上に描画する。３次元的なグラフを見る方向を任意に変化可能とすることにより、従来の三元散布図上でのデータ点の位置も把握可能であるとともに、三元素の強度の絶対値も容易に知ることができる。 （もっと読む）

本発明は、試料のＸ線回折（ＸＲＤ）解析及び／又はＸ線蛍光（ＸＲＦ）解析を実行する方法であって、Ｘ線源からのＸ線を試料に照射し、走査波長選択器と波長選択器により選択されたＸ線を検出するＸ線検出器とを備えるＸＲＤ・ＸＲＦ複合検出装置を提供し、走査波長選択器を使用して試料により回折されるＸ線の固定波長を選択してＸ線検出器を使用して試料での１つ又は複数の値の回折角φでの選択された固定波長のＸ線を検出することにより試料のＸＲＤ解析を実行し、及び／又は、走査波長選択器を使用して試料により発せられたＸ線の波長を走査してＸ線検出器を使用して走査された波長のＸ線を検出することにより試料のＸＲＦ解析を実行する方法を提供する。試料のＸＲＤ解析及びＸＲＦ解析の両方を実行する装置であって、走査波長選択器と、ＸＲＤ・ＸＲＦ複合検出装置を備える装置も提供される。 （もっと読む）

【課題】被検体におけるビームの吸収の影響が少ない画像合成装置及び画像合成方法を提供する。
【解決手段】実際に検出される前方回折ビーム強度及び回折ビーム強度は、被検体Ｓａでの吸収の影響が含まれるが、これらのビームにおける被検体を通過したときの吸収による減衰率が同じであると仮定して、この減衰率と前方回折ビーム強度と回折ビーム強度で表される、減衰の影響を含まない前方回折ビーム強度及び回折ビーム強度により、被検体Ｓａを通過した際のビームの屈折角θ_０を求め、その屈折角θ_０を用いて被検体Ｓａの合成画像を得る。 （もっと読む）

【課題】散乱線内標準法を用いる蛍光Ｘ線分析方法において、油類、有機溶媒、水溶液などの液体試料における軽元素の濃度を正確に算出できる方法を提供する。
【解決手段】炭素、酸素および窒素のうちの少なくとも１元素と水素を主成分とする液体試料３Ａに１次Ｘ線２を照射し、液体試料３Ａ中の原子番号９〜２０の各元素から発生する蛍光Ｘ線４の強度と、液体試料３Ａで散乱する１次Ｘ線の連続Ｘ線の散乱線１２の強度とを測定し、各元素から発生する蛍光Ｘ線４の測定強度と１次Ｘ線の連続Ｘ線の散乱線１２の測定強度との比に基づいて、液体試料３Ａにおける元素の濃度を算出する蛍光Ｘ線分析方法であり、１次Ｘ線の連続Ｘ線の散乱線１２の波長を、各元素から発生する蛍光Ｘ線４の波長よりも短く、かつ、液体試料３Ａにおける組成の変動範囲内で、１次Ｘ線の連続Ｘ線の散乱線１２についての測定強度と質量吸収係数とが反比例するように、設定する。 （もっと読む）

【課題】チタンを屋根、壁材のような大気環境中で使用した場合に発生する変色の程度を、表面皮膜の性質（材料学的特徴）の観点から簡便に評価する方法を提供するものである。
【解決手段】表面に酸化皮膜が形成されているチタンについて、以下の方法で求めた当該酸化皮膜の結晶サイズ（ｎｍ）：ｔからチタンの大気環境中における耐変色性を評価する方法である。
（ステップ１）Ｘ線入射角度を２度以下の低角度に保った条件で大気環境中保持前である初期状態のチタン表面のＸ線回折図形の測定を行う。
（ステップ２）得られたＸ線回折図形で、散乱ベクトル：ｑが、５＜ｑ＜３０ｎｍ^-1の範囲に観察されるピークの半値幅：ｗより次式により結晶サイズ：ｔを求める。
ｔ＝０．９λ／（ｗｃｏｓθ_B）（式１）、ｑ＝４π（ｓｉｎθ_B）／λ （式２）
ここで、λ：使用した単色Ｘ線の波長（ｎｍ）、θ_B：ブラッグ角である。 （もっと読む）

【課題】極めて短時間に且つ簡単に試料分析を行う。
【解決手段】 電子ビーム照射により試料４表面から発生し、Ｘ線分光器７のＸ線検出器に検出された特性Ｘ線信号に基づくスペクトルを表示装置１７の表示画面上に表示させる様に成してあり、過去の分析に使用した分析条件に関するデータとその分析条件下で検出された信号に基づいて作成された分析データとを関連付けて記憶する記憶手段１６、分析データに関係するパラメータの数値範囲を選択可能に表示手段１７に表示させるパラメータ表示指令部９Ｐ、表示されたパラメータから分析データに関係するパラメータの数値範囲を指定する指定手段１８、及び、指定されたパラメータの数値範囲が含まれる分析データに関係づけられた分析条件データを記憶手段１６に記憶されたデータから抽出し、表示手段１７に表示させる分析条件抽出手段２１を備えている。 （もっと読む）

【課題】分析パラメータを少しずつ変更しながら分析を繰り返して適切な分析条件を見い出す作業を行う際の、分析者の負担を軽減し作業効率を改善する。
【解決手段】分析パラメータを情報として含む分析条件ファイルに、ＩＤとその下位のバージョン情報とを属性情報として付与する。分析者が目的とするファイルを読み出してパラメータを適宜編集し（Ｓ１〜Ｓ３）、そのファイルを用いた分析実行指示やファイル保存の指示を行うと（Ｓ４、Ｓ５でＹｅｓ）、データベース管理部はバージョン情報を自動的に更新し（Ｓ７）、ＩＤは元のままで更新されたバージョン情報を属性として、編集後のパラメータを含む分析条件ファイルをデータベースに新規保存する（Ｓ８）。これにより、編集後のパラメータを含む分析条件ファイルが編集前のパラメータを含む分析条件ファイルとは別に確実に保存される。 （もっと読む）

【課題】炭素系材料中のｓｐ^２炭素−炭素結合量とｓｐ^３炭素−炭素結合量との概算的な割合を精度よく求めることができる炭素系材料の分析方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線吸収分光法により炭素系材料のｋ殻吸収端スペクトルを測定し、得られたｋ殻吸収端スペクトルから、ｓｐ^２結合量に相応する量Ａと、ｓｐ^３結合量全体に相応する量Ｂと、ｓｐ^３炭素−炭素結合以外のｓｐ^３結合量に相応する量Ｂ１とを求め、前記量Ａをｓｐ^２炭素−炭素結合量とみなし、前記量Ｂから前記量Ｂ１を引いた量Ｂ２をｓｐ^３炭素−炭素結合量に相応する量とみなして、ｓｐ^２炭素−炭素結合量とｓｐ^３炭素−炭素結合量との概算的な割合を求める。 （もっと読む）

【課題】一般的なＸ線源を用いて、高精度なＸＡＦＳ測定を行う。
【解決手段】Ｘ線源２は、少なくとも所定のエネルギ帯域の成分を含むＸ線を放射する。集光素子３は、Ｘ線源２から放射されたＸ線を集光する。試料台４は、集光素子３によるＸ線の集光位置Ｆに対して、サンプル１０を進入退避可能に載置する。分光結晶５は、集光位置Ｆから発散するＸ線を斜入射することにより、そのＸ線を分光する。検出装置６は、分光結晶５により分光されたＸ線の強度分布を検出する。演算装置７は、検出装置６によって検出された強度分布に基づいて、サンプル１０のＸ線吸収スペクトルを演算により求める。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウェーハ上の欠陥の分析に特に有利であり、自動化による製造プラント内でのウェーハのインライン検査に適するシステムを提供する。
【解決手段】 バックグラウンドに起因するｘ線信号を定量的に考慮する欠陥のＥＤＸ自動分析用システムを用いる。本システムは、バックグラウンドと欠陥のｘ線サンプリングに適切な場所を自動的に同定することができる。本システムは、また、バックグラウンドに起因し欠陥に起因しない信号を効果的に、かつ定性的ではなく定量的に除去することができる。『微量分析』と呼ばれる有利な特徴が本システムのスループットを高くすることを可能にする。 （もっと読む）

【課題】 特許文献１に記載された手法と比較して、検出器の画素サイズに対しＸ線の移動量検出範囲が十分に取れるＸ線撮像装置等を提供する。
【解決手段】 本発明のＸ線撮像装置は、Ｘ線を空間的に線状に分割する分割素子を有する。また、分割素子により分割され、被検知物により位置が変化したＸ線の一部を遮蔽する遮蔽手段を有する。この遮蔽手段は、Ｘ線を透過する領域とＸ線を遮蔽する遮蔽素子を備えた領域とを有する。Ｘ線を透過する領域と遮蔽素子を備えた領域との境界線が前記線状に分割されたＸ線を横切るように斜めに配されて構成されている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造でワーク領域を小さくでき、波長走査範囲の広い波長分散型の分光器を提供する。
【解決手段】試料４３から放出される試料４３の特性を示す電磁波を回折する分光素子５２と、この分光素子５２をこの分光素子５２の表面を軸として回転させる分光素子回転機構（６１-1，６２-1）と、分光素子５２で回折された電磁波をそれぞれ異なる波長領域で検出する複数の検出器５３-1，５３-2，……，５３-nと、分光素子回転機構（６１-1，６２-1）と回転軸を共有し、複数の検出器を分光素子５２の回りで移動させる検出器回転機構（６１-2，６２-2）とを備える。検出器回転機構（６１-2，６２-2）のオフセット角度を変えることで、複数の検出器を切り替え可能とする。 （もっと読む）

【課題】 分光可能な特性Ｘ線を発する元素及び分光可能な分光素子を一覧でき、容易に分析条件を選択できる分析条件選択支援装置及び分析条件選択支援方法を提供する。
【解決手段】分光素子のボタンを配列した分光素子選択部と元素のボタンを配列した元素選択部を有する分析条件選択画面を表示させる選択画面表示手段３１、元素が発する特性Ｘ線と分光素子の関係の情報を格納した分光範囲記憶装置２６、分光範囲記憶装置２６から情報を読み出し、分光素子選択部で指定された分光素子によって分光可能な元素のボタンに対し、特性Ｘ線の種類を元素のボタンに分類表示させる元素選択部表示手段３２、分光範囲記憶装置２６から情報を読み出し、指定された元素によって発せられる特性Ｘ線の種類を元素の特性Ｘ線を分光可能な分光素子のボタンに分類表示させる分光素子選択部表示手段３３とを備える。 （もっと読む）