【課題】ガス感知膜と電気絶縁層との界面の剥離やクラックの発生を防止し、長期的な安定性、信頼性を大幅に向上させると共に、ガス感知膜の熱応答性及び均熱性を改善したガスセンサと、このガスセンサを備えたガス検出器を提供する。
【解決手段】例えば、電気絶縁層８と、この電気絶縁層８の上面に形成された一対の感知膜電極９と、この感知膜電極９により抵抗が測定される酸化物半導体からなるガス感知膜１０と、を備えた薄膜ガスセンサにおいて、電気絶縁層８及び感知膜電極９とガス感知膜１０との界面近傍のガス感知膜１０側に、ガス感知膜１０よりも高密度の緻密部（緻密膜１０ａまたは１０ａ，１０ｂ、あるいは緻密層１０ｃ）を形成する。 （もっと読む）

【課題】一つの燃焼機器用ガス検出装置で燃焼機器の燃料漏れと不完全燃焼とを共に検知することができ、且つ燃焼機器の運転開始初期における燃料漏れを確実に検知することができる暖房機用ガス検出装置を提供する。
【解決手段】検知用素子１は、高温で可燃性ガスに感応して電気的特性が変化すると共に低温で不完全燃焼ガスに感応して電気的特性が変化する感ガス体３、及び前記感ガス体３を加熱するためのヒータ４を備える。制御部２は、ガス検知開始時から一定期間、感ガス体３が高温となるようにヒータ４への通電を制御すると共に可燃性ガスを検知する。続いて制御部２は、感ガス体３の高温期間と低温期間とが所定周期で交互に生じるようにヒータ４への通電を制御すると共に高温期間での感ガス体３の電気的特性に基づいて可燃性ガスを、低温期間での感ガス体３の電気的特性に基づいて不完全燃焼ガスを検知する。 （もっと読む）

【課題】間欠駆動で動作する薄膜ガスセンサであっても、短期間でセンサ特性の初期変動を安定させ、エージング期間を短縮したエージング方法を採用する薄膜ガスセンサ、および、このような薄膜ガスセンサの初期安定化処理方法を提供する。
【解決手段】薄膜ガスセンサのガス感応層に対して、通常のガス検知パターンの駆動時間間隔よりも短い初期化用時間間隔Ｔ_ａで予め定められた回数のパルス駆動を行う第１のエージング工程と、第１のエージング工程に続いて通常のガス検知パターンと同じ駆動時間間隔Ｔ_ｂのパルス駆動を行う第２のエージング工程と、により初期安定化処理を行う。 （もっと読む）

【課題】ガス検知素子を被毒しにくくし、かつ点検ガスおよび本検知ガスの検知能力をともに高めたガス漏れ警報器、およびこのようなガス漏れ警報器の点検に要する時間を短くするガス漏れ警報器の点検方法を提供する。
【解決手段】ガス感知部１７ｂの点検用センサ抵抗値を得て点検用センサ抵抗値が点検警報レベルよりも小さい場合に点検ガスが感知されたものと検知し、また、ガス感知部１７ｂの本検知用センサ抵抗値を得て本検知用センサ抵抗値が本検知警報レベルよりも小さい場合に本検知ガスが感知されたものと検知するようなガス漏れ警報器であって、点検待機期間よりも本検知待機期間を長い期間とし、かつ、点検警報レベルよりも本検知警報レベルを小さくするガス漏れ警報器とした。また、点検ガスとしてライターの内炎ガスを用いるガス漏れ警報器の点検方法とした。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成にて電気絶縁層と感知層との応力変化による影響を回避し、マイクロクラックの発生を抑止するようにした薄膜ガスセンサを提供する。
【解決手段】電気絶縁層１４と感知層１５ｂとの間に歪超格子と同様に機能する中間バッファ層１６を設け、この中間バッファ層１６により熱衝撃に起因する電気絶縁層１４とガス感知層１５ｂとの応力変化を吸収し、その結果マイクロクラックの発生を抑止するような薄膜ガスセンサ１とした。 （もっと読む）

【課題】従来から、薄膜型ガスセンサを構成する梁部は、ガス検知時に発生する熱応力によって梁部が撓み、梁部に亀裂が入ってしまうか、損壊してしまうことがあった。梁部の亀裂はセンサとしての信頼性の悪化を招き、損壊に至るとセンサとして機能しないため、大きな問題であった。
【解決手段】本発明の薄膜型ガスセンサは、梁部に溝を設ける。この溝を設けることで、熱応力によって梁部が撓んだ場合でも、溝によって梁部の熱変形を吸収することができる。したがって、梁部に対してガス検知に伴う熱応力が印加しても、梁部の撓みによる応力集中を緩和し、梁部の破壊を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】検知対象ガスに感応するセンサ素子の周辺温度の変化に拘わらず、当該センサ素子の動作温度を所定の温度に保つことのできるガス検知装置を提供する。
【解決手段】検知対象ガスに感応して電気抵抗値が変化するガス感応層１、及びガス感応層１を加熱するヒータ層２が形成されたセンサ素子１０と、ヒータ層２への通電を通電状態と通電停止状態との２状態間で制御するヒータ制御手段４と、センサ素子１０の周辺温度を検出する温度検出手段５と、ガス感応層１の電気抵抗値及び周辺温度に基づいて、検知対象ガスを検出するガス検出手段６と、周辺温度に基づいて、ヒータ層２が通電状態に駆動される際の駆動電力を制御する駆動電力制御手段７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、一つのパルス通電により加熱される一つのセンサ素子（ガス検知層）の電気抵抗値を用いて、検出対象ガスおよび湿度の検出を行い、装置構成の簡略化、消費電力の低減を図りつつ、より正確な湿度を検出できる技術の提供を提供する。
【解決手段】検出対象ガスとの接触により電気的特性が変化するガス検知層、及びガス検知層を加熱するヒータ層を形成したセンサ素子と、ヒータ層への通電を断続的に行って、ガス検知層の温度を変化させる通電駆動手段と、ヒータ層通電時のガス検知層の電気的特性に基づいて、検出対象ガスを検出するガス検出手段とを備えたガス検知装置であって、ヒータ層への通電を停止してから再度通電が開始されるまでのヒータ層通電停止時のガス検知層の電気的特性を用いて、検出対象ガスが含まれる被検出ガスの湿度を検出する湿度検出手段を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、検出対象ガスの有無及び濃度の検出を行うにあたり、消費電力の低減を図りつつ、より正確な検出対象ガスの有無及び濃度を検出できる技術を提供する。
【解決手段】ガス検知層及びこれを加熱するヒータ層を形成したセンサ素子と、ヒータ層への通電を断続的に行う通電駆動手段と、ヒータ層通電時のガス検知層の電気的特性に基づいて検出対象ガスを検出するガス検出手段とを備え、電気的特性が本検知移行基準値と比較して所定の変動をした場合に、通電駆動手段がヒータ層への通電時間を予備検知通電時間から本検知通電時間に延長して検出対象ガスの検出を行うガス検知装置において、予備検知通電時間内の電気的特性に基づいてガス検知層の雰囲気中に存在するガス種を判定するガス種判定手段を備え、ガス種判定手段による判定結果に従って、本検知移行基準値を決定する基準値決定手段を備えた。 （もっと読む）

【課題】燃料ガスと不完全燃焼ガスとを、メタンガスセンサと不完全燃焼ガスセンサとを用い、燃料ガスセンサと不完全燃焼ガスセンサとを有効に活用できるガス検知装置を提供する。
【解決手段】ＣＯガスセンサ２が故障の場合には、メタンガスセンサ１がメタンガス検知に適した状態に達するタイミングでメタンガス検知値を取得するとともにＣＯガス検知に適した状態に達するタイミングでガス検知値をＣＯガス検知値として燃料ガス検知値取得部４４ａに取得させる第１検知制御部４３ａと、メタンガスセンサが故障の場合には、ＣＯガスセンサがＣＯガス検知に適した状態に達するタイミングでＣＯガス検知値を取得するとともにメタンガス検知に適した状態に達するタイミングでガス検知値をメタンガス検知値として不完全燃焼ガス検知値取得部４２ｂに取得させる第２検知制御部４３ｂとからなるガス検知装置。 （もっと読む）

【課題】異なる２つの識別方法を用いて複数種類の還元性ガスを検出する。
【解決手段】ヒータコイル１２への電圧印加を電圧印加サイクルに従って１サイクル変化させた場合におけるセンサ素子１０の出力電圧Ｖを取得する。この取得したセンサ素子１０の出力電圧Ｖから極値出現時刻検知部２４によって極値出現時刻を取得する。第１ガス種特定部２５は、極値出現時刻記憶部２３に記憶された還元性ガスのガス種毎の極値出現時刻と、極値出現時刻検知部２４が検知した最初の極値の出現時刻とを比較して還元性ガスのガス種を識別する。また、第２ガス種特定部５３は、大気中出力電圧記憶部５２に記憶されたセンサ素子１０の出力電圧Ｖと、ヒータコイル１２の温度変化に伴うセンサ素子１０の出力電圧Ｖとを比較して還元性ガスのガス種を識別する。 （もっと読む）

【課題】シールド掘進やボーリングによる地層の掘削を行いながら、地層内に含まれるガス成分の濃度を短時間で把握することができる地層ガス濃度測定装置および地層ガス濃度測定方法を提供する。
【解決手段】地層ガス濃度測定装置は、地層中の液状物から、または地層を掘削した土砂を含む泥水から、ガス成分を分離する気液分離部と、前記分離されたガス成分を保持するガス保持部と、測定開始後の経過時間に対応する前記ガス保持部内の前記ガス成分の内、目的とするガス成分に対してガス濃度を測定するガス濃度測定部と、前記ガス濃度測定部で測定された前記ガス濃度と、前記経過時間との関係から定まる前記ガス保持部内における前記ガス濃度の変化の傾向に基いて、前記地層中のガス濃度に対応する情報を求める地層ガス濃度対応情報求め手段と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】熱絶縁支持層の脱ガスを確実に行ってガス選択燃焼層の焼成時にガスが発生しないようにして、膨れ・剥離の発生を防止した薄膜ガスセンサの製造方法を提供する。
【解決手段】貫通孔を有するＳｉ基板１と、熱酸化層２１、ＣＶＤ―ＳｉＮ層２２、ＣＶＤ―ＳｉＯ_２層２３の三層構造の熱絶縁支持層２と、ヒータ層３と、電気絶縁層４と、一対の感知電極層５１と、ガス感応層５２と、ガス選択燃焼層５３と、を備える薄膜ガスセンサの製造方法であって、熱絶縁支持層２の形成後、ＣＶＤ―ＳｉＮ層２２およびＣＶＤ―ＳｉＯ_２層２３に含まれるＨ_２ガスを主成分とするガスをアニールにより除去するアニール工程を有する薄膜ガスセンサの製造方法とした。 （もっと読む）

【課題】酸性ガスを確実に除去するとともに十分な反応速度を確保し、長期間にわたり高い応答性を実現した可燃性ガス検出装置を提供する。
【解決手段】検出空間２１２を有するケース体２０と、検出対象ガスのうち酸性ガスを吸着する無機化合物を主体とする無機化合物フィルタ６０と、無機化合物フィルタ６０を通過した検出対象ガスのうち雑ガスおよび酸性ガスを吸着する活性炭を主体とする活性炭フィルタ３０と、所定の時間間隔でパルス通電を行ってオンとオフを繰り返す間欠駆動がなされて、検出対象ガスのうち可燃性ガスに感応して検出信号を出力する薄膜ガスセンサ１０と、を備える可燃性ガス検出装置１とした。 （もっと読む）

【課題】 ２種類のガスの検出を正確に行え、ヒータの消費電力が大きくなったり、感応センサが大型化するのを抑制できる感応センサを提供する。
【解決手段】 内層にヒータ１７を有するベース１と、ヒータ１７に対応する位置において、相互に対向するようにベース１の一方の面１ａ上に形成された第１の一対の薄膜対向電極１９Ａ，１９Ｂと、第１の一対の薄膜対向電極１９Ａ，１９Ｂにそれぞれ接続された第１の一対の薄膜配線パターン２３Ａ，２３Ｂと、第１の一対の対向電極１９Ａ，１９Ｂに跨るように形成された第１の感応膜２５と、ヒータ１７に対応する位置において、相互に対向するようにベース１の他方の面１ｂ上に形成された第２の一対の薄膜対向電極１１９Ａ，１１９Ｂと、第２の一対の薄膜対向電極１１９Ａ，１１９Ｂにそれぞれ接続された第２の一対の薄膜配線パターン１２３Ａ，１２３Ｂと、第２の一対の対向電極１１９Ａ，１１９Ｂに跨るように形成された第２の感応膜１２５とを有している。 （もっと読む）

【課題】 小型化および高機能化が容易なガスセンサ装置を提供する。
【解決手段】 少なくとも上面および下面に配線導体２が形成された絶縁枠体１の内側に半導体集積回路素子３が配置されて配線導体２と電気的に接続されているとともに、絶縁枠体１および半導体集積回路素子３の上面および下面のそれぞれに、ガスセンサ素子４が、半導体集積回路素子３の上面または下面に伝熱材５を介して接合され、かつ外周部分の少なくとも一部を絶縁枠体１の上面または下面に対向させて配線導体２と電気的に接続されているガスセンサ装置９である。半導体集積回路素子３と複数のガスセンサ素子４とが平面視でほぼ重なるように配置され、半導体集積回路素子３によりガスセンサ素子４の加熱が可能であるため、高機能化および平面面積の小型化が容易なガスセンサ装置９を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】検出タイミングを変えることなく検知対象ガス以外の点検ガスを使用した作動点検を可能として信頼性を向上する。
【解決手段】警報器は、単一のガス検出素子４０に、メタンガスを検知するための第１検知条件と、ＣＯガスを検知するための第２検知条件とを所定の時間間隔で交互に設定し、ガス検出素子４０からの検出信号をそれぞれの所定の閾値と比較することによりガス漏れを判定して警報する。閾値設定部６６は、点検モードの設定時に、メタンガスのガス漏れを判定する閾値を、ＣＯを主成分とするガスライターから採取した点検ガスのガス漏れを判定する所定の点検閾値に変更する。作動点検部６８は、点検ガスが注入される点検モードの設定中に、メタン検知条件の設定によるガス検出素子４０からの検出信号が点検閾値を超えた際に、メタンガスのガス漏れを警報する。
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【課題】エアベースの変動に伴う誤動作を軽減することができるガス警報器を提供すること。
【解決手段】ガスセンサ３の検出電圧が警報濃度設定レベルを超えた場合に警報を報知するガス警報器であって、一定時間毎に前記ガスセンサ３のセンサ抵抗を測定し、測定されたセンサ抵抗のうちの最大値を記憶する測定・記憶手段１６４−１と、所定期間経過毎に、所定期間の経過時に記憶されたセンサ抵抗の最大値が、当該所定期間の１つ前の所定期間経過時に記憶されたセンサ抵抗の最大値より小さいか否かを判定する判定手段１６４−２と、当該所定期間の前記センサ抵抗の最大値が当該所定期間の１つ前の所定期間のセンサ抵抗の最大値より小さいと判定された場合、当該所定期間のセンサ抵抗の最大値に応じて警報濃度設定レベルを変更する警報濃度設定レベル変更手段１６４−３と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】微量成分分析検出のための自己較正ガスセンサに関する。
【解決手段】サンプルガスを導入する工程と、吸収サンプル及び流通サンプルを提供するのに十分な程度にサンプルガスの少なくとも一部を吸収する工程と、流通電気信号を提供するのに十分な程度に流通サンプルを検出する工程と、吸収サンプルを解放する工程と、吸収サンプル電気信号を提供するのに十分な程度に吸収サンプルを検出する工程と、較正サンプルを発生させる工程と、較正サンプル電気信号を提供するのに十分な程度に較正サンプルを検出する工程とを有する。具体的には、流れチャンネルと、流れチャンネル内に位置する濃度モジュレータと、流れチャンネルに接触するガス発生器と、濃度モジュレータ及びガス発生器の下流側に位置する１又はそれ以上のガス検出器と、ポンプとを有するガスセンサを特徴とする自己較正ガスセンサである。 （もっと読む）

【課題】 常温で動作する金属酸化物半導体ガスセンサーを提供する。
【解決手段】 平板状のセンサー基板１と、該センサー基板１上に形成される電極２，２と、該電極２，２上に形成される、酸化テルルナノワイヤーからなる薄膜層３と、を備えるガスセンサーである。酸化テルルナノワイヤーは、金属テルルおよび生成基板を同時に加熱し、生成基板上に成長させる。ナノワイヤーを水またはアルコールに投入して懸濁液を生成し、この懸濁液を、電極を形成したセンサー基板上に滴下して乾燥させることで、酸化テルルナノワイヤーからなる薄膜層を備えるガスセンサーが得られる。 （もっと読む）