【課題】半導体デバイスの膜の特性をインラインで測定して、定期的なモニタリング作業を不要にした半導体デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】基板１上に複数の膜を積層して成膜する。この基板１上に形成され上記基板１上の特定エリアを示すパターンを認識し、この特定エリアのみの上記複数の膜に、Ｘ線をマイクロ化されたスポット径で照射して、Ｘ線反射率測定によって、上記各膜の特性を測定する。 （もっと読む）

【課題】微細Ｘ線ビームを試料に照射するＸ線装置において、ＸＹＺφステージ上の試料位置を正確な位置に調整する。
【解決手段】Ｘ線ビーム２’をＸＺ面に入射し、Ｘ軸を移動して回折Ｘ線２ａ強度が急変するＸ座標Ｘ１、Ｘ２を基準として試料１面内の位置を決定する。また、Ｚ軸廻りに１８０度φ回転をした前後に読み取られる座標Ｘの値Ｘ' _ob、Ｘ_obの差ΔＸを求め、ΔＺ＝ΔＸ・ｔａｎθ／２（θは入射角）としてＺ軸をΔＺ補正する。ＸＹ面と試料表面１ａがずれていると、Ｚ軸廻りの回転によりＸ線ビームの位置がＸ軸に対してずれる。このずれは回転前後に読み取られる座標の差ΔＸとして観測されるので、このずれを補正することができる。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイスの外観検査と内部検査とを単一化して検査効率を極大化させる半導体デバイス検査装置を提供する。
【解決手段】表面実装型半導体チップパッケージや半導体モジュールなどの半導体デバイスに対する外観及び内部検査において、半導体デバイスの外観映像を獲得する外観映像検出部１２１と半導体デバイスにＸ線を照射して透過映像を獲得する透過映像検出部１３１と外観映像検出部１２１の検査情報と透過映像検出部１３１から獲得された映像情報とを基準映像と比較して良好/不良を判定するコントローラー１４１とを備える。 （もっと読む）

【課題】筋引きの少ない良好な観察用断面を作製することができるとともに、スループットを向上させることが可能な集束イオンビーム装置、及び、良好な観察用断面を作製して、正確な観察像を得ることができる試料の断面加工・観察方法を提供する。
【解決手段】集束イオンビーム装置１は、試料Ｓを載置する試料台２と、試料台２を水平面上の二軸及び鉛直軸の三方向に移動させることが可能な三軸ステージ３と、試料Ｓに対して集束イオンビームＩ１、Ｉ２を照射する第一の集束イオンビーム鏡筒１１及び第二の集束イオンビーム鏡筒１２とを備え、第一の集束イオンビーム鏡筒１１及び第二の集束イオンビーム鏡筒１２は、互いの集束イオンビームＩ１、Ｉ２の照射方向が、平面視略対向するとともに、側方視鉛直軸に対して略線対称に傾斜するように配置されている （もっと読む）

【課題】温度変化によって膨張、収縮したとしても保持している試料の位置を変化させること無く、正確に位置決め、保持することが可能な試料保持機構、及び、この試料保持機構を備えた試料加工・観察装置に提供する。
【解決手段】試料加工・加工観察装置１は、試料保持機構２０を備えている。試料保持機構２０は、試料Ｓを保持する試料ホルダ２１と、試料ホルダ２１を着脱可能に支持するベース２２とを備える。これらの間には、回転可能に支持する回転支持部２７と、回転中心２７ａからＸ方向に向って摺動可能に支持するスライド支持部２８と、Ｘ方向及びＹ方向に摺動可能に支持する当接支持部とが、着脱可能に設けられている。上面２１ａには、回転中心２７ａからＹ方向及びＸ方向に沿って配置され、試料Ｓの一辺Ｓ１及び他辺Ｓ２に当接するＸ方向位置決めピン３１及びＹ方向位置決めピン３２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線測定光学系と被測定物との破損を防止しつつ、Ｘ線検出器又はステージを移動させることにより、様々な位置の被測定物の透視Ｘ線像を撮影できるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線検出器１２とＸ線源１１との間で被測定物を配置するステージ１４と、ステージ駆動機構とを備えるＸ線検査装置１であって、可視光像を撮影する光学カメラ１６と、ステージ１４を回転移動させつつ撮影された可視光像に基づいて、被測定物とＸ線測定光学系１３とが接触する可能性がある衝突危険領域を設定する衝突危険領域設定手段３２と、Ｘ線測定光学系１３の一部が衝突危険領域に入っているか否かを判定する衝突判定手段３３と、Ｘ線測定光学系１３の一部が衝突危険領域に入っていると判定したときに、Ｘ線測定光学系１３の全部が衝突危険領域に入っていないときの移動速度より遅い所定の移動速度にする移動速度制御手段５２とを備える。 （もっと読む）

【課題】
試料となるウェーハを割ることなしにウェーハ断面を水平から垂直迄の方向からの断面観察や分析を高分解能，高精度かつ高スループットで行える微小試料加工観察装置および微小試料加工観察方法を実現することを目的とする。
【解決手段】
上記課題を解決するために本発明装置では、同一真空装置に集束イオンビーム光学系と電子光学系を備え、試料の所望の領域を含む微小試料を荷電粒子線成型加工により分離し
、分離した該微小試料を摘出するプローブを備えた。 （もっと読む）

【課題】 鉄鋼中のカーボン分析において、定性分析で得られるスペクトルに基づく簡易的な定量分析の精度を向上させることの可能な定量分析方法を提供する。
【解決手段】 試料10に電子線を照射し、該試料10の表面より放出される特性Ｘ線を検出して試料10の定量分析を行う定量分析方法において、鉄鋼の定性分析時にカーボンの分析に要する電子線照射時間の検出Ｘ線強度に対する影響を測定し、分析計測時間影響曲線を作成し登録するステップと、鉄鋼の定性分析を行い、カーボンの分析に要した分析計測時間に応じて、予め登録されている前記分析計測時間影響曲線に基づいて、定性分析結果得られたエネルギースペクトル強度によるカーボンの定量分析結果に対して定量補正を行うステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】注目部位のＸ線光軸方向の位置を正確に求め、透視拡大率の正確な値を求めることができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 傾動機構１６と、被測定物の注目部位Ｓｐを基準状態で撮影した基準画像記憶部３６と、注目部位Ｓｐの傾斜状態形成部１６、３３と、基準状態でＸ線光軸とステージ面とが交差する交点Ｐ_１が傾斜状態のときのＸ線光軸とステージ面との交点Ｐ_２となるように、Ｘ線光軸の傾動動作に連動してステージを移動させるステージ追尾移動部１５、３４と、傾斜状態で撮影した画像を蓄積する傾斜画像記憶部３７と、基準画像から特徴情報を抽出する特徴情報抽出部３８と、特徴情報に基づいて傾斜画像中の注目部位を探索する注目部位探索部３９と、基準画像と傾斜画像との画像上の位置により注目部位の移動量（Ｄ）を算出する移動量算出部４０と、移動量（Ｄ）に基づいて注目部位の光軸方向の位置を算出する光軸方向位置算出部４１とを備える。 （もっと読む）

【課題】 入力操作を行う際に、駆動機構の現在位置を把握できるようにし、また、リミット位置に達したことを把握できるようにして、操作性を向上させたＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 ステージ１４と、Ｘ線測定光学系１３と、ステージ１４やＸ線検出器１２を移動する駆動機構部１６、１７と、ステージ１４やＸ線検出器１２の現在位置を検出する位置検出手段１８と、検出された現在位置と移動限界位置との位置関係を判定する位置判定部３５と、ステージ１４またはＸ線検出器１２を移動するためのスイッチ手段２４ｅ〜２４ｇを含む操作画面２４ｃを表示装置のモニタ画面２４ａに表示する操作画面表示制御部３３と、現在位置と移動限界位置との位置関係の判定結果に基づいて操作画面中のスイッチ手段の表示内容を変更するスイッチ手段表示変更部３６とを備える。 （もっと読む）

【課題】 新たな被測定物について新たに条件設定を行う場合でも、操作者が適切なＸ線条件、画像処理条件の設定を容易に行うことができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線発生装置１１とＸ線検出器と１２からなるＸ線測定光学系１３と、Ｘ線測定光学系１３を制御するとともに撮影した透視Ｘ線像の画像処理を行うことによりＸ線画像を作成して表示装置のモニタ画面に表示する制御を行う制御系２０とを備え、制御系２０は、Ｘ線発生装置のＸ線条件および透視Ｘ線像の画像処理条件を含むＸ線画像作成のための設定条件とその設定条件にて観察する観察部位の材質・厚さを含む観察部位情報とを関係付けて一括して登録した登録データを記憶する登録データ記憶領域５１を備え、観察部位情報の入力により登録データ記憶領域に蓄積された登録データに基づく条件設定を行う条件設定制御部３０を備える。 （もっと読む）

【課題】簡単な機構と制御で検査倍率を保ち、画像の明るさ変化の少ない透視角度可変のＸ線透視検査装置を提供する。
【解決手段】検査領域がＸ線のほぼ光軸上に位置すると共に、Ｘ線源と被検体テーブル１３間距離を調整し、被検体２１の検査倍率を設定するように、被検体テーブル１３を平行移動させて位置設定するテーブル移動手段１４と、Ｘ線の照射領域内において、Ｘ線検出器を被検体テーブルのテーブル面に対して傾斜した検出器移動方向に直線的に移動させて位置設定する検出器移動手段１５と、固定したＸ線源に対してＸ線検出器を位置設定させるように検出器移動手段１５を制御し、検査領域がＸ線のほぼ光軸上に位置するように被検体テーブルを位置設定させて検査領域のテーブル面法線から所定の傾斜角αで傾斜した方向の透過画像を検出させるようにテーブル移動手段１４を制御させる機構制御手段１６を有する。 （もっと読む）

【課題】接触センサを用いることなく、また、オペレータの入力ミスがあったとしても確実にＸ線検出器と試料との干渉を防止することのできるＸ線透視装置を提供する。
【解決手段】試料ステージ３の上面と平行に平行光を出力する光電スイッチ２０を設けるとともに、その光電スイッチ２０と試料ステージ３を相対的に上下動させる上下動機構（ステージ移動機構）４を設ける一方、試料高さｈを入力する入力手段（操作部）１１を設け、光電スイッチ２０と試料ステージ３の上下方向（ｚ軸方向）距離を入力内容ｈと略一致させた状態で、試料ステージ２０をその上面に沿って移動させ、そのときの光電スイッチ２０の検出出力があった場合には、自動的に規定量δだけ光電スイッチ２０と試料ステージ３の上面との距離を増大させ、光電スイッチ２０の検出出力がなくなったときの両者間の距離Ｈを記憶し、その距離Ｈ以下に試料ステージ３とＸ線検出器２がｚ軸方向に接近しないように移動範囲やＸ線検出器２の傾動範囲を制限する。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線画像を用いた算術演算や論理演算を実行しようとする場合に、直感的に演算内容を把握することができる入力画面を表示するようにしたＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線画像を用いてそのＸ線画像に対する算術演算や論理演算の画像処理を行う機能を備えたＸ線検査装置１であって、実行する演算の種類を入力する演算子入力部６２とその演算の対象となるＸ線画像を入力する項入力部６１とが演算式を構成するように表示される演算式入力画面２を表示するようにして演算の種類およびＸ線画像の入力を促す演算入力画面表示制御部３４を備える。 （もっと読む）

【課題】 測定点間を移動する際の被測定物とＸ線測定光学系との衝突を予測し、衝突防止を図る。
【解決手段】 Ｘ線源１１とＸ線検出器１２との間に被測定物Ｓが位置するように被測定物を載置するためのステージ１４と、駆動機構１５とを備え、ステージ上に載置された被測定物の複数の測定点についてのＸ線検査を行うＸ線検査装置１において、光学カメラ画像に基づいて被測定物の立体形状を抽出する立体形状抽出部３６と、測定点に関する位置情報の入力を受ける測定点情報入力部３７と、測定点間を最短経路で移動させるときに移動中の被測定物が通過する範囲を抽出する通過範囲抽出部３８と、Ｘ線測定光学系１３と被測定物の通過範囲との位置関係とに基づいて衝突可能性を判定する衝突判定部４１と、衝突可能性がある場合に回避ルートを算出する回避ルート算出部４２とを備える。 （もっと読む）

【課題】複数の試料に対してＸ線回折測定を行う場合に、それぞれの試料のＸ線回折パターンが独立に正確に得られにくいという問題点があった。
【解決手段】Ｘ線を試料に向けて照射するためのＸ線照射部と回折Ｘ線を検出するための回折Ｘ線検出部と試料を保持するための試料保持部とを有するＸ線回折装置において、
試料保持部の所定位置に光を照射する光照射部と、光照射部から発生した光を試料に照射して得た反射光を受光する受光部と、反射光の受光角度又は受光位置を測定し、それに応じて試料保持部の試料の厚さ方向の移動距離を決定する位置制御部と、決定された移動距離に応じて試料保持部を試料の厚さ方向に移動させる移動部とを有する位置調整機構を有する、ことを特徴とするＸ線回折装置。 （もっと読む）

【課題】 画質向上の問題と視野移動に対する追従性との相反する課題を解決し、使い勝手のよいＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線測定光学系１３のＸ線検出器により撮影された映像信号に基づいて透視Ｘ線像のコマ画像データを１コマずつ繰り返し作成するコマ画像データ作成部３１と、画像バッファメモリ２４に精細画像データ作成用の画像データを蓄積し、蓄積した画像データと最新の透視Ｘ線像のコマ画像データとを用いて精細画像データを作成する精細画像データ作成部３２と、画像データを表示する表示装置２３と、被測定物とＸ線測定光学系との位置関係を調整して被測定物に対する測定視野を変動させる視野調整部１４、３３と、測定視野の変動の有無を判定する視野変動判定部３４と、視野が変動している判定のときはコマ画像データを表示し、視野が一定である判定のときは精細画像データを表示する画像モード切替部３５とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ポインティングデバイスを用いた簡単な操作で所望の測定位置、測定角度に視野調整することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 被測定物の外観画像を表示してポインティングデバイス２３によるステージの並進移動の指示を促す外観画像表示領域２４ｂ、２４ｃと、回転角およびＸ線光軸の傾動角の指定が可能な観察方位図を表示してポインティングデバイス２３によるステージの回転移動とＸ線測定光学系の光軸の傾動との指示を促す観察方位図表示領域２４ｄとの表示を行う操作画面表示制御部を備える。 （もっと読む）

【課題】限られた空間を持つ装置内に載置された二次元検出器を用いて、投影像の輝度の減衰を抑えつつ、投影像の拡大率を向上させる。
【解決手段】Ｘ線源１と、二次元検出手段２と、Ｘ線源１のＸ線焦点と二次元検出手段２との間に配置され被検査体７を載置してＸ線焦点から二次元検出手段７の初期位置検出面に降ろした垂線に直交する回転軸を中心に設定された角度変位で回転する回転手段とを用い、各角度位相毎に撮像された投影像より被検査体７の内部構造データを再構成する方法において、Ｘ線焦点から二次元検出手段２の検出面に降ろした垂線の長さを一定に、かつ検出面の側端部が各々の位置で一部重なるよう、被検査体７の回転軸と平行でＸ線焦点を通る回転軸について二次元検出手段２を旋回させる。そして各撮像位置において各角度位相の投影像を撮像し、撮像された投影像から再構成計算を行い、被検査体の内部構造データを再構成する。 （もっと読む）

【課題】 マウスを用いて移動方向と移動速度を同時に制御することができるようにしたＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線源１１とＸ線検出器１２との間において被測定物を載置するステージ１４と、ステージ上の被測定物とＸ線測定光学系１３との位置関係を調整する駆動部１５と、モニタ画面２４ａと、Ｘ線検出器１２により撮影された映像信号に基づいて透視Ｘ線画像を作成するＸ線画像作成部３１と、モニタ画面に透視Ｘ線画像の画像表示を行うＸ線画像表示制御部３２と、モニタ画面の任意の位置にポインタを表示するとともにクリック操作によりポインタの位置を指定するマウス２３と、モニタ画面２４ａに表示した透視Ｘ線画像２４ｂ上でマウスのクリック操作による位置指定が行われたときに、指定位置に応じて駆動部１６に対する駆動信号を発生する駆動信号発生部３３とを備える。 （もっと読む）