【課題】 結晶粒の方位分布測定を短時間で実行可能としてインライン又はオンラインで検査可能な方位分布測定方法及びそのための装置を提供する。
【解決手段】 測定試料における結晶粒の方位分布測定を行なう結晶粒の方位分布測定方法であって、単色化したＸ線をＸ線ビームに形成し、当該形成したＸ線ビームを前記測定試料の表面に対し、所定の入射角を中心にした所定の角度幅で入射し、当該所定の角度幅で入射したＸ線の回折像を、ＴＤＩ読み出しモードで動作するＣＣＤ３４により構成した二次元検出器で検出して、その回折方向において積分して極点図を取得し、当該得られた極点図から結晶粒の方位分布測定を行なう。 （もっと読む）

【課題】試料の回転軸とＸ線光軸とが直交しない傾斜型のＸ線ＣＴ装置において、試料の回転軸方向の再構成中心および再構成領域を容易に設定することのできるＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】試料ステージ３上の試料Ｗを回転させつつ取り込んだＸ線透過データを用いて再構成演算手段５３で再構成した複数の断層像を用いて、その各断層像に直交する平面に沿った縦断層像を構築して表示器に表示する縦断層像再構成演算手段５４を備えるとともに、その縦断層像上で、表示すべき断層像の回転軸方向への位置または領域を指定する指定手段７を設け、断層像再構成演算手段５３では、その指定された位置または領域に対応する断層像を表示器６に表示することで、回転軸に直交する方向からの透視像を得ることのできない傾斜型Ｘ線ＣＴ装置であっても、縦断層像上で試料の回転軸方向への位置乃至は領域を容易に設定することを可能とする。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の所定の検査エリアを選択的に高速に検査することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、Ｘ線を出力する走査型Ｘ線源１０と、複数のＸ線センサ２３が取り付けられ、回転軸２１を中心に回転するセンサベース２２と、センサベース２２の回転角やＸ線センサ２３からの画像データの取得を制御するための画像取得制御機構３０等を備える。走査型Ｘ線源１０は、各Ｘ線センサ２３について、Ｘ線が検査対象２０の所定の検査エリアを透過して各Ｘ線センサ２３に対して入射するように設定されたＸ線の放射の起点位置の各々に、Ｘ線源のＸ線焦点位置を移動させてＸ線を放射する。画像制御取得機構３０はＸ線センサ２３が検出した画像データを取得し、演算部７０はその画像データに基づき検査エリアの画像の再構成を行なう。 （もっと読む）

【課題】 被検査物を移動させながら行うＸ線検査において、被検査物中の異物を検出するための管電流や管電圧等の強度レベル等を適切に容易に決定することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線源１とＸ線検出器３との間で、基準検査物又は被検査物７を搬送する搬送機構５と、第一設定時と、第二設定時と、第三設定時とに、検出信号に基づいて、Ｘ線透過像データを作成して記憶させるＸ線透過像データ記憶制御部３２と、置換表を作成して記憶させる第一設定部３８と、管電流及び／又は管電圧の強度レベルを決定する第二設定部３５と、閾値パラメータを作成して記憶させる第三設定部３７とを備えるＸ線検査装置８０であって、Ｘ線透過像データ記憶制御部３２が、Ｘ線透過像データを作成して記憶させているときには、搬送機構５の駆動を停止する駆動停止信号を出力する搬送機構制御部３６を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線分析装置及びＸ線分析方法において、Ｘ線源を安定に挙動させ、定量分析を安定して行なうこと。
【解決手段】 １次Ｘ線を試料１に照射するＸ線管球３と、１次Ｘ線の強度を調整可能な１次Ｘ線調整機構４と、試料１から放出される特性Ｘ線を検出し該特性Ｘ線及び散乱Ｘ線のエネルギー情報を含む信号を出力するＸ線検出器５と、上記信号を分析する分析器６と、試料１とＸ線検出器５との間に配設されＸ線検出器５に入射される特性Ｘ線及び散乱Ｘ線の合計強度を調整可能な入射Ｘ線調整機構７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線回折測定を用いて結晶の構造を正確に解析する。
【解決手段】対象試料にＸ線を照射したときに対象試料にて回折した回折Ｘ線の強度を、広い開口角条件と狭い開口角条件にて検出して、両者の相対比を「対象試料の回折Ｘ線強度比」とする。また結晶の完全性が保証された参照試料にＸ線を照射したときに参照試料にて回折した回折Ｘ線の強度を、広い開口角条件と狭い開口角条件にて検出して、両者の相対比を「参照試料の回折Ｘ線強度比」とする。参照試料に対してＸ線解析をする際の反射指数は、対象試料に対してＸ線解析をする際における反射指数に対して独立選択したものとしている。そして、「対象試料の回折Ｘ線強度比」を、「参照試料の回折Ｘ線強度比」で除算した値を、「規格化された回折Ｘ線強度比」としこの値から結晶状態を解析する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、格子を形成する部材の厚みをより薄くし得るＸ線用透過型回折格子、該Ｘ線用透過型回折格子を用いたＸ線タルボ干渉計およびＸ線撮像装置を提供する。
【解決手段】本発明のＸ線用透過型回折格子１１は、一方向に線状に延びるＸ線を透過する複数の透過部Ｒ１と一方向に線状に延びるＸ線を透過しない複数の非透過部Ｒ２とが交互に平行に配設された格子を備え、前記非透過部Ｒ２は、入射Ｘ線が前記格子によって回折される方向とは異なる方向に前記入射Ｘ線の進行方向を変化させる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線回折測定を用いて結晶の構造を正確に解析する。
【解決手段】対象試料にＸ線を照射したときに対象試料にて回折した回折Ｘ線の強度を、広い開口角条件と狭い開口角条件にて検出して、「広開口角での対象試料の回折Ｘ線強度」と「狭開口角での対象試料の回折Ｘ線強度」とし、両者の相対比を「対象試料の回折Ｘ線強度比」とする。また結晶の完全性が保証された参照試料にＸ線を照射したときに参照試料にて回折した回折Ｘ線の強度を、広い開口角条件と狭い開口角条件にて検出して、「広開口角での参照試料の回折Ｘ線強度」と「狭開口角での参照試料の回折Ｘ線強度」とし、両者の相対比を「参照試料の回折Ｘ線強度比」とする。そして、「対象試料の回折Ｘ線強度比」を、「参照試料の回折Ｘ線強度比」で除算した値を、「規格化された回折Ｘ線強度比」としこの値から結晶状態を解析する。 （もっと読む）

【課題】ノッチ形状誤差等によるノッチ位置決め誤差が補正でき、半径方向結晶方位の測定の精度が高い結晶方位測定装置を提供する。
【解決手段】円筒状結晶２をその円筒軸に対し回転させる回転部１１と、円筒状結晶２を回転し、円筒状結晶２の周側面に設けられたノッチ２ａを基準に円筒状結晶２を位置決めする位置決め部１２と、円筒状結晶２が位置決めされると、回転軸に対するノッチ２の位置を測定するノッチ測定部１２と、周側面にＸ線を照射して半径方向の結晶方位を測定する結晶方位測定部１３と、結晶方位測定部１３で測定した結晶方位をノッチ測定部１２で測定したノッチの位置で補正して半径方向の結晶方位を求める補正部１４２とを備える。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線に基づいた分析の際に対象物にビームをマッチングさせる際の問題点を解決する。
【解決手段】検査方法は、サンプルの表面上においてスポットを画定するべく合焦されるＸ線ビームを使用してサンプルを照射する段階を含んでいる。表面上の特徴部を横断するスキャン経路に沿ってスポットをスキャンするべく、サンプル及びＸ線ビームの中の少なくとも１つをシフトさせる。スポットが異なる個々の程度の特徴部とのオーバーラップを具備しているスキャン経路に沿った複数の場所において、Ｘ線ビームに応答してサンプルから放射される蛍光Ｘ線の個々の強度を計測する。スキャン経路における放射蛍光Ｘ線の調節値を演算するべく、複数の場所において計測された強度を処理する。調節済みの値に基づいて、特徴部の厚さを推定する。 （もっと読む）

【課題】 電子線応用装置において、検査を行う一次ビームの良好な集束を保ちつつ、且つスループットを落とすことなく、帯電制御を実現する。
【解決手段】 単一の電子源から複数本の一次ビームを形成し、少なくとも一本の一次ビームで試料の帯電を制御し、同時に、これとは別の一次ビームを用いて試料の検査を行う。また、帯電制御用の一次ビームの照射領域と検査用の一次ビームの照射領域に対して、独立に表面電界強度を設定する。また、帯電制御用一次ビームの電流や、帯電制御用一次ビームと検査用一次ビームの間隔を制御する。 （もっと読む）

【課題】
検査対象である回路パターンの構造または材質に応じて、帯電状態を制御することで、欠陥検査性能が向上した回路パターンの検査装置を提供する。
【解決手段】
回路パターンが形成された基板に電子線を照射して発生する二次電子を検出し、前記回路パターンの異常を検出する回路パターンの検査装置であって、基板を載置し連続的に移動するステージと、該ステージの移動中に該移動方向に対して略直角方向に電子線を繰り返し走査させる走査信号を走査偏向器へ与える走査信号発生器と、走査信号の繰り返しのうちの１回当りの走査時間を、回路パターンの構造または材質に応じて変更した制御信号を走査信号発生器へ送信する制御回路とを備える。 （もっと読む）

【課題】 膜を介して試料に電子線等の一次線を照射して試料検査を行う際に、該一次線の膜への照射による膜の損傷を検知し、これにより圧力差による膜の破壊を防止することのできる試料検査方法及び試料検査装置を提供する。
【解決手段】 膜４を介して試料５２０に一次線５０７を照射する手段５０１と、該一次線５０７の照射に応じて該試料５２０から発生する二次的信号を検出する信号検出手段５０４とを有する試料検査装置において、該一次線５０７の照射に応じて得られる該膜４の情報を検出する情報検出手段５０４と、検出された該膜の情報をモニタするモニタ手段５２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】撮像レシピ又は／及び計測レシピを自動かつ高速に生成できるようにして検査効率及び自動化率を向上させたＳＥＭ装置又はＳＥＭシステム並びにその方法を提供することにある。
【解決手段】ＳＥＭ装置又はＳＥＭシステムにおける撮像レシピ及び計測レシピ生成方法であって、レシピ演算部において、評価ポイントにおける撮像位置ずれ量の許容値を評価する評価ステップと、回路パターンの設計データ上の任意の領域をアドレッシングポイントとした場合における前記評価ポイントにおける撮像位置ずれ量の予想値を評価する評価ステップと、前記評価ポイントにおける撮像位置ずれ量の許容値と前記評価ポイントにおける撮像位置ずれ量の予想値との関係に基づいて、撮像レシピ及び計測レシピを決定する決定ステップとを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】物理量検査領域の各区画毎に、物理量算出結果をそれに対応するＸ線画像と関連付けた把握容易な表示を行なうことができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線源２と、Ｘ線検出部４と、データ処理部６と、表示部２０とを備えたＸ線検査装置において、被検査物の質量検査領域を複数の区画Ａ，Ｂ，Ｃに分割し、Ｘ線検出部４からの検出情報のうち所定検出レベル範囲の検出情報を複数の区画の各区画毎に抽出して質量測定領域のＸ線画像をＸ線画像生成部１１に生成させる領域抽出処理部８と、この領域抽出処理部８で抽出された検出情報に基づいてワークＷの質量を算出する質量算出部１３と、複数の区画における質量測定領域のＸ線画像と質量算出部１３で算出された質量を示す複数のグラフ表示要素４３，４４，４５とをそれぞれ関連付けて表示部２０に表示させる表示データ生成部１５とを設ける。 （もっと読む）

本発明は、多染性放射源２及びエネルギー分解放射検出器６を含む、物体２０を画像化する画像化システムに関する。画像化システムは、異なる方向から打切り投影を得るため、物体２０及び放射源２を互いに関連して移動させる駆動装置を更に含む。計算ユニットは、打切り投影から、物体２０及び物体２０内の物質のうちの少なくとも１つのｋエッジ成分を決定し、決定されたｋエッジ成分から、非打切り投影を決定する。再構成ユニットは、非打切り投影を使用して、物体を構成する。
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【課題】真空チャンバの外部からの外光を遮断しつつ、走査光学系の光ビームを真空チャンバ内部に導いて試料上を走査することが可能となる真空チャンバ装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバの内部に設けられ、試料を載置し、任意の方向に移動可能とする真空試料ステージ部と、真空チャンバの外部に配置され、試料を走査するための走査ビームを出射、偏向する走査光学系と、真空チャンバと走査光学系とを連結するとともに、真空チャンバ内部へ入射する外光を遮光する外光遮光手段と、真空チャンバと外光遮光手段との連結部分に設けられ、走査ビームが透過可能な内部観察用手段と、走査光学系から出射された走査ビームを、外光遮光手段及び内部観察用手段を介して真空チャンバの内部に導く走査ビーム折り返し手段と、を有する。 （もっと読む）

移動体を通路に進入させる進入ステップと、移動体の移動速度を計測するための速度計測ステップと、前記通路の一方側から光ビームを発する発光ステップと、前記通路の他方側で移動体に遮断されない光ビームを受光する受光ステップと、受光した光ビームと計測した移動体の移動速度により移動体の少なくとも一部の輪郭を確認する輪郭確認ステップと、前記少なくとも一部の輪郭を予め記憶された移動体の情報と比べて、移動体のタイプをさらに識別する識別ステップとを備えていることを特徴とする移動体の識別方法。本発明による方法とシステムは、異なる車両に対して、それと対応した走査制御方式を適用し、被検査車両の検査情報の完備を確保でき、画像の指標が高くなり、運転手に照射される線量が最低限度に抑えられる。 （もっと読む）

【課題】複雑な形状の検査対象について正確に欠陥検出を行うことができなかった。
【解決手段】放射線を検査対象に照射し、前記検査対象を透過した放射線の強度に対応した透過放射線画像を取得し、基準の検査対象を撮影したときの透過放射線の強度が所定の強度になるようにオフセットを与えるための補正画像データを取得し、前記補正画像データによって前記透過放射線画像を補正した結果に基づいて、前記検査対象に欠陥が含まれるか否かを判定する。 （もっと読む）

本発明は放射線を用いて液体物品に対する保安検査を行う方法及び装置を開示している。その方法は、環境初期情報を取得するステップと、放射線ビームを発生し、前記液体物品を透過するステップと、前記液体物品を透過した放射線ビームを受け取って多角度投影データを形成するステップと、前記環境初期情報と前記液体物品の均一性とに基づいて、前記多角度投影データに対して逆演算を行い、被検液体物品の放射線吸収係数を計算し取得するステップと、前記放射線吸収係数を予め設置しているデータと比較して、被検液体物品に関する情報を取得するステップとを含む。従来の技術と比べると、本発明は、液体物品のパッケージの影響を受けておらず、干渉回避性が強く、検査の正確性が高く、使用が安全で確実であり、コストが低く、サイズが小さい、という特徴がある。
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