【課題】 画質向上の問題と視野移動に対する追従性との相反する課題を解決し、使い勝手のよいＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線測定光学系１３のＸ線検出器により撮影された映像信号に基づいて透視Ｘ線像のコマ画像データを１コマずつ繰り返し作成するコマ画像データ作成部３１と、画像バッファメモリ２４に精細画像データ作成用の画像データを蓄積し、蓄積した画像データと最新の透視Ｘ線像のコマ画像データとを用いて精細画像データを作成する精細画像データ作成部３２と、画像データを表示する表示装置２３と、被測定物とＸ線測定光学系との位置関係を調整して被測定物に対する測定視野を変動させる視野調整部１４、３３と、測定視野の変動の有無を判定する視野変動判定部３４と、視野が変動している判定のときはコマ画像データを表示し、視野が一定である判定のときは精細画像データを表示する画像モード切替部３５とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ポインティングデバイスを用いた簡単な操作で所望の測定位置、測定角度に視野調整することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 被測定物の外観画像を表示してポインティングデバイス２３によるステージの並進移動の指示を促す外観画像表示領域２４ｂ、２４ｃと、回転角およびＸ線光軸の傾動角の指定が可能な観察方位図を表示してポインティングデバイス２３によるステージの回転移動とＸ線測定光学系の光軸の傾動との指示を促す観察方位図表示領域２４ｄとの表示を行う操作画面表示制御部を備える。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査装置により予め検出された欠陥を高いスループットで再検出する。
【解決手段】解像度を変更することなく、外部の記検査装置における前記欠陥位置情報の精度分布に応じて再検出の際の画像サイズまたは画素数を変更する。 （もっと読む）

【課題】 マウスを用いて移動方向と移動速度を同時に制御することができるようにしたＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線源１１とＸ線検出器１２との間において被測定物を載置するステージ１４と、ステージ上の被測定物とＸ線測定光学系１３との位置関係を調整する駆動部１５と、モニタ画面２４ａと、Ｘ線検出器１２により撮影された映像信号に基づいて透視Ｘ線画像を作成するＸ線画像作成部３１と、モニタ画面に透視Ｘ線画像の画像表示を行うＸ線画像表示制御部３２と、モニタ画面の任意の位置にポインタを表示するとともにクリック操作によりポインタの位置を指定するマウス２３と、モニタ画面２４ａに表示した透視Ｘ線画像２４ｂ上でマウスのクリック操作による位置指定が行われたときに、指定位置に応じて駆動部１６に対する駆動信号を発生する駆動信号発生部３３とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ポインティングデバイスを用いた簡単な操作で所望の測定位置に視野調整することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】被測定物を載置するステージと、Ｘ線測定光学系に対する位置が関係付けられ被測定物全体の外観画像を撮影する光学カメラと、ステージ上の被測定物とＸ線測定光学系との位置関係を調整する駆動部と、モニタ画面と、透視Ｘ線像の画像表示を行うＸ線画像表示制御部と、光学カメラで撮影された外観画像を表示する外観画像表示制御部と、入力操作に基づいて指定した測定位置をＸ線測定光学系の測定視野に移動させるための駆動部制御信号を発生するＸ線検査装置であって、外観画像上でポインタにより指定した測定位置を予め操作ボタンに登録し、登録後に操作ボタンを指定する入力によりその操作ボタンに登録された測定位置を外観画像上で指定する入力操作を代行する制御を行う操作ボタン登録制御部を備える。 （もっと読む）

【課題】 同一形状の被測定物を次々測定する際に、ティーチングを行う必要なく簡単な入力操作で各測定点を入力することがＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 同一形状の被測定物群を一定間隔ごとに規則的に配列する搭載治具１５を用いてステージ１４上に複数の被測定物群Ｓを載置し、初回測定点位置、測定点間距離、測定繰り返し回数を含む測定位置情報の入力を促す測定位置情報入力制御部３３と、入力された測定位置情報に基づいて各測定点位置を算出する測定点位置算出部３４と、算出された各測定点位置を順次Ｘ線測定光学系の測定視野内に移動するステージ駆動機構制御部３５とを備える。 （もっと読む）

【課題】機器等に内包されているガンマ線源の放射性核種の識別、放射性核種別のガンマ線濃度及び空間分布を非破壊で計測し、画像化する。
【解決手段】ガンマ線源２を内包する容器１と、その周囲に配置されてガンマ線源から放出されるガンマ線をコリメータ６を通して検出するガンマ線検出器７と、検出したガンマ線検出信号を処理してエネルギーと計数値を計測するガンマ線検出信号処理装置９と、単位時間あるいは単位位置毎に計測したガンマ線エネルギーとガンマ線強度とのスペクトル分析により放射性核種の識別と放射性核種の強度とを解析するエネルギー弁別処理装置１０と、識別された放射性核種毎にガンマ線源の濃度及び空間分布を画像化する画像化計算処理装置１１と、その計算処理の結果に基づき可視化表示する画像化表示装置１２とを有する可視化装置である。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線分析装置を備える電子顕微鏡において専門的な知識や能力がなくても試料の観察および分析において精度の高い結果を得ることができるようにする。
【解決手段】 ＳＥＭハードウェア１と、Ｘ線検出器およびエネルギー分散型Ｘ線分析装置で構成されるＥＤＸハードウェア２とを制御するコンピュータ３に、ＳＥＭ制御データ８,７１の通信を高速化し、ＥＤＸ側の測定結果をフィードバックしてＳＥＭ側の条件をリアルタイムに制御するデータ共有オブジェクト７を追加して、ＳＥＭアプリケーション５を介さずに、ＳＥＭ制御データ８,７１を直接ＥＤＸアプリケーション６へ送信する構成とした。 （もっと読む）

【課題】
半導体デバイス等の基板上に回路パターンを形成するデバイス製造工程において、製造
工程中に発生する微小な異物やパターン欠陥を、高速で高精度に検査できる装置および方
法を提供すること。
【解決手段】
表面に透明膜が形成された被検査対象物に対し、高ＮＡ対物レンズを真空チャンバ内に設置し、対物レンズ内に照明光路を設けたことにより、暗視野照明を可能にし被検査対象物表面の異物または欠陥の反射散乱光を高感度に検出できるようにした。 （もっと読む）

【課題】複数の電子線間のクロストークを防止し、放出される２次電子を効率良く検出器に導くことができ、スループットを向上した欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】２次電子の像面1005での開口角度と拡大倍率から、対物レンズから見た試料面1010での見掛けの角度を求め、該見掛けの角度と、２次電子の初期エネルギーと、対物レンズのビームポテンシャルから試料面での受け入れ角度を求め、該受け入れ角度を基に、２次電子の収率を求め、所要のＳ／Ｎ比と、開口角で決まる分解能に基づいて、隣接１次電子線の照射間隔をクロストークが問題にならないような距離以上に離す。 （もっと読む）

【課題】低倍率のＳＥＭ像で欠陥を検出し、高倍率のＳＥＭ画像で欠陥を観察する半導体デバイスの欠陥レビューにおいて、欠陥レビューの効率をあげて短時間に多数に欠陥をレビューできるようにする。
【解決手段】半導体デバイスの欠陥を観察する方法において、検査装置で検出した半導体デバイス上の欠陥を走査型電子顕微鏡を用いて第１の倍率で欠陥を含む画像を取得し、この取得した第１の倍率の欠陥を含む画像から参照画像を作成し、取得した第１の倍率の欠陥を含む画像とこの第１の倍率の欠陥を含む画像から作成した参照画像とを比較して欠陥を検出し、検出した欠陥を第１の倍率よりも大きい第２の倍率で撮像するようにした。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で、試料の交換作業を短時間で行なえる真空搬送装置を実現し、しかも、占有面積が小さく、スループットを向上させた荷電粒子線検査装置を提供する。
【解決手段】２つの駆動源２，１０により回転および上下動作が可能なアーム１と、このアーム１の両端に、アーム１の回転に伴って回転するように支持されて試料を載置する第１のハンド２２と第２のハンド２３とを上下方向に離間させて配置して、アーム１の回転と上下動作の制御のみにより試料の搬送とその交換を可能した真空搬送装置２６を構成し、また、この真空搬送装置２６を荷電粒子線検査装置の予備排気室ではなく真空試料室内に配置した。 （もっと読む）

【課題】マイクロカラムを用いた検査装置を開示する。
【解決手段】本発明に係るマイクロカラムを用いた検査装置は、従来の光学検査装備で解決できなかった小型回路の駆動方式を検査することができる。また、本発明は、大面積ディスプレイなどの検査を短時間内に行うことができる高速検査が可能であるうえ、精密検査および修理も可能である。本発明に係る検査装置は、複数のマイクロカラム、試料との移動方向に直角に前記マイクロカラムが結合する軸、および前記マイクロカラムからの電子ビームが試料に照射されたことを検出して試料の回路異常有無および形状を検査することが可能なデテクターを含む。

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【課題】
半導体ウエハの高速で高分解能な外観検査と、異物や欠陥の存在部位からＴＥＭ観察や各種分析のための試料を高い位置精度で一貫して作製することのできる検査装置を提供すること。
【解決手段】
同一検査装置内に、ウエハ検査用の走査型電子顕微鏡部（ＳＥＭ部）１と試料作製加工用のイオンビーム部１０１とを併設し、ＳＥＭ部１によるウエハ７の外観検査と、この検査結果に基づいての、ウエハ７上の欠陥（異物やパターン欠陥）の存在部位からのＴＥＭ観察や各種分析のための試料の摘出加工作業とを、同一ステージ８上で一貫して行なえるようにした。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線画像中における異物をノイズ成分と確実に分別し得る高異物検出感度のＸ線異物検出方法及び装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線画像内の任意の注目画素に対してその近傍画素を含む単位処理範囲を設定し、複数の注目画素について各単位処理範囲ごとに注目画素及び近傍画素の画像濃度レベルを平均化する平滑化処理段階と、平滑化処理がなされた画像データの濃度レベルを所定の異物候補抽出用の閾値と比較してそれを超える異物候補の画像領域を抽出する抽出処理段階と、異物候補の画像領域についてその周縁部の有効画素を減じるようにその画像領域を縮小した後に縮小画像領域内の有効画素数を増加させるように縮小画像領域を拡大する収縮・膨張処理段階と、を含み、収縮・膨張処理された画像データによって生成される画像領域中に有効画素が所定数以上集まった孤立領域が形成されるか否かで検出すべき異物の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】２次元Ｘ線検出器に対するＸ線露光から像読取りに至る一連の処理を真空雰囲気内で行うことができるＸ線画像記録読取り装置を提供する。
【解決手段】２次元Ｘ線検出器１３ａの第１端辺２６ａが外周面に固定されるドラム２１ａと、ドラム２１ａを回転させるモータ２２ａとを有するＸ線画像記録読取り装置である。モータ２２ａは、検出器１３ａの全面がドラム２１ａに巻き付く第１角度位置と、検出器１３ａの第２端辺２６ｂ側の所定領域をＸ線露光位置Ｅに配置させる第２角度位置との間で、ドラム２１ａを回転させる。ドラム２１ａに巻き付いた検出器１３ａの第２端辺２６ｂは爪２８によって固定される。検出器１３ａ、ドラム２１ａ及び爪２８は気密チャンバ３４によって気密に包囲される。気密チャンバ３４に設けられた石英ガラス窓３７ａに対向して読取り装置４１ａが設けられる。 （もっと読む）

【課題】異物検査と気泡検査とを同時に行い、手間と時間をかけずに全ての被検査物の検査を行う。
【解決手段】制御手段１３は、被検査物２にＸ線を曝射したときのＸ線透過量と予め設定された異物混入用のしきい値とを比較して異物の混入を判別して被検査物２の良否を判定する。制御手段１３は、被検査物２にＸ線を曝射したときにＸ線透過量が予め設定された気泡判別用のしきい値以上の部分を気泡と判別する気泡有無判別手段１３ａと、気泡有無判別手段１３ａによって気泡と判別された部分の面積を算出する面積算出手段１３ｂと、面積算出手段１３ｂで算出された面積の合計値が予め設定された基準面積以上のときに被検査物２の良否を判定する良否判定手段１３ｃとを有し、被検査物２の異物有無の良否判定と気泡量の良否判定とを同時に行う。 （もっと読む）

【課題】複数種類の特性Ｘ線を同時に試料に照射して，複数種類の特性Ｘ線によるＸ線回折測定を同時に実施できるようにする。
【解決手段】Ｘ線管１０は，Ｃｏからなる第１ターゲット領域２４と，Ｃｕからなる第２ターゲット領域２６とを備える対陰極を有している。第１ターゲット領域２４と第２ターゲット領域２６はＸ線の取り出し方向に垂直な方向（Ｚ方向）に区分けされている。入射側のソーラースリット１４と受光側のソーラースリット１８はＺ方向のＸ線の発散を制限する。Ｘ線検出器２０は，Ｃｏの特性Ｘ線が照射された第１試料領域から出てくる回折Ｘ線とＣｕの特性Ｘ線が照射された第２試料領域から出てくる回折Ｘ線とを分離して検出できるような，少なくともＺ方向に位置感応型のＸ線検出器であり，例えば，ＴＤＩ動作が可能な２次元ＣＣＤセンサである。 （もっと読む）

【課題】 重金属で汚染された土壌の汚染度検出及び検出にあたっての前処理をオンラインで正確に行うとともに、検出結果に正確に対応して汚染土壌を仕分けることができる汚染度樹仕分け装置を提供する。
【解決手段】 間欠して所定の角度ずつ回転するターンテーブル１０上に、複数の容器１１を周方向に配列する。これらの容器にホッパー１２から重金属で汚染された土壌の所定量を順次に投入する。前記土壌の投入位置の下流側で停止する位置には前処理装置１３が設けられ、容器内で堆積する土壌の高さを調整し、その下流側で蛍光Ｘ線分析装置１４により汚染度を検出する。さらに下流側には複数の停止位置に対応して、それぞれにベルトコンベア１６，１７，１８が設けられ、制御装置１５が上記蛍光Ｘ線分析装置の検出結果に基づいて移載するコンベアを選択し、対応するコンベアが設けられた位置で停止したときに容器内の土壌を移載する。 （もっと読む）

【課題】未知サンプルを測定するのに用いられる分光計と同様の分解能及び効率である基準物質からのスペクトルを測定するのに用いられる分光計を提供する。
【解決手段】Ｘ線放射特性を用いた物質同定方法が提供される。監視されるＸ線放射特性を表すＸ線データは、入射エネルギービームに応答して試料から得られる。同様に、複数の物質の組成データを含むデータセットが得られる。試料物質はデータセット内に含まれる。組成データを用いてデータセット内の物質の各々について予測Ｘ線データが計算される。取得Ｘ線データと予測Ｘ線データとが比較され、この比較に基づいて試料物質の可能性のある素性が判定される。 （もっと読む）