【課題】ディレイステージの位置決め精度に拘らず正確なスペクトルを得ることができるテラヘルツ分光装置を提供する。
【解決手段】ディレイステージ８を移動させる毎にテラヘルツ検出器７からテラヘルツパルス波の電場強度に対応する検出信号を取得する。同時に、ステージ位置測定器９から出力されたディレイステージ８の位置に対応するパルスを取得し、テラヘルツ波の電場強度を取得したときのディレイステージ８の位置に対応した時間波形を得る。時間波形を等時間間隔のデータに補正した後、フーリエ変換して振幅スペクトルと位相スペクトルとを得る。 （もっと読む）

【課題】スペクトル分解能を損なわずに遠隔波長域にある複数のスペクトルを同時に測定する分光装置を提供する。
【解決手段】本発明による装置は、ツェルニー・ターナー形分光装置で、少なくとも入射スリットを形成するスリット板１，コリメータ鏡２，グレーティング３，複数のカメラ鏡４，５，入射スリット共役面に配置される検出器８がこの順で配置されており、離間した波長域に同時に現れる第１および第２のスペクトルを同時に測定するための分光装置である。第１スペクトル用の第１カメラ鏡４と検出器８との間に設けられた第１の光路調整手段６と、第２スペクトル用の第２カメラ鏡５と検出器８との間に設けられ、前記第２のスペクトルを検出器８上に結像した前記第１のスペクトルに近接して結像させる第２の光路調整手段７を備えている。 （もっと読む）

検査試料の所定の深度にある画像エリアの画像を生成するための顕微鏡検査方法であって、それぞれ画像エリアの一部を、試料との相互作用により試料放射を発生させる合焦した照明用光線束で照明する複数の照明工程と、発生した試料放射を検出する検出工程と、検出した試料放射を基に画像を生成する評価工程とを含む方法が提供される。各照明工程中に第１および第２の検出工程を実施し、その第１の検出工程では焦点内および焦点外で発生した試料放射を検出し、第２の検出工程では、焦点内で発生した第１の検出工程より少ない割合の試料放射および焦点外で発生した試料放射を検出し、かつ評価工程において、第１の検出工程で検出した試料放射の焦点外の割合を減らすために、第２の検出工程で検出した試料放射を利用する。
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【課題】絶対反射率測定など検出器の位置を移動させて測定を行う分光光度計において、光ファイバーを使用せず、安定で安価の測定装置を提供する。
【解決手段】位置の変更が可能な検出器１４はサンプル側のみの測定に使用し、リファレンス側検出器には、分光光度計本体Ａの検出器５を使用することにより、光ファイバーの使用を不要とするとともに、付加的なコストを最小限に抑える。光電子増倍管を利用した検出器１４のドリフトを最小限に抑えるため、外部試料室内にＬＥＤの光源１６を設け、これを測定シーケンスに従って、ＯＮ／ＯＦＦする。 （もっと読む）

【課題】 透過測定及び反射測定を可能とし、装置の小型化、測定時の作業性及び測定精度の向上が図られた光学特性測定装置の提供。
【解決手段】 反射測定時には、反射試料開口２ｓにおいて拡散照明された反射試料からの反射光を、受光開口２ｂを通して受光光学系５及び２チャンネル分光装置６により測定し、信号処理装置７及び制御演算装置８により反射特性の算出を行う。透過測定時には、透過試料開口２ｔにおいて拡散照明された透過試料１の透過光１ｐを、反射鏡４２によって折り曲げられた光路を経由させて、反射試料開口２ｓ及び受光開口２ｂを通して受光光学系５及び２チャンネル分光装置６により測定し、信号処理装置７及び制御演算装置８により透過特性の算出を行う。 （もっと読む）

【課題】 放射または反射された光の角度情報と分光強度情報とを同時に測定可能な分光測定装置を提供する。
【解決手段】 測定対象物の一点に焦点位置を有し、放射または反射された光を平行光化する第一のレンズ群と、平行光化された光を二次元分光器のスリットの位置に結像させる第二のレンズ群と、スリットを通過した光を分光し二次元分光画像とする二次元分光器と、撮像手段と、データ処理装置とを有し、放射（反射）角度と分光強度を同時に測定する。なお、反射光を分光測定する場合には、光源と、レンズとピンホールとの組み合わせになる光学系とを有し、光源からの光をスポット光とする照射手段を備えることが好ましい。また、偏光特性を測定する場合には、光源からの光に偏光を与える偏光子を照射手段の光路上に備え、かつ第一のレンズ群と二次元分光器の間の光路上に検光子を配設することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 干渉光を入光して電気信号に変換する検出器を干渉計の外部におき、干渉光を光ファイバで検出器に導く構成にした近赤外分光分析計を提供する。
【解決手段】 近赤外分光分析計は、被測定対象物に投光する光源手段と、前記被測定対象物からの拡散反射光を検出する受光手段と、前記受光手段で検出された拡散反射光を分光し干渉光を生成する分光手段と、前記分光手段で分離し配置された干渉光を検出し、光信号を電気信号に変換する検出手段と、を備え、前記分光手段と前記検出手段の間を光伝達手段によって接続する構成にしたことである。 （もっと読む）

【課題】干渉計を構成するビームスプリッタや移動鏡，固定鏡等の反射面の傾き調整や平面精度の誤差により生じる光路差が及ぼす干渉効率の低下，ビジビリティの低下を軽減すること。
【解決手段】
解析光源１から出射された光（解析光）を少なくとも二つの光路に分割するビームスプリッタ３と，上記ビームスプリッタ３により分割された一方の光をその入射方向へ反射させる固定鏡５と，他方の光をその入射方向へ反射させる移動鏡４とを有する干渉計Ａ１に，上記解析光源１から出射された光を上記固定鏡５の反射面５ａ及び／又は上記移動鏡４の反射面４ａの面上又はその近傍で焦点を結ぶように集光する集光レンズ６を設ける。これにより，上記固定鏡５や移動鏡４の調整精度等に起因して生じる光路長差を軽減することができ，その結果，生成される干渉光の干渉効率の低下が軽減する。 （もっと読む）

【課題】 生体組織が水分を多く含む物質に覆われている場合であっても、生体組織の所望の深度までの光断層画像を高精度に取得する。
【解決手段】 低コヒーレンス光Ｌを射出する光源２を用いて光トモグラフィー計測を行うときに、中心波長λｃが０.９０μｍ以上かつ１.１５μｍ以下の範囲にある低コヒーレンス光Ｌを用いる。
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【課題】ウエハ上の焦点ずれ検出を改善するための方法および装置。
【解決手段】ハイパースペクトル画像化を用いることで、局所的な焦点ずれ欠陥に対する感度を増大させ、フーリエ空間解析を用いることで、広域の焦点ずれ欠陥に対する感度を増大させる。これらを組み合わせることにより、局所的および広域の焦点ずれ欠陥に対する全体的な感度が改善される。 （もっと読む）

【課題】 画素数の大きなＰＤＡ検出器を使用し、光学系の構成を変更することなしに、所望の波長分解能に応じて、見かけ上画素数の小さな検出器を利用した場合と同等の出力を得られるようにする。
【解決手段】シフトクロックＣＫの１パルス毎にＰＤＡ検出器７から１画素ずつ出力される電流信号をコンデンサ８２で積分し、スイッチ８７によるクランプ動作が解除されているタイミングでＳ／Ｈ回路９１にサンプル／ホールドする。コンデンサ８２を放電させるリセット用スイッチ８３を閉成するリセット制御信号ＲＳ、クランプ制御信号ＣＰ及びトリガ制御信号ＴＧをシフトクロックＣＫの１パルス毎に欠損させることで、波長方向に隣接する２個の画素信号をコンデンサ８２で電流加算し、その加算された電圧信号をＡ／Ｄ変換することで見かけ上波長分解能を半分に落とすことができる。 （もっと読む）

【課題】 小型化、低コスト化を図り、測定時間を短縮する。
【解決手段】 二次元光源Ｌの光束Ｌａを取り込み、光像（第１像２ａ及び第２像６ａ）を形成する光学系（対物光学系２やリレーレンズ６）と、光束Ｌａの透過部位に応じて透過波長が異なる分光透過特性を有するＷＢＰＦ１２（透過波長変化型フィルタ）と、光像を形成する光路中にＷＢＰＦ１２を走査可能に保持する走査ＷＢＰＦ１０と、ＷＢＰＦ１２の各走査ステップ位置においてＷＢＰＦ１２を透過した光束Ｌａにより形成される第２像６ａを撮像し、各走査ステップ位置毎に各画素の分光感度が異なる複数の画像を取得する撮像素子７とを備える。 （もっと読む）

【課題】それぞれの変数に対する感度は、少なくとも一部は、入射ビームの計測角に依存することから、所望の計測角のセットを選択することによって、分光計測技術の感度を、ある種のプロファイル変数について最適化する。
【解決手段】選択された所望の計測角のセットは、方位角および極角の両方を含む。また分光計測技術の感度を最適化することは、計測されるべき変数間の計測相関を低減または解消しえる。 （もっと読む）

【課題】 光学計測システム３００は、フィルタ１３０と画像センサ１５０とを自動制御し、目的とする波長と偏波面変位角および対象物の向きと傾きとに対して精度の高い画像データを連続的に取得することを目的とする。
【解決手段】 偏光分光放射計１００では、光を入射し、フィルタ１３０が、入射した光を選別し、画像センサ１５０が、光から画像データを取得する。偏光分光放射計１００に対して、偏光分光放射計制御装置２００で、フィルタ電圧制御部２１０は、フィルタ１３０にかける電圧を制御し、フィルタ１３０にかけた電圧により選別する波長を出力する。フィルタ回転制御部２２０は、フィルタの回転を制御し、フィルタ１３０の回転により選別する偏波面変位角を出力する。センサ制御部２３０は、フィルタ電圧制御部２１０が出力した波長と、フィルタ回転制御部２２０が出力した偏波面変位角とに対する駆動量に基づいて画像センサ１５０を駆動する。 （もっと読む）

【課題】走査速度および設計複雑性に関して、汎用型の測定装置および走査装置を改良し、同時に、グラフィック産業における品質管理や、色測定による印刷プロセス制御に対する適合性を維持する。
【解決手段】画素に基づいて印刷シートの形態の測定対象を光電的に測定するための走査装置は、測定対象を支持するための測定テーブルＭＴと、測定対象の画素ラインを走査するために測定テーブルの表面の上方で移動可能な測定装置と、測定対象の上方で測定装置を移動させるための駆動システムと、測定装置および駆動システムのための測定／駆動制御システムと、測定装置によって測定対象Ｓの走査画素から生成された測定信号を処理および評価するための処理装置とを備えている。測定装置は、照射システムと、光電受光ユニットと、光学手段とを備えている。照射システムは、標準化された入射角範囲で、帯状の照射領域１５内の画素に光を当てる。 （もっと読む）

【課題】 放射光の損失を伴うことなくかつ簡易な構成で放射光の偏光を可能とした赤外光放射装置を提供する。
【解決手段】 パルス励起光が照射されて光キャリアを生成する光伝導膜２２と、光伝導膜２２上に間隙３２を介して形成され、赤外光を放射する一対の第１アンテナ電極膜２１ａと、第１アンテナ電極膜２１ａに対して角度を有しかつ間隙３２を介して光伝導膜２２上に形成された、赤外光を放射する一対の第２アンテナ電極膜２１ｂと、第１アンテナ電極膜２１ａおよび第２アンテナ電極膜２１ｂに対して、それぞれ独立に電圧を印加する制御部とを備えていることを特徴とする。第１アンテナ電極膜２１ａに印加する電圧と、第２アンテナ電極膜２１ｂに印加する電圧は、それぞれ選択的に異なる時刻に印加することとしても良く、あるいは、同時に異なる位相で印加することとしても良い。 （もっと読む）

【課題】調査対象地域のバンドデータの季節変化を利用して、森林簿に沿って区分された調査対象樹種を抽出し、かつ、その分布領域を求めることにより広域的な植生図の作成をおこなうための衛星データによる森林地域の植生分類方法を提供する。
【解決手段】処理手順として、（１）調査対象樹種の解析適期を設定し、調査対象地域の一又は複数のバンドデータを取得する。（２）それぞれのバンドデータの輝度値に対し、樹種に応じた上下限値又は閾値を設定し、樹種数分の樹種対象抽出マップを作成する。
（３）調査対象地域の正規化植生指標を作成する。（４）上記（２）の樹種対象抽出マップについて、上記（３）の植生指標を用いてマスク処理を施すことにより、山林部又は樹種分布を特徴抽出する。（５）上記（２）又は上記（４）により作成した樹種対象抽出マップを段階的に組み合わせて比較又は合成することにより樹種ごとの純林分布を求める。 （もっと読む）

変調分光システム１が、プローブビーム１１をサンプル１０上に向け、反射されたプローブビームは集光器７によって集光され、検出器８により処理される。光源４、５によって作られたポンプビームは、ポンプビーム１３をサンプル上のプローブビームと同じにスポットに向ける。しかし、同時にポンプビームをそのプローブスポットに重ならない隣接した位置に切り換えることも行われる。これは空間変調と呼ばれる。集光サブシステム７の円柱レンズ１６は、両ポンプビームスポットからのルミネセンスを同時に含む反射光を集光し、従ってルミネセンスは除去が容易に行えるＤＣ信号となる。また、変調器からのポンプビームの強度と位置を変えるための手段も備える。これは不要なバックグラウンドのルミネセンス信号を除去する手段となると同時にＳ／Ｎ比を改善する。
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マルチチャネル、マルチスペクトル型撮像分光計は、それぞれが２以上の入力チャネルの各々用である２以上の入力スリット又は他の光入力装置を有する。入力スリットは、互いに垂直及び水平方向に変位されている。垂直変位は、２つのチャネルからのスペクトルが、静止画像面上の単一画像センサ上で、互いに垂直方向に変位されるようにする。水平変位は、それぞれの入力チャネルからの入射光ビームが、異なるそれぞれの入射角で凸状格子に衝突し、異なるそれぞれのスペクトル範囲を持つ別々のスペクトルを生成するようにする。反転型分光計は、回折によって、光の波長を、異なる角度及び次数で、入射光ビームに沿ってほぼ後方に分散させる凸状格子を有する。単一の凹面鏡は、入力チャネルと分散スペクトルの双方を反射する。プリズム、ミラーの組、ビームスプリッタ又は他の光学要素（１又は複数）は、分光計の入力チャネル（１又は複数）を折り返して、入力（１又は複数）が、画像センサの面から遠くへ移動されるようにして、より大きなカメラ又は他の装置が、入力（１又は複数）を遮ることなく、分光計に取り付けられるようにする。搭載機構は、湾曲した光学要素が、ラテラル及びトランスバースの並進によって、ジンバルマウントを要することなく、調整され得るようにする。 （もっと読む）

干渉計（１０）を較正する方法は、電気信号（２２０）の印加に応じて光学ギャップ（１５）を制御するようになっているアクチュエータ（５０）を使用する。所定の略単色の波長を有し、第１の所定の入射角（６５）を有する光ビーム（６０）が干渉計に照射され、アクチュエータに印加される電気信号（２２０）を変化させる間に、干渉計から第２の所定の角度（７５）で反射する光（７０、８０）が検出され、それにより、印加される電気信号と干渉計の光路長との間に較正された関係が確立される。
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