【課題】 作業効率よく、安全に試料測定を行うことができるＸ線分析装置及びＸ線分析方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 試料上の照射ポイントに放射線を照射する放射線源と、試料から放出される特性Ｘ線及び散乱Ｘ線を検出し、特性Ｘ線及び散乱Ｘ線のエネルギー情報を含む信号を出力するＸ線検出器と、信号を分析する分析器と、試料を載置する試料ステージと、試料ステージ上の試料と放射線源及びＸ線検出器とを相対的に移動可能な移動機構と、試料における照射ポイントの高さを測定可能な高さ測定機構と、測定した試料における照射ポイントの高さに基づいて移動機構を制御して、試料と放射線源及びＸ線検出器との距離を調整する制御部とを備えていることを特徴とするＸ線分析装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】従来に比べて分解能をより一層向上させることができる荷電粒子顕微鏡及び解析方法を提供する。
【解決手段】試料２０内で広がった電子線プローブをＣＣＤカメラ２３で撮影し、電子線プローブ（実効的プローブ）の形状、大きさ及び強度分布のデータを取得する。その後、ＣＣＤカメラ２３を電子線の通過域から退避させ、ＳＴＥＭ検出器２２により観察像を取得するとともに、ＥＥＬＳ検出器２４によりＥＥＬＳスペクトルを取得する。次いで、電子線プローブ（実効的プローブ）の形状、大きさ及び強度分布のデータを使用し、分析目的位置毎に分析目的位置に照射される電子線量（強度）とその周囲に照射される電子線量とを演算し、その結果に基づいてＳＴＥＭ検出器２２又はＥＥＬＳ検出器２４により得た測定値を演算処理して、周囲の影響を排除した真の測定値を得る。 （もっと読む）

【課題】検出画像を取得した被検査領域毎に閾値を最適化する手法はあるが、１枚の検出画像については１つ閾値だけを適用する。このため、１つの画像内に有意でない欠陥が含まれる場合でも、有意の欠陥と同じ感度レベルで検出される。
【解決手段】１つの検査領域内に複数の感度領域を設定して、１つの検査領域のうちＤＯＩ（Defect of interesting）が存在する領域の欠陥だけを他と区別して検出できる仕組みを提案する。具体的には、検査領域内の画像の特徴に基づいて、検査領域内に複数の感度領域を設定し、検出画像、差画像又は欠陥判定部の判定用閾値に、各感度領域の設定感度を適用する。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、微小ビームで励起した蛍光Ｘ線を用いて、実装はんだ及びプリント板実装部品の鉛の含有可能性を判定するための検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 上記課題は、蛍光Ｘ線測定装置を用いて部品又は材料中の指定元素の含有可能性を検査する検査方法において、指定元素毎に、蛍光Ｘ線測定装の測定結果によって示されるＸ線強度を測定された測定エリアにおける位置情報に対応させたマッピングデータを生成し、検出されたＸ線強度と部品又は材料上の照射位置までの距離との関係に基づいて、マッピングデータによって示されるＸ線強度を補正し、所定Ｘ線強度に基づいて該指定元素の含有可能性有りと判断した照射位置を検出位置情報として生成し、指定元素毎の検出位置情報を２つ以上の指定元素について合成することによって指定物質が含有される可能性を示す画像データを生成し表示ユニットに表示させることによって達成される。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線管が結露した状態であるか否かを判定して、Ｘ線管を破損することを防止することができる蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】 一次Ｘ線を筐体１４の出射窓１４ａから出射するＸ線管１０と、試料Ｓで発生した蛍光Ｘ線の強度を検出する検出器３０と、入力操作される入力装置８２と、入力装置８２から入力される分析開始操作信号に基づいて、ターゲット１１に高電圧を印加するとともにフィラメント１２に低電圧を印加することにより、検出器３０で検出された蛍光Ｘ線の強度を取得する制御部５０とを備える蛍光Ｘ線分析装置１であって、Ｘ線管１０の外側筐体１４の外周面に取り付けられ、水分情報を検出する結露センサ１７を備え、制御部５０は、入力装置８２から分析開始操作信号が入力された際に、結露センサ１７で検出された水分情報に基づいて、ターゲット１１に低電圧を印加するか、若しくは、ターゲット１１に電圧を印加しない。 （もっと読む）

【課題】狭隘な場所に設置し得る小形の放射線検出部であっても充分広い領域の検査情報を得ることができ、しかも前記検査情報を感度が異なる複数種類のものとすることができる放射線検出装置を提供する。
【解決手段】 検査対象物１００を挟んでＸ線照射部１１の反対側に配置され、検査対象物１００を透過した放射線を受けることにより検査対象物１００を撮像するＸ線検出装置２０であって、放射線を検出する相対的に高感度と相対的に低感度の少なくとも２種類で検査対象物１００の所定の領域の一部をそれぞれ撮像するＸ線検出部２１Ａ，２１Ｂと、Ｘ線検出部２１Ａ，２１Ｂを水平方向、垂直方向、又は水平方向及び垂直方向に移動させてＸ線検出部２１Ａ，２１Ｂが前記領域の全部を撮像するように走査させる走査手段と、Ｘ線検出部２１Ａ，２１Ｂによる前記走査の結果、得る複数の領域の画像を同一感度の画像毎に合成して検出対象物１００の前記領域の全部の画像を合成する画像合成部４０とを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明はＸ線マイクロアナライザに関し、スペクトル同士の比較が容易に行なえるＸ線マイクロアナライザを提供することを目的としている。
【解決手段】細かく絞った電子線を試料１９に照射し、該試料１９から放射される特性Ｘ線を分光結晶９に入射し、その分光された特性Ｘ線を検出器１１で検出し、試料中に含まれる元素を横軸波長と縦軸Ｘ線強度のスペクトルとして定性又は定量するＸ線マイクロアナライザにおいて、電子線の照射電流と特性Ｘ線の計数時間とスペクトルを表示するスケールを予め条件として決めておく設定手段２９と、前記照射電流と計数時間が変化した場合には、前記予め決めてある条件に正規化して表示するようにした演算表示手段２９と、を具備して構成される。 （もっと読む）

【課題】撮影倍率を変更しても都度較正を行なうことなく寸法精度のよい断面像を得る。
【解決手段】撮影距離ＦＣＤと検出距離ＦＤＤを設定するシフト機構（撮影距離設定手段、検出距離設定手段）７と、第一の撮影距離ＦＣＤを設定してスキャンして得た既知の大きさの第一の基準体の第一の断面像上の大きさと、第二の撮影距離ＦＣＤを設定してスキャンして得た第一の基準体の断面像上の大きさとから、ＦＣＤ及びＦＤＤの誤差を求め較正する較正計算手段を有する。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線検出器の不良部位の存在にも拘らず、Ｘ線投影データの再構成演算により得られる断層像上に現れるリングアーチファクトを減少させることのできるＸ線断層像撮影装置を提供する。
【解決手段】対象物ＷのＸ線投影データを得るＸ線ＣＴ撮影中に、Ｘ線発生装置１とＸ線検出器２、および対象物Ｗを回転させる回転機構（回転テーブル３）の回転軸Ｒの相対位置を、Ｘ線発生装置１とＸ線検出器２を結ぶ線に交差する方向に連続的もしくは断続的に移動させ、各Ｘ線投影データを、それぞれの収集時の相対位置に応じて補正したうえで再構成演算に供する。これにより、各Ｘ線投影データ上で、対象物Ｗの透視像とＸ線検出器２の異常部位との相対位置がそれぞれに相違するデータが得られ、これを再構成演算に供することで、得られる断層像にＸ線検出器２の異常部位に起因するリングアーチファクトが出現することを抑制する。 （もっと読む）

【課題】被検体の着目部を簡便に回転軸上に合わせる。
【解決手段】テーブル４をｘｙ方向に移動させるＸＹ機構６と、ｚ方向に移動させる昇降機構７と、ある回転位置でＸ線検出器３が検出した第一の透過像を表示する表示部９ａと、表示部９ａに表示された第一の透過像上で着目部の設定を受け付けるＲＯＩ設定部９ｃにより第一の透過像上で着目部が設定されると、移動制御部９ｄによりＸＹ機構６を制御してテーブル４を所定距離ｘｙ移動させてからあるいは昇降機構７を制御してテーブル４を所定距離ｚ移動させてから第二の透過像をＸ線検出器３で検出させ、第一の透過像と第二の透過像とから着目部の透過像上の移動量を求め、求めた透過像上の移動量から着目部のｘｙ面に沿った位置を求め、ＸＹ機構６を制御して着目部を回転軸ＲＡ上に合わせるようにテーブル４をｘｙ移動させる。 （もっと読む）

【課題】
走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて試料上の欠陥を観察する装置において、高倍率の欠陥画像と比較するための高倍率の参照画像を、欠陥画像を取得した後にステージを移動させることなく、かつ画像の解像度を低下させることなく高スループットで取得できるようにする。
【解決手段】
欠陥部位を低倍率で撮像した位置からステージ移動なしに低倍率の視野内で撮像できる高倍参照画像の撮像領域を探索し，探索できた場合には該領域を撮像して高倍参照画像を得、探索できなかった場合には欠陥部位の隣接チップから高倍参照画像を取得する方式に切り替えるようにした。 （もっと読む）

【課題】基板の検査に際し、被検査部位の種類等に応じた検査ができ、かつ、検査時間を短縮できる、検査方法、検査装置および検査用プログラムを提供する。
【解決手段】Ｘ線源２からＸ線が出力され、検査対象である基板を透過したＸ線が、ＦＰＤ（フラットパネルディテクタ）において、Ｘ線透視画像として撮影される。Ｘ線ＣＴによる再構成データの生成のための撮影は、トモシンセシスによる再構成データ生成のための撮影と同様に、Ｘ線源２の光軸Ｌを軸とした仮想円３００上の位置３０１〜３０８で行なわれる。そして、Ｘ線ＣＴによる再構成データの生成の際には、位置３０２〜３０８のそれぞれで得られたＸ線透視画像が、位置３０２Ａ〜３０８Ａで撮影されたかのように、仮想円３００上の回転位置に応じて、各Ｘ線透視画像の中心を軸とし、アフィン変換を用いて、各画像が回転するようデータを変換された後、フィルタ処理を施される。 （もっと読む）

【課題】集積回路のデバイス構造をナノプロービングするための方法を提供する。
【解決手段】この方法は、デバイス構造の第１の領域全体にわたって、第１の領域に近接する少なくとも１つのプローブを使用して、１次荷電粒子ビームを走査することを含み、デバイス構造の第２の領域は１次荷電粒子ビームからマスクされる。この方法は、２次電子イメージを形成するために、デバイス構造の第１の領域および少なくとも１つのプローブから放出される２次電子を収集することをさらに含む。２次電子イメージは、結像部分としての第１の領域および少なくとも１つのプローブと、非結像部分としての第２の領域とを含む。別の方法として、第２の領域は、第１の領域よりも速い走査速度で荷電粒子ビームによって走査可能であるため、結果として第２の領域は２次電子イメージの結像部分でもある。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線受光面の大きさの互いに異なる複数のＸ線検出器を設け、被検査物の全体像の把握を可能とし、かつ、拡大断層像を高分解能のもとに得ることのできるＸ線ＣＴ装置でありながら、ＣＴ撮影範囲の設定を容易化することのできるＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】一つのＸ線検出器２ａでＣＴ撮影した基準画像を表示するとともに、そのときの回転テーブル３，ｘｙテーブル５の位置を記憶しておき、他のＸ線検出器２ｂを選択した状態では、回転テーブル３，ｘｙテーブル５の位置と、基準画像の撮影時における回転テーブル３，ｘｙテーブル５の位置情報とから、当該他のＸ線検出器２ｂによる視野の位置と大きさに係る情報を、基準画像上に重畳表示することで、例えばＸ線受光面の小さいＸ線検出器２ｂを用いて被検査物Ｗの局部を高拡大率でＣＴ撮影する際に、被検査物Ｗ上のどの部位を撮影しようとしているのかを直感的に把握することを可能とする。 （もっと読む）

本発明は、逆ジオメトリＣＴによりスペクトルＸ線撮像装置を実現する検査装置及び対応する方法に関する。提案される検査装置は、複数の位置でＸ線を放射する複数のＸ線源を有するＸ線源ユニットと、Ｘ線源のうちの１つ以上から放射されたＸ線を、Ｘ線源ユニットとＸ線検出ユニットとの間の検査領域の貫通後に検出し、検出信号を生成するＸ線検出ユニットと、生成された検出信号を処理する処理ユニットと、少なくとも２つの異なるエネルギースペクトルで順次、単独あるいはグループでＸ線を放射するようにＸ線源を制御する制御ユニットであり、特定のＸ線源又はＸ線源のグループが異なるエネルギースペクトルでＸ線を放射するように切り換えられる時間間隔中に、特定のＸ線源又はＸ線源のグループがオフに切り換えられ、且つ１つ以上のその他のＸ線源又はＸ線源のグループが順次オンに切り換えられてＸ線を放射するように制御する制御ユニットとを有する。
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【課題】 ＳＥＭレビューを、より効率的に行う技術が望まれている。
【解決手段】 記憶装置に、異なる条件で欠陥検出が行われた２種類の欠陥検出データが記憶される。撮像装置が、指令された位置情報により特定される位置の画像を取得する。制御装置が、欠陥検出データの各々に登録されている欠陥の位置情報に基づいて、同一の欠陥が少なくとも２つの欠陥検出データに重複して登録されているか否かを判定し、重複して登録されていると認定される欠陥を重複欠陥と認定する。欠陥検出データに登録されている欠陥の位置情報で特定される位置の画像を、撮像装置により取得する際に、重複欠陥については、当該重複欠陥の位置の画像を重複して取得しない制御を行う。 （もっと読む）

【課題】データ処理アプリケーション等の他のアプリケーションを用いることなく分析条件を決定すること。
【解決手段】分析対象元素が指定される分析対象元素指定手段１８と、分析対象元素が指定されることにより、予めデータベース１６に記憶されている当該元素のピーク位置とバックグラウンド測定位置を検索する検索手段１５と、スペクトル収集が指示されると、前記検索された当該元素のピーク位置とバックグラウンド測定位置情報に基づいて実際の試料を用いた時の所定の波長範囲のスペクトルを測定してディスプレイに表示する表示手段１５と、表示されたスペクトル上でピーク位置とバックグラウンド測定位置を指定して、指定されたピーク位置とバックグラウンド測定位置におけるＸ線強度を測定するための、ピーク位置とバックグラウンド測定位置を設定するピーク位置とバックグラウンド測定位置設定手段１５と、を有して構成される。 （もっと読む）

【課題】原子価を高精度で且つ非破壊で求めることができる原子価分析装置を提供する。
【解決手段】本発明の原子価分析装置は、試料に対してＸ線管１から放射されるＸ線をエネルギーを走査させながら照射するＸ線照射手段と、Ｘ線が照射されることにより前記試料について得られるＸ線吸収スペクトルを解析して前記試料に含まれる目的元素のＸ線吸収端エネルギーを求めるスペクトル解析手段と、前記Ｘ線管１のターゲット材由来の或いはターゲット材に含まれる不純物由来の特性Ｘ線のピークエネルギーに基づき前記Ｘ線吸収端エネルギーを補正する補正手段と、標準試料及び分析試料それぞれの補正後のＸ線吸収端エネルギーの比較により原子価が未知の目的元素の原子価を算出する原子価算出手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】低エネルギＸ線の散乱による被検査物内の異物像のコントラストの低下を防止し、簡単な操作により、様々な材質の被検査物のそれぞれに良好なコントラストの異物像を得ることができ、ひいては異物の検出性能を常に良好なものとすることのできるＸ線検査方法および装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生器１からのＸ線を被検査物Ｗに照射し、その被検査物Ｗを透過したＸ線の空間線量分布から、被検査物内の異物の有無を判定するに当たり、Ｘ線発生器１と被検査物Ｗの間に、当該被検査物Ｗの材質と同じ材質、もしくは、当該被検査物Ｗの材質とＸ線に対して等価な物質からなるＸ線フィルタＦを介在させることで、被検査物Ｗ（正常部位）を透過しやすいＸ線で、かつ、被検査物Ｗ内で散乱しにくいエネルギ帯のＸ線を選択的に被検査物Ｗに照射することを可能とし、被検査物Ｗ内でのＸ線の散乱による異物像のコントラストの低下を防止する。 （もっと読む）

【課題】高精度に試料表面の磁化分布を分析可能な表面分析装置及び分析方法を提供する。
【解決手段】試料２から放出され、ターゲット３に衝突して散乱された２次電子を、複数の測定位置に配置された電子検出器４−１〜４−４により検出し、回転部５により、試料面に対して垂直方向を回転軸として各電子検出器４−１〜４−４を回転させて、次の測定位置に移動させて２次電子の検出処理を繰り返させ、演算処理部７が、それぞれの測定位置における、電子検出器４−１〜４−４の検出値の加算値をもとに、２次電子のスピン成分を算出する。 （もっと読む）