【課題】ラスタ素子のハニカム格子に起因する強度ムラを均一化することができる回折Ｘ線検出方法およびＸ線回折装置を提供する。
【解決手段】ポリキャピラリで形成されたラスタ素子１０を介して行なう回折Ｘ線検出方法であって、試料により回折させたＸ線をラスタ素子１０に入射させ、試料中心Ｓ_０からの距離を維持しＸ線の回折角度に対するラスタ素子１０の位置を変えつつ、ラスタ素子１０を通過したＸ線を検出器２０により検出する。これにより、回折角度ごとに生じるハニカム格子による影響が分散され、ハニカム格子に起因する強度ムラを均一化することができる。その結果、ラスタ素子を応用し、試料の周りからの散乱線を排除したり、いわゆる微小角入射Ｘ線回折測定で分解能を向上させたりする測定を有効に行なうことができる。 （もっと読む）

【課題】複数の読取りヘッドを用いて回転ステージを所望の回転角度で高精度に回転させることができる定量移動装置を提供する。
【解決手段】回転ステージ２を回転させるサーボモータ４と、回転ステージ２又は回転ステージ２と一体に動く物体に設けられたスケール３と、スケール３を検知して信号を出力する複数の読取りヘッド８ａ〜８ｈと、複数の読取りヘッド８ａ〜８ｈの各出力信号に基づいて回転角度データの平均値を演算しその平均値を信号Ｓ１として出力するデータ処理部９と、回転角度の平均値の信号Ｓ１に基づいてモータ４の回転を制御するサーボアンプ６とを有する定量移動装置１である。 （もっと読む）

【課題】 放射分析装置、例えばＸ線分光器において、分析用放射ビームの開口角は測定過程中変えること。
【解決手段】 放射ビームが放射源から検査さるべき試料を介して放射検出器に判る光学路に沿って走り、光学路中に視準素子を有するコリメータが存在し、コリメータは、放射ビームを通るように動く結果、放射ビームの開口角を変化させることを可能にする、検査さるべき試料の放射分析用装置であって、コリメータは、放射ビームにさらされる視準素子の長さが結果として変化されるように放射ビームを通るように変動可能で、視準素子はそれ自体閉じた断面を有し相互に異なった長さを有するチャネルの形を有し、動きはチャネルの長手方向に対し横方向に変位する。 （もっと読む）

【課題】層状構造を有する被検体の断面像を短い断層撮影時間で得るＣＴ装置を提供する。
【解決手段】撮影する被検体５の層状構造の層面が、断層撮影面に交差するようにテーブル４上に載置し、撮影する被検体５に向けて断層撮影面に沿った放射線光軸を中心に放射線を放射する放射線源１と、被検体５を透過した放射線２を検出して透過像として出力する放射線検出器３と、テーブル４と放射線２とを相対的に回転させる回転手段７と、回転手段７と放射線検出手段３を制御して被検体５の層面が放射線２の光軸と平行に近くなる回転角度を優先的に複数の透過像をスキャンデータとして取り込んで記憶し、スキャンを実施するスキャン制御手段９ｃと、このスキャンデータから被検体５の断層撮影面に平行な少なくとも１枚の断面像を再構成する再構成手段９ｄとを有する。 （もっと読む）

【課題】基本的にはインクリメンタル型エンコーダを基本とする簡単で扱い易い構成を有し、アブソリュート型エンコーダのような複雑で高価な構成を用いることなく回転体の基準となる角度位置を認識できる測角器を提供する。
【解決手段】ウオームホイール２２，２３の回転角度を測定するための測角器２において、ウオームホイール２２，２３に設けられた測角用の第１識別用マーク３３と、第１識別用マーク３３を読取る第１検出部３６と、ウオームホイール２２，２３に設けられた第２識別用マーク３４と、第２識別用マーク３４を読取る第２検出部３７とを有しており、第１識別用マーク３３及び第２識別用マーク３４はウオームホイール２２の表面上に直接に形成されており、第２識別用マーク３４はウオームホイール２２，２３の回転中心線Ｘ１を中心とした一部の角度範囲に設けられている。 （もっと読む）

【課題】本発明は３次元画像取得方法及び装置に関し、分解能を向上させることができるトモグラフィー法を用いた試料の３次元画像取得方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】走査透過型電子顕微鏡において、試料の３次元画像を得る３次元画像取得手段を設け、該３次元画像取得手段を用いて試料の第１の３次元画像を得、次に、試料を裏返して該３次元画像取得手段を用いて試料の第２の３次元画像を得、得られた試料の第１の３次元画像と第２の３次元画像とから試料の３次元画像を得る、ように構成する。 （もっと読む）

【課題】微細な周期的構造について高精度かつ高スループットでの形状計測を実現するための基板計測方法を提供すること。
【解決手段】周期的構造を構成する単位構造体の形状に関する形状パラメータから注目パラメータを選択し、単位構造体の形状を計測するための計測条件を注目パラメータに応じて決定する工程と、決定された計測条件に従い、周期的構造が形成された基板上の基準面に平行な面内における方位角を変化させながら、周期的構造へ電磁波を入射させる工程と、周期的構造での反射により、基準面に平行な方向である方位角方向と、基準面に垂直な方向である仰角方向とへ散乱した電磁波を検出する工程と、を含み、計測条件は、周期的構造での反射による電磁波の散乱強度の分布を表す散乱プロファイルの算出と、注目パラメータの値を変化させるごとの散乱プロファイルを比較した比較結果に応じた最適化と、を経て決定される。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造でワーク領域を小さくでき、波長走査範囲の広い波長分散型の分光器を提供する。
【解決手段】試料４３から放出される試料４３の特性を示す電磁波を回折する分光素子５２と、この分光素子５２をこの分光素子５２の表面を軸として回転させる分光素子回転機構（６１-1，６２-1）と、分光素子５２で回折された電磁波をそれぞれ異なる波長領域で検出する複数の検出器５３-1，５３-2，……，５３-nと、分光素子回転機構（６１-1，６２-1）と回転軸を共有し、複数の検出器を分光素子５２の回りで移動させる検出器回転機構（６１-2，６２-2）とを備える。検出器回転機構（６１-2，６２-2）のオフセット角度を変えることで、複数の検出器を切り替え可能とする。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線反射率法を用いて積層体の層構造を正確に解析することのできる方法、装置及びプログラムを提供する。
【解決手段】このＸ線反射率法を用いた積層体の層構造解析方法は、例えば多層膜である試料にＸ線源からＸ線を照射する照射工程と、該試料から反射されるＸ線を検出器で検出する検出工程と、この検出されたＸ線の前記照射されたＸ線に対する割合であるＸ線反射率を測定器で測定する測定工程と、解析器で、前記試料に表面粗さ又は界面粗さがある場合において該試料の表面又は界面において該表面又は界面の凹凸により鏡面反射方向以外の方向にＸ線が散乱する、散漫散乱に伴う該表面又は界面での反射Ｘ線と透過Ｘ線の干渉成分の減少を加味して、前記測定されたＸ線反射率を解析する解析工程とを備えている。 （もっと読む）

【課題】隔壁、炉体カバー等が用いられているＸ線及び熱分析の同時測定装置において複数試料を自動的に順次に交換して測定できるようにする。
【解決手段】隔壁１７内で炉体によって試料１８を加熱し、炉体カバーで均熱化を行い、Ｘ線測定装置２及び熱分析測定装置３によって同時測定を行うＸ線及び熱分析の同時測定装置において、把持部材８１を持った搬送装置４によって炉体カバーを隔壁１７内からカバー載置部９１へ取出した状態で、交換試料１８を試料載置部９８から隔壁１７内へと搬送装置４によって搬送するようになっており、カバー載置部９１には炉体カバーの位置決め用ブロック９９が設けられ、試料載置部９８には試料容器の位置決めを行う部材が設けられている。炉体カバーや試料容器を隔壁１７内でＸ線通路Ｘ１に対して常に一定の相対位置に配置して、Ｘ線の進行を邪魔しないようにする。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線分析と熱分析との両方を同時に行う装置において、それらの分析の測定条件の関連を測定者が容易に、迅速に、且つ正確に把握でき、きめ細かな設定を可能にする。
【解決手段】 Ｘ線分析装置による測定と熱分析装置による測定とが同時に行われるＸ線分析及び熱分析同時分析装置において、Ｘ線分析測定のための測定所条件を記憶するＸ線条件記憶メモリと、熱分析測定のための測定条件を記憶する熱条件記憶メモリと、画像信号に従って画面３３上に画像を表示する画像表示装置とを有し、熱条件記憶メモリに記憶された熱分析測定条件を示す折線グラフＴ及び、Ｘ線条件記憶メモリに記憶されたＸ線分析測定条件を示す複数の縦線Ｘの両方を、画面３３上に同時に表示する。折線グラフＴは温度変化曲線であり、隣接する一対の縦線Ｘは１回のＸ線分析測定が行われるタイミング及び時間を示している。 （もっと読む）

【課題】原子価を高精度で且つ非破壊で求めることができる原子価分析装置を提供する。
【解決手段】本発明の原子価分析装置は、試料に対してＸ線管１から放射されるＸ線をエネルギーを走査させながら照射するＸ線照射手段と、Ｘ線が照射されることにより前記試料について得られるＸ線吸収スペクトルを解析して前記試料に含まれる目的元素のＸ線吸収端エネルギーを求めるスペクトル解析手段と、前記Ｘ線管１のターゲット材由来の或いはターゲット材に含まれる不純物由来の特性Ｘ線のピークエネルギーに基づき前記Ｘ線吸収端エネルギーを補正する補正手段と、標準試料及び分析試料それぞれの補正後のＸ線吸収端エネルギーの比較により原子価が未知の目的元素の原子価を算出する原子価算出手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】
Ｘ線回折装置において、Ｘ線調整に要する動作量を減少させ、また、Ｘ線調整に要する調整時間を減少させる。
【解決手段】
水平ゴニオメータを備えθ−θスキャンを行うＸ線回折装置において、Ｘ線源２のＸ線放出方向と直交する方向を回転軸方向としてＸ線源を回転させる回転機構５を備えた構成とし、回転機構５によるＸ線源２の回転によってＸ線調整を行う。回転機構５はＸ線源２を回転させることによってＸ線の照射方向を変更する。Ｘ線の照射方向の変更を回転動作で行うことによって、Ｘ線調整に要する動作量、及びＸ線調整に要する調整時間を減少させる。 （もっと読む）

【課題】試料分析装置において、観察しようとする試料に形成されたデバイスに含まれるプラグや配線構造をはじめとする試料特定箇所に、単一または多数系統の外部電圧を印加し、デバイスをオン・オフさせたときの構造、組成、電子状態の変化を分析できるものにおいて、試料を自由に回転・傾斜させることを可能にする。
【解決手段】試料傾斜機構を備えた試料ホルダ本体を有する試料分析装置において、サンプルキャリアは、第一の固定部材と、第二の固定部材と、前記第一の固定部材と前記第二の固定部材とを接続する変型可能な接続部と、当該接続部上に形成され前記第一の固定部材と第二の固定部材とを導通させる単一または多数の配線構造と、を備える。前記試料傾斜機構を操作して傾斜角を調整し、試料ホルダ本体先端に設けた回転ピボットを中心に試料ホルダ本体を回して回転角を調整する。 （もっと読む）

【課題】２つの結晶の方位関係と結晶粒界の特性をリアルタイムで正確に確認できることを特徴とし、透過電子顕微鏡のゴニオメ−タを利用した隣り合う結晶粒の結晶学的方位関係と結晶粒界の特性を測定する測定装置及びその測定方法を提示する。
【解決手段】このため結晶軸（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）に対してゴニオメ−タを利用してＸ傾斜軸及びＹ傾斜軸にそれぞれ垂直する軸である（Ｔｘ，Ｔｙ）値を測定し、測定された結晶軸（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）に対する３つの（Ｔｘ，Ｔｙ）値から（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）結晶軸の挟角を求める。次いで（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）の結晶指数から結晶学的な方法で（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）の挟角を求める。次いで、測定された（Ｔｘ，Ｔｙ）値から得た（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）の挟角と結晶学的に算出した挟角とを比較して、その差を最小化する（Ｔｘ，Ｔｙ）値を正確な測定値として選択して、傾斜軸と結晶軸（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）間の関係を樹立する。次いで２つの結晶間の脱角行列を利用して結晶粒界の特性を糾明する。 （もっと読む）

【課題】基底基準吸収回折法による定量法において基底板から正確な回折線強度情報を得ることを可能にすることにより、極めて正確な検量を行うことができるＸ線回折定量装置を提供する。
【解決手段】物質Ｓの重量をＸ線を用いて測定するＸ線回折定量装置において、物質Ｓを物質保持領域Ａｓ内に保持するフィルタ３３と、物質Ｓに照射するＸ線を発生するＸ線源Ｆと、物質Ｓで回折した回折Ｘ線を検出するＸ線検出器２０と、フィルタ３３におけるＸ線照射面の反対側に設けられ物質保持領域Ａｓよりも小さい基底板３１と、Ｘ線源Ｆから見てフィルタ３３の背面側の領域であり且つ基底板３１の外周側面の周りの領域に設けられた空間領域４１とを有するＸ線回折定量装置である。基底板３１の周囲に空間領域４１を設けたことにより、空間領域４１を形成している試料板２９Ｃからの回折線によって基底板３１からの回折線に誤差変動が生じることを防止できる。 （もっと読む）

【課題】試料面における応力の分布を、測定位置を限定することなく短時間で測定できるようにする。
【解決手段】本発明の試料分析装置１によれば、Ｘ線照射部１０が試料１２に対して平行Ｘ線束を照射する。そして、透過Ｘ線検出部１４は、試料１２を透過した透過Ｘ線を検出する。また、回折Ｘ線検出部１５は、試料１２で回折された回折Ｘ線を検出する。演算部１６は、透過Ｘ線検出部１４の検出結果から、試料１２における回折位置を特定すると共に、回折Ｘ線検出部１５の検出結果に基づいて、回折Ｘ線の回折角を判定する。さらに、演算部１６は、回折角から応力を計算し、計算した応力を特定した回折位置の応力と判定する。 （もっと読む）

【課題】単結晶試料の菊池パターンの面指数付けの精度を向上し、広範囲の結晶方位分布を測定する。
【解決手段】本発明の単結晶試料の結晶方位測定方法は、六方晶系単結晶試料の結晶方位を後方散乱電子回折法によって測定するために、試料座標系におけるＴＤ軸を前記六方晶系単結晶試料の［０００１］方向と平行に配置して後方散乱電子回折パターンを取得するステップと、前記取得した後方散乱電子回折パターンをコンピュータ解析して面指数付けを行うステップと、前記指数付けされた面指数分布に基づいて前記試料の結晶方位を決定するステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、装置の高さが低く、広角度のＸ線が入射でき、かつ、任意の応力が保持できる応力保持装置およびＸ線回折装置を提供することを課題とする。
【解決手段】少なくとも一対の楔１３，１４を用いて荷重方向を変換し、平板状の試験体１に四点曲げの負荷を付与することにより均一な応力状態が保持され、さらに、試験体１と楔１３，１４との間にひずみゲージからなるロードセル１５を取り付けた平板を設置し、試験体１に加わる負荷を任意に設定できる装置を構成する。 （もっと読む）

本発明はゴニオメータと、応力を測定し、小片の微細構造を特定する方法とに関する。前記ゴニオメータは、ベース（１）と、Ｘ線チューブと検出器用円弧（１１）とを備え三次元動作が可能なロボットによってベース（１）に可動可能で適応した測定ヘッド（１２）と、を備える。本発明によれば、前記ロボットは、測定中に、回動ジョイント（５，７，１５）と傾動ジョイント（３，１６，９）により、前記測定ヘッド（１２）を円弧状に移動させる手段を備える
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