【課題】Ｘ線を放出する曝射タイミングと撮影したデータを読み出す読み出しタイミングとを厳密に管理する必要があるＸ線透視システムでは、曝射ユニットとセンサユニットを物理的に分離して、ワイヤレスでタイミング管理する。
【解決手段】無線通信手段のビーコン信号を撮影フレームレートに関連づけた周期で発生すると共に、同ビーコン信号からのオフセット時間を設定可能なカウンタタイマを設け、そのカウンタタイマへの設定値によって、曝射や読み出しなどの各種トリガ信号を生成する。両ユニット間の同期は、フレーム周期ごとに発生するビーコン信号によって担保される。 （もっと読む）

【課題】迅速性に優れたＸ線透視による検査装置でありながら、簡単な動作によって検査対象物の欠陥等の特異点の深さを正確に求めて表示することのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生装置１とＸ線検出器２を結ぶＸ線光軸に直交する軸を中心として、Ｘ線発生装置１とＸ線検出器２の対に対して検査対象物Ｗを回転させ、その回転前後のＸ線透視像上の特異点の像を抽出し、その回転前後の特異点像の位置から、特異点の透視方向への深さを実寸法で算出し、その算出結果を表示器２３に数値表示することにより、検査対象物ＷのＸ線透視像上に存在する欠陥等の特異点の像の深さを報せることを可能とする。 （もっと読む）

【課題】迅速性に優れたＸ線透視による検査装置でありながら、被検査物に存在する欠陥等の特異点の深さを、オペレータに対して有効に報知することのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物ＷのＸ線透視像上で、あらかじめ設定されている特異点を抽出し、被検査物Ｗの透視視野の移動もしくは透視方向の変更の前後で抽出された特異点像の位置情報から、当該特異点像の透視方向への深さを算出し、その算出された特異点の深さに応じて、Ｘ線透視像上の特異点像を色分けする等、その表示態様を相違させることで、特異点像の深さをオペレータに感覚的に素早く報せることを可能とする。 （もっと読む）

【課題】高電圧大電力変圧器の空間的容積を小さくすると共に経費及び複雑さを抑えると共に、無接点型電力伝達及び双方向通信の高レベルの信頼性を達成する。
【解決手段】イメージング・システムのための方法及び装置（１００）を提供する。このイメージング・システムは、回転部材に結合された静止部材を有するガントリを含んでいる。回転部材は回転部材の回転軸に近接して開放域を有する。Ｘ線源が回転部材に設けられている。Ｘ線検出器が回転部材に配設されて、Ｘ線源からのＸ線を受光するように構成され得る。一次巻線及び二次巻線（１０８、１１０）を円周に配設させた回転式変圧器（１０２、１０４）が、ガントリの回転可能部分を極めて高速に回転させる無接点型電力伝達システムの一部を形成することができ、一次巻線は静止部材に配設され、二次巻線は回転部材に配設される。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の所定の検査エリアを高速に検査することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、Ｘ線を出力する走査型Ｘ線源１０と、複数のＸ線検出器２３が取り付けられ、複数のＸ線検出器２３を独立に駆動可能なＸ線検出器駆動部２２と、Ｘ線検出器駆動部２２やＸ線検出器２３からの画像データの取得を制御するための画像取得制御機構３０を備える。走査型Ｘ線源１０は、各Ｘ線検出器２３について、Ｘ線が検査対象２０の所定の検査エリアを透過して各Ｘ線検出器２３に対して入射するように設定されたＸ線の放射の起点位置の各々に、Ｘ線源のＸ線焦点位置を移動させてＸ線を放射する。Ｘ線検出器２３の一部についての撮像と他の一部についての撮像位置への移動が並行して交互に実行される。画像制御取得機構３０はＸ線検出器２３が検出した画像データを取得し、演算部７０はその画像データに基づき検査エリアの画像の再構成を行なう。 （もっと読む）

【課題】オペレータに負担をかけることなく、また、複雑な処理を必要とすることなく、被検査物とＸ線発生装置等の装置側の構造物との衝突を確実に防止することのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生装置１とＸ線検出器２の間に配置されて被検査物Ｗを搭載する回転テーブル３ａには、取り付け用治具５０を介して被検査物Ｗを搭載するように構成するとともに、その取り付け用治具５０は被検査物Ｗの大きさに応じて複数種が用意され、回転テーブル３ａには、その取り付け用治具５０の種類を検知するためのセンサ６０ａ〜６０ｃを設け、その検知結果に基づき、テーブル３ａとＸ線発生装置１およびＸ線検出器２の対との相対位置を変化させる移動ステージ３ｂの動作の範囲に制限を加えることで、被検査物Ｗの装置側の構造物に対する衝突を防止する。 （もっと読む）

【課題】迅速に３次元的な位置情報を得ることで効率的に精度の高い検査を行うことができるＸ線検査装置およびＸ線検査方法を提供する。
【解決手段】被検査体ＳにＸ線を照射するＸ線源１１０と、被検査体ＳのＸ線透過像を、それぞれ異なる照射角度範囲で検出する複数の検出領域を有するＸ線検出器１４０と、被検査体を移動可能に支持する移動用ステージ１２０と、を備え、移動用ステージ１２０は、一つの被検査体Ｓに対し複数の照射角度範囲のＸ線透過像を検出できるように被検査体Ｓを移動させて、検査を行う。これにより、一つの被検査体Ｓについて、異なる照射角度範囲のＸ線透過像が得られ、複数のＸ線透過像から３次元的な位置情報を得ることができる。また、一回の検出で複数の検出領域についてＸ線透過像のデータを得て、効率的に精度の高い検査を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】一次電子ビームと二次電子ビームとの重複領域で二次電子ビームの空間電荷効果による収差増大を抑制する。
【解決手段】電子ビームを生成して試料である基板Ｓに一次電子ビームＢｐとして照射する電子銃１１と、一次電子ビームＢｐの照射を受けて基板Ｓから放出される二次電子、反射電子および後方散乱電子の少なくともいずれかを検出して基板Ｓの状態を表わす信号を出力する電子検出部３０と、上記二次電子、上記反射電子および上記後方散乱電子の少なくともいずれかを導いて二次電子ビームＢｓとして拡大投影し、電子検出部３０のＭＣＰ検出器３１の検出面に結像させる二次光学系２０と、を備える基板検査装置１に、一次電子ビームＢｐの軌道と二次電子ビームＢｓの軌道との重複領域が縮小するように一次電子ビームＢｐを偏向する偏向器６８をさらに設ける。 （もっと読む）

【課題】ＴＦＴアレイ基板の種々の欠陥検出に要する時間を短縮する。エネルギーフィルタの電圧条件を最適化することで検出信号の検出効率を向上させる。
【解決手段】ＴＦＴアレイ基板に駆動信号を供給して駆動し、これによって駆動されたＴＦＴアレイ基板のピクセルに電子線を照射して得られる二次電子をエネルギー選別して検出し、得られた二次電子信号強度によってＴＦＴアレイ基板の欠陥を検出するＴＦＴアレイ検査装置であり、エネルギー選別を行うエネルギーフィルタと、エネルギーフィルタを通過した２次電子を検出する２次電子検出器とを備える。エネルギーフィルタの電位を駆動信号の信号波形に同期して切り換える。エネルギーフィルタの電位と駆動信号の信号波形と同期させることによって、二次電子検出の検出条件を駆動パターンに応じて最適なものに設定することができ、検出効率を向上させる。 （もっと読む）

毛髪試料分析システムであって、該システムは、容器内に位置する複数の試料列と、上記容器から個々の列を取出し、上記試料列の毛髪試料を第１概略位置に付勢する自動駆動機構と、該駆動機構を調節して前記試料をＸ線回折ビームと略一致させるよう配置するモニタリング及び制御システムと、を備え、上記試料を、上記Ｘ線回折ビームと略一致させるよう配置し、上記試料に上記ビームを所定時間照射し、上記毛髪試料を照射する上記ステップから得たデータを、分析するために受信し、保存し、上記試料列を、上記容器の元の位置に戻し、上記試料容器から別の列を取出し、上記ステップを連続する列に対して繰り返すこと、を特徴とする毛髪試料分析システム。 （もっと読む）

【課題】光学系21のフォーカスを自動的に調整できるＸ線イメージ管11における撮像装置20のフォーカス調整装置31を提供する。
【解決手段】光学系21のフォーカス状態を測定する指標となる治具32を、Ｘ線イメージ管11および撮像装置20を用いて撮像する。撮像したデータから、測定手段33がフォーカス状態を測定する。測定したフォーカス状態に応じて、制御手段34がフォーカス調整手段23により光学系21のフォーカスを調整する。 （もっと読む）

【課題】小型・高密度化するＢＧＡやＣＳＰなどの電子部品の基板への実装状態の検査
をより精度良く、より安価で行うことのできるＸ線検査装置を提供すること。
【解決手段】Ｘ線発生器１２を、Ｘ線放射面１２ａを試料台２１の載置面と平行にした
まま、なおかつＸ線放射面１２ａ上のある２点を結ぶ直線の向きを一定方向に保たせたま
ま、試料台２１の載置面と直交する軸Ｌ１を中心に、軸Ｌ１からＸ線焦点Ｓ１までの長さ
ｒを径として円形に移動させる円形移動機構２５と、Ｘ線検出器１１を、Ｘ線受光面Ｉを
載置面と平行にしたまま、なおかつＸ線受光面Ｉ上のある２点を結ぶ直線の向きを一定方
向に保たせたまま、軸Ｌ１のまわりを軸Ｌ１を中心にして円形に移動させる円形移動機構
２４とを装備し、これら円形移動を同期させる。
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【課題】 被検査物を移動させながら行うＸ線検査において、被検査物中の異物を検出するための管電流や管電圧等の強度レベル等を適切に容易に決定することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線源１とＸ線検出器３との間で、基準検査物又は被検査物７を搬送する搬送機構５と、第一設定時と、第二設定時と、第三設定時とに、検出信号に基づいて、Ｘ線透過像データを作成して記憶させるＸ線透過像データ記憶制御部３２と、置換表を作成して記憶させる第一設定部３８と、管電流及び／又は管電圧の強度レベルを決定する第二設定部３５と、閾値パラメータを作成して記憶させる第三設定部３７とを備えるＸ線検査装置８０であって、Ｘ線透過像データ記憶制御部３２が、Ｘ線透過像データを作成して記憶させているときには、搬送機構５の駆動を停止する駆動停止信号を出力する搬送機構制御部３６を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線分析装置及びＸ線分析方法において、Ｘ線源を安定に挙動させ、定量分析を安定して行なうこと。
【解決手段】 １次Ｘ線を試料１に照射するＸ線管球３と、１次Ｘ線の強度を調整可能な１次Ｘ線調整機構４と、試料１から放出される特性Ｘ線を検出し該特性Ｘ線及び散乱Ｘ線のエネルギー情報を含む信号を出力するＸ線検出器５と、上記信号を分析する分析器６と、試料１とＸ線検出器５との間に配設されＸ線検出器５に入射される特性Ｘ線及び散乱Ｘ線の合計強度を調整可能な入射Ｘ線調整機構７とを備えている。 （もっと読む）

図５に示す断面から導かれる線対称の回転固体は、概ねトロイダルであり、電力結合装置の駆動中に、巻部（１１０、１６０）内の電流が、好ましくはトロイダルの長円に沿って円周方向に流れる。巻部（１１０、１６０）内の電流；半シールド（１２０、１７０）内の電流；およびシールド空気ギャップ（１０１）により掃引される空間の容積は、図５の紙面に垂直に現れ、しかし、トロイダルの長円に追従するように湾曲して現れる。コア（１１５、１６５）は好ましくは、コアから出る磁束線が主に空気コアギャップの領域のみから逃げるように、且つ、磁束ループがトロイダルの短円の面内に位置するように、磁束をそらせ且つ整列させる。半シールド（１２０、１７０）は好ましくは、電気伝導性材料を有し、この電気伝導性材料は、半シールドにぶつかる磁束線の効果がシールド空気ギャップおよび／または半シールド（１２０、１７０）の外側表面に到達する前に、半シールドにぶつかる磁束線を実質的に相殺するのに十分なように分配される。 （もっと読む）

【課題】、電子ビーム走査において、非アクティブエリアにおける負電荷の帯電を防ぐ。
【解決手段】走査範囲内に、電子ビームを照射するアクティブエリアと電子ビームの照射を回避する非アクティブエリアとを設定し、電子ビームを走査する走査位置データがアクティブエリア内であるときは、走査位置データに基づいて電子ビームを走査し、電子ビームを走査する走査位置データが非アクティブエリア内であるときは、この走査位置データに代えて予め設定したビーム退避位置データを用いて電子ビームを走査し、これによって、非アクティブエリアへの電子ビームの照射を回避する。アクティブエリアに対して電子ビームの照射を選択的に行い、この電子ビームを照射する範囲を、ＴＦＴガラス基板の構成に応じて変更することによって、遮蔽物を設けることなく、非アクティブエリアへの電子ビームの照射を防ぐ。 （もっと読む）

【課題】断面がライン状のＸ線ビームを発生するＸ線源を用いたままで、ライン状のＸ線ビームとポイント状のＸ線ビームを選択的に得られるようにして、かつ、ポイント状のＸ線ビームを選択した場合に、その単位面積当たりのＸ線強度を大きくする。
【解決手段】Ｘ線光学系は、Ｘ線源１０と、アパーチャスリット板１４が付属する放物面多層膜ミラー１８と、光路選択スリット装置２２と、ポリキャピラリー３６と、出射幅制限スリット３８を備えている。ポリキャピラリー３６と出射幅制限スリット３８は、放物面多層膜ミラー１８から出てくる平行ビーム２０の経路中に着脱可能に挿入されていて、この経路から取り外すことができる。そして、その空いたところに、ソーラスリット２６と発散スリット２８を挿入することができる。 （もっと読む）

【課題】試料の結合状態および組成の変化などの損傷を抑制し、試料表面の分析精度を向上させる。
【解決手段】１８４．９ｎｍの波長光を発するＵＶ光源１７と２５３．７ｎｍの波長光を発するＵＶ光源１８と酸素供給用の酸素供給管２１と予備排気可能な排気管２２とを備え、排気により真空を形成すると共に、炭化水素を含まない酸素存在雰囲気下、ＵＶ光源１７、１８により紫外光を照射して試料表面を清浄する予備排気室１２および、仕切り弁２３を有し、仕切り弁を開いたときに測定チェンバ１１と予備排気室１２とを連通し、清浄後の試料を測定チェンバ１１へ搬入する連絡通路１５を備えている。 （もっと読む）

【課題】測定種別の選択と光学部品の交換作業とを関連付けて、交換すべき光学部品の情報を図を用いて画面に表示することで、測定準備作業を容易にする。
【解決手段】Ｘ線分析装置の測定準備作業に関連して、選択画面において、複数の測定種別の中からオペレータが所望の測定種別を選択すると、その測定種別に応じて、取り付けるべき光学部品及び取り外すべき光学部品の情報が、図を伴って表示装置の画面に表示される。オペレータは、その作業指示を見て、Ｘ線分析装置の光学系から光学部品を取り外したり、光学部品を取り付けたりする作業を実行する。図を伴って表示する形態には、交換すべき光学部品１６，１８の光学系上の位置を図示することや、取り付け作業と取り外し作業の区別を絵記号６９で表示することや、光学部品の識別マーク７０，７２を表示すること、が含まれる。 （もっと読む）

【課題】被検体の目的位置を容易に透過画像の視野に入れることが可能なＸ線透視検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線源１とＸ線検出器３の間に配置されたテーブル５面をｘｙ方向に移動させる移動機構６と、テーブル５をＸ線源１とＸ線検出器３の方向に移動させる拡大率変更手段７と、所定の拡大率において複数の移動位置で得た透過画像から一つの合成透過画像を形成する画像合成手段１１と、表示部９に表示された合成透過画像上で位置を指定する位置指定手段１２と、指定された位置が透過画像に入るよう移動機構６を制御する移動制御手段１３を備え、所定の最低拡大率で視野に入りきらない被検体４に対して全体を含む所望の範囲の合成透過画像を得、合成透過画像上で所望の位置を指定することで、容易にこの位置が視野に入る透過画像を得る。 （もっと読む）