【課題】 ポインティングデバイスを用いた簡単な操作で所望の測定位置に視野調整することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】被測定物を載置するステージと、Ｘ線測定光学系に対する位置が関係付けられ被測定物全体の外観画像を撮影する光学カメラと、ステージ上の被測定物とＸ線測定光学系との位置関係を調整する駆動部と、モニタ画面と、透視Ｘ線像の画像表示を行うＸ線画像表示制御部と、光学カメラで撮影された外観画像を表示する外観画像表示制御部と、入力操作に基づいて指定した測定位置をＸ線測定光学系の測定視野に移動させるための駆動部制御信号を発生するＸ線検査装置であって、外観画像上でポインタにより指定した測定位置を予め操作ボタンに登録し、登録後に操作ボタンを指定する入力によりその操作ボタンに登録された測定位置を外観画像上で指定する入力操作を代行する制御を行う操作ボタン登録制御部を備える。 （もっと読む）

【課題】 同一形状の被測定物を次々測定する際に、ティーチングを行う必要なく簡単な入力操作で各測定点を入力することがＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 同一形状の被測定物群を一定間隔ごとに規則的に配列する搭載治具１５を用いてステージ１４上に複数の被測定物群Ｓを載置し、初回測定点位置、測定点間距離、測定繰り返し回数を含む測定位置情報の入力を促す測定位置情報入力制御部３３と、入力された測定位置情報に基づいて各測定点位置を算出する測定点位置算出部３４と、算出された各測定点位置を順次Ｘ線測定光学系の測定視野内に移動するステージ駆動機構制御部３５とを備える。 （もっと読む）

【課題】１次Ｘ線の強度を低下させることなく試料の微小領域に集光させることができるようにする。
【解決手段】試料１を載置する試料台１３と、１次Ｘ線を試料１の表面に対し全反射を起こす入射角で入射させる１次Ｘ線照射部２と、試料１の表面に対向して配置され、試料１から発生する蛍光Ｘ線を検出する検出器１１とを備えている。１次Ｘ線照射部２は１次Ｘ線を発生するＸ線源３、及びその１次Ｘ線を集光して試料１に照射するポリキャピラリーＸ線レンズ５を備え、さらに好ましくはポリキャピラリーＸ線レンズ５から出射した１次Ｘ線のうち試料表面に対して全反射条件を満たさない入射角をもつ１次Ｘ線を遮蔽するスリット７を備えている。 （もっと読む）

【課題】 試料室内の水分を低ランニングコストで効率よく吸着・再生すると同時に、外部の磁気の影響を受けにくし、総じて検出性能を高めた試料分析装置を提供する。
【解決手段】
試料分析装置１において、コールドトラップ装置１０の低温パネル８０として、特に透磁率が大きいパーマロイと、熱伝導率が大きい無酸素銅と、によるクラッド材を用いて内外で二層構造となるように形成した。低温パネル８０のパーマロイは外部からの磁気を吸収させる機能を有し、また、無酸素銅により熱の昇降速度を向上させる機能を有するため、検出性・操作性を向上させた試料分析装置１とした。 （もっと読む）

【課題】
マイクロチップを用いて複数元素を同時に高感度に分析できるようにする。
【解決手段】
マイクロチップ１は、基板３０と、基板３０の内部に形成された流路２３と、基板３０の平坦な表面の一部からなり、流路２３の出口が開口９ｃとして形成され、その開口９ｃから溢れ出た測定対象液が基板３０の平坦な表面にとどまって分析試料となる分析部１０とを備えている。このマイクロチップ１を使用して、分析部１０に測定対象液を分析試料として溢れ出させ、好ましくは分析試料を乾燥させた後、１次Ｘ線を全反射の条件で入射させて蛍光Ｘ線を検出する。 （もっと読む）

【課題】 基準片を用意してそれを撮影することなく、正確に撮影倍率を求めることのできるＸ線撮影装置を提供する。
【解決手段】 任意の第１の状態で取り込んだ試料ＷのＸ線透視像Ｗ_A の寸法情報ａと、第１の状態から試料ステージ３をＸ線光軸方向に既知量ΔＺ１だけ移動させた第２の状態で取り込んだ試料ＷのＸ線透視像Ｗ_B の寸法情報ｂと、ΔＺ１とからＳＯＤを算出するとともに、第１の状態からＸ線検出器２をＸ線光軸方向に既知量ΔＺ２だけ移動させた第３の状態で取り込んだ試料ＷのＸ線透視像Ｗ_C の寸法情報ｃと上記第１の状態でのＸ線透視像Ｗ_A の寸法情報ａ並びにΔＺ２からＳＩＤを算出し、これらを用いて第１の状態における撮影倍率を求めることにより、基準片の撮影を行うことなく正確な撮影倍率の算出を可能とする。 （もっと読む）

【課題】複数の電子線間のクロストークを防止し、放出される２次電子を効率良く検出器に導くことができ、スループットを向上した欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】２次電子の像面1005での開口角度と拡大倍率から、対物レンズから見た試料面1010での見掛けの角度を求め、該見掛けの角度と、２次電子の初期エネルギーと、対物レンズのビームポテンシャルから試料面での受け入れ角度を求め、該受け入れ角度を基に、２次電子の収率を求め、所要のＳ／Ｎ比と、開口角で決まる分解能に基づいて、隣接１次電子線の照射間隔をクロストークが問題にならないような距離以上に離す。 （もっと読む）

本発明は、コンピュータ断層撮影（ＣＴ）用の測定装置および方法に関する。該測定装置は、侵襲的放射線、特にＸ線を生成するための放射源（２）と、回転機構（７）とを有し、該回転機構の構成および配置が、測定対象（１）が回転機構（７）の回転軸（Ｔ）を中心に回転することができ、さらに、このように回転することで侵襲的放射線がさまざまな方向から測定対象（１）を貫通することができるような構成および配置である。さらに、測定対象（１）を貫通した放射線を検出するための検出機構（３）が備えられている。調整機構を具備する位置決め機構（５）が、測定対象の位置を検出機構（７）に相対して調整できるように構成されている。
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【課題】構造が簡単で、試料の交換作業を短時間で行なえる真空搬送装置を実現し、しかも、占有面積が小さく、スループットを向上させた荷電粒子線検査装置を提供する。
【解決手段】２つの駆動源２，１０により回転および上下動作が可能なアーム１と、このアーム１の両端に、アーム１の回転に伴って回転するように支持されて試料を載置する第１のハンド２２と第２のハンド２３とを上下方向に離間させて配置して、アーム１の回転と上下動作の制御のみにより試料の搬送とその交換を可能した真空搬送装置２６を構成し、また、この真空搬送装置２６を荷電粒子線検査装置の予備排気室ではなく真空試料室内に配置した。 （もっと読む）

【課題】 高い三次元位置分解能で高精度の蛍光Ｘ線三次元分析を可能とする蛍光Ｘ線三次元分析装置を提供する。
【解決手段】 試料を載置するための移動ステージと、X線源及び前記X線源から照射されるX線を試料内部において集光点に集光する照射側集光光学部とを有するX線照射集光手段と、移動ステージに載置される試料から発生する蛍光Ｘ線を集光する検出側集光光学部及び検出側集光光学部により集光される蛍光X線を受けてその検出を行う検出器とを有する蛍光X線検出手段と、移動ステージを三次元に移動させる駆動手段と、検出側集光光学部の焦点と、照射側集光光学部の集光点とを試料内部において一致させる調整手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】増強された分解能をもつＸ線散乱測定を用いた試料の検査方法を提供する。
【解決手段】その試料の検査方法は、試料に向かってＸ線ビームを誘導する段階と、試料から散乱させられたＸ線を捕捉すべく検出器素子のアレイを構成する段階とを含む。試料は、アレイのピッチの整数倍数でない増分だけ相互に分離された少なくとも第１および第２の位置との間で該アレイの軸に平行な方向にシフトされる。試料がそれぞれ少なくとも該第１および第２の位置のそれぞれにあるときに検出器素子が捕捉したＸ線に応答して、該検出器素子により少なくとも第１および第２の信号が生成される。この第１および第２の信号は、前記軸に沿った位置の関数として、試料のＸ線散乱プロファイルを決定すべく合成される。 （もっと読む）

【課題】 重金属で汚染された土壌の汚染度検出及び検出にあたっての前処理をオンラインで正確に行うとともに、検出結果に正確に対応して汚染土壌を仕分けることができる汚染度樹仕分け装置を提供する。
【解決手段】 間欠して所定の角度ずつ回転するターンテーブル１０上に、複数の容器１１を周方向に配列する。これらの容器にホッパー１２から重金属で汚染された土壌の所定量を順次に投入する。前記土壌の投入位置の下流側で停止する位置には前処理装置１３が設けられ、容器内で堆積する土壌の高さを調整し、その下流側で蛍光Ｘ線分析装置１４により汚染度を検出する。さらに下流側には複数の停止位置に対応して、それぞれにベルトコンベア１６，１７，１８が設けられ、制御装置１５が上記蛍光Ｘ線分析装置の検出結果に基づいて移載するコンベアを選択し、対応するコンベアが設けられた位置で停止したときに容器内の土壌を移載する。 （もっと読む）

【課題】 オペレータの勘や経験に頼ることなく、現在の透視位置を直感的に確実に把握することができ、また、一連の簡単な操作により透視位置の設定や倍率変更、加えて回転ないしは傾動を含むマニピュレータ制御を行うことのできるＸ線透視装置を提供する。
【解決手段】 ステージ３上の被写体Ｗを撮影する光学カメラ３０を設け、その光学カメラ３０による被写体Ｗの外観像Ｗｏ上でマーカーＭを移動させ、かつ、その移動による指令内容を透視位置の変更／透視範囲（倍率）の変更、加えて回転角度および傾動角度の変更のいずれかに設定する入力手段２６を設け、その入力手段の操作によるマーカーの移動により指定された透視位置・透視範囲（倍率）・回転角度・傾動角度が得られるように、ステージ３等を自動的に駆動制御することで、現在の透視位置を直感的に把握し、簡単な操作により被写体Ｗ上の意図する位置の意図する倍率のＸ線透視像を得ることを可能とする。 （もっと読む）

【課題】ＣＴ装置について、冷却装置を簡易なものとしても、周囲温度変化にかかわらず高画質な断層像を長時間にわたって得ることを可能とする。
【解決手段】被検体を透過した放射線を検出する検出装置を備えるとともに、検出装置への入射放射線を制限するコリメータを備えたＣＴ装置について、ポストコリメータ６の検出装置側の端面６ｆと検出装置７における検出器ホルダ２２のコリメータ側の端面２２ｆの間に、ポストコリメータと検出装置を熱伝導的に分離する分離空隙３１を設け、かつその分離空隙を密閉状態にしている。 （もっと読む）

【課題】 化合物の結晶粒を確実に識別して、その構造解析を容易に行うことができる化合物の観察方法及び該方法に用いる着色溶液を提供すること。
【解決手段】 Ｘ線回折実験において、試料である化合物の結晶画像を撮影し、撮影した画像により結晶を観察しながら試料のＸ線照射位置決め作業を行うに際し、結晶を着色溶液６に入れた後、結晶を着色溶液６とともにすくい上げて固化し、結晶に透過光を照射して結晶画像を撮影するようにした。 （もっと読む）

【課題】 製造ラインを停止させずに検査結果が正しいか否か、或いは検査結果の確からしさを容易に確認できることから検査結果の検証が容易となり、検査結果の誤差を自動的に補正できる。
【解決手段】 被検査物２を所定の搬送方向Ｙに搬送しながら計量する計量手段３と、計量手段３による計量値と設定値とを比較判定して判定信号を出力する制御手段６と、判定信号を受けて被検査物２を良品と不良品とに選別する排出手段７と、計量値を出力する出力手段９とを備える重量検査装置１において、計量値の確からしさを確認するために被検査物２ａを搬送方向Ｙと異なる方向に排出するようにモード切換信号を出力する排出指示手段５を備え、制御手段６は、モード切換信号を受けて計量値を確認用計量値として記憶するとともに被検査物２ａを搬送方向Ｙと異なる方向に排出する排出信号を出力し、出力手段９は、確認用計量値を出力する。 （もっと読む）

【課題】 蛍光Ｘ線を用いて被測定物に含まれる微少物質を測定するに際して、比較的簡単な構成で、被測定物の複数の面を正確に且つ安定して測定できるようにする。
【解決手段】 蛍光Ｘ線を用いて被測定物Ｗの材料中に含まれる物質を測定する物質測定装置Ｓであって、被測定物が配置される測定ステーションＡｓを有する装置ベースＢｓと、測定ステーションに配置された前記被測定物を位置決め状態で保持し且つ保持状態で回転し得る保持回転手段Ｍと、測定ステーションに位置決め状態で保持された被測定物の測定面にＸ線を照射する照射手段２６と被測定物の測定面で反射したＸ線を検出する検出手段２７とを有する測定手段と、該測定手段および前記保持回転手段の作動を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 短時間で確実に高精度の焦点合わせができるように改良した光電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】 収束イオンビームまたは電子ビームを試料表面の観察部位の直近に照射してマーキングするためのイオン源または電子線源を備えたことを特徴とする光電子顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で、大気圧で分析すべき試料が真空で分析されるのを防止できる蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】 真空と大気圧に雰囲気が切り替えられる分析チャンバ11内で、試料ホルダ8 に収納された試料3 に１次Ｘ線2 の照射などを行う分析装置本体10と、複数の試料ホルダ8 が載置される試料テーブル21を有し、分析装置本体10に対して試料ホルダ8 の搬出入を行う試料交換機20と、試料テーブル21における試料ホルダ8 の載置場所21a ごとに、試料3 に適用される雰囲気などの分析条件が設定される分析条件設定手段33と、その分析条件に従い分析装置本体10および試料交換機20の動作を制御する制御手段34とを備える。試料テーブル21における試料ホルダ8 の各載置場所21a に、分析チャンバ11内のいずれかの雰囲気が割り当てられており、その割り当て状況が表示手段31または試料テーブル21自体に表示される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、２方位のみの測定で結晶格子面傾斜角を精度よく測定することを目的とする。
【解決手段】ペンシル状Ｘ線ビームを含む面であるδ回転面に沿って回折点を通るδ回転軸と直交し、被検体である結晶の被検査面に略垂直なｚ軸と略同軸に設定されたφ回転軸回りにＸ線源、Ｘ線検出器及びδ駆動部を一体でφ回転させてδ回転面を所定角度に設定し該所定角度でδ回転を行ったときのＸ線検出器のピーク出力を与えるδ回転量の読み値から結晶の格子面法線の前記φ回転軸に対する傾斜角を計算するデータ処理部と、試験用結晶片をλ回転可能に保持しそのλ回転軸が上記ｚ軸と平行になるよう試験用結晶片３１をｚ駆動部９に取付ける治具３３とを有し、上記データ処理部は上記λ回転の１８０度異なる２つの位置に対する上記試験用結晶片３１の上記傾斜角のそれぞれの計算値から上記ｚ軸の上記φ軸に対する設定誤差を計算する。 （もっと読む）