【課題】荷電粒子ビームが走査する範囲とステージ移動で定まるパスの範囲を一致させて、荷電粒子ビームの照射位置の位置ずれを防ぎ、ＴＦＴ素子（ピクセル）内の荷電粒子ビームの位置精度を高める。
【解決手段】荷電粒子ビームの照射対象をマトリックス状に配置してなる試料上で荷電粒子ビームを二次元的に走査する走査ビーム装置において、照射対象のピッチサイズに応じて、荷電粒子ビームを走査する走査領域のピッチサイズを可変とする。走査状態では、走査領域のピッチサイズの可変状態と同期してステージの送りピッチおよび送り速度を可変とする。これによって、荷電粒子ビームの照射位置の位置ずれが解消され、ＴＦＴ素子（ピクセル）内の荷電粒子ビームの位置精度を高める。 （もっと読む）

【課題】パイルアップの影響を抑えて最適な検出下限となるように、入射線の強度を決定して測定を行うことが可能なエネルギー分散型放射線検出システム及び対象元素の含有量測定方法を提供する。
【解決手段】エネルギー分散型放射線検出システム１は、試料Ｍに所定の強度で入射線Ｐを照射する入射系２と、入射線Ｐが照射されることで試料Ｍから放出される放射線Ｑを検出する検出系３とを備え、検出された放射線Ｑのスペクトルに基づいて試料Ｍの対象元素の含有量を特定するもので、検出された放射線Ｑのスペクトルに基づいて、対象元素の検出下限が最小となる入射線Ｐの最適強度を決定して、入射線Ｐを最適強度で照射させることが可能な制御部１０を備える。 （もっと読む）

【課題】制御の容易なＸ線検出器の首振り機構を持つＸ線透視検査装置を提供する。
【解決手段】被検体にＸ線源からＸ線を照射し、Ｘ線検出器１２によって、被検体の透過画像を検出するＸ線透視検査装置１において、照射されるＸ線を検出する位置を変えるようにＸ線検出器１２を直線移動させるとともに、Ｘ線検出器１２の検出面の法線がＸ線源を向くように首振り運動させる移動機構１４を有し、移動機構１４は、Ｘ線検出器１２と首振り運動の軸となる位置関係にある第１固定部１６と、Ｘ線源と第１固定部とを結ぶ直線上に位置する第２固定部１７と、第１固定部を直線方向に任意の距離移動させるとともに、Ｘ線源と第１固定部の移動経路間の距離とＸ線源と第２固定部の移動経路間の距離との比率に対し、任意の距離と第２固定部の移動距離の関係が比率となるように、第２固定部を第１固定部が移動した直線と平行な直線方向に移動させる搬送部とを備える。 （もっと読む）

【課題】
通常の単一エネルギーのみを使用するパルス中性子非弾性散乱測定では、使用したいエネルギーのパルス時間幅とチョッパーの開口時間幅をほぼ等しくなるように調節することで最適な実験条件を実現させてきたが、複数の入射エネルギーを使用するＲＲＭ法においては、チョッパーの開口時間幅が常に一定になってしまうため、パルス中性子の有する複数の入射エネルギーで同時に最適な実験条件を実現させることができなかった。
【解決手段】
スリットパッケージを構成する中性子吸収材の両面に中性子スーパーミラーを貼付することにより、透過できなかった中性子ビームをミラーによる反射で透過させ、実効的なチョッパー開口時間幅の中性子エネルギー依存性を、中性子源におけるパルス時間幅の中性子エネルギー依存性に、広いエネルギー範囲に亘って近付けようとするものである。 （もっと読む）

【課題】画像が一方向に殆ど一様なパターンである場合でも、ドリフトによる補正用画像のずれを正確に検出して特性Ｘ線画像の位置ずれの補正を適切に行う。
【解決手段】時間を隔てた２枚のＳＥＭ画像が得られると、画像の並進対称性の有無の検出を行い（Ｓ１）、並進対称性がある場合には（Ｓ２でＹＥＳ）、２枚のＳＥＭ画像に対し相互相関法による二次元的な画像マッチングを行って位置ずれの量及び方向を算出した（Ｓ３）後に、変動量が小さい方向に限定した一次元的な画像マッチングを実行することで位置のずれ量を算出する（Ｓ４）。その結果を用いて二次元画像マッチングの結果を修正してずれ量及び方向を求め（Ｓ５）、二次元／一次元マッチングを規定の回数に達するまで繰り返す（Ｓ６）。こうした求めた位置ずれ情報に基づいて二次元走査時のレーザ照射位置を微調整することで特性Ｘ線画像のずれを補正する。 （もっと読む）

【課題】煩雑な焦点補正の作業を行うことなく、試料上の線分析や面分析を簡便かつ自動的に行うことができる斜出射電子線プローブマイクロＸ線分析方法を提供すること。
【解決手段】斜出射電子線プローブマイクロＸ線分析方法は、電子線が照射された試料から発せられる特性Ｘ線をＸ線検出器により検出する際に、試料ステージを傾斜させることにより特性Ｘ線の取出角度を制御し、試料内部で励起された特性Ｘ線が全反射現象により検出さない角度に特性Ｘ線の取出角度を設定する斜出射電子線プローブマイクロＸ線分析方法において、前記取出角度が得られるように試料ステージを傾斜させた状態で予め任意の分析点の焦点調整を完了させた後、その焦点を維持しつつ試料表面の他の分析点を分析するのに必要な試料ステージの制御データを求め、求めた制御データに基づいて試料ステージを移動させることにより試料表面の微粒子又は薄層の線分析又は面分析を行う。 （もっと読む）

【課題】スリット幅を連続的に変更することができ、且つコンパクトなソーラスリットを提供する。
【解決手段】複数の平行に配設された隔壁板を有するソーラスリットにおいて、各隔壁板の間に介挿された弾性体と、前記ソーラスリットの両端の隔壁板を押圧する圧縮機構と、を備えたソーラスリットとする。圧縮機構を作動させることにより弾性部材が積層方向に一斉に圧縮され、又は一斉に伸長するため、各隔壁板が平行な状態を保持しつつ、隔壁板間隔、つまりスリット幅を任意に調節することが可能となる。弾性部材としては、各種のばねやゴムを使用することができる。このように、本発明のソーラスリットは非常に簡単な構成であるため、従来欠かすことができなかった分析装置における設置スペースが不要となり、分析装置の小型化を図ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ネットワーク上の他のハードウェア資源を有効活用することで高処理能力の演算ＣＰＵを不要にしてコスト低減と小型化・長寿命化を図るとともに、所要の選別精度を確保し得る信頼性に優れた物品選別装置を提供する。
【解決手段】搬送路５上に検出領域１１を有しその領域を通過する物品Ｗの品質状態を表す検出信号を出力する検出手段１０と、検出信号に対し第１の演算を実行する演算手段２１ｅと、その演算結果に基づき物品Ｗに対する第１の判定結果を出力する判定手段２１ａと、検出信号をＬＡＮ上の外部のデータ処理装置５０に出力しそこで検出信号を第２の演算により処理した第２の判定結果を入力するデータ通信手段２３、２４と、第１及び第２の判定結果に基づき両判定結果の優先順位を決定する優先順決定手段２１ｃと、優先順位に従って優先されるいずれか一方の判定結果に応じて選別制御信号を生成する選別制御手段２１ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】
欠陥の特徴を的確に提示することが可能な欠陥画像表示画面を提供する。
【解決手段】
欠陥のサムネイル表示画面において、検査情報や欠陥種類等から、欠陥毎にその欠陥の特徴を最も顕著に表すような画像を決定し、表示する。また、欠陥の詳細表示画面において、検査情報や欠陥種類等を基に、その欠陥の特徴を顕著に表すように表示する画像やその画像の表示順序を定め、表示する。さらに、欠陥画像撮像中または欠陥画像撮像後に、予め指定した規則に基づいて別の欠陥画像取得装置や別の撮像条件により表示用の画像を撮像するためのステップを撮像シーケンスに追加する。 （もっと読む）

【課題】高効率で特性Ｘ線29を放出させることができ、放出する特性Ｘ線29へのノイズ成分の混入を抑え、シートビーム形状の特性Ｘ線29を容易に得られるＸ線源11を提供する。
【解決手段】真空容器12内に区画する区画部23を設ける。区画部23内には、電子銃14から電子ビーム15が入射して連続Ｘ線28を放出する１次ターゲット26を設け、１次ターゲット26から放出された連続Ｘ線28が入射して特性Ｘ線29を放出する２次ターゲット27を設ける。２次ターゲット27には、ボックス形で、電子ビーム15が通過する電子ビーム通過孔30を設け、電子ビーム通過孔30を設けた面に対して交差する面に特性Ｘ線29をシートビーム形状に規制して放出するＸ線通過孔31を設ける。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線により元素分布もしくは分子分布に関する検査対象を非破壊分析する。
【解決手段】Ｘ線源によって、定められたエネルギースペクトルを有するＸ線（１）が発生され、Ｘ線（１）のビーム通路内の少なくとも１つのＸ線光学格子（２）により、このＸ線の定在波場（４）が発生され、このＸ線定在波場（４）が少なくとも部分的に検査対象（５）内に位置決めされ、検査対象（５）内のＸ線定在波場（４）によって励起された放射（６）が、検査対象（５）とＸ線定在波場（４）との間の少なくとも１つの相対的位置に依存して測定され、Ｘ線定在波場（４）によって励起された放射（６）の測定結果から、検査対象（５）内の物質分布（５．ｘ）が推定される。 （もっと読む）

【課題】注目部位のＸ線光軸方向の位置を正確に求め、透視拡大率の正確な値を求めることができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 傾動機構１６と、被測定物の注目部位Ｓｐを基準状態で撮影した基準画像記憶部３６と、注目部位Ｓｐの傾斜状態形成部１６、３３と、基準状態でＸ線光軸とステージ面とが交差する交点Ｐ_１が傾斜状態のときのＸ線光軸とステージ面との交点Ｐ_２となるように、Ｘ線光軸の傾動動作に連動してステージを移動させるステージ追尾移動部１５、３４と、傾斜状態で撮影した画像を蓄積する傾斜画像記憶部３７と、基準画像から特徴情報を抽出する特徴情報抽出部３８と、特徴情報に基づいて傾斜画像中の注目部位を探索する注目部位探索部３９と、基準画像と傾斜画像との画像上の位置により注目部位の移動量（Ｄ）を算出する移動量算出部４０と、移動量（Ｄ）に基づいて注目部位の光軸方向の位置を算出する光軸方向位置算出部４１とを備える。 （もっと読む）

【課題】 新たな被測定物について新たに条件設定を行う場合でも、操作者が適切なＸ線条件、画像処理条件の設定を容易に行うことができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線発生装置１１とＸ線検出器と１２からなるＸ線測定光学系１３と、Ｘ線測定光学系１３を制御するとともに撮影した透視Ｘ線像の画像処理を行うことによりＸ線画像を作成して表示装置のモニタ画面に表示する制御を行う制御系２０とを備え、制御系２０は、Ｘ線発生装置のＸ線条件および透視Ｘ線像の画像処理条件を含むＸ線画像作成のための設定条件とその設定条件にて観察する観察部位の材質・厚さを含む観察部位情報とを関係付けて一括して登録した登録データを記憶する登録データ記憶領域５１を備え、観察部位情報の入力により登録データ記憶領域に蓄積された登録データに基づく条件設定を行う条件設定制御部３０を備える。 （もっと読む）

【課題】スループット良く且つ高精度で試料の欠陥の検出が可能な基板検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置１は、真空状態のワーキングチャンバ３０と、Ｌ_aＢ_６電子源を備えた電子光学装置７０と、ワーキングチャンバへウェーハを搬出入するローダハウジング４０と、ワーキングチャンバに接続され、内部が雰囲気制御されているミニエンバイロメント装置２０と、を備える。ローダハウジング４０は、ミニエンバイロメント装置２０に接続する第１のローディングチャンバと、ワーキングチャンバに接続する第２のローディングチャンバと、第１及び第２のローディングチャンバの間の連通を選択的に阻止する第１のシャッタ装置２７と、第２のローディングチャンバとワーキングチャンバとの間の連通を選択的に阻止する第２のシャッタ装置４５と、を備え、第１及び第２のローディングチャンバには各々真空排気配管と不活性ガス用のベント配管とが接続される。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子ビームの軌道の調整作業を容易化して調整精度を向上させることができる軌道位置ずれ検出装置，組成分析装置及び荷電粒子ビームの軌道調整方法を提供すること。また，エネルギー分解能や散乱粒子の取得効率を容易に変更することができる組成分析装置を提供すること。
【解決手段】絞り部３１と超音波モータ３２と駆動軸３３とを備えて構成された開口状態変更装置３０により，基準ビーム軸上の所定の位置に配置され荷電粒子ビームを通過させる開口部３１ａの開口径（開口状態）を変更可能とする。
また，上記開口部３１ａを通過した或いは該開口部３１ａから外れた上記荷電粒子ビームの強度を測定し，該荷電粒子ビームの強度に基づいて上記荷電粒子ビームの軌道と上記基準ビーム軸との位置ずれの有無を検出する。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線画像を用いた算術演算や論理演算を実行しようとする場合に、直感的に演算内容を把握することができる入力画面を表示するようにしたＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線画像を用いてそのＸ線画像に対する算術演算や論理演算の画像処理を行う機能を備えたＸ線検査装置１であって、実行する演算の種類を入力する演算子入力部６２とその演算の対象となるＸ線画像を入力する項入力部６１とが演算式を構成するように表示される演算式入力画面２を表示するようにして演算の種類およびＸ線画像の入力を促す演算入力画面表示制御部３４を備える。 （もっと読む）

【課題】 全受光面全体を使用でき、その上で、寿命をできるだけ正確に予測することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線源１１とフラットパネルＸ線検出器１２とからなるＸ線測定光学系１３が被測定物を挟むようにして対向配置され、フラットパネルＸ線検出器１２への入射Ｘ線量と同等なＸ線量を、累積的に測定または算出することによりフラットパネルＸ線検出器１２への累積入射Ｘ線量を見積もる累積入射Ｘ線量見積もり部３４と、予め設定された判定基準と見積もられた累積入射Ｘ線量との比較によりフラットパネルＸ線検出器の寿命を判定する寿命判定部３５とを備える。 （もっと読む）

【課題】１つの窓部と窓部を挟んで両側に連設された２つのＸ線遮蔽部とを一組とするＸ線シャッタ板を往復動させることにより、Ｘ線源の照射口を開閉してＸ線の照射の有無や照射時間を簡便に制御することができ、可動部が小型、軽量で省スペース性に優れるＸ線撮影用シャッタ機構の提供。
【解決手段】（ａ）窓部と、窓部を挟んで両側に連設された二つのＸ線遮蔽部と、を有するＸ線シャッタ板と、（ｂ）Ｘ線シャッタ板に連設されＸ線シャッタ板を往復動させＸ線源の照射口を開閉するシャッタ開閉機構と、を有し、照射口を開放する速度と照射口を閉塞する速度が等しい構成を備えている。 （もっと読む）

【課題】 ポインティングデバイスを用いた簡単な操作で所望の測定位置、測定角度に視野調整することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 被測定物の外観画像を表示してポインティングデバイス２３によるステージの並進移動の指示を促す外観画像表示領域２４ｂ、２４ｃと、回転角およびＸ線光軸の傾動角の指定が可能な観察方位図を表示してポインティングデバイス２３によるステージの回転移動とＸ線測定光学系の光軸の傾動との指示を促す観察方位図表示領域２４ｄとの表示を行う操作画面表示制御部を備える。 （もっと読む）

【課題】 検出Ｘ線の波長によってフローガスの切換えやフローガスの減圧などの手間や窓の破損がなく、安価で、長波長Ｘ線に対し高感度でＳ／Ｎ比のよいＸ線用ガスフロー型比例計数管などを提供する。
【解決手段】 Ｘ線検出用フローガスとしてアルゴンガス、ヘリウムガスおよびメタンガスを所定の体積割合で混合した混合ガスを流すように構成されたＸ線用ガスフロー型比例計数管１０。 （もっと読む）