より簡易な装置構成で、透過画像を自由な拡大率で表示させることができ、しかも操作性に優れた透過撮影装置を提供することを目的とする。 線源３ａ及び放射線検出体を設け、これら線源３ａ及び放射線検出体の間に試料を取り付ける試料テーブル４を設け、透過撮影した画像を表示装置に表示可能とする。線源３ａ及び放射線検出体と試料テーブル４との間の相対座標を変更可能なテーブル駆動機構６を設ける。放射線検出体にはフラットパネルＸ線検出器５を使用し、撮影した単位画像を複数個合成して合成画像を表示すると共に座標データを付与する。合成画像上又はその一部をなす画像上に位置及び範囲の変更可能な撮影選択枠を表示し、座標データと撮影選択枠との比較により相対座標を求める。この相対座標に基づいてテーブル駆動装置６を制御することにより試料テーブル４の相対座標を変更し、撮影選択枠内の選択画像を拡大表示させる。
（もっと読む）

【課題】 マッピング測定を行う全反射蛍光Ｘ線分析装置において、十分正確な測定強度の分布を短時間で求められるものを提供する。
【解決手段】 以下のように動作する制御手段２４Ａを備える。基準試料９について、測定点３２ごとに適切なステージ角度を補正ステージ角度φ_ｍとして記憶しておき、分析対象試料１については、各測定点３２で、その測定点３２に対応させて記憶した補正ステージ角度φ_ｍに調整し、その状態での基準Ｘ線５ａの強度を基準点３１での基準強度と比較して、補正ステージ角度φ_ｍに調整することが適切でないと判断される場合にのみ、改めて適切なステージ角度に調整して、蛍光Ｘ線５ｂの強度を測定し、測定強度の分布を求める。 （もっと読む）

【課題】 走査のため放射線源と検出器との間に物品を移動させるクレーンシステムに隣接して配置された放射線源および検出器を具備してなる放射線走査システムを提供する。
【解決手段】 放射線源および／又は検出器はクレーンシステムにより支持させても、あるいはその近傍に配置させてもよい。好ましくは、放射線源および検出器はクレーンシステムにより支持させるか、又はクレーンシステムにより画成される輪郭内に配置させる。この放射線走査システムは船舶運搬貨物などの運搬貨物を、船舶に対する積み下ろしの際に走査するのに特に適している。物品を検査する方法も同じく開示されている。
（もっと読む）

【課題】 薄膜化した試料に電子線を照射して観察、特にX線検出による元素分析を、背景雑音を低減して高精度、高分解能で行える試料観察装置および試料観察方法を実現することを目的とする。
【解決手段】 薄膜試料の直後に孔部を有する軽元素材料からなる部材５６を配置して、電子線８で該試料２２の特定部位を観察する。
【効果】 本発明により、薄膜試料に電子線を照射して観察する際に、該試料以外の部分から発生するX線、および、該試料以外の箇所で散乱されて再び該試料に入射する電子線を低減できる。これにより高精度、高感度な２次電子像観察および元素分析が可能となり、一段と微細化が進むＬＳＩデバイス等の内部観察等を、高精度、高分解能で実施できる試料観察装置および試料観察方法を提供できる。 （もっと読む）

【課題】 従来の拡大再構成による拡大断層像に比して、より高画質の拡大断層像を得ることのできるＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】 あらかじめ撮影された被写体の断層像の表示画面上で、拡大撮影すべき領域Ｃを指定すると、その指定内容と被写体Ｗの形状・寸法および回転軸Ｒに対する位置に係る情報を用いて、回転テーブル３を回転させたときに被写体ＷとＸ線源１との間に介在する最小隙間が所定の隙間となる位置に回転テーブル３を位置決めし、かつ、その状態で指定された領域がＣＴ撮影領域となるようにＸ線検出器２を位置決めし、その状態でＣＴ撮影することにより、可及的に空間分解能および濃度分解能の高い拡大断層像を得る。 （もっと読む）

【課題】 光電子顕微鏡内の１０^-5Ｐａ以下という超高真空下において確実にガス吸着を実現でき、かつ、この超高真空を安定して維持できる試料装置を提供する。
【解決手段】 光電子顕微鏡内において試料表面のガス吸着反応を観察するための試料装置において、試料ステージ上に保持した試料の表面に反応ガスを吹き付ける噴霧ノズルを該試料ステージと一体に設置し、該噴霧ノズルによる反応ガス吹き付け角度を該試料表面に対して５〜３０度、該試料表面から該噴霧ノズルの先端までの高さを１〜５ｍｍとしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 成膜製品の製造工程に組み込み、製品を製造ラインから抜き取ることなく、薄膜検査を実施可能とする。
【解決手段】 検査対象を配置する試料台１０と、試料台１０を移動する位置決め機構２０と、第１，第２の旋回アーム３２，３３を備えたゴニオメータ３０と、第１の旋回アーム３１に搭載され、かつシールドチューブ内にＸ線管およびＸ線光学素子を内蔵したＸ線照射ユニット４０と、第２の旋回アーム３３に搭載されたＸ線検出器５０と、試料台１０に配置された検査対象を画像認識するための光学カメラ７０とを備える。 （もっと読む）

複数の個別のコンポーネントを有するプリント配線アセンブリにおいてマイクロ蛍光Ｘ線分光分析法を用いて有害物質を識別する方法に関する。検出分析計としてマイクロ蛍光Ｘ線分光分析法（μ−ＸＲＦ）及びＸ線吸収微細構造（ＸＡＦＳ）分光を用いて、電子デバイスにおいて問題の材料を識別する。検査されるデバイス又はアセンブリは、参照データベースにおける情報に応じて、プローブ下、そのデバイス又はアセンブリをＸ，Ｙ，Ｚ方向へ移動させ、アセンブリ上の選択された位置の元素組成を決定することによって分析される。プローブは分析のための各選択位置から最適な分析距離に位置する。各選択位置の決定された元素組成は参照データベースと関連付けられ、検出された元素はアセンブリにおける様々なコンポーネントに対し割り当てられる。
（もっと読む）

【課題】 透視対象物の移動や回転、傾動時に、透視対象物がＸ線源やＸ線検出器等に干渉することを未然に防止することができ、オペレータの負担を軽減して作業能率を向上させることのできるＸ線透視装置を提供する。
【解決手段】 透視対象物Ｗを撮影する光学カメラ５を設け、その光学カメラにより複数の方向から撮影した透視対象物Ｗの外観像から、透視対象物Ｗの形状、寸法に係る情報を得る画像処理手段１０ｃと、その情報を用いて、透視対象物の移動・回転・傾動時に透視対象物ＷのＸ線源１やＸ線検出器２、あるいは他の装置部材との干渉を監視する干渉監視手段１０ｄを設けることにより、オペレータが随意に透視対象物を移動・回転・傾動させても、干渉前にその動作を制限する。 （もっと読む）

【課題】 試料に電子線を照射してＸ線分析を行う電子プローブＸ線分析装置において、試料表面形状や状態の変化による影響を低減した元素分布像を得る。
【解決手段】 試料または電子線を走査して複数元素の特性Ｘ線強度データを二次元的に収集し、二次元データの全ての座標位置について、標準試料を用いて各元素の特性Ｘ線強度データを相対強度に変換する。これら相対強度に定量補正計算を施し、各々の元素の質量濃度を得る。座標位置毎の全元素の相対強度または質量濃度の合計値を用いて、各元素の相対強度または質量濃度を規格化し、その値をレベル分けして元素分布像として表示するようにした。さらに必要に応じて、質量濃度を用いて、座標位置毎の原子濃度、化合物濃度、原子個数などを求め、規格化して表示するようにしたので、試料表面形状や状態の変化による影響を低減した元素分布像を得ることができるようになった。 （もっと読む）

【課題】 注目ポイントを透視の視野中心に移動させるための試料ステージの位置決めを直感的に行うことかでき、しかも、その位置決め状態において試料ステージを回転／傾動させても、注目ポイントがＸ線透視画面外に出てしまうことのないＸ線透視装置を提供する。
【解決手段】 光学カメラ５，６により透視対象物Ｗを撮影した、Ｘ線透視方向を含む互いに略直交する２方向からの光学像を表示するとともに、その各光学像にＸ線光軸Ｌの位置を表すマーカーＭ１，Ｍ２を重畳表示し、そのマーカーＭ１，Ｍ２を光学像上で移動させて注目ポイントＶを指定することにより、試料ステージ３を移動させて注目ポイントＶをＸ線光軸Ｌ上に位置させ、その状態で試料ステージ３を回転／傾動させたとき、注目ポイントＶがＸ線光軸Ｌ上に位置し、かつ、Ｘ線光軸Ｌ方向に同じ位置に留まるように試料ステージ３を自動的に移動させる。 （もっと読む）

【課題】コンピュータ断層撮影を行なうためのシステムにおいて、多数の部品を同時にスキャンするために使用できるようにすること。
【解決手段】コンピュータ断層撮影を行なうためのシステムは、放射線源２２と、放射線源２２から間隔を開けてあり放射線源２２から受信した放射線の強度を表わす出力信号を生成する少なくとも１個の放射線検出器２４と、放射線源２２と少なくとも１個の検出器２４の間に配置されて複数の部品３２を支持するためのテーブル３０と、少なくとも１個のテーブル３０と放射線源２２とが相対的に又少なくとも１個の検出器２４に対して移動可能にしてあることと、少なくとも１個の検出器２４からの出力信号を入力信号として受信し、プログラム制御下にテーブル上に支持された部品３２の内部構造の少なくとも一部を表わす出力を生成するプロセッサ４０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 断層像の画素情報から被写体の輪郭抽出を行う従来の方法に比して、より高精度に輪郭抽出を行うことのできる画像処理方法と、その方法に基づく輪郭抽出機能を備えた放射線断層撮像装置を提供する。
【解決手段】 被写体Ｗの断層像Ｓの中心を通る線Ｃと交差する輪郭上の点Ｐの位置情報を、その線Ｃと直交する方向からの放射線透過データに基づく被写体Ｗの放射線透過像Ｔの該当位置ｐの近傍の画素の輝度分布から求めることにより、再構成演算等において誤差（ノイズ）が含まれる断層像Ｓ上の画素情報から輪郭の位置情報を求める場合に比して、より正確な位置情報を求めることを可能とする。 （もっと読む）

【課題】 画像の高品質化に寄与し得るコンピュータ断層撮影装置を提供する。
【解決手段】
平面状の間隙を有するファントム２６と、間隙が前記回転の軸に直交するように設置されたファントム２６に対し当該軸の方向に相対的な変位を与えて、ファントム２６の平面状間隙について得られる透過像が最も明瞭となるときの当該間隙の中心の線に対応するデータ行列における線の位置を求める交差線設定手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】 素早いレスポンスのもとにオペレータが透過放射線量の適否を直感的に把握することのできるコーンビームＣＴ装置を提供する。
【解決手段】 放射線エリアセンサ２の出力に基づく被写体Ｗの放射線透過像を表示するとともに、その放射線透過像上のスライス面に直交する方向で、あらかじめ設定されたラインＬＶ１，ＬＶ２、あるいは同方向で任意に設定できるラインＬＶ３に沿ったラインプロファイルＰ１〜Ｐ３を算出して表示する。各ライン、ＬＶ１〜ＬＶ３を放射線透過像上での回転軸Ｒに沿った位置や端部など、放射線の透過しにくい位置や透過しやすい位置などの特異位置としておけば、多数の断層像を再構成する場合にも直感的に放射線量の適否を判断することができる。 （もっと読む）

【課題】 走査電子顕微鏡による試料観察に引き続いてＸ線分析を実行する場合に、試料の位置がＸ線を効率良く取り込める位置から外れていることでＸ線分析が失敗してしまうことを回避する。
【解決手段】 ＳＥＭの試料観察が終了して（Ｓ１）Ｘ線分析が開始されると（Ｓ２、Ｓ３）、合焦状態となっている対物レンズの励磁電流に基づいて試料観察終了時の試料位置を検知し、その位置がＸ線分析に適切な位置であるか否かを判定する（Ｓ４）。適切でない場合にはＸ線分析を中断し、警告メッセージを表示する（Ｓ６、Ｓ７）。この警告に対してオペレータが自動調整を選択すると（Ｓ８）、現在の試料位置と目標位置との差に基づいて試料ステージを自動的に移動させ（Ｓ９、Ｓ１０）、Ｘ線分析を再開する。したがって、試料位置が適切でない状態でＸ線分析が行われてしまうことを防止できる。 （もっと読む）

【課題】 複雑な空孔／粒子構造の薄膜中の空孔／粒子サイズの分布評価を高い信頼性で実現する。
【解決手段】 試料に対して所定の入射角αで照射線を入射し、前記試料からの照射線の強度を、前記試料に対して垂直な測定面から所定の角度χだけ傾けた面内で取得する。所定の角度χは、５°〜９０°の範囲で設定される。角度χの範囲は、５°〜６０°の第１領域と、６０°〜９０°の第２領域を含み、前記第１領域で、小角散乱成分を取得し、第２領域で、試料の横方向の干渉情報を取得する。 （もっと読む）

【目的】マイクロフォーカスＸ線ＣＴ装置を用いた測定方法の改良に関し、より詳しくは撮影視野が狭くとも、年輪年代測定や密度測定に必要な画像幅を取得することが可能な測定装置及び測定方法を提供すること。
【構成】 試料をＸ軸方向に移動させる移動手段。試料をＹ軸方向に移動させる移動手段、試料を固定する固定手段、Ｚ軸方向に試料を移動させる移動手段、試料の断層面を傾斜させるための傾斜手段、試料をＺ軸方向の軸廻りに回転させる回転手段より構成した。センターセットフルスキャン、オフセットフルスキャン、センターセットハーフスキャン、マルチスライス法あるいはコーンビーム法で撮影する。 （もっと読む）

【課題】 試料表面の平滑性が求められる分析において、粉体であっても容易に測定用試料を製造することができ、測定効率の向上を可能とする粉体ホルダ、測定用試料製造方法及び試料分析方法を提供すること。
【解決手段】 本発明の粉体ホルダは、基台部と、基台部上に設けられた粉体保持部と、を備え、粉体保持部が、粉体保持部の基台部と反対側に粉体を収容する粉体収容孔を少なくとも１つ有し、粉体保持部の硬度が、基台部の硬度よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】 簡素化された構成で、転がり易かったり滑り易かったりする物品の検査とシールドボックスの搬入口及び搬出口からの一次散乱Ｘ線の漏洩防止とが両立するＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 シールドボックス本体１１を水平に貫通して、両端部が搬入口及び搬出口から突出する第２搬送コンベア６を設ける。また、第２搬送コンベア６の上流側に、該第２搬送コンベア６の搬送面より高い搬送面を有する第１搬送コンベア５を連設し、該第１搬送コンベア５の下流側端部で前記搬入口を覆う。また、第２搬送コンベア６の下流側に、該第２搬送コンベア６の搬送面より低い搬送面を有する第３搬送コンベア７を連設する。そして、シールドボックス本体１１の下流側に防護カバー１３を連設し、該カバー１３の後壁面１３ａを前記第２搬送コンベア６の搬送面の高さまで垂下させる。 （もっと読む）