【課題】 リムとタイヤの組付け状態を、タイヤの一周に渡り短時間で連続的に測定できる、リム組付けタイヤの組付け状態測定方法を提供する。
【解決手段】 タイヤ内部構造測定装置１０に、リム３０にタイヤ５６を組み付けたリム組付けタイヤ１２を回転可能に支持し、リム組付けタイヤ１２を、押圧負荷のない無負荷状態で回転させ、Ｘ線照射装置２０からＸ線をリム３０の接線方向に照射し、Ｘ線検知装置２２により、リム３０とタイヤ５６との組付部のＸ線透過情報を所定のタイミングで取り込み、取り込んだＸ線透過情報に基づいて、画像形成処理部２８で接線方向透過画像を形成し、得られた接線方向透過画像を用いて、リム３０とタイヤ５６の特定部位の位置情報を得る。 （もっと読む）

【課題】低コストで実現可能でありながらも、比較的大きなサイズの検査対象物について、小さな異物の検出が可能なＸ線異物検査装置を提供する。
【解決手段】全体検査においては、第１のＸ線検出手段４ａは、Ｘ線の強度に応じた濃度値の画素を持ち検査対象物１の全体を含む全体透視画像を出力する。判断手段７は、全体透視画像を取得し、全体透視画像に基づいて検査対象物１中の異物の有無を判断するとともに、異物の有無が確定しなければ異物候補があると判断し再検査を開始させる。再検査においては、移動制御手段６は移動手段５を制御することで第２のＸ線検出手段４ｂを移動させる。第２のＸ線検出手段４ｂは、Ｘ線の強度に応じた濃度値の画素を持ち異物候補が含まれる検査対象物１の一部を拡大した拡大透視画像を出力する。判断手段７は、拡大透視画像を取得し、拡大透視画像に基づいて異物候補が異物か否かを判断する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線イメージ管11の電子レンズ17のフォーカスを自動的に調整できるフォーカス調整装置31を提供する。
【解決手段】電子レンズ17のフォーカス度合の指標となる治具32を、Ｘ線イメージ管11を用いて撮像する。撮像したデータから、測定手段33がフォーカス度合を測定する。測定したフォーカス度合に応じて、制御手段34が電源19から電子レンズ17に印加する電圧を調整する。 （もっと読む）

【課題】物理量検査領域の各区画毎に、物理量算出結果をそれに対応するＸ線画像と関連付けた把握容易な表示を行なうことができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線源２と、Ｘ線検出部４と、データ処理部６と、表示部２０とを備えたＸ線検査装置において、被検査物の質量検査領域を複数の区画Ａ，Ｂ，Ｃに分割し、Ｘ線検出部４からの検出情報のうち所定検出レベル範囲の検出情報を複数の区画の各区画毎に抽出して質量測定領域のＸ線画像をＸ線画像生成部１１に生成させる領域抽出処理部８と、この領域抽出処理部８で抽出された検出情報に基づいてワークＷの質量を算出する質量算出部１３と、複数の区画における質量測定領域のＸ線画像と質量算出部１３で算出された質量を示す複数のグラフ表示要素４３，４４，４５とをそれぞれ関連付けて表示部２０に表示させる表示データ生成部１５とを設ける。 （もっと読む）

【課題】高倍率の仕事関数顕微鏡を提供する。
【解決手段】仕事関数顕微鏡１は、光を放出する高輝度紫外光ランプ２と、高輝度紫外光ランプ２から放出された光を分光して試料２２の表面に導き、試料表面の仕事関数に応じた光電子放出を生じさせるダブルモノクロメータ３と、ダブルモノクロメータ３からの光が照射された試料表面の仕事関数に応じて生じた光電子放出に基づいて、試料表面のコントラスト画像を生成する光放出電子顕微鏡ユニット２３とを備え、ダブルモノクロメータ３は、前段分光ユニット４と後段分光ユニットとを有しており、前段分光ユニット４と後段分光ユニットとの少なくとも一方に、トロイダル鏡７を設けた。 （もっと読む）

【課題】担体表面に備えられるイオノマーの形態を特定し得る、イオノマーの検出方法を提供する。
【解決手段】担体３の表面に備えられるイオノマー１のイオン交換基を、金属イオンでイオン交換し、金属イオン由来の金属を検出することで、イオノマー１を検出することを特徴とする、イオノマーの検出方法。 （もっと読む）

【課題】被検査物の合否判定に使用する基準値を適切に検査者に設定させることができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物を搬送する搬送手段と、前記搬送手段によって被検査物を搬送している間に被検査物にＸ線を曝射し透過したＸ線の透過画像データに基づいた判定対象値を生成する判定対象値生成手段と、前記判定対象値と基準値とを比較して前記被検査物の合否を判定する合否判定手段とを有するＸ線検査装置において、前記判定対象値に基づいた表示対象値を記憶する表示対象値記憶手段を備え、前記表示対象値記憶手段によって記憶された複数の前記表示対象値に関するヒストグラムを表示するヒストグラム表示手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】微少量の試料であってもＸ線回折測定に用いることが可能な測定用基板を提供することを目的とする。
【解決手段】Ｘ線回折測定用シリコン基板であって、前記基板内に凹形状部分を１以上有し、前記凹形状部分の底の基板厚みが、０．１〜１００μｍの範囲であり、前記凹形状部分を除く前記基板の厚みが、２８０〜１０００μｍの範囲である基板である。 （もっと読む）

【課題】減圧環境下で使用されるセラミックス部品において、処理物への汚染の少ないセラミックス部品を検査し、有機物の汚染の少ない半導体製造装置用セラミック部品を提供する。
【解決手段】焼結体密度９８％以上であり、Ｘ線光電子分光法で表面の深さ方向の測定をし、表面から５ｎｍ以深での深さで検出される吸着有機物由来の炭素量が５ｍａｓｓ％以下であることを特徴とする半導体製造装置用セラミックス部品、更に、半導体製造装置の処理室内で曝露される主面の表面粗さが、表面平滑度でRａ１μｍ以下であることを特徴とする前記半導体製造装置用セラミックス部品である。 （もっと読む）

【課題】 ミラー電子を使って検査像を取得するミラー電子結像式ウェハ検査装置は，従来のSEM式検査装置と像形成原理が異なるため，最適な検査条件を決定することは困難であった。
【解決手段】 上記の課題を解決するため，検査速度S，検査デジタル信号像の画素の大きさD，検査画像のサイズL，時間地縁積分方式による画像信号取り込み周期P，の関係を操作画面にグラフ表示して，ユーザーが直感的に検査速度と検査感度などの諸条件を検討できるようにした。
【効果】 このグラフ表示を見ることにより，必要な検査速度を得るための，画素サイズ，検査画像の幅，TDIセンサの動作周期の値の組をユーザーが容易に決定することができる。 （もっと読む）

【課題】送電を停止させることなく、かつ劣化を促進させることなく、さらには絶縁破壊を生じさせることなく、安全かつ確実に内部の欠陥部位の特定を可能すること。
【解決手段】空隙が存在する場合、図１に示す様に交流電圧の課電（Ｖａｐｐ）に従い、空隙に加わる電圧（Ｖｇ）が変化し、当該電圧が部分放電発生電圧（Ｖｐｄ）に到達した場合に部分放電が発生する。従って、部分放電が発生している場合、課電電圧の位相において、最大値を示す領域付近で放射線を照射すれば、部分放電が発生する可能性は低い。本発明では、部分放電の発生を促すことのない電圧波形の位相領域に同期させ、電力ケーブルあるいは付属品に放射線を照射し、電力ケーブルあるいは付属品内部の放射線写真を撮影する。そして、上記撮影された画像より電力ケーブルあるいは付属品内部の欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】注目部位のＸ線光軸方向の位置を正確に求め、透視拡大率の正確な値を求めることができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 傾動機構１６と、被測定物の注目部位Ｓｐを基準状態で撮影した基準画像記憶部３６と、注目部位Ｓｐの傾斜状態形成部１６、３３と、基準状態でＸ線光軸とステージ面とが交差する交点Ｐ_１が傾斜状態のときのＸ線光軸とステージ面との交点Ｐ_２となるように、Ｘ線光軸の傾動動作に連動してステージを移動させるステージ追尾移動部１５、３４と、傾斜状態で撮影した画像を蓄積する傾斜画像記憶部３７と、基準画像から特徴情報を抽出する特徴情報抽出部３８と、特徴情報に基づいて傾斜画像中の注目部位を探索する注目部位探索部３９と、基準画像と傾斜画像との画像上の位置により注目部位の移動量（Ｄ）を算出する移動量算出部４０と、移動量（Ｄ）に基づいて注目部位の光軸方向の位置を算出する光軸方向位置算出部４１とを備える。 （もっと読む）

【課題】構成部品の増大につながるプリズムを用いることなく、ＣＣＤが放射線に晒されないようにする。
【解決手段】放射線を出射する放射線源２と、該放射線源２から出射された放射線を可視光に変換する平板状の波長変換手段３と、該波長変換手段３により変換された可視光を撮像する撮像手段４とを備え、波長変換手段３が、放射線に対して傾斜して配置され、撮像手段４が、放射線の経路外に配置されている放射線観察装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】試料の厚さや材料種類などに依存することなく、前記試料の内部欠陥や内部構造を十分な精度で観察することができる新規な方法及び装置を提供する。
【解決手段】所定の陽電子源から陽電子を放出し、所定の試料に対して照射し、前記陽電子の、前記試料を透過して得た像を透過画像として得る。この透過画像は前記試料の内部構造などを反映しているので、この透過画像を分析することにより、前記試料の内部構造などを知ることができるようになる。 （もっと読む）

【課題】等速ジョイントの内部潤滑グリースの移動状態を正確に調べることができる方法とし、グリースの移動性からみたグリースの当該等速ジョイントとの適合性、さらにはグリースの寿命や劣化状態、取替え時期などを判別できる等速自在継手内部グリースの適性検査方法とすることである。
【解決手段】潤滑グリースを内部に保持した等速自在継手の内輪の軸線を外輪の軸線に対して所定角度だけ傾け、その際に内輪と外輪のいずれか一方を他方に対して１回転以上回転させた後、内・外輪の軸線を同一線上に一致させてから等速自在継手の所定方向からＸ線透過像を撮影し、予め前記回転する以前に内・外輪の軸線が同一線上に一致させた状態で前記所定方向からの等速自在継手のＸ線透過像を撮影しておき、前記回転前後のＸ線透過像における濃色域の面積変化およびその位置変化を比較して潤滑グリースの移動量と存在位置を調べることにより潤滑グリースの適性を検査することからなる等速自在継手内の潤滑グリースの検査方法とする。 （もっと読む）

【課題】被検査物の寸法を測定して被検査物がある程度決まった寸法のものか否かを検査する。
【解決手段】幅算出手段１９ａは、Ｘ線検出器１０の素子間の距離に対し、Ｘ線発生器９から被検査物Ｗの表面までの距離Ｙ１とＸ線発生器９からＸ線検出器１０までの距離Ｙ２との比率を乗じた値を濃度データに対する搬送幅方向Ｙの単位寸法とし、この搬送幅方向Ｙの単位寸法を基に被検査物Ｗの搬送幅方向Ｙの各種幅寸法を算出する。長さ算出手段１９ｂは、搬送速度を繰り返し速度で除算した値を濃度データに対する搬送方向Ｘの単位寸法とし、この搬送方向Ｘの単位寸法を基に被検査物Ｗの内容物の搬送方向Ｘの各種長さ寸法を算出する。この算出による得られる被検査物Ｗの外形寸法が設定入力手段１５から設定された外形寸法の許容範囲外のときに被検査物Ｗを寸法不良と判別する。 （もっと読む）

【課題】X線管のX線主放射方向とターゲット傾斜面との間の角度を可変とする。
【解決手段】X線管10の外囲器16の大径部40と陽極絶縁部44との間に蛇腹状に形成された可撓筒状部50を設ける。陽極12の陽極端30に引張力を与えることにより、外囲器16の可撓筒状部50が撓み（右側50aが伸長し、左側50bが収縮する）、陽極12の中心軸27がX線主放射方向51に対して傾き、X線主放射方向51とターゲット18の傾斜面28とが作るターゲット角度５２が増加するので、その結果X線照射範囲は増加する。また、陽極12の陽極端30にかける引張力を変えることにより、ターゲット角度52及びX線照射範囲の増加を変化させることができる。 （もっと読む）

【課題】ＷＣ基超硬合金に存在するＶとＷとＣｒを含む複炭化物相の面積率の測定方法を提供する。
【解決手段】ＷＣ基超硬合金の複炭化物相の面積率を測定する方法であって、第１の手段はＷＣ基超硬合金の鏡面仕上げ面を作成する手段、第２の手段はＥＰＭＡのマッピング機能により複炭化物相のラインプロファイルを採取する手段、第３の手段はＴＥＭにより複炭化物相の形態とその寸法値を測定する手段、第４の手段は該ラインプロファイルと該寸法値より、複炭化物相のラインプロファイルの閾値を設定する手段、第５の手段は、複数の画像を閾値により２値化し、画像処理することにより複炭化物相の面積率を演算によって求める手段であり、該第１から該第５の手段を有する事を特徴とするＷＣ基超硬合金の複炭化物相の面積率の測定方法である。 （もっと読む）

【課題】 水質の評価において、被測定水中に含まれる含有物が通水量や時間に対して、評価基板への付着依存性があっても、付着成分や量を正確に評価できる評価方法を提供することを目的としたものである。
【解決手段】 複数の評価基板に被測定水をそれぞれ所定の量、所定の時間接触させて、上記評価基板に付着した付着物を分析することにより、上記被測定水中の含有物の評価基板への付着依存性があっても、精度よく被測定水の水質を評価できるようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】収束電子回折法を利用した格子歪み及び応力測定法において、HOLZ線の特定精度を高くして、測定精度を高くする
【解決手段】被測定物である結晶材料２に収束電子１を入射して得られるホルツ（HOLZ）図形のHOLZ線の位置に応じて、結晶材料の格子歪みを定量化する格子歪み測定方法において、ホルツ図形から抽出される複数の点の座標をハフ変換してハフ変換画像に置き換え、複数のハフ変換画像の多重点を抽出し、当該多重点を逆変換してホルツ図形のホルツ線を特定する。そして、特定されたホルツ線の位置に応じて、結晶材料の格子定数を定量化する。測定作業者による恣意的なホルツ線の特定工程を伴わずに、所定の演算工程によりホルツ線を特定することができるので、ホルツ線の特定精度を高くすることができる。 （もっと読む）