【課題】副次的に発生し検出されるＸ線を低減させて、検出下限を改善した蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】蛍光Ｘ線分析装置１は、一次Ｘ線Ａを照射するＸ線源２と、中央部に貫通孔７を有したコリメータ６が前面に置かれた検出器３とを備え、試料Ｓに一次Ｘ線Ａを照射して、試料Ｓから発生し、コリメータ６の貫通孔７を通過する一次蛍光Ｘ線Ｂを検出器３で検出するものである。Ｘ線源２及び検出器３は、試料Ｓに近接して配置され、一次Ｘ線Ａが試料Ｓで散乱した一次散乱線Ｃ、及び試料Ｓから発生した一次蛍光Ｘ線Ｂが照射されるＸ線源２または検出器３の被照射面９は、一次散乱線Ｃ及び一次蛍光Ｘ線Ｂの照射により発生する二次散乱線や二次蛍光Ｘ線を低減する二次Ｘ線低減層１０、１１、１２によって覆われている。 （もっと読む）

【課題】光学顕微鏡によって検出した分析位置におけるＸ線分析において、試料の移動、および試料の移動に伴う分析対象位置の位置合わせを要することなくＸ線分析を行う。
【解決手段】光学顕微鏡の対物レンズと、Ｘ線分析装置のＸ線発生器とを、同一光軸上で切り換え自在とすることによって、光学顕微鏡によって検出した分析位置に対して、試料の移動、および試料の移動に伴う分析対象位置の位置合わせを行うことなく、同じ試料位置のままでＸ線発生器からの一次Ｘ線を照射し、試料から放出される特性Ｘ線を検出しＸ線分析する。複合装置１は、光学顕微鏡系２とＸ線分析系３とを備えると共に、光学顕微鏡系２とＸ線分析系３が共有する回転自在のレボルバ５を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、良品から不良品への経時変化を同一試料、同一視野で追跡し、不良発生のメカニズムを観察することのできる内部構造観察用又は電子顕微鏡用の試料ホルダーを提供することにある。
【解決手段】本発明は、内部構造観察用の試料ホルダーであって、試料ホルダー本体と、複数本の探針と、試料を保持する試料保持台を有し、前記探針及び試料の少なくとも一方を移動可能とする圧電素子と、前記探針に接続され、前記試料に電圧を印加する配線を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】外乱が現れているＸ線撮影画像においても、被測定物に生じている亀裂の位置やその深さを精度良く検出することを目的とする。
【解決手段】本発明は、被測定物のＸ線撮影画像から注目部位を抽出する注目部位抽出部１１と、注目部位の輝度およびその近傍領域の輝度に基づいて、注目部位の特徴量を決定する特徴量決定部１２と、特徴量に応じて、注目部位の亀裂深さを決定する亀裂深さ決定部１３とを具備する検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】分析時間の短縮を図れるとともに分析対象体表面のコンタミネーションの発生を抑制して分析精度の向上を図れるといった、優れた電子顕微鏡装置と共に用いる分析装置を提供する。
【解決手段】
電子顕微鏡装置Ｐが電子線を照射した際に試料Ｓから放射され且つ前記電子顕微鏡装置Ｐでの解析に用いるエネルギー線とは別のエネルギー線に関するデータを一時的に記憶するデータ記憶部１と、電子線照射条件に変化が生じたか否かを監視する電子線照射条件変化監視部２と、前記試料Ｓの分析を前記別のエネルギー線を利用して行う際に、前記電子線照射条件変化監視部２を参照し前記電子線照射条件に変化が生じていないとの監視結果を得た場合には、前記データ記憶部１に一時的に記憶している前記別のエネルギー線に関するデータを読み出して、前記試料Ｓの分析に用いるエネルギー線分析部３と、を具備して成ることを特徴とする電子顕微鏡装置Ｐと共に用いる分析装置。 （もっと読む）

【課題】高分解能を維持しつつ、短い撮影時間で欠陥の画像情報を取得する荷電粒子ビーム検査方法および装置を実現する。
【解決手段】第１の撮影領域および第１の照射条件を用いた低倍率の第１の欠陥画像情報８６および参照画像情報８７を、すべての欠陥位置で求め、これらの画像から欠陥の高精度欠陥位置情報求め、この高精度欠陥位置情報に基づいて、高倍率の第２の撮影領域および第２の照射条件を設定し、すべての第２の欠陥画像情報８８を取得することとしているので、第１および第２の照射条件を一度切り替えるだけで、すべての撮影を終了し、かつ第２の照射条件を電流の小さいものとして分解能の低下を防止し、高分解能を維持したまま撮影時間を短いものとすることを実現させる。 （もっと読む）

【課題】小型・長寿命で低コストの検出機能主体の物品検査装置とこれに通信可能な汎用のデータ処理装置を併用することで、簡素かつ高負荷処理要求に応え得る低コストの物品検査システムを提供する。
【解決手段】物品検査装置１Ａ〜１Ｃは、被検査物Ｗの品質状態に対応する検出情報を出力する検出手段１０と、その情報に基づき被検査物の識別情報と検出情報を含む個別検出情報を生成・送信すると共にそれに対応する検査処理の結果情報を受信入力する第１の通信処理手段と、その入力情報に基づいて被検査物Ｗを選別排出するか否かを指令する選別指令手段とを備えており、データ処理装置５０は、個別検出情報に基づき被検査物Ｗごとに所定の検査の処理を実行する検査処理手段５１と、個別検出情報を受信する一方、検査処理の結果情報を対応する物品検査装置１に送信する第２の通信処理手段５３とを備える。 （もっと読む）

【課題】
半導体ウェハ等の試料上に存在する欠陥の画像を自動収集かつ自動分類する装置において，ユーザの要求によりその分類クラスが多数になる場合や，またその基準が高頻度で変更される場合でも，容易に対応可能な分類システムを提供する。
【解決手段】
ユーザが分類クラスを定義する際に，各分類クラスが持つ属性を指定する仕組みを設ける。分類システムは各クラスが持つ属性を基に，内部のルール分類器と教示分類器との結合形態を自動変更し，ユーザの分類基準に合わせた分類システムを自動構築する。 （もっと読む）

【課題】
欠陥の特徴を的確に提示することが可能な欠陥画像表示画面を提供する。
【解決手段】
欠陥のサムネイル表示画面において、検査情報や欠陥種類等から、欠陥毎にその欠陥の特徴を最も顕著に表すような画像を決定し、表示する。また、欠陥の詳細表示画面において、検査情報や欠陥種類等を基に、その欠陥の特徴を顕著に表すように表示する画像やその画像の表示順序を定め、表示する。さらに、欠陥画像撮像中または欠陥画像撮像後に、予め指定した規則に基づいて別の欠陥画像取得装置や別の撮像条件により表示用の画像を撮像するためのステップを撮像シーケンスに追加する。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡内部に光学顕微鏡を組み込んだ装置を用いなくても既存の電子顕微鏡で、光学顕微鏡で観察した試料の特定部位を迅速に探索・観察することが可能なマスク及びそれを用いた方法を提供すること。
【解決手段】光学顕微鏡により観察した試料の特定部位が、少なくとも表面が導電性材料からなるマスク、あるいは、厚さ０．１８ｍｍ以下の非導電性材料からなるマスクに設けた穴の中に入るように、前記光学顕微鏡の試料台上で前記マスクを前記試料上に載置することにより、前記マスクの穴から前記試料の特定部位を電子顕微鏡で迅速に探索することができる。これにより、光学顕微鏡により観察した試料の特定部位を迅速に観察することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 被測定物の全ての測定点の位置を容易に把握することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 被測定物Ｓを配置するステージ１４と、被測定物Ｓの所定の領域の透視Ｘ線像を撮影するＸ線検出器１２とＸ線検出器１２に向けて透視用Ｘ線を照射するＸ線源１１とを有するＸ線測定光学系１３と、ステージ１４を移動させるステージ駆動機構１６と、透視Ｘ線像に基づいて作成されたＸ線画像と被測定物Ｓの所定の領域を含むマスター画像との画像表示が行われる表示装置２３とを備えるＸ線検査装置１であって、マスター画像の特定の位置に測定点情報の画像表示を行うティーチング情報記憶制御手段３５を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】温度変化によって膨張、収縮したとしても保持している試料の位置を変化させること無く、正確に位置決め、保持することが可能な試料保持機構、及び、この試料保持機構を備えた試料加工・観察装置に提供する。
【解決手段】試料加工・加工観察装置１は、試料保持機構２０を備えている。試料保持機構２０は、試料Ｓを保持する試料ホルダ２１と、試料ホルダ２１を着脱可能に支持するベース２２とを備える。これらの間には、回転可能に支持する回転支持部２７と、回転中心２７ａからＸ方向に向って摺動可能に支持するスライド支持部２８と、Ｘ方向及びＹ方向に摺動可能に支持する当接支持部とが、着脱可能に設けられている。上面２１ａには、回転中心２７ａからＹ方向及びＸ方向に沿って配置され、試料Ｓの一辺Ｓ１及び他辺Ｓ２に当接するＸ方向位置決めピン３１及びＹ方向位置決めピン３２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】注目部位のＸ線光軸方向の位置を正確に求め、透視拡大率の正確な値を求めることができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 傾動機構１６と、被測定物の注目部位Ｓｐを基準状態で撮影した基準画像記憶部３６と、注目部位Ｓｐの傾斜状態形成部１６、３３と、基準状態でＸ線光軸とステージ面とが交差する交点Ｐ_１が傾斜状態のときのＸ線光軸とステージ面との交点Ｐ_２となるように、Ｘ線光軸の傾動動作に連動してステージを移動させるステージ追尾移動部１５、３４と、傾斜状態で撮影した画像を蓄積する傾斜画像記憶部３７と、基準画像から特徴情報を抽出する特徴情報抽出部３８と、特徴情報に基づいて傾斜画像中の注目部位を探索する注目部位探索部３９と、基準画像と傾斜画像との画像上の位置により注目部位の移動量（Ｄ）を算出する移動量算出部４０と、移動量（Ｄ）に基づいて注目部位の光軸方向の位置を算出する光軸方向位置算出部４１とを備える。 （もっと読む）

【課題】等速ジョイントの内部潤滑グリースの移動状態を正確に調べることができる方法とし、グリースの移動性からみたグリースの当該等速ジョイントとの適合性、さらにはグリースの寿命や劣化状態、取替え時期などを判別できる等速自在継手内部グリースの適性検査方法とすることである。
【解決手段】潤滑グリースを内部に保持した等速自在継手の内輪の軸線を外輪の軸線に対して所定角度だけ傾け、その際に内輪と外輪のいずれか一方を他方に対して１回転以上回転させた後、内・外輪の軸線を同一線上に一致させてから等速自在継手の所定方向からＸ線透過像を撮影し、予め前記回転する以前に内・外輪の軸線が同一線上に一致させた状態で前記所定方向からの等速自在継手のＸ線透過像を撮影しておき、前記回転前後のＸ線透過像における濃色域の面積変化およびその位置変化を比較して潤滑グリースの移動量と存在位置を調べることにより潤滑グリースの適性を検査することからなる等速自在継手内の潤滑グリースの検査方法とする。 （もっと読む）

【課題】被検査物の寸法を測定して被検査物がある程度決まった寸法のものか否かを検査する。
【解決手段】幅算出手段１９ａは、Ｘ線検出器１０の素子間の距離に対し、Ｘ線発生器９から被検査物Ｗの表面までの距離Ｙ１とＸ線発生器９からＸ線検出器１０までの距離Ｙ２との比率を乗じた値を濃度データに対する搬送幅方向Ｙの単位寸法とし、この搬送幅方向Ｙの単位寸法を基に被検査物Ｗの搬送幅方向Ｙの各種幅寸法を算出する。長さ算出手段１９ｂは、搬送速度を繰り返し速度で除算した値を濃度データに対する搬送方向Ｘの単位寸法とし、この搬送方向Ｘの単位寸法を基に被検査物Ｗの内容物の搬送方向Ｘの各種長さ寸法を算出する。この算出による得られる被検査物Ｗの外形寸法が設定入力手段１５から設定された外形寸法の許容範囲外のときに被検査物Ｗを寸法不良と判別する。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線画像を用いた算術演算や論理演算を実行しようとする場合に、直感的に演算内容を把握することができる入力画面を表示するようにしたＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線画像を用いてそのＸ線画像に対する算術演算や論理演算の画像処理を行う機能を備えたＸ線検査装置１であって、実行する演算の種類を入力する演算子入力部６２とその演算の対象となるＸ線画像を入力する項入力部６１とが演算式を構成するように表示される演算式入力画面２を表示するようにして演算の種類およびＸ線画像の入力を促す演算入力画面表示制御部３４を備える。 （もっと読む）

【課題】半導体装置に電子線を所定の間隔で複数回照射して、接合リーク不良発生箇所を特定でき、半導体製造工程途中のウエハで本検査を実行することにより接合形成プロセス条件の最適化を行うことができる検査方法及び装置、半導体の製造方法を提供する。
【解決手段】工程途中のウエハに対して、接合が逆バイアスになる条件で、電子ビームを所定の間隔で複数回照射し、逆バイアスにおける帯電緩和の時間特性の差をモニタする。接合リークが発生した箇所は正常部よりも短時間に帯電が緩和するので、正常部と不良部で電位差が生じ、電位コントラスト像で明るさの差として観察される。この画像を取得し、リアルタイム画像処理を施し、不良部の位置と明るさを記憶する動作を順次繰り返すことにより、指定領域の自動検査を実施できる。不良部の画像、明るさ、分布等の情報は、検査後自動的に保存・出力される。 （もっと読む）

【課題】 測定点間を移動する際の被測定物とＸ線測定光学系との衝突を予測し、衝突防止を図る。
【解決手段】 Ｘ線源１１とＸ線検出器１２との間に被測定物Ｓが位置するように被測定物を載置するためのステージ１４と、駆動機構１５とを備え、ステージ上に載置された被測定物の複数の測定点についてのＸ線検査を行うＸ線検査装置１において、光学カメラ画像に基づいて被測定物の立体形状を抽出する立体形状抽出部３６と、測定点に関する位置情報の入力を受ける測定点情報入力部３７と、測定点間を最短経路で移動させるときに移動中の被測定物が通過する範囲を抽出する通過範囲抽出部３８と、Ｘ線測定光学系１３と被測定物の通過範囲との位置関係とに基づいて衝突可能性を判定する衝突判定部４１と、衝突可能性がある場合に回避ルートを算出する回避ルート算出部４２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線画像全体の中でのポインタの現在位置を確認しながら、所望の画素を精度よく指定することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線測定光学系１３で撮影した映像信号に基づいて作成したＸ線画像２４ａを表示装置のモニタ画面に表示するＸ線検査装置であって、モニタ画面に表示されたＸ線画像上の任意の位置を指定するためのポインタ２３ａをモニタ画面上に表示するポインティングデバイス２３を備えるとともに、ポインタ２３ａにより指定される位置近傍の部分拡大Ｘ線画像２４ｃを、前記Ｘ線画像２４ａの上に重ねるようにして表示する部分拡大画像表示手段３６、４３とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ポインティングデバイスを用いた簡単な操作で所望の測定位置、測定角度に視野調整することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 被測定物の外観画像を表示してポインティングデバイス２３によるステージの並進移動の指示を促す外観画像表示領域２４ｂ、２４ｃと、回転角およびＸ線光軸の傾動角の指定が可能な観察方位図を表示してポインティングデバイス２３によるステージの回転移動とＸ線測定光学系の光軸の傾動との指示を促す観察方位図表示領域２４ｄとの表示を行う操作画面表示制御部を備える。 （もっと読む）