【課題】可動ミラーと固定ミラーがパチンと引き合うスナップダウン現象を防止し、且つ、低消費電力も実現できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】固定ミラー５６と可動ミラー５７は所定のギャップＧをもって対向配置されており、固定ミラー５６と可動ミラー５７の外側には、ギャップＧよりも大きな電極間距離Ｇ１が設定され、Ｇ１が設定された部位から更に外側には、ギャップＧよりも小さな電極間距離Ｇ２が設定される。 （もっと読む）

【課題】可動ミラーと固定ミラーが接触するスナップダウン現象を防止し、且つ、低消費電力も実現できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】固定ミラー５６と可動ミラー５７は所定のギャップＧをもって対向配置されており、固定ミラー５６と可動ミラー５７の外側には、ギャップＧよりも大きな電極間距離Ｇ１が設定され、Ｇ１が設定された部位から更に外側には、ギャップＧよりも小さな電極間距離Ｇ２が設定される。 （もっと読む）

【課題】平板型のＢＳを用いた小型、安価な構成で、ＢＳで発生するゴースト光の影響を抑えながら、干渉強度の高い良好な干渉光を得る。
【解決手段】干渉計では、レーザ光源から出射されたレーザ光を平板型のＢＳで２光束に分離し、それぞれを別々の反射光学素子で反射させた後、ＢＳに再度入射させて干渉させる。干渉光は、ＢＳからレーザ光源とは異なる方向に出射され、光検出器にて検出される。ＢＳは、平板状の基板と、上記基板の表面に形成される反射透過膜と、上記基板の裏面に形成される反射防止膜とを有している。上記基板の反射透過膜が形成された面でのレーザ光の反射率および透過率をそれぞれＲｂおよびＴｂとし、上記基板の反射防止膜が形成された面でのレーザ光の反射率をＲａとすると、以下の条件式（１）および（２）を満足する。すなわち、（１）１．５＜Ｒｂ／Ｔｂ＜２０、（２）Ｒａ＜０．０３である。 （もっと読む）

【課題】変化量Δｄｍが初期長さｄｍｉの１/３よりも大きくなるようにメンブレンを変位できるファブリペロー干渉計を提供する。
【解決手段】固定ミラーを有する固定ミラー構造体、第１ギャップを介した固定ミラー構造体との対向部分がメンブレンとされ、該メンブレンに第１電極及び固定ミラーに対向した可動ミラーを有する可動ミラー構造体、可動ミラー構造体に対して固定ミラー構造体と反対に配置され、第２ギャップを介したメンブレンとの対向部分に第２電極を有する電極構造体を備える。初期状態で電極間の長さｄｅｉがミラー間の長さｄｍｉよりも長くされている。そして、メンブレンと固定ミラー構造体のメンブレン対向部分が互いに対向する部分で同電位とされ、電極間に電圧を印加してメンブレンを電極構造体に近づく方向に変位させると、電極間の長さｄｅが初期長さｄｅｉより短くなり、ミラー間の長さｄｍが初期長さｄｍｉより長くなる。 （もっと読む）

【課題】平板型のＢＳを用いたときの２光束の光路差の補償を、光学部品の部品点数を増大させることなく行って、小型で組み立てが容易な構成を実現する。ＢＳへの入射光が軸外光線を有する場合の干渉性能の大幅な低下を回避して、干渉性能を補償する。
【解決手段】移動鏡１４は、静止状態において、移動鏡１４で反射された光束と固定鏡で反射された光束との光路差がゼロとなる第１の位置Ｐに対して、平板型のＢＳの反射透過面で分離される２光束のうち、移動鏡１４または固定鏡を介して再度反射透過面に入射するまでにＢＳの透明基板を透過する側の光束の光路長が、他方の光束の光路長よりも相対的に長くなる第２の位置Ｑ_０にある。移動鏡１４の駆動機構は、第２の位置Ｑ_０に対してＢＳ側とその反対側とで移動量が対称となるように移動鏡１４を移動させることによって、第１の位置Ｐに対してＢＳ側とその反対側とで移動鏡１４の移動量を非対称にさせる。 （もっと読む）

【課題】平板型のＢＳ１３を用いたときの２光束の光路差の補償を、光学部品の部品点数を増大させることなく行って、小型で組み立てが容易な構成を実現する。光学面の枚数を少なくして、ＢＳ１３に対する入射光の強度が微弱な場合でも、干渉光を確実に得る。
【解決手段】干渉計２では、透明基板１３ａの片面が反射透過面である平板型のＢＳ１３で入射光を２光束に分離し、２光束を固定鏡１５および移動鏡１４でそれぞれ反射させた後、ＢＳ１３で合成して干渉させる。固定鏡１５および移動鏡１４のどちらか一方は、裏面反射鏡で構成されている。この裏面反射鏡は、ＢＳ１３の反射透過面で反射された一方の光束と上記反射透過面を透過した他方の光束とで、ＢＳ１３で分離されてから合成されるまでに透明基板１３ａを通過する回数が異なることによって生ずる上記両光束の光路差を補償する平板１５ｂの裏面に反射膜１５ａを一体的に形成して構成されている。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成からなる位置検出装置を得る。
【解決手段】所定の移動方向（矢印ＡＲ）に移動する板ばね部４１（被測定物）の位置を検出する位置検出装置７０は、受光部７２Ａと、受光部７２Ａに対向し受光部７２Ａに向けて測定光８０を投光する投光部７１Ａとを備える。受光部７２Ａおよび投光部７１Ａは、受光部７２Ａおよび投光部７１Ａの間で移動する板ばね部４１の移動方向（矢印ＡＲ）に対して、測定光８０が斜めに交差するように配置される。板ばね部４１の移動に伴って、測定光８０の一部は板ばね部４１に遮られるとともに、測定光８０の残部は受光部７２Ａに到達する。受光部７２Ａが受光する測定光８０の残部の受光量に基づいて、板ばね部４１の位置が検出される。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成からなる、光学面を所定の方向に向けるための光学面の姿勢調整機構を提供する。
【解決手段】光学面の姿勢調整機構１００Ａは、光学面１１５Ａを含む光学部材１１５、固定台２０、光学部材１１５と固定台２０との間で光学部材１１５を揺動可能に支持する支持部３０、および固定台２０から光学部材１１５に向かって進退する第１移動部材４０を備え、第１移動部材４０が前進し光学部材１１５を押圧することによって、支持部３０の剛性に対抗して光学部材１１５は支持部３０を中心に第１の方向に回動し、第１移動部材４０が光学部材１１５に当接した状態で後退することによって、支持部３０の剛性から生じる復元力により光学部材１１５は支持部３０を中心に第１の方向とは反対の方向に回動し、光学面１１５Ａの姿勢は光学部材１１５の上記回動によって調整される。 （もっと読む）

【課題】 位相変調された光ＦＤＭ信号から所望のチャンネルを安定して抽出する。
【解決手段】 位相変調により搬送光に多重された光周波数多重信号を受信する受信機において、受信した前記光周波数多重信号から、搬送光と、前記搬送光の短波長側波帯または長波長側波帯のいずれか一方に含まれる光成分とを抽出する光スペクトル整形器と、前記光スペクトル整形された光信号を電気信号に変換する光電変換器と、を有する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の波長ずれを誤りなく検出すること。
【解決手段】光伝送モジュール１０は、レーザダイオード２０と、レーザ光の波長に対して単調増加するレーザダイオード２０の温度を検出するレーザ温度算出部５２と、入射光の波長に対して透過率が周期的に変動するエタロンフィルタ３６に入射するレーザ光の透過率およびその透過率に対応するレーザ波長を検出する波長算出部４４と、レーザ温度算出部５２により検出された温度と、波長算出部４４により検出されたレーザ波長と、に基づいて、レーザダイオード２０から出力されるレーザ光の設定波長からの波長誤差（波長ずれ）を検出する波長誤差取得部５４と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 移動鏡を移動させても、機械的な振動や音響的な振動の影響が生じない干渉分光光度計を提供する。
【解決手段】 光を出射する光源部１０と、固定鏡８５と、移動鏡６２と、移動鏡６２を支持し、入射光軸方向で前後に往復動させる摺動支持機構５０と、光源部１０からの光を受けて、固定鏡８５と移動鏡６２とに向けて二分割するとともに、固定鏡８５で反射して戻ってきた光と移動鏡６２で反射して戻ってきた光とを受けて、干渉光に合成するビームスプリッタ７４と、試料が配置され、試料を透過又は反射した干渉光を検出する光検出部２０とを備える干渉分光光度計１であって、マンガン系制振合金で作製された部材を使用する。 （もっと読む）

【課題】分光領域の変形を抑制して分解能を向上することができ、且つ、製品ごとの分解能のばらつきを低減することのできるファブリペロー干渉計の製造方法を提供する。
【解決手段】可動ミラー構造体を形成する工程として、第１高屈折率層を犠牲層上に形成する工程と、第１低屈折率層を、第１高屈折率層上における分光領域の可動ミラー形成位置及び周辺領域に形成する工程と、第２高屈折率層を、第１低屈折率層を含んで第１高屈折率層を覆うように形成する工程と、エッチングにより、周辺領域の第１低屈折率層上に位置する第２高屈折率層の少なくとも一部を、第１低屈折率層をエッチングストッパとして除去する工程と、エッチングにより、第２高屈折率層の除去された部分を介して、周辺領域の第１低屈折率層を除去する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】高精度で分光特性を計測することができる分光計測装置及び分光計測方法を提供する。
【解決手段】測定領域Ｓ１内の各輝点から多様な方向に向かって放射状に生じる散乱光や蛍光発光等の光線群（「物体光」ともいう）は対物レンズ１２に入射し、平行光束へ変換され、位相シフター１４に到達する。そして、位相シフター１４の基準ミラー部１５と傾斜ミラー部１６でそれぞれ反射された後、結像レンズ１８により検出部２０の受光面２０ａで干渉像を形成する。このとき、基準ミラー部１５で反射された光線群と傾斜ミラー部１６で反射された光線群の間に連続的な光路長差分布が存在するため、受光面２０ａにおける干渉像の光強度を検出すると、その光強度が連続的に変化するインターフェログラム（結像強度変化の波形）が得られる。これをフーリエ変換することで被測定物Ｓの一輝点から発せられた光の波長毎の相対強度である分光特性を取得することができる。 （もっと読む）

【課題】基板に生じる撓みを低減して、分解能を向上させた波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】エタロン５は、第１基板５１に設けられた固定ミラー５６と、第２基板５２に設けられ、固定ミラー５６とギャップＧを介して対向する可動ミラー５７と、第１基板５１の第２基板５２に対向する面に設けられた第１電極５４１と、第２基板５２の第１基板５１に対向する第１面５２Ａに設けられ、第１電極５４１と離間して設けられた第２電極５４２と、第２基板の第２面５２Ｂでかつ、平面視において、少なくとも可動ミラー５７を覆う撓み防止膜５３と、撓み防止膜５３の面方向に作用する内部応力の方向と、可動ミラー５７及び第２電極５４２の面方向に作用する内部応力の方向とは同一方向である。 （もっと読む）

【課題】基板に生じる撓みを低減して分解能を向上させた波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供する。
【解決手段】エタロン５（波長可変干渉フィルター）は、固定基板５１と、固定基板５１に対向する可動基板５２と、固定基板５１に設けられた固定反射膜５６と、可動基板５２に設けられ、固定反射膜５６とギャップを介して対向する可動反射膜５７と、固定基板５１に設けられた固定電極５４１と、可動基板５２に設けられ、固定電極５４１と対向する可動電極５４２と、を備え、可動電極５４２は、圧縮応力を有する圧縮電極層と、引張応力を有する引張電極層と、が積層されて構成された。 （もっと読む）

【課題】連続的な広い周波数範囲にわたって信号対雑音比のよい測定ができる分光装置を提供する。
【解決手段】インコヒーレント光の光源であるブロードエリア半導体レーザ１と、インコヒーレント光を平行化して集光する一対のレンズ２ａ、２ｂと、一対のレンズ２ａ、２ｂを通過したインコヒーレント光を通過させるためのピンホールが形成されたピンホール部材６と、ピンホールを通過したインコヒーレント光を２つに分割するビームスプリッタ７と、分割された後の２つのインコヒーレント光のうちの一方のインコヒーレント光の照射に基づき第１電磁波を放射する電磁波放射用光伝導素子８と、第１電磁波を試料に透過または反射させた第２電磁波と上記２つのインコヒーレント光のうちの他方のインコヒーレント光とが入射され、第２電磁波と他方のインコヒーレント光との相互相関信号を得る電磁波検出用光伝導素子９とを備える。 （もっと読む）

【課題】小型の構成でありながら、移動鏡１５を構成する反射膜１５ａの大きな移動量および並進性を確保しつつ、反射膜１５ａの面精度を向上させて反射光の波面の乱れを抑制する。
【解決手段】駆動機構１８の板ばね部３１・３２は、互いに対向して配置されている。支持体３３・３４は、板ばね部３１・３２の間で互いに離間して配置され、それぞれが板ばね部３１・３２と連結されている。駆動部３５は、板ばね部３１・３２の対向方向に、支持体３４に対して支持体３３を平行移動させる。支持体３４の移動方向において、支持体３３・３４の厚さは、板ばね部３１・３２よりも厚く、支持体３３における移動方向に垂直な一端面に、反射膜１５ａが形成されている。支持体３３は、反射膜１５ａが露出するように板ばね部３１・３２と連結されている。 （もっと読む）

【課題】 光フィルターの特性設計を容易化すること。
【解決手段】 エタロンフィルター３００は、第１基板２０と、第１基板に対向する第２基板３０と、第１基板に設けられた第１光学膜４０と、第２基板に設けられ、第１光学膜と対向する第２光学膜５０と、を含み、第１光学膜４０の、反射帯域における各波長の光の反射率によって定まる反射特性Ｌ１と、第２光学膜５０の、反射帯域における各波長の光の反射率によって定まる反射特性Ｌ２とが異なる。第１光学膜４０は、第１波長λ１を中心波長とする反射特性を有し、第２光学膜５０は、第１波長とは異なる第２波長λ２を中心波長とする反射光特性を有することができる。エタロンフィルター３００の分光帯域での中心波長をλ３としたとき、λ１＜λ３＜λ２となるように、各光学膜４０，５０を設計する。 （もっと読む）

【課題】 波長可変フィルターが、所望波長帯域の全帯域をスキャンするのに要する時間を短縮すること。
【解決手段】 光フィルター３００は、第１波長可変バンドパスフィルター（ＢＰＦ（１））と、第２波長可変バンドパスフィルター（ＢＰＦ（２））と、駆動部１２０と、各光フィルターの各々の分光帯域を可変に制御する制御部６００と、を含み、第１波長可変バンドパスフィルターは、第１波長帯域の光を分光し、かつ、分光帯域として、第１分光帯域と、第２分光帯域と、を少なくとも有し、第２波長可変バンドパスフィルターは、第１波長帯域に隣接する第２波長帯域の光を分光し、かつ、分光帯域として、第３分光帯域と、第４分光帯域とを少なくとも有し、駆動部１２０は、各第１波長可変バンドパスフィルターおよび第２波長可変バンドパスフィルターの各々を共に駆動し、第１分光帯域と、第３分光帯域とにおける、光が分光される期間の少なくとも一部が重複し、かつ、第２分光帯域と、第４分光帯域とにおける、光が分光される期間の少なくとも一部が重複する。 （もっと読む）

【課題】 波長可変フィルターの可動範囲を抑制すること。
【解決手段】 光フィルター３００は、第１波長可変バンドパスフィルター可変ＢＰＦ（１）と、第２波長可変バンドパスフィルター可変ＢＰＦ（２）と、駆動部３０１と、各バンドパスフィルターの分光帯域を可変に制御する制御部３０３と、を含み、第１波長可変バンドパスフィルターは、所望波長帯域における第１波長帯域（４００ｎｍ〜４６０ｎｍ）を分光可能とし、かつ、分光帯域として、前記第１波長帯域内の第１波長を中心波長とする第１分光帯域ｂ１と、第１波長帯域内の第２波長を中心波長とする第２分光帯域ｂ２と、を少なくとも有し、第２波長可変バンドパスフィルターは、所望波長帯域における、第１波長帯域に隣接する第２波長帯域（４８０ｎｍ〜５４０ｎｍ）を分光可能とし、かつ、分光帯域として、第２波長帯域内の第３波長を中心波長とする第３分光帯域ｂ５と、第２波長帯域内の第４波長を中心波長とする第４分光帯域ｂ６と、を少なくとも有する。 （もっと読む）