【課題】 本発明は探針による試料電位分布像の取得方法及び装置に関し、試料の微小電圧変動を捉えることが可能な探針による試料電位分布像の取得方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 試料１４のパターン面に接触させる第１の探針と第２の探針とからなる２本の探針１１，１２と、試料１４上を電子ビーム又はイオンビームで走査する走査手段と、試料１４上の任意の位置の電位を前記２本の探針を用いて検出する電位検出手段１８と、該電位検出手段１８の出力と電子ビーム又はイオンビームとを同期させて試料電位分布像を取得する取得手段２１とを有して構成される。 （もっと読む）

【課題】 画像を動的に最適化するためのイメージング・システムを提供する。
【解決手段】 本イメージング・システム（１０）は、放射線源（１２）と、シンチレータ組立体（２４）への放射線入射に基づいて画像信号を発生するように構成された検出器組立体（１４）とを含む。発生した画像信号の少なくとも１つ又はそれ以上の特性は、検出器組立体への放射線入射により決定される。画像信号の１つ又はそれ以上の特性はまた、１つ又はそれ以上の検出器動作パラメータ（４０）により決定することができる。イメージング・システム（１０）はまた、生成した画像信号（５０）に基づいて１つ又はそれ以上の検出器動作パラメータ（４０）を調整するように構成された検出器調整回路（３４）を含む。 （もっと読む）

【課題】 簡単に目的とする分析エリアについてのみ分析を行うことができ、最適な分析条件を決定することができる生体組織中の微量元素分析装置、試料台及びこれを用いた分析方法を提供する。
【解決手段】 Ｘ線マイクロアナライザーで分析する生体組織の分析エリアを決定する分析エリア決定手段21を備えた。また、分析エリア決定手段21で決定された生体組織の分析エリアにおける分析条件を決定する分析条件決定手段31を備えた。さらに、生体組織の染色画像を取得する染色画像取得手段51と、染色画像取得手段51で得られた生体組織の染色画像とＸ線マイクロアナライザーで得られた微量元素分布画像とを合成する画像合成手段41とを備えた。
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【課題】
ウェハ上の大多数を占める，レビューしていない欠陥の情報を有効活用するため，欠陥分類方法において、レビューしていない欠陥に対してレビューした欠陥と同じ定義の欠陥クラスを付与すること。
【解決手段】欠陥検出時の検査装置の欠陥に関する欠陥データとレビュー済み欠陥のレビュー装置のADCで与えられた欠陥クラスを用いて，レビューしていない欠陥に対して同じ定義の欠陥クラスを付与する。
【効果】全欠陥にADCで定義した，詳細な欠陥クラスが与えられることで，欠陥の発生原因を推定する上でより詳しい解析を行うことができる。 （もっと読む）

【目的】マイクロフォーカスＸ線ＣＴ装置を用いた測定方法の改良に関し、より詳しくは撮影視野が狭くとも、年輪年代測定や密度測定に必要な画像幅を取得することが可能な測定装置及び測定方法を提供すること。
【構成】 試料をＸ軸方向に移動させる移動手段。試料をＹ軸方向に移動させる移動手段、試料を固定する固定手段、Ｚ軸方向に試料を移動させる移動手段、試料の断層面を傾斜させるための傾斜手段、試料をＺ軸方向の軸廻りに回転させる回転手段より構成した。センターセットフルスキャン、オフセットフルスキャン、センターセットハーフスキャン、マルチスライス法あるいはコーンビーム法で撮影する。 （もっと読む）

【課題】 被検査体に含まれる物質を効率良く検査することができる分析システム、分析装置、コンピュータプログラム、及び記録媒体を提供する。
【解決手段】 コンピュータ３０は、発注した部品の受入時に部品発注用のコンピュータ４０から入力された電子部品の品目に基づいて、検査要件情報データベース（４１２）を検索し、前記品目に関連付けて記憶された検査要件情報に基づいて、検査内容を示す検査内容情報を作成し、検査内容情報データベース（３６１）に記憶するととともに、検査内容情報を表示部（３５）に表示する。検査内容情報に応じて電子部品の検査部位にＸ線を照射し、検出した検出データに基づいて検査対象元素の濃度を分析し、検査結果を検査結果データベース（３６２）に記録する。 （もっと読む）

【課題】 製品出荷時における製品の状態を、高い信憑性のもとに証明することのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 検査対象物品Ｗを特定できる特徴部分もしくは全体像を撮影する光学撮影手段５を設け、この光学撮影手段５により撮影した検査対象物品Ｗの光学像と、検査対象物品ＷにＸ線を照射して得たＸ線透視像とを相互に関連づけて記憶する記憶手段１３を備えることにより、製品出荷時におけるＸ線透視像と実際の製品とを高い客観性および信憑性のもとに関連づけることを可能とし、公正なトレーサビリティを実現する。 （もっと読む）

【課題】 分析中や分析後でも、分析結果の信頼性を損なう試料の帯電が生じていることを簡単に知ることができる電子プローブＸ線分析装置を提供する。
【解決手段】 試料に帯電が生ずると、照射電流値Ipに対する試料吸収電流値Iaの割合が急激に低下する現象を利用して帯電の有無を判定する。図の照射電流検出器１８によって分析開始前に照射電流値Ipが検出され、分析中は試料１１から取り出される試料吸収電流Iaを電流測定回路１９で測定する。制御／演算装置１４は照射電流値Ipに対する試料吸収電流値Iaの割合Ia/Ipを求め、データベース１５の予め定めておいた帯電の判定条件データと比較して帯電の有無を監視する。帯電が生じていると判定した場合、分析経過中に表示装置１６に表示し再測定を促したり、分析終了後に分析結果とともに帯電の有無の判定結果を表示したりすることにより、信頼性の高い分析結果を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線光学素子の位置決め精度を緩和でき、可干渉性の低いＸ線源でもＸ線干渉を実現でき、一般用途への実用化が図られるＸ線シアリング干渉計を提供する。
【解決手段】Ｘ線シアリング干渉計は、Ｘ線を分割するＸ線分割光学系１０と、Ｘ線分割光学系１０によって分割されたＸ線を干渉させるＸ線干渉光学系２０などで構成され、Ｘ線分割光学系１０とＸ線干渉光学系２０との間には物体Ｗが配置され、Ｘ線分割光学系１０は、間隔Ｄ１で配置された一対の人工格子１１，１２と、人工格子１２からの回折Ｘ線のうち所望の回折Ｘ線だけをブラッグ回折によって選択する結晶格子１３を含み、Ｘ線干渉光学系２０は、間隔Ｄ２で配置された一対の人工格子２１，２２と、人工格子２２からの回折Ｘ線のうち所望の回折Ｘ線だけをブラッグ回折によって選択する結晶格子２３を含む。 （もっと読む）

【課題】 従来のＸ線源焦点サイズの測定方法であるピンホール法による測定では、Ｘ線のエネルギー強度が高いＸ線ＣＴ装置のＸ線焦点サイズを求める場合、遮蔽体のピンホールのエッジ部分をＸ線が透過してしまい、そのエッジ部分の画像がぼやけて正確な焦点サイズを測定することが困難であった。
【解決手段】 Ｘ線源焦点サイズの測定装置は、測定対象であるＸ線源１と、Ｘ線源１に対向配置されるイメージングプレート２と、Ｘ線源１とイメージングプレート２との間に配置されるＸ線の遮蔽体３と、遮蔽体３を、Ｘ線源１とイメージングプレート２とを結ぶ線に対して直交する方向へ移動させる移動手段であるテーブル４とを備え、遮蔽体３は、Ｘ線源１から照射されるＸ線を完全に遮蔽するだけの厚みＤを備えており、該遮蔽体３には、Ｘ線源１とイメージングプレート２とを結ぶ線に並行な方向に貫通するピンホール３ａが形成される。 （もっと読む）

【課題】 砲弾のＸ線透視画像からその特徴量（特徴情報）を精度良く求めて砲弾の種別を精度良く識別することのできる物体識別方法および装置を提供する。
【解決手段】 砲弾における損壊し易い部品部分の画像成分をＸ線透視画像から除去した後、前記Ｘ線透視画像の輝度ヒストグラムに従って前記砲弾の外形や構造を検出する為の閾値を決定し、この閾値に基づいてＸ線透視画像から抽出された画像成分から前記砲弾の特徴量を検出してその種別を判定する。特に肉厚の砲弾底部を基準として砲弾の特徴量を検出する。 （もっと読む）

【課題】電源を落とすことなく容易にバッテリ交換が可能な非破壊検査装置を実現する。
【解決手段】被検体内部の状態を検査する非破壊検査装置である超音波非破壊検査装置１は、複数のバッテリとしてＡ，Ｂバッテリ２１，２３の２個のバッテリを収納するバッテリ収納部であるＡ，Ｂバッテリコンパートメント２２，２４と、これらＡ，Ｂバッテリコンパートメント２２，２４に収納されたＡ，Ｂバッテリ２１，２３の残量状態を個別に検知するバッテリ残量検知手段としてのバッテリ用ＣＰＵと、電源オンしている際にバッテリ交換モードに移行し、バッテリ用ＣＰＵにより検知したＡ，Ｂバッテリ２１，２３の個別の残量状態に応じて交換すべきバッテリを指示するバッテリ交換指示手段としての装置本体３のＣＰＵ３１とを具備して構成されている。 （もっと読む）

【課題】 対象物の種類ごとに空間分解能の高い二次元分布像を得ることができる方法及び装置、生体組織の構成物に由来する二次イオンの生成を効率よく行え、生体組織の構成物の分布状態を高い感度で測定するための方法および装置、更には、生体組織構成物の分布状態を定量性よく測定するための方法及び装置を提供すること。
【解決手段】 対象物に関する情報を飛行時間型二次イオン質量分析法を用いて取得する取得する際に、対象物のイオン化を促進するための物質を用いて対象物のイオン化を促進して対象物を飛翔させる。 （もっと読む）

【課題】 電子銃の制約を受けず、高い集光効率の光学系を設計することが可能なカソードルミネッセンス専用測定装置を提供する。
【解決手段】 試料（２）に電子線を照射するための電子線照射部（３）と、試料（２）から発光するカソードルミネッセンスを測定する発光測定部（４）と、カソードルミネッセンスを発光測定部（４）に集光する、楕円鏡（５）を含む反射鏡の組み合わせあるいは反射鏡とレンズとの組み合わせとを備えたカソードルミネッセンス専用測定装置（１）であって、電子線照射部（３）、発光測定部（４）および楕円鏡（５）を含む反射鏡の組み合わせあるいは反射鏡とレンズとの組み合わせが同一のフランジ（７）に固定されて一体化され、それらが真空装置に接続されており、楕円鏡（５）を含む反射鏡の組み合わせあるいは反射鏡とレンズとの組み合わせにより、照射する電子線の軸と試料（２）からのカソードルミネッセンスの軸とを別にして、電子線照射と集光を反平行で行うカソードルミネッセンス専用測定装置（１）とする。 （もっと読む）

【課題】 水に分散した状態のままの合成高分子エマルションについて、その粒子の内部構造を観察する方法を提供する。
【解決手段】
（１）合成高分子エマルションに保護コロイドを混合させゲル化によって合成高分子エマルションを固定化するステップと、
（２）固定化されたエマルション中の水のほとんどを、水と親和性がある有機溶媒で置換するステップと、
（３）水が置換された固定化エマルションを硬化樹脂で硬化させるステップと、
（４）硬化されたエマルションを薄片化するステップと、
（５）薄片化されたサンプルを透過型電子顕微鏡で観察するステップと、
を含む合成高分子エマルションの観察方法。 （もっと読む）

【課題】
コンタクトホール等の半導体製造工程中の高い段差のあるパターンを持つウエハ上の欠陥を検査し、ドライエッチングによる非開口欠陥等の欠陥の位置や欠陥の種類等の情報を高速に取得可能とする。また、得られた欠陥情報から欠陥の発生プロセスや要因の特定を行ない、歩留まりを向上やプロセスの最適化の短期化を実現する。
【解決手段】
半導体製造工程中の高い段差のあるパターンを持つウエハに１００ｅＶ以上１０００ｅＶ以下の照射エネルギ−の電子線を走査・照射し、発生した２次電子の画像から高速に欠陥検査を行う。二次電子画像取得前にウエハを移動させながら高速に電子線を照射し、ウエハ表面を所望の帯電電圧に制御する。取得した二次電子画像から欠陥の種類の判定を行ない、ウエハ面内分布を表示する。 （もっと読む）

医療画像化モダリティが、より一層増加的に、非常に大きな３次元データセットを生成する。本発明の例示的な実施形態によれば、注目対象の３次元データセットが、画像における変化するサンプリングレートで対話的に視覚化される。有利には、レンダリングの間に、フォーカス領域が、ユーザにより対話的に動かされることができ、そこでは、その画像における特定の部分のサンプリングレートがフォーカス領域に対する相対的な位置によって規定される。有利には、これは、全体のレンダリング性能の改良を可能にすることができる。
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注目対象の画像の再構築が、吸収値の高いグラジエントの線に沿ってアーチファクトをもたらす場合がある。本発明の例示的な実施形態によれば、こうしたアーチファクトは、その画像の再構築の間の統計的な重み付けにより効率的に除去されることができる。有利には、本発明の側面によれば、画像の再構築は、反復的に行われ、そこでは、更新が、測定された光子数の固有の統計的誤差で重み付けられる。これは、効率的なアーチファクトの除去をもたらすことができる。
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