【課題】ステップ走査干渉計を、最適に機能させる方法を提供する。
【解決手段】いくつかの実施形態では、ステップ走査赤外線（IR）分光干渉計における路長差（遅延）は、ステップ変更に続く第1の期間について交流サーボ機構（サーボ）制御下で、および、第1の期間に続く第2の期間について直流サーボ制御下で維持される。データは、直流サーボ制御期間中および/または直流サーボ制御期間後に取得される。データ取得前に交流サーボ制御を停止することで、ディザー周波数ノイズを制限することができる。さもないと、ディザー周波数ノイズは、高速時間分解分光法（TSR）などの高速時間スケール用途で特に、対象となる信号に影響を与える可能性がある。鏡位置制御回路は、鏡位置ステップ、および、交流から直流への鏡サーボ制御の切り換えを制御する。 （もっと読む）

【課題】迅速な分光測定が可能な光フィルター、特性測定方法、分析機器、および光機器を提供する。
【解決手段】 光フィルター３は、第一基板と、前記第一基板と対向する第二基板と、前記第一基板に設けられた第一反射膜と、前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜と対向する第二反射膜と、前記第一基板に設けられた第一電極と、前記第二基板に設けられ、前記第一電極と対向する第二電極と、前記第一電極と前記第二電極との間の電位差を制御する電圧制御部８１と、を備え、前記電圧制御部８１は、前記電位差を、第一電位差から前記第一電位差より大きい第二電位差に切り替える。 （もっと読む）

【課題】 手持ち式分光計に組み込むことができる干渉計を開示する。
【解決手段】 干渉計は、包囲光路光学部品群と検出器を有し、包囲光路光学部品群は少なくとも２つの反射素子（２２１、２２２）とビームスプリッタ（２１０）を有し、ビームスプリッタは入力ビーム（２０５）を第１および第２ビーム（２３１、２３２）へ分割する。包囲光路光学部品群は第１および第２のビームを、領域を包囲する光路の逆方向に周回させ、第１および第２のビームを検出器（２５０）に向けて出力する。検出器は第１および第２のビームの干渉により生じたパターンを検知する。好ましい実施例では、２つの反射素子は一対の凹面鏡であり、包囲光路光学部品群は三角形の領域を包囲する。反射および結像のために凹面鏡を使用するので干渉計は小型になる。 （もっと読む）

【課題】小型でありながら広い測定波長帯域にわたって連続的なスペクトルを高い信頼性をもって得られるようにする。
【解決手段】第１および第２の２つのミラー１１１，１１２を互いに平行として所定厚の空気層を介して対向的に配置してなるファブリペローフィルタ１１０を用いた分光測定器において、ファブリペローフィルタ１１０と、ファブリペローフィルタ１１０を透過した赤外線を受光してその受光量に応じた受光信号を出力する赤外線検知素子１２２とを１対１の関係で備える複数個のセンサユニット１０を含み、各ファブリペローフィルタ１１０の赤外線透過帯域をそれぞれ異なる帯域として、各センサユニット１０を同一の支持基板上に並置する。 （もっと読む）

【課題】分光精度の高い干渉フィルター、光センサー、および光モジュールを提供する。
【解決手段】エタロン５は、互いに対向する固定基板５１および可動基板５２と、これらの固定基板５１および可動基板５２間にそれぞれ設けられる一対の反射膜５６，５７と、備える。可動基板５２には、第一ギャップ形成領域、および、その外周側に形成される可動側接合面５２３が形成され、固定基板５１には、第二ギャップ形成領域、その外周側に形成される固定側接合面５１３、固定側接合面５１３内に形成され、接着剤５１５が塗布される接着用溝５１４、接着用溝５１４および第二ギャップ形成領域の間に形成される撓み低減溝５１６が設けられる。そして、固定基板５１および可動基板５２は、固定側接合面５１３および可動側接合面５２３を接合させた状態で、接着用溝５１４に塗布される接着剤５１５により接着接合される。 （もっと読む）

イメージングシステム用の集積回路が、光学センサアレイ（４０）と、ある波長帯域を１つ又はそれ以上のセンサに向けて通過させるようにそれぞれ構成された光学フィルタアレイ（１０）とを有する。光学フィルタアレイは、センサアレイと一体化されている。集積回路は、センサアレイから画素値を読み出して画像を表現する読み出し回路（３０）を有する。光学フィルタの異なるものが異なる厚さを有するように構成され、干渉を用いて異なる波長帯域を通過させて、波長スペクトルの検出を可能にしている。読み出し回路は、１つの光学フィルタ下にある複数の画素が並列で読み出し可能である。厚さは、アレイ全体で非単調的に変化してもよい。読み出しまたは後の画像処理は、厚さ誤差を補償するために、スペクトルのサンプリングまたはシフト(shift)を実行する波長間の選択または補間(interpolation)を含んでもよい。
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【課題】正確な分光特性を測定可能な分光測定装置、および分析装置を提供する。
【解決手段】分光測定装置３は、互いに対向する固定基板および可動基板と、可動基板に設けられる変位部と、変位部を初期位置に向かって付勢する連結保持部と、変位部および固定基板にギャップを介して対向配置される反射膜と、ギャップを調整する静電アクチュエーターと、ギャップ間隔を演算するギャップ演算手段８２３と、反射膜を透過した光の受光量を測定する受光部６と、変位部を予め設定された第一変位位置まで変位させるギャップ制御手段８２１と、変位部が初期位置に戻る復元過程で、透過光の光量測定、およびギャップの間隔の演算を同時に実施させる測定制御手段８２５と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】干渉性の高い基準光源を用いずに移動鏡１５の位置を求めることができ、これによって、小型で高分解能のフーリエ変換型の分光器１を実現する。
【解決手段】駆動機構２１は、共振によって移動鏡１５を移動させ、時間経過とともに移動鏡１５の位置を周期的に変化させる。この構成において、移動鏡位置算出機構２３は、移動鏡１５の基準位置Ｘ０と変位が最大の位置Ｘｍとの間の位置Ｘｐを検出し、位置Ｘｐよりも変位が大きい位置Ｘｅを外挿法によって算出し、算出した位置Ｘｅを干渉強度測定点に対応する移動鏡１５の位置とする。外挿法によって干渉強度測定点に対応する移動鏡１５の位置Ｘｅを算出するので、移動鏡１５の変位量を大きくして、高分解能の分光器１を実現する場合でも、干渉性の高い基準光源（例えば大型のＨｅ−Ｎｅレーザ）を用いることなく、干渉強度測定点に対応する移動鏡１５の位置Ｘｅを求めることができる。 （もっと読む）

【課題】基板同士を加圧して接合させた場合でも、基板間のミラーが損傷しない波長可変干渉フィルター、この波長可変干渉フィルターを備えた測色センサー、およびこの測色センサーを備えた測色モジュールを提供する。
【解決手段】エタロン５は、透光性を有する第一基板５１と、第一基板５１の一面側に対向するとともに、第一基板５１に加圧接合される透光性の第二基板５２と、第一基板５１および第二基板５２の互いに対向する面にそれぞれ設けられ、互いに対向配置される一対のミラー５６，５７と、一対のミラー５６，５７の間の寸法を可変する静電アクチュエーター５４と、第二基板５２の可動ミラー５７の内周側に設けられるとともに、第一基板５１に向かって突出する支持突出部５２４と、を具備した。 （もっと読む）

入射ビームが集束レンズを通して送られると、これから入射スポットを生成することを特徴とする、実質的にコリメートされた入射ビームを受光して圧縮するイメージコンプレッサーと、
圧縮されたビームを受光し、これをスライスされた複数個の部分へとリフォーマットして互いに実質的に平行になるよう垂直に積み重ねるイメージリフォーマッターと、
リフォーマットされたビームが集束レンズを通して送られると、これを入射スポットと比較して第１の方向に拡大し、第２の方向に圧縮された出力スポットを生成することを特徴とする、リフォーマットされたビームを拡大してコリメートされた出力ビームを生成するイメージエキスパンダーと
を含む、出力スポットを生成するための光学スライサー。
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本発明は、マイクロメカニカル（ＭＥＭＳ）技術を用いて製造される制御可能なファブリー・ペロー干渉計に関する。先行技術におけるマイクロメカニカル干渉計は、著しく、赤外光の放射が減衰するといった欠点を有する。本発明の解決策において、少なくとも１つのミラーに間隙（１０４、１１４）があり、ミラー層の役割を担う。ミラーのその他の層は、多結晶質シリコンで作製され、赤外域において軽微な減衰を有する。また、干渉計の光学領域にある基板に孔（１２５）または凹部を具備することも好ましい。 （もっと読む）

【課題】ラインセンサ上の各センサのうち、斜めに入射された光を受光したセンサにおいて波長分解能の悪化を抑えること。
【解決手段】フィルタが形成される面内の第１の方向に沿って透過波長が異なる透過波長可変フィルタであって、所定位置から第１の方向の両端へ向かってそれぞれ透過波長が短く変化する透過波長可変フィルタ、および該透過波長可変フィルタと、複数のセンサが配列されたセンサアレイであって、該透過波長可変フィルタを透過した光を受光するセンサアレイと、を備える分光測光装置。 （もっと読む）

【課題】接着剤を用いずに剛体３３・３４と板ばね３１・３２とを連結できる構成とすることにより、干渉計や分光器を小型化しながら高精度な干渉による高分解能を実現する。
【解決手段】板ばね部３１・３２は、対向配置されており、互いに離間して配置される剛体３３と剛体３４との間の空間を介して対向する平板部３１ｐ・３２ｐをそれぞれ有している。剛体３３・３４は、各平板部３１ｐ・３２ｐよりも厚いので、駆動部３５による板ばね部３１の曲げ変形時に、固定された剛体３４に対して剛体３３を大きく変位させることができる。また、剛体３３・３４は、ガラスまたはシリコンで構成されているので、剛体３３・３４と板ばね部３１・３２との連結に、接着剤なしで連結する方法を用いることが可能となる。これにより、接着剤に起因する製造誤差を排除することができ、干渉計や分光器においては、従来のようなコーナーキューブの設置が不要となる。 （もっと読む）

【課題】外部光源の放射スペクトルを測定する分光光度計において、外部光を導入するための専用の導入開口及び光軸を切り換えるための光軸切換機構を必要としない分光光度計を提供する。
【解決手段】内部光源を交換可能な分光光度計において、内部光源を取り外した後、図示しない光源位置決め部品に着脱可能な、外部ミラー５及び内部ミラー６により構成される外部光導入光学装置４が装着されることを特徴とする。また、外部ミラー５に、その鏡面を外部光源の方向に向けるための光軸調整軸７を備えさせることにより、外部光源を専用の保持機構に取り付けることなく、設置状態のままで測定することができる。 （もっと読む）

【課題】 信頼性の高い分光モジュールを提供する。
【解決手段】 この分光モジュールでは、回折層６よりも厚くなるように回折層６の周縁６ａに沿って鍔部７が一体的に形成されており、しかも、レンズ部３の曲面３ａにおいて鍔部７と接触する部分が粗面となっている。これにより、曲面３ａとの接着性が高まった鍔部７によって、回折層６が包囲されることになる。そのため、回折層６を薄型化しても、回折層６がレンズ部３の凸状の曲面３ａから剥離するのを防止することができる。更に、この分光モジュールでは、鍔部７においてレンズ部３の曲面３ａと対向する後面７ａが平坦面となっている。これにより、光が鍔部７内に入射しても、その光は鍔部７の平坦面である後面７ａに達する。そのため、迷光として光検出素子の光検出部に直接結像される光を低減することができる。 （もっと読む）

垂直性および分散の問題を解決するためバランス界面を使うマイクロメカニカルシステム（ＭＥＭＳ）干渉計を提供する。ＭＥＭＳ干渉計は、第１媒体の第１表面上で第１媒体と第２媒体との界面に形成されたビームスプリッタ、第１媒体の第２表面に形成された第１のミラー、第１媒体の第３表面上に形成された第２のミラー、およびバランス界面を有する。ビームスプリッタは、入射ビームを受け取り、第１媒体中を伝播する第１干渉ビームおよび第２媒体中を伝播する第２干渉ビームに分けるよう、光学的に結合されている。第１のミラーが第１干渉ビームを受け取り第１干渉ビームを反射して第１の反射した干渉ビームを生成するよう光学的に結合しており、第２のミラーが第２干渉ビームを受け取り、第２干渉ビームを反射して第２の反射した干渉ビームを生成するよう結合されている。第１干渉ビームおよび第２干渉ビームのそれぞれの光路にバランス界面があり、ティルト角の相違および位相誤差の相違を最小にする。 （もっと読む）

【課題】信号光の波長と局発光の波長との相対値を安定的に制御する。
【解決手段】入力した信号光を透過させる第１共振器と、信号光を入力した方向と直交する方向に入力した局部発振光を透過させる第２共振器とが同一のバルクで構成される。フィルタ調整部は、第１基準強度と第１共振器を透過した信号光の強度との相対値および第１共振器の透過特性に基づいて、第１共振器の透過特性を調整するためのフィルタ調整信号を生成する。外部調整部は、第２基準強度と第２共振器を透過した局部発振光の強度との相対値および第２共振器の透過特性に基づいて、外部制御信号を外部へ出力する。変更部は、フィルタ調整信号に応じて、第１共振器の透過特性および第２共振器の透過特性を変更する。 （もっと読む）

【課題】インコヒーレント光を用いた測定において回折限界以下の空間分解能を得る。
【解決手段】膜質評価装置１は、マイケルソン干渉計３で赤外光の干渉光を形成した後に、ビームスプリッタ１２で第１の測定光と第２の測定光に分岐させる。第１の測定光と第２の測定光は、測定対象物Ｗの表面に位置をずらして照射させる。これにより、２つの測定光が重ねあわされる領域と重ね合わされない領域が形成される。差分処理部２１で２つの測定光を受光したときの光強度信号の差分を算出し、このデータに基づいてフーリエ変換することで赤外スペクトルを得る。 （もっと読む）

【課題】従来のスペクトラムアナライザは高いＱのフィルタを使用していないので、極短の電磁パルスの周波数スペクトラムは測定できなかった。
【解決手段】高いＱ値のファブリペロー共振器を用いることによって、１波長のＱ倍の波長まで信号が持続することを利用して、極短パルスの周波数スペクトラムが測定できる。 （もっと読む）

【課題】常光・異常光間の位相差を変化させる液晶素子の特性を考慮することにより、適正な分光分析を実現する。
【解決手段】透過光の常光と異常光の位相差を制御可能な液晶素子１３を１対の偏光子１１、１２により挟持してる干渉手段１０と、液晶素子１３の駆動電圧を位相制御信号として調整し、液晶素子における常光と異常光の位相差を連続的に変化させる位相制御手段３０と、位相制御手段による位相制御の開始と同期して常光と異常光の合成光の受光を開始し、所定の信号検出レートで時間的に離散した受光信号とする光検出手段２０と、位相差の変化に伴って変化する受光信号をスペクトル情報に変換する信号処理手段４０と、光検出手段に入射する合成光に対応するインタフェログラムに忠実に対応する受光信号が得られるように、駆動電圧および／または信号検出レートを制御する制御手段とを有する分光装置である。 （もっと読む）