【課題】大気中に浮遊するエアロゾル中の含有元素を迅速にかつ精度良くに検知することができるエアロゾル成分元素の検知方法及び検知装置を提供する。
【解決手段】回転可能な集塵電極６と、前記集塵電極６の一方の面に配置された放電電極７と、前記集塵電極６及び放電電極７を収容するエアロゾル成分元素分析箱４と、前記エアロゾル成分元素分析箱４の側壁に設けられエアロゾルを含む雰囲気ガスを前記集塵電極６の他方の面に排出し前記エアロゾル１を前記集塵電極６に集積させるガス導入配管３と、を備えたエアロゾル成分元素の検知装置において、前記集塵電極６を回転させることにより前記集塵電極６に集積したエアロゾルを前記放電電極７に対向させ、放電によって生じるプラズマ光を分析することによりエアロゾル成分元素を検出する。 （もっと読む）

【課題】 欠陥箇所がクラックであるか否かを自動的に判定することにより、分析部で固体試料を分析する際に、分析部の電極等に水が付着することを防止することができる発光分析装置を提供する。
【解決手段】 固体試料６の分析面６ａ中における分析箇所と、分析箇所に対向配置された電極２ａとの間で放電を行うことにより発生したスペクトルを分析する分析部２と、分析面６ａを撮影することにより、分析面画像を取得する撮影部１０と、固体試料６を保持しながら移送する搬送機構４と、分析部２で固体試料６を分析する前に、搬送機構４によって固体試料６を撮影部１０へ移送することにより、分析面画像を取得する制御部２０とを備える発光分析装置１であって、制御部２０は、分析面画像に基づいて、分析面６ａ中における欠陥箇所４２、４３を抽出して、欠陥箇所４２、４３がクラックであるか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】木材に含まれる環境汚染物質を同定、定量する。
【解決手段】環境に有害な薬剤や金属を含有するおそれのある木材にレーザー光を照射することにより、木材表面をプラズマ化し、そこから出る光（蛍光、りん光等）を集光して分光分析により分析することにより、クロム、ヒ素等環境に悪影響を与えるおそれのある物質を検出する。これにより有害物質を含む廃木材を適正に判別でき、廃木材を分別してリサイクル、廃棄または処理できる。 （もっと読む）

【課題】一度のガス計測において、長期間に亙って安定して被測定ガス中のガス成分を計測することができるガス中のガス成分計測装置及び方法を提供する。
【解決手段】被測定ガスに対して照射されるレーザ光により発生するラマン散乱光及びプラズマ発光から被測定ガス中のガス成分を計測するガス中のガス成分計測装置において、被測定ガス１１に第１のレーザ光１２を照射するレーザ装置１３と、前記第１のレーザ光１２の波長を変換して第２のレーザ光１４とする波長変換器１５と、変換された第２のレーザ光１４の照射により発生するラマン散乱光１６を計測する光検出器１７と、前記第１のレーザ光１２を遅延させる第１のレーザ光１２のレーザ遅延ライン１８と、遅延された第１のレーザ光１２の照射により発生するプラズマ発光１９を計測する光検出器１７とを具備する。 （もっと読む）

【課題】産業設備のプラントの現場における配管長が長い場合や、ガス吸収量が大きい場合においても、オンラインでガス成分の分析が可能な配管中のガス成分計測装置及び排ガス成分計測用煙道を提供する。
【解決手段】発振された基本レーザ光２２を第１のレーザ光２１−１に波長変換する第１の波長変換部２３と、基本レーザ光を波長変換し、第２のレーザ光２２−２とする第２の波長変換部２４と、第１及び第２のレーザ光を導入して、被測定ガス中のガス成分に照射するするガス測定部２５と、照射される第１のレーザ光２２−１及び第２のレーザ光２２−２により高い準位に励起された励起分子が低い準位に電子的に緩和する際、その準位が下がるときに発生する自然放射増幅光（Amplified Spontaneous Emission：ＡＳＥ）を計測する光検出器２６と、前記被測定ガス１１中に存在する油分由来のハイドロカーボンが発生する蛍光５０を計測する蛍光検出部５１とを具備する。 （もっと読む）

【課題】光ファイバーを用いずに伝送する光検出装置及び光伝送装置を提供する。
【解決手段】チャンバ２内の試料台５に試料４が載置される。電子線照射部１から楕円面鏡３の孔部３０を通過して試料４の試料面に電子線が照射される。照射スポットに位置する試料４の試料面の一部が励起して散乱光を発する。散乱光は、楕円面鏡３の内面での反射により楕円面鏡３の２焦点と異なる位置に集光されて非散乱光に変換される。非散乱光は、チャンバ２の開口部２４を気密封止しているコリメートレンズ２１を通過して平行化され、チャンバ２外の分光部７へ伝送される。分光部７は、伝送された光を検出する。 （もっと読む）

【課題】 発光電源にかかる負荷を適切に管理することにより、発光電源のメンテナンスを適切な周期で実行できる発光分析装置システムの提供。
【解決手段】 固体試料６の分析面６ａと対向電極３との間で放電を行うことで発生した発光光が導入されることにより、発光光を輝線スペクトルに分光する分光器４と、複数の受光素子５ａを有する光検出器５と、１回の発光分析で発光電源３３によって対向電極３にパルス状の電圧を印加することにより、固体試料６の分析面６ａと対向電極３との間で複数回の放電を行う発光電源部３０と、輝線スペクトルの強度を示す測定データを取得する発光分析装置制御部４１と、元素の濃度を算出するデータ処理部２０とを備える発光分析装置システム１であって、発光電源部３０は、固体試料６の分析面６ａと対向電極３との間で放電を行った放電回数を計数することにより、放電を過去に行った累積放電回数を記憶する記憶部３２を備える。 （もっと読む）

【課題】 固体材料以外の水素の影響をほぼ完全に除去して、当該固体材料に含まれる水素濃度の定量分析を正確に行うことができる水素分析方法及びその装置の提供を目的とする。
【解決手段】 固体材料表面の測定部位に不活性ガスを供給するガス供給工程と、前記測定部位に向かってレーザーを照射することで前記測定部位にプラズマを発生させるレーザー照射工程と、レーザー照射中においてプラズマから発せられる光を測定して、測定された水素の発光波長の発光強度に基づいて前記固体材料に含まれる水素濃度を分析する分析工程とを有し、前記ガス供給工程では、少なくともプラズマが発生した領域における前記不活性ガスの圧力が、前記測定部位の周囲の圧力よりも高圧になるように、前記不活性ガスを供給する水素分析方法である。 （もっと読む）

【課題】より簡単かつ堅牢な構成で、空間的分解能の高い観測ができるようにする。
【解決手段】高次高調波発生装置４１は、パルスレーザを標的Mに照射することにより、高次高調波を発生させる。高速CCDカメラ４２は、高次高調波を検出し、デジタルの信号としてイメージング装置４３に出力する。イメージング装置４３は、高次高調波のスペクトル強度を演算し、演算により得られた高次高調波のスペクトル強度と、標的に依存しない再結合電子波束のエネルギー分布との比を演算することにより、標的Mの光再結合断面積スペクトルの実測値を演算する。そして、イメージング装置４３は、演算により得られた光再結合断面積スペクトルの実測値に基づいて、標的Mを同定し、標的Mの画像をディスプレイ４４に表示させる。本発明は、例えば、原子または分子の構造を観察する観察システムに適用できる。 （もっと読む）

【課題】顕微分光測定により、試料の測定対象の特性を適正に把握する。
【解決手段】顕微分光測定装置２０は、信号処理装置４０により、試料１０と集光装置２２の相対位置を変化させ、励起された試料１０の一の測定対象（光学構造１１）から生じて集光装置２２で集光される光の強度変化を評価する。光の強度のほか、試料１０と集光装置２２の相対位置の変化に対する光の強度変化を評価することで、測定対象の特性を適正に把握する。 （もっと読む）

【課題】安定して連続稼動できるだけの耐久性能を有し、現場で複雑な前処理なしに処理水中の微量元素を連続測定するこができ、かつメンテナンスの容易な連続式濃度測定装置及び方法の提供。
【解決手段】レーザ誘起ブレークダウン分光法により分析対象元素の濃度を分析する連続式濃度測定方法及び装置であって、レーザ発振装置から所定の間隔で発振される第１及び第２のパルスを所定の周期で試料セルに照射し、第２のパルスの照射時刻から遅延時間をおいて、予め選択された発光スペクトルを分光器で分離して受光素子で受光し、受光した発光スペクトルを積算して分析対象元素の濃度を所定の周期で分析するに際し、プラズマ光をレンズで集光し、一方の端部が放射状に配置された素線で構成され、他方の端部が分光器のスリット形状に合わせて行列状に配置された素線で構成されたバンドルファイバを介して分光器に導光する方法及び装置。 （もっと読む）

本発明は、鋼ストリップ（１）の表面に被着された金属皮膜層のスペクトル分析のための方法であって、ストリップが、該ストリップに接触することによって該ストリップを案内する円筒状の壁部を有する回転するロール（８）の外面円弧（８１３）に沿って移動させられ、レーザアブレーションビームが、ロールの外面に対して垂直な軸線（４１）に沿って、ストリップ及びロールの目標接触点（１１）に選択的に入射するように、内部キャビティを通って円筒状の壁部へ供給され、ビームが、該ビームに対して透明な壁部開口（８１１）を通って壁部を通過し、接触点のレーザアブレーションからのスペクトルプラズマ放射分布が、スペクトル測定ユニットへ供給されるために、ロールの外面に対して垂直な軸線（４１）に沿って、開口を通って、光学的フィードバックによって収集され、入射及びフィードバックのために使用される外面に対して垂直な軸線が、ロールと同期した回転で移動させられることを特徴とする、方法に関する。本発明は、本発明の方法を実施するための複数の実施の態様を備える装置、及びこの装置の有利な使用にも関する。
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【課題】試料にレーザを照射して生成したプラズマからの発光を光ファイバー入射端面に集光して入射する際に、焦点距離の変動によって入射効率が変動する問題を解決する。
【解決手段】プラズマ発光ｃを集光レンズ７によって集光して光ファイバー受光端面１２に入射する前にプラズマ発光ｃの一部を分岐し、プラズマ発光分岐光ｃ_１を一定の位置に固定された撮像素子１４で検出してプラズマ発光分岐光ｃ_１の像面積Ｓを監視し、この像面積Ｓと、予め設定した値Ｓ_０との比Ｓ／Ｓ_０を用いて、鉄のプラズマ発光の固有発光線強度を補正する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ヘリウムガス雰囲気中で金属材料表面をレーザー照射して発光する水素の発光強度により金属材料中の水素を精度よく分析することができる水素分析装置及び方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】ヘリウムガスをガスボンベ８から密閉容器２内に供給して金属材料Ｓ表面の測定部位をヘリウムガス雰囲気に設定する。測定部位に向かってレーザー照射部５よりレーザーを照射して測定部位にアブレーションが生じないようにヘリウムガスをプラズマ化する。レーザー照射中においてプラズマ化したヘリウムガスの内部で発生する光を光ファイバ１５から分析部１６に伝送し、水素の発光波長の発光強度に基づいて測定部位に含まれる水素を定量的に分析する。 （もっと読む）

【課題】迅速な乾式法による分析を適用しても、亜鉛めっき浴の組成を正確かつ簡便に分析できる溶融亜鉛の分析用サンプル容器およびそれを用いた分析方法を提供する。
【解決手段】側壁部と、前記側壁部から分離可能な平坦な底部とからなり、前記底部には冷却機構が備えられ、かつ少なくとも前記底部の溶融亜鉛と接する面がステンレス鋼、銅、グラッシーカーボン、窒化ホウ素のいずれかよりなる溶融亜鉛の分析用サンプル容器。 （もっと読む）

【課題】金ナノロッド等の形状異方性を有する金属微粒子が同一方向で固定化されていなくとも、高精度に被検物質の濃度が測定することができる表面増強ラマン分光方法および装置を提供する。
【解決手段】被検物質を、形状異方性を持つ金属微粒子１０５ａが形成されたセル１０５に供給し、前記セル１０５に光を照射し、前記光の偏光状態を偏光制御器１０２により変化させながら、前記セルを透過、または、散乱、または、反射した光を検出し、検出された光の光量から、最適な偏光状態を決定する。得られた偏光状態になるよう偏光素子を制御し、最適な偏光状態で前記セルに光を照射し、表面増強ラマン散乱を発生させ、発生した表面増強ラマン散乱光を検出する。検出された表面増強ラマン散乱光を分析することにより、被検成分濃度を高精度に算出する。 （もっと読む）

【課題】種々の試料について、共存元素による分光干渉の影響を考慮した分析を迅速且つ適切に行うことができる発光分光分析装置を提供する。
【解決手段】試料を励起して該試料に含まれる元素に固有の波長を有する光を放出させ、その光を分光測定してスペクトルデータを取得する発光分光分析装置において、種々の目的元素毎に少なくとも該目的元素の発光スペクトル線の情報を収録した基本データベース２０３と、種々の干渉元素毎に該干渉元素が他の元素に及ぼす分光干渉の情報を収録した干渉データベース２０４と、干渉データベース２０４から一部の干渉元素に関する情報を取得して基本データベース２０３に追加するデータ追加手段２０５と、データ追加後の基本データベース２０３を参照し、測定試料のスペクトルデータに基づいて所定の目的元素に対する干渉元素の干渉量を算出する干渉量算出手段２０２とを設ける。 （もっと読む）

【課題】エアロゾル分光分析装置を小型化し、且つ較正方法の効率を向上させる。
【解決手段】エアロゾル分光分析装置は、レーザ照射部４、分析セル２、較正用標準物質セル１６、およびスライド機構１５ａを有する。レーザ照射部４は、エアロゾルに照射するとプラズマ光７が発生するレーザ光５を生成する。分析セル２は、エアロゾルを含む気体媒体が流通する流路２ａとレーザ光５の光路とが交差可能である。較正用標準物質セル１６は、較正用標準物質１９を内部に収容して密封された蒸発室１８と、蒸発室１８近傍に配置されて少なくとも異なる２種類の設定温度に制御可能なヒータ１７とを有する。ヒータ１７によって蒸発室１８内を加温したときに発生する蒸気にレーザ光５が照射される。スライド機構１５ａは、分析セル２および較正用標準物質セル１６を移動可能で、気体媒体流路２ａおよび蒸発室１８のうち一方を選択的にレーザ光５と交差させる。 （もっと読む）

【課題】 スパッタリングによって発生する金属粉が、放電電極の先端に付着することを少なくして、メンテナンス間隔を著しく延ばすようにした発光分光分析装置を提供する。
【解決手段】 放電室と、固体金属試料の分析面に対向させた状態で放電室内に配置された電極と、放電室にガス供給源からの不活性ガスを供給するガス吹出口と、固体金属試料の分析面と電極との間で放電を行うことにより発生した発光光を分析する分析制御部を備えた発光分光分析装置であって、放電室内に、回転によって室内のガス流を遠心方向に押し流す作用をなすロータが配置されており、このロータの中心部を貫通した穴に前記電極が配置され、該電極の周面とロータとの隙間に前記ガス吹出口が形成されており、放電室の外周壁にガス排出口が設けられている構成にする。 （もっと読む）

【課題】表面のダメージの程度を詳細に評価することができる化合物半導体部材のダメージ評価方法、並びに、ダメージの程度が小さい化合物半導体部材の製造方法、窒化ガリウム系化合物半導体部材及び窒化ガリウム系化合物半導体膜を提供する。
【解決手段】まず、化合物半導体基板１０の表面１０ａのフォトルミネッセンス測定を行う。次に、フォトルミネッセンス測定によって得られた発光スペクトルにおいて、化合物半導体基板１０のバンドギャップに対応する波長λ_１におけるピークＰ_１の半値幅Ｗ_１を用いて、化合物半導体基板１０の表面１０ａのダメージを評価する。 （もっと読む）