【課題】省電力化が可能な波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定反射膜５４及び固定電極５６１が設けられた固定基板５１と、固定基板５１に対向し、可動反射膜５５及び可動電極５６２が設けられた可動基板５２と、を具備し、固定電極５６１及び可動電極５６２は、それぞれ透光性を有し、フィルター平面視において、固定反射膜５４及び可動反射膜５５が設けられた光干渉領域Ａｒ２を含む駆動領域Ａｒ１を覆って設けられ、固定反射膜５４は、固定電極５６１を介して固定基板５１に設けられ、可動反射膜５５は、可動電極５６２を介して可動基板５２に設けられた。 （もっと読む）

【課題】点光源とはみなせない光源を用いた場合でも、光学系の全長を小さく抑えながら、軸外光束が軸上光束に対して傾くのを抑える。
【解決手段】干渉計２に適用されるコリメータ光学系１１は、光出射面３１ａを有する光源３１と、平凹レンズ３２と、コリメータレンズ３３とを備えている。コリメータレンズ３３は、正の光学パワーを持ち、光源３１の光出射面３１ａの１点から射出される光束を平行光に変換する。平凹レンズ３２は、負の光学パワーを持ち、一方の面が平面３２ａで他方の面が凹面３２ｂからなる。平凹レンズ３２の倍率の絶対値は、１よりも小さい。また、平凹レンズ３２は、光源３１の光出射面３１ａに平面３２ａを密着させて、光源３１とコリメータレンズ３３との間に配置される。 （もっと読む）

【課題】平行板ばねの一端側がより高い精度で平行な姿勢を維持しつつ振動可能な平行板ばねの固定構造を得る。
【解決手段】平行板ばねの固定構造は、平板６１，６２、移動部６３および基台部６４を含む平行板ばね６０と、位置Ｓ１，Ｓ２から基台部６４を挟持し、基台部６４に付与する所定の保持力によって平行板ばね６０の他端６０Ｂ側を固定する固定部５０，７０とを備え、平行板ばね６０の共振状態において、平行板ばね６０の他端側６０Ｂにおける一次の自由振動モードの節Ｎ１は基台部６４の内部に位置し、固定部５０，７０に固定された平行板ばね６０が共振することにより、基台部６４には回転モーメントＲＡ，ＲＢが発生し、固定部５０，７０は、回転モーメントＲＡ，ＲＢを含む仮想平面ＸＹ内において上記保持力が作用するように基台部６４に上記保持力を付与し、位置Ｓ１，Ｓ２は節Ｎ１を中心とする点対称の位置関係にある。 （もっと読む）

【課題】測定の感度向上と確からしさの向上をもたらすＣＤ測定装置及び方法を提供すること。
【解決手段】円二色性測定装置は、直線偏光の互いに直交する２つの偏光成分間の位相差（δ）を変調して、長軸方向の一致する扁平率の大きい左右の楕円偏光を交互に形成する楕円偏光変調手段と、被測定試料を透過した前記左右の楕円偏光から短軸方向の偏光成分を取り出して、該偏光成分の強度変化を測定する偏光強度測定手段と、前記強度変化の直流成分（ＤＣ）、および、前記位相差の変調に同期する前記強度変化の交流成分（ＡＣ）をそれぞれ抽出して、該交流成分および該直流成分の比（ＡＣ／ＤＣ）に前記位相差の変調振幅（δ_０）を掛けた値を算出して、被測定試料の円二色性を取得する演算手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ギャップ量を精度良く得る光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器を提供すること。
【解決手段】光フィルター１０は、第１基板２０と、第２基板３０と、第１基板に設けられた第１反射膜４０と、第２基板に設けられた第２反射膜５０と、平面視で第１反射膜の周囲の位置にて第１基板に設けられた第１，第２電極６２，６４と、第２基板に設けられて第１，第２電極と対向する第３，第４電極７２，７４とを有する。 （もっと読む）

【課題】 少ないエネルギーで回転鏡を反復回動させて正確にセンターバースト位置に停止できる二光束干渉計の提供。
【解決手段】 光源Ａからの光を固定鏡２と一対の回転鏡３ａ、３ｂとに二分割し、これら固定鏡２並びに回転鏡３ａ、３ｂから戻った光を再び合成して干渉光を得る二光束干渉計であって、上下方向に沿って延設され、その上下に前記一対の回転鏡３ａ、３ｂを互いに平行な姿勢で保持する回転アーム４と、回転アーム４を回動可能に保持する支持軸５と、回転アーム４の下端部で支持軸５を支点として回転アーム４を反復揺動させる駆動源７と、回転鏡３ａ、３ｂからの光を反射して回転鏡３ａ、３ｂに戻す固定反射鏡９とからなり、回転アーム４の回動を停止して回転アーム４が自重により静止した位置で、二分割された固定鏡側の光と回転鏡側の光の光路差が０のセンターバースト位置となるように、上下の回転鏡３ａ、３ｂの位置が予め調整される構成とする。 （もっと読む）

【課題】入射光の入射制限角度を高精度に制御可能な光学センサー及び電子機器等を提供すること。
【解決手段】光学センサーは、受光素子（例えばフォトダイオード３０）と、受光素子の受光領域に対する入射光の入射角度を制限する角度制限フィルター４０と、を含む。入射光の波長をλとし、角度制限フィルターの高さをＲとし、角度制限フィルターの開口の幅をｄとする場合に、ｄ^２／λＲ≧２を満たす。 （もっと読む）

【課題】側壁にすき間領域があっても高精度に入射角度を制限可能な光学センサー及電子機器等を提供すること。
【解決手段】光学センサーは、半導体基板１０上に形成された、フォトダイオード用の不純物領域３０と、フォトダイオードの受光領域に対する入射光の入射角度を制限する角度制限フィルター４０と、を含む。角度制限フィルター４０は、少なくとも、第１の絶縁層に対応する第１のプラグと、第１の絶縁層よりも上層の第２の絶縁層に対応する第２のプラグにより形成される。第１のプラグと第２のプラグの間には、すき間間隔ｂがλ／２以下のすき間領域がある。 （もっと読む）

【課題】歩留まりを向上させた赤外線測定器とその製造方法の提供。
【解決手段】基板１０とセンサ（強誘電体層１３）とを有するセンサ部２を備え、基板２０と赤外線透過薄膜積層体２２，２４とを有して両積層体２２，２４の間に電圧が印加された状態において両積層体２２，２４が光学的に一体化し、かつ、両積層体２２，２４の間に電圧が印加されない状態において両積層体２２，２４の間にギャップ２７が形成されるように構成されたシャッター機構部３を備え、基板１０，２０が対向するようにセンサ部２およびシャッター機構部３が一体化して、両積層体２２，２４が厚み方向で光学的に一体化した状態において厚み方向に赤外線ＩＲを透過させてセンサ本体に対する赤外線ＩＲの入射を許容すると共に両積層体２２，２４の間にギャップ２７が形成された状態において赤外線ＩＲを反射してセンサ本体に対する赤外線ＩＲの入射を規制するように構成している。 （もっと読む）

【課題】微小な傾斜構造体を製造可能な製造方法を提供する。
【解決手段】基板の上方に第１の層を形成する工程（ａ）と、第１の層の上方に第２の層を形成する工程（ｂ）と、第２の層に、基板の面と交差する方向の端面を形成する工程（ｃ）と、第２の層の端面をエッチングすると同時に、第２の層の端面のエッチングによって露出した第１の層を順次エッチングする工程（ｄ）と、を含む。基板の面方向における第２の層のエッチングレートは、第１の層のエッチングレートより大きいことが望ましい。 （もっと読む）

【課題】分光センサー及び角度制限フィルターを小型化する。また、任意の傾斜角度を有する光路を含む角度制限フィルターを製造する。
【解決手段】角度制限フィルターは、第１の開口部を有する第１の遮光層と、第２の開口部を有し、第１の遮光層の上方に位置する第２の遮光層と、を含み、第２の遮光層の上方から見て第１の開口部と第２の開口部とが一部重なり、且つ、ずれた位置に有するように、第１及び第２の遮光層が配置されている。分光センサーは、角度制限フィルターと、波長制限フィルターと、受光素子とを具備する。 （もっと読む）

【課題】外乱による信頼性の低下を抑えた分光特性測定装置とその制御方法、分光特性測定方法、及び光路長差伸縮機構を提供する。
【解決手段】本発明は、被測定物の測定点から多様な方向に向かって発せられた光を一つにまとめた後、分割光学系によって第１反射部と第２反射部に導き、前記第１反射部と前記第２反射部の相対位置に影響を及ぼす外乱を推定し、該外乱を解消するように前記第１反射部と前記第２反射部の少なくとも一方を移動させることにより前記第１反射部によって反射された第１反射光と前記第２反射部によって反射された第２反射光の光路長差を伸縮させつつ、前記第１反射光と前記第２反射光を結像光学系によって同一点に導き、その点の干渉光強度変化に基づき前記被測定物の測定点のインターフェログラムを求め、このインターフェログラムをフーリエ変換することによりスペクトルを取得する。 （もっと読む）

【課題】光路長差を伸縮させるために低価格の駆動装置を用いながらも、高精度なインターフェログラムを得ることができる分光特性測定装置及び分光特性測定方法を提供する。
【解決手段】本発明の分光特性測定装置は、被測定物Ｓの測定点から発せられた光を対物レンズ２によって固定ミラー部１６１、可動ミラー部１６２に導き、これらミラー部１６１、１６２によって反射された光を結像レンズ１８によって同一点に導く。制御部２２は可動ミラー部１６２を繰り返し移動、停止させて固定ミラー部１６１、可動ミラー部１６１によって反射された光の光路長差を間欠的に伸縮させる。処理部２４は、前記可動ミラー部１６２が各停止位置にあるときに同一点に導かれた光の強度を検出し、これら光強度とそのときの光路長差の値から補間して複数の等間隔の光路長差における光強度を求め、この光強度に基づきインターフェログラムを作成する。 （もっと読む）

【課題】検出感度の低下を招くことなく高精度に眼底の分光特性を測定することができる眼底分光特性測定装置及び眼底分光特性測定方法を提供する。
【解決手段】本発明の眼底分光特性測定装置１は、光源からの光を被検眼眼底Ｓｂに照射して該眼底Ｓｂから発せられる光を対物レンズを通して第１反射部１６と第２反射部１５に導く。そして第１及び第２反射部１６、１５で反射された第１及び第２反射光を結像レンズで同一点に導き、干渉光強度を検出部２４で検出する。位相シフター１４によって第１及び第２反射光の光路長差を伸縮させつつ検出部２４で干渉光強度変化を検出し、処理部３０はその干渉光強度変化からインターフェログラムを求める。このとき、処理部３０は結像レンズの光軸と結像面の交点から受光素子までの距離、結像レンズの焦点距離、第１反射部１６の移動量から光路長差を算出し、光路長差に応じてスペクトルを補正する。 （もっと読む）

【課題】広視野分光イメージングを行う場合であっても高精度に分光特性を測定することができる分光特性測定装置及びその校正方法を提供する。
【解決手段】測定モードでは被測定物の各輝点から発せられた光を分割光学系を通して第１及び第２反射部に入射させ、そこで反射された光を結像光学系によって干渉像を形成する。第１反射部を移動させることにより分割光学系から第１及び第２反射部を経て結像光学系に向かう第１及び第２反射光の間の相対的な光路長差を伸縮させ、そのときの干渉像の光強度変化に基づき被測定物の各輝点のインターフェログラムを求める。校正モードでは、輝点から出射される所定波長λの光を分割光学系に入射させることにより、該輝点に対応する複数の干渉像を形成させ、そのときの光強度変化に基づき該光強度変化の１周期に対応する第１反射部の移動量を求め、輝点の波長λ、第１反射部の移動量、前記干渉像の画角θから前記第１反射部の設置角を求める。 （もっと読む）

【課題】本発明は、波長可変エタロンフィルタに光を２回通す光スペクトラムアナライザにおいて、ＰＤＬ性能を向上することを目的とする。
【解決手段】本願発明の光スペクトラム測定装置は、被測定光を予め定められた偏波方向にする偏波コントローラ（１５）と、偏波コントローラからの被測定光を通過し、予め定められた偏波方向と直交する方向の光を分離するＰＢＳ（１１）と、ＰＢＳを通過した被測定光から設定波長の光を抽出するとともに、抽出後の光の偏波方向が９０°回転された偏波回転光から設定波長の光を抽出する波長可変エタロンフィルタ（１２）と、波長可変エタロンフィルタによって抽出された被測定光の偏波方向を９０°回転させ、当該回転後の光を偏波回転光として波長可変エタロンフィルタに入射させる偏波回転部（１３）と、波長可変エタロンフィルタによって抽出されかつＰＢＳで分離された偏波回転光を受光する受光器（１４）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】光路長を可変にするためのメカニズムとして、小型で簡単な装置構成の採用を可能とする光路長可変装置を提供する。
【解決手段】入射光学系２と固定平面鏡Ｍｆと可動平面鏡群Ｍｍを備え、入射光学系２より第１光軸に沿って入射された第１光線Ｌ１が可動平面鏡群で複数回反射されて第２光線Ｌ２となり、第２光線が固定平面鏡で反射されて第３光線Ｌ３となり、第３光線が再度可動平面鏡群で反射されて第４光線Ｌ４となって第１光線とは逆の向きに進んで射出し、可動平面鏡群が固定平面鏡および第１光軸に対して相対運動することにより、入射から射出までの光路長が可変となる光路長可変装置であって、第２光線が固定平面鏡に垂直入射するように第１光軸、可動平面鏡群、固定平面鏡の各々が配置されている。 （もっと読む）

【課題】基板に生じる撓みを低減して、分解能を向上させた波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、第１基板５１の第２基板５２との対向面に設けられた第１反射膜５６と、第２基板５２の第１基板５１との対向面に設けられ第１反射膜５６と対向する第２反射膜５７と、第１基板５１の第２基板５２との対向面に設けられた第１電極５３と、第２基板５２の第１基板５１との対向面に設けられた第２電極５４とを備え、第２基板５２は、第２反射膜５７を設けた可動部５２２と、可動部５２２を基板厚み方向に移動可能に保持する連結保持部５２３とを備え、連結保持部５２３は可動部５２２を囲んで連続して、かつ可動部５２２より厚み寸法が小さく形成され、第２電極５４は第２基板５２の連結保持部５２３より厚み寸法が大きい部分に設けられる。 （もっと読む）

【課題】干渉フィルターの反射膜間のギャップの変動を防止し、正確な分光特性を測定可能な光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】測色センサー４は、第１基板５１、第１基板５１に対向する第２基板５２、第１基板５１の第２基板５２に対向する面に設けられ固定ミラー、及び第２基板５２に設けられ、固定ミラーと所定のギャップを介して対向する可動ミラーを有するエタロン５と、エタロン５を透過した検査対象光を受光する受光素子４２と、エタロン５を保持する保持部材４３とを備える。エタロン５は、基板厚み方向に見る平面視において、第１基板５１及び第２基板５２が対向する光干渉領域Ａｒ１と、光干渉領域Ａｒ１から突出した突出領域Ａｒ２とを備える。保持部材４３は、突出領域Ａｒ２における、光干渉領域Ａｒ１とは反対側の一端側において、エタロン５を保持する。 （もっと読む）

【課題】分解能の高い光フィルターを提供する。
【解決手段】表面研磨された第１研磨平面を有する第１基板５１と、第１基板５１に対向し、第１研磨平面に対向する表面研磨された第２研磨平面を有する第２基板５２と、第１研磨平面に設けられた第１反射膜５６と、第１研磨平面に設けられ第１反射膜を覆うＳｉＮ膜５８と、第２研磨平面に設けられ、第１反射膜に対向する第２反射膜５７と、第１反射膜５６および第２反射膜５７の間に反射膜間ギャップを形成するＳｉＯ₂膜５３と、ＳｉＯ₂膜５３と第２基板５２との間に形成された金属膜６０とを有する。 （もっと読む）