【課題】試料の部分透視画像どうしを接合して全体透視画像を構築するに当たり、凹凸の存在する試料等であっても、従来に比して接合部分での像の繋がりをより良好なものとすることのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】互いに隣接する部分透視画像を接合する際、双方の部分透視画像について、相互に接合すべき辺の近傍領域の画素の輝度情報に基づいて、例えばその領域の輝度の平均値よりも明るい画素群等、当該領域の画素のうちの一部の画素の輝度情報を用いて、当該辺に沿った輝度情報の分布が双方の部分透視画像において互いに最も類似する箇所を、相互に接合すべき箇所と決定して接合することにより、凹凸の存在する試料等においては例えば試料厚さの薄い部分の像を主眼とした接合を実現し、全体透視画像上における像の接合の違和感をなくすことを可能とする。 （もっと読む）

【課題】対象とする物品を用意することなく、その物品を検査するために必要な観察ポイントや観察方向等をティーチングすることができ、かつ、そのティーチング作業の作業性を良好なものとすることのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】入力された対象物の３次元形状情報および寸法情報と、試料ステージ１３への設置位置情報に基づき、対象物の３次元モデルＭを表示するとともに、その３次元モデルＭ上で、対象物を観察する際の複数の観察ポイント、観察方向および観察倍率を逐次設定して記憶し、実際の対象物の観察時に、設定された順序通りの観察ポイント、観察方向および観察倍率が得られるように、試料ステージ１３と、Ｘ線発生装置１１とＸ線検出器の対との相対的位置を移動させる。３ＤＣＡＤデータ等に基づく３次元モデルの表示を用いた設定により、対象物を用意することなく、対象物のどのポイントをどの方向から観察するのかを把握しやすく、ティーチング作業の容易化と効率化を達成することを可能とする。 （もっと読む）

【課題】ボイドの形状に基づいて画像処理することにより効率よく被検体を検査すること。
【解決手段】検査方法は、（ａ）被検体のＸ線透過画像を撮像するステップと、（ｂ）前記Ｘ線透過画像から、第１輝度に基づいて互いに分離された検出候補画像を生成するステップと、（ｃ）前記検出候補画像の各々の縦横比に基づいて第１ボイド候補の画像を選択するステップと、（ｄ）第２輝度に基づいて残りの検出候補画像の各々から第２ボイド候補の画像を生成するステップと、（ｅ）前記第１ボイド候補画像と前記第２ボイド候補画像を合成してボイド候補の画像を生成するステップとを具備する。 （もっと読む）

【課題】蛍光Ｘ線分析により炭素質材料に含まれる元素をより迅速且つ容易に定量分析する。
【解決手段】蛍光Ｘ線分析装置２０は、蛍光Ｘ線分析方法とは異なる第２の測定方法（例えばＩＣＰ発光分析法）によって炭素質材料に含まれる含有元素の含有量を求めると共に、蛍光Ｘ線測定ユニット３０によってこの含有元素の強度値を求め、得られた含有量と強度値との対応関係情報（検量線）をＨＤＤ２５に記憶し、未知試料を蛍光Ｘ線の強度を検出し、この含有元素の強度値とＨＤＤ２５に記憶された対応関係情報とに基づいてこの未知試料の含有元素の含有量を定量する。蛍光Ｘ線分析方法では、炭素に対する感度がないが、第２の測定方法を利用することにより、定量可能とし、試料に含まれている元素の定量を非破壊で迅速に行う。 （もっと読む）

【課題】回路パターンの微細化に対応して検査時の画素サイズを小さくする必要がある場合にもスループットの低下を抑制する手段の提供。
【解決手段】回路パターンを有する被検査試料９に荷電粒子線を照射し、発生した信号から画像を取得し、この画像から回路パターンの欠陥を検出する検査方法及び検査装置において、被検査試料９に対して荷電粒子線を走査する方向の検査画素サイズと、被検査試料を載置して移動するステージ３１，３２，３３の移動方向の検査画素サイズをそれぞれ別個に設定して検査する構成とする。 （もっと読む）

【課題】
電子顕微鏡を用いた欠陥のレビュー方法、および欠陥のレビュー装置において、電子ビームの自動焦点合わせの設定に要するユーザの工数を低減し、試料の観察を容易化する。
【解決手段】
観察対象の座標上に予め登録された複数個の座標位置について焦点合わせを行い、座標位置における各焦点位置に基づいて焦点合わせの基準を作成し、該基準と前記焦点位置との間のずれ量に基づいて焦点探索範囲を設定し、観察対象の欠陥検出の自動焦点合わせの範囲を、設定された焦点探索範囲に基づいて決定する。 （もっと読む）

【課題】迅速性に優れたＸ線透視による検査装置でありながら、簡単な動作によって検査対象物の欠陥等の特異点の深さを正確に求めて表示することのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生装置１とＸ線検出器２を結ぶＸ線光軸に直交する軸を中心として、Ｘ線発生装置１とＸ線検出器２の対に対して検査対象物Ｗを回転させ、その回転前後のＸ線透視像上の特異点の像を抽出し、その回転前後の特異点像の位置から、特異点の透視方向への深さを実寸法で算出し、その算出結果を表示器２３に数値表示することにより、検査対象物ＷのＸ線透視像上に存在する欠陥等の特異点の像の深さを報せることを可能とする。 （もっと読む）

【課題】迅速性に優れたＸ線透視による検査装置でありながら、被検査物に存在する欠陥等の特異点の深さを、オペレータに対して有効に報知することのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物ＷのＸ線透視像上で、あらかじめ設定されている特異点を抽出し、被検査物Ｗの透視視野の移動もしくは透視方向の変更の前後で抽出された特異点像の位置情報から、当該特異点像の透視方向への深さを算出し、その算出された特異点の深さに応じて、Ｘ線透視像上の特異点像を色分けする等、その表示態様を相違させることで、特異点像の深さをオペレータに感覚的に素早く報せることを可能とする。 （もっと読む）

【課題】１回の撮影で巻き込み巣と引け巣とを判別することができる成形支援装置を提供する。
【解決手段】鋳造支援装置２は、鋳型５１内に供給された溶湯が凝固して形成された鋳造品１２の撮影により得られた連続断面像の３次元データを記憶する主メモリ２４と、主メモリ２４上の３次元データから鋳造品１２の複数の巣を抽出する鋳巣抽出部４１と、抽出された複数の巣をそれぞれの形状に基づいて巻き込み巣と引け巣に分別する鋳巣分別部４２とを有する。 （もっと読む）

【課題】
荷電粒子ビームを用いた計測装置ないし検査装置において、検査の高感度と高安定性とを両立する。
【解決手段】
帯電制御電極A４２０の被計測試料ないし検査試料側に帯電制御電極B４２１を設置し，試料の帯電状態に応じて、帯電制御電極Bの帯電制御電極制御部４２３から一定の電圧を与えることにより、検査前に形成した試料表面の帯電状態と電位障壁の変動を抑制する。帯電制御電極制御部６６によりリターディング電位が印加され、試料と同電位に調整される帯電制御電極A４２０の更に下部に帯電制御電極B４２１が設けられることにより、一次電子ビーム19が照射されるウェハ９などの試料から放出された二次電子４０９の試料への戻り量を調整することが可能になり，高感度な検査条件を検査中安定的に維持することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線画像のぶれを防止し、物品の不良を精度良く検査することが目的とされる。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、搬送される物品の検査をＸ線画像Ｉに基づいて行う装置であって、検出部１７１と、制御部１７２とを備える。検出部１７１は、Ｘ線画像Ｉから物品の搬送速度に関するデータＤを検出する。制御部１７２は、検出部１７１で検出されたデータＤに基づいて搬送速度を制御する。具体的には、検出部１７１は、データＤとしてＸ線画像Ｉでの物品の長さＬを検出する。制御部１７２は、検出部１７１で検出された長さＬを、物品の長さの実測値Ｌ０に漸近させる。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の所定の検査エリアを高速に検査することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、Ｘ線を出力する走査型Ｘ線源１０と、複数のＸ線検出器２３が取り付けられ、複数のＸ線検出器２３を独立に駆動可能なＸ線検出器駆動部２２と、Ｘ線検出器駆動部２２やＸ線検出器２３からの画像データの取得を制御するための画像取得制御機構３０を備える。走査型Ｘ線源１０は、各Ｘ線検出器２３について、Ｘ線が検査対象２０の所定の検査エリアを透過して各Ｘ線検出器２３に対して入射するように設定されたＸ線の放射の起点位置の各々に、Ｘ線源のＸ線焦点位置を移動させてＸ線を放射する。Ｘ線検出器２３の一部についての撮像と他の一部についての撮像位置への移動が並行して交互に実行される。画像制御取得機構３０はＸ線検出器２３が検出した画像データを取得し、演算部７０はその画像データに基づき検査エリアの画像の再構成を行なう。 （もっと読む）

【課題】様々な大きさの基板を検査可能な低コストの被検査体の検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査システム１０において、第１ラインセンサユニット５０は、第１走査ライン１６ａと第２走査ライン１８ａとが一直線上に並ぶように並設された第１Ｘ線ラインセンサ１６および第２Ｘ線ラインセンサ１８を有する。第２ラインセンサユニット５２は、第３走査ライン２０ａと第４走査ライン２２ａとが一直線上に並ぶよう並設された第３Ｘ線ラインセンサ２０および第４Ｘ線ラインセンサ２２を有する。第３Ｘ線ラインセンサ２０は、第１Ｘ線ラインセンサ１６の第１走査ライン１６ａおよび第２Ｘ線ラインセンサ１８の第２走査ライン１８ａとの間に存在する撮像不能領域２ａにおける基板２の透過像を補完して撮像する。 （もっと読む）

【課題】基底基準吸収回折法による定量法において基底板から正確な回折線強度情報を得ることを可能にすることにより、極めて正確な検量を行うことができるＸ線回折定量装置を提供する。
【解決手段】物質Ｓの重量をＸ線を用いて測定するＸ線回折定量装置において、物質Ｓを物質保持領域Ａｓ内に保持するフィルタ３３と、物質Ｓに照射するＸ線を発生するＸ線源Ｆと、物質Ｓで回折した回折Ｘ線を検出するＸ線検出器２０と、フィルタ３３におけるＸ線照射面の反対側に設けられ物質保持領域Ａｓよりも小さい基底板３１と、Ｘ線源Ｆから見てフィルタ３３の背面側の領域であり且つ基底板３１の外周側面の周りの領域に設けられた空間領域４１とを有するＸ線回折定量装置である。基底板３１の周囲に空間領域４１を設けたことにより、空間領域４１を形成している試料板２９Ｃからの回折線によって基底板３１からの回折線に誤差変動が生じることを防止できる。 （もっと読む）

本発明は、人間の衣類の下や人体に隠された金属や原子番号Ｚが小さい物質（プラスチック、セラミックス、違法薬物）や他の禁制品を検出するために、すばやく人間を検査することができるＸ線人体検査システムを対象とする。１つの例としての実施形態において、対象物検出システムは、２つの走査モジュールが互いに平行に対向配置されている。２つのモジュールは、人間等の被検者が２つのモジュールの間に立ったり２つのモジュールの間を通ったりすることができるように、間隔を空けて配置されている。第１モジュール、及び、第２モジュールは、それぞれＸ線などの放射線源と検出器列とを有している。検査中の被検者は、被検者の前側が一のモジュールに対向し、かつ、後側が他のモジュールに対向するようにして２つのモジュールの間に立つ。 （もっと読む）

【課題】オペレータが被検査物のＸ線透視像を目視で観察して、その被検査物の合否判定を行う装置において、不合格品が頻発する状態になっても処理レートが殆ど低下することがなく、しかも、不合格品が合格品として流出するこ恐れのないインラインＸ線透視目視検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生装置２とＸ線ラインセンサ３よりも搬送方向下流側に振り分け装置９を配置し、オペレータの合否判定結果を入力する入力手段８による入力歩手用に基づき、その入力がなされた対象である被検査物Ｗが振り分け装置９の配設位置に搬送されるタイミングと合わせて当該振り分け装置９に対して駆動制御信号を供給することにより、オペレータによる合否判定の入力操作が種々に変化しても、該当の被検査物Ｗが合否判定結果に応じて振り分け装置９により確実に振り分けられることを可能とする。 （もっと読む）

【課題】テープ状の包装体に包装されたＩＣ製品の検査に際し、テープ状の包装体に包装されたままで連続的に包装されたＩＣ製品のＸ線装置が可能とされたテーピングＩＣ対応自動Ｘ線検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】Ｘ線照射部と、Ｘ線が照射されて検査が行われる検査部と、被検査体の画像を撮影するデジタルカメラとを備え、検査部は、テーピングＩＣが巻き取られたセットリールと、一対の駆動用スプロケット間に配置されたＸ線被照射部等を有し、巻き取られたテープに間隔をあけて取り付けられたＩＣを検査部において順次Ｘ線を照射すると共に、照射画像をデジタルカメラで撮影し、撮影された検査画像と、予めセットされたリファレンス画像を比較して、検査してなり、検査不合格品にはマーキング部によりマーキングされる、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】長期間ＣＴ撮像に使用された半導体放射線センサにおいても、Ｘ線ＣＴ装置の起動時の半導体放射線センサからの出力信号の時間変動を抑制し、Ｘ線ＣＴ装置のＣＴ撮像開始までの待ち時間を低減できるＸ線ＣＴ装置及びＸ線ＣＴ装置の運転方法を提供することである。
【解決手段】ＣｄＴｅ結晶をＸ線センサ４（図中４−１〜４−５１２で表示）に用いるＸ線ＣＴ装置１００において、Ｘ線センサ４のバイアス電圧を逆方向と順方向の両極性で供給できる両極性バイアス電圧供給装置３０を設け、Ｘ線ＣＴ装置１００の運転中にはＸ線センサ４に逆方向のバイアス電圧を、Ｘ線ＣＴ装置１００の運転休止中には順方向のバイアス電圧を供給するように制御装置６が両極性バイアス電圧供給装置３０を制御する。 （もっと読む）

【課題】透視拡大率の変更や斜め透視に際しての装置動作を従来に比して速くし、また、斜め透視角度によるＸ線光量の不足を生じることのないＸ線透視装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生装置１とＸ線検出器２、およびテーブル３のうちの２つの要素を、それぞれの周囲部に配された３個以上の直線駆動型アクチュエータ（４２ａ等）とその両端部に設けられた屈伸機構（４１ａ等）を持つ駆動機構により、少なくとも互いに接近／離隔する方向に移動させ、その任意の移動位置において傾動するよう、各要素の直線駆動型アクチュエータ（４２ａ等）を協調動作するように制御する。 （もっと読む）

【課題】本発明に係る検出装置によれば、検出装置の有効な検出面積を増大させることにより、検出器の列数を有効に減少させて、検出装置のコストを下げることができる。
【解決手段】本発明は、スリップリングと、スリップリングに接続した放射線源と、放射線源に対向しスリップリングに接続した検出装置とを備えるＣＴ装置と、被検体を搬送する搬送装置とを備え、その中で前記検出装置はＮ列の検出器を備え、且つ、隣接する２つの列の前記検出器の間に所定の間隔を有し、その中でＮは１より大きい整数である、検査システムを提供する。本発明によるＣＴ装置では、ＣＴ装置の高速スキャン結像を実現し、ＣＴ装置と２次元画像を取得するためのスキャン結像装置とを同時に使用することが可能になるので、相互の不足を補うことができる。 （もっと読む）