【課題】コンテナー内に提供された骨セメント材料の硬化を監視する装置を提供する。
【解決手段】コンテナー内に提供された骨セメント材料の硬化を監視する装置は、骨セメント材料の温度に基づくコンテナー内のある種類のセメント材料が硬化するのに要する時間に関連するデータが記憶されたメモリ装置を含む。データプロセッサは、セメント材料の温度に関連するデータ、および、硬化の程度に関連するメモリ装置内のデータ、に基づいて、セメント材料が硬化するのに要する時間を計算するのに用いられる。出力装置は、コンテナー内のセメント材料の硬化の程度に関連する、データプロセッサからのデータ用に、設けられている。 （もっと読む）

【課題】 蛍光Ｘ線分析装置において、試料の位置合わせを容易にかつ正確に実現することにある。
【解決手段】 蛍光Ｘ線分析装置１は、試料が搭載される試料ステージ５を有する筐体４と、筐体４内に配置され試料にＸ線を照射するＸ線管８と、筐体４内に配置され試料からの蛍光Ｘ線を検出する検出器１１と、筐体４内に配置され試料にレーザー光を照射するレーザー９とを備えている。 （もっと読む）

【課題】半導体製造工程途中のウエハ検査で、高分解能を維持して浅い凹凸、微小異物のレビュー、分類を高精度に行う目的で、二次電子を検出系の中心軸を合わせると共に、検出系の穴による損失を避けて高収率な検出を実現する。
【解決手段】高分解能化可能な電磁界重畳型対物レンズにおいて、試料２０から発生する二次電子３８を加速して対物レンズ１０による回転作用の二次電子エネルギー依存性を抑制し、電子源８と対物レンズ１０の間に設けた環状検出器で二次電子の発生箇所から見た仰角の低角成分と、高角成分を選別、さらに方位角成分も選別して検出する際、加速によって細く収束された二次電子の中心軸を低仰角信号検出系の中心軸に合わせると共に、高仰角信号検出系の穴を避けるようにＥｘＢで二次電子を調整・偏向する。 （もっと読む）

【課題】 化合物の結晶粒を確実に識別して、その構造解析を容易に行うことができる化合物の観察方法及び該方法に用いる着色溶液を提供すること。
【解決手段】 Ｘ線回折実験において、試料である化合物の結晶画像を撮影し、撮影した画像により結晶を観察しながら試料のＸ線照射位置決め作業を行うに際し、結晶を着色溶液６に入れた後、結晶を着色溶液６とともにすくい上げて固化し、結晶に透過光を照射して結晶画像を撮影するようにした。 （もっと読む）

【課題】粒子統計が著しく改善されたＸ線透過回折分析方法および装置の提供。
【解決手段】サンプルを基板に配置する段階、中心部分が平面に沿って延在する帯形Ｘ線ビームをＸ線放射線源により生成する段階、サンプルがビームの経路内となり、サンプルの薄片部がビームによって照射される初期位置に、基板およびサンプルを配置する段階、基板の初期位置に対する基板の以下の運動、すなわち、基板に垂直な回転軸線の周りの回転であって、所定の回転角にわたる基板およびサンプルの回転と、傾斜軸線の周りのビームの中心部分が延在する平面と回転軸線がなす角度として定義される傾斜角にわたる基およびサンプルの傾動であって、第１所定値と第２所定値の間で変化する傾斜角にわたる傾動とを実施する段階、及び基板の運動が実施される時間間隔の間にサンプルを透過し回折されたＸ線放射を前記検出器で検出する段階を含む。 （もっと読む）

【課題】搬送装置によって縦向状態で搬送されるタイヤを無用に移動させることなく、または向きを変えることなく検査することのできるタイヤの非破壊検査装置を提供する。
【解決手段】タイヤＴＡを縦向状態で搬送する第１の搬送装置１から搬出されるタイヤＴＡを載置台１０に縦向状態で載置するとともに、載置台１０上のタイヤＴＡを回転支持機構２０で支持して回転させ、回転しているタイヤＴＡの透過Ｘ線像を各カメラ４１，４２によって撮像するようにしたので、第１の搬送装置１によって縦向状態で搬送されるタイヤＴＡを無用に移動させることなく、または向きを変えることなく検査することができ、タイヤＴＡを移動させ、または向きを変えるための機構を設けない分だけ装置全体の小型化及び製造コストの低減を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】視野を移動させながら、目的の領域の画像を画像のぶれなどの劣化無く取得する。
【解決手段】視野を移動させながら目的の領域の前後で複数枚の画像を取得し、それらを数枚ごとのグループに分けて各グループの積算画像を作成し、積算画像同士を比較することで算出した像移動量と撮像枚数との関係式を算出する。その関係式より取得した複数枚の画像間の移動量を算出して、その移動量だけ画像を補正し積算することで、目的の領域の画像を再構成する。 （もっと読む）

【課題】 ＦＰ法で試料の組成や面積密度を分析する蛍光Ｘ線分析装置などにおいて、種々の試料について、簡便にしかもジオメトリ効果を十分現実に則し加味して理論強度を計算し、十分正確に定量分析できるものを提供する。
【解決手段】 仮定した組成に基づいて、試料13中の各元素から発生する２次Ｘ線6 の理論強度を計算し、その理論強度と検出手段9 で測定した測定強度を理論強度スケールに換算した換算測定強度とが一致するように、仮定した組成を逐次近似的に修正計算して、試料13の組成を算出する算出手段10とを備え、その算出手段10が、理論強度を計算するにあたり、試料13の大きさ、ならびに試料表面13a の各位置に照射される１次Ｘ線2 の強度および入射角φをパラメータとして、光路ごとに２次Ｘ線6 の理論強度をシミュレーション計算する。 （もっと読む）

【課題】気相分解−全反射蛍光Ｘ線法における分析精度、感度を高める。
【解決手段】複数の波長を用いた気相分解−全反射蛍光Ｘ線分析において、あらかじめ校正用試料の乾燥痕に対して求められた複数の内標準元素の定量値の相関関係である感度校正直線を利用することによって、被測定試料の乾燥痕中に添加される内部標準用元素を１種類とした場合においても、高い精度で被測定試料の乾燥痕中の元素の定量分析を可能とするものである。 （もっと読む）

【課題】後方散乱電子回折（ＥＢＳＤ）パターンの磁場歪みを修正すること。
【解決手段】後方散乱電子回折（ＥＢＳＤ）パターンの磁場歪みを修正する方法が提供される。最初に、ＥＢＳＤパターンが、電子顕微鏡内に配置された試料から生成される。顕微鏡内の磁場の所定の表現が用いられ、顕微鏡内の電子の軌道が異なった出現角度に対して計算される。次に、計算された軌道を用いて、顕微鏡の磁場が実質的に存在しない場合のＥＢＳＤパターンを表現する、修正されたＥＢＳＤパターンが、計算される。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、電子ビームを利用して、パターン像等を取得する検査装置に関し、特に、ウィーンフィルタによる収差や電子ビームの強度むらを低減することができる検査装置に関する。
【解決手段】 電子ビームの照射手段１と、試料からの二次ビームを検出する電子検出手段２と、照射手段１および電子検出手段２と、試料との間に配され、照射手段１の電子ビームを曲げて試料面に垂直照射させ、かつ試料からの二次ビームを電子検出手段２に導くウィーンフィルタ３と、検出した二次ビームから試料の画像情報を生成してコントラストを求めるコントラスト検出手段５と、照射手段１とウィーンフィルタ３との間に配置され、ウィーンフィルタ３へのビーム入射角またはビーム入射位置を変える偏向手段４とを備え、ビーム入射角またはビーム入射位置を変えて、コントラスト検出手段５のコントラストを最大にする。 （もっと読む）

【課題】原子スケールの空間分解能により元素を同定することを可能にする。
【解決手段】測定対象に対してビーム径が１ｍｍよりも小径な高輝度単色Ｘ線を照射するＸ線照射手段と、上記測定対象に対向して配置される探針と、上記探針を介してトンネル電流を検出して処理する処理手段と、測定対象と上記探針と上記測定対象に対する高輝度単色Ｘ線の入射位置とを相対的に移動するための走査手段とを備える走査型プローブ顕微鏡とを有する。 （もっと読む）

【課題】 取得した投影データの再構成画像において、擬似焦点による２重画像を防止する。
【解決手段】 ターゲット上のＸ線焦点２を頂点とし、その中心軸４がカソードから放出される熱電子流と略同軸上にある円錐形状に第１照射野２ａを形成するＸ線源１の焦点２から、上記カソードより放出される熱電子流に略直交する検出面を初期姿勢とする２次元検出器へ降ろした垂線と直角に交わる被検査体５回転軸を中心として、被検査体回転機構に載置した被検査体５をＸ線源１と二次元検出器の間で回転させ、被検査体５の投影データを取得する際、被検査体５の全部又は特定部分を、本来のＸ線焦点２による第１照射野２ａのうち擬似焦点３による第２照射野３ａの影響を受けない領域に移動して、各角度位相における被検査体５の投影データを取得する。 （もっと読む）

【課題】従来測定者が行っていた手作業を簡略化し、精度良く迅速に物質を同定することが可能な物質同定システムを提供する。
【解決手段】電子線装置に、電子線回折像観察用ＴＶカメラ１０によって取り込んだ回折像から格子面間隔を算出する電子線回折像解析部３、ＥＤＸ検出器９に接続され物質組成を求めるＥＤＸ分析部２、物質同定のための検索用データベースとデータベース検索機能を備えた物質同定部４を有する。物質同定部４は、電子線回折像解析部３から送信された格子面間隔データ、ＥＤＸ分析部２から送信された元素データをもとに検索用データベースを検索して物質を同定する。 （もっと読む）

【課題】光学顕微鏡を真空雰囲気内に設けることを不要にし、プレアライメントを行わないでアライメントを行うことができる電子線装置及び評価方法を提供する。
【解決手段】ＳＥＭの視野２３のＸ方向あるいはＹ方向の少なくとも一方の寸法をダイシングライン２１，２２の幅よりも大きくなるように設定すると共に、ローディング精度を所定の範囲内にして、該ダイシングライン２１，２２あるいは該ダイシングライン２１，２２近傍のパターン２６を利用してアライメントを行っている。また、ＳＥＭの画像に基づいて被検査領域か否かを判断する手段を有し、前記被検査領域が、ＳＥＭの視野外へ出るのを防止する方向にステージを移動させるようにしている。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で、大気圧で分析すべき試料が真空で分析されるのを防止できる蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】 真空と大気圧に雰囲気が切り替えられる分析チャンバ11内で、試料ホルダ8 に収納された試料3 に１次Ｘ線2 の照射などを行う分析装置本体10と、複数の試料ホルダ8 が載置される試料テーブル21を有し、分析装置本体10に対して試料ホルダ8 の搬出入を行う試料交換機20と、試料テーブル21における試料ホルダ8 の載置場所21a ごとに、試料3 に適用される雰囲気などの分析条件が設定される分析条件設定手段33と、その分析条件に従い分析装置本体10および試料交換機20の動作を制御する制御手段34とを備える。試料テーブル21における試料ホルダ8 の各載置場所21a に、分析チャンバ11内のいずれかの雰囲気が割り当てられており、その割り当て状況が表示手段31または試料テーブル21自体に表示される。 （もっと読む）

【課題】位置合わせ治具の観察面のピンホールから光を出すことにより，ピンホールの観察を容易にする。
【解決手段】位置合わせ治具１０は，複数の回転軸（ω軸５２とφ軸５４）を有する試料回転装置に着脱可能に取り付けることができる。この位置合わせ治具１０は，ω軸５２とφ軸５４の交点と観察装置の視野の基準点とを位置合わせするのに用いる。位置合わせ治具１０は本体１２と装着部１８と観察面１１を備えている。観察面１１にはピンホール２４が形成されている。本体１２に取り付けた光源３６からの光は，反射ミラー４０で反射してから，ピンホール２４を通って観察面１１の外部に出て行く。 （もっと読む）

【課題】カーボンナノチューブ電子源のエミッション変動や、エミッション特性の個体差による試料表面の帯電不均一を解消する。帯電制御の処理中に試料表面の帯電をリアルタイムで計測する。
【解決手段】電子照射密度の不均一に起因した帯電不均一を解消する手段として、照射する電子と試料とを相対的に移動させ、電子照射密度の平均化を行う。また、試料表面の帯電をリアルタイムでモニタする手段として、試料に流れ込む吸収電流や試料より放出される２次電子及び反射電子の数を計測する。 （もっと読む）

【課題】高精度かつ高速な半田ボール接合不良検査方法を提供する。
【解決手段】ＢＧＡパッケージとプリント基板１０３との接合部の外観検査時に、当該プリント基板に塗布されるクリーム半田部に対して該ＢＧＡパッケージの半田ボール１０４により接合する際のプリント基板１０３との接合部分のＸ線検査方法において、３次元画像データを再構成して生成された３次元画像データよりＸ線透過率を利用して半田ボール部位の画像データを抽出し、その抽出した半田ボール部位における画像データの特徴量を抽出し、当該抽出した特徴量により半田ボール１０４とプリント基板１０３の接合状態の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】 試料からのＸ線を効率的に超伝導Ｘ線検器に入射でき、かつ光軸や焦点調整が容易に実施できる超伝導Ｘ線検出装置を提供する。
【解決手段】 冷凍手段となる希釈冷凍機２と、冷却される冷却ヘッド５と、冷却ヘッド５に固定された超伝導Ｘ線検出器１とからなる超伝導Ｘ線検出装置において、超伝導Ｘ線検出器１の近傍に設けられたＸ線入射部の４Ｋ輻射熱シールド６の内壁にＸ線集光手段としてポリキャピラリー１２を接合する構造にした。 （もっと読む）