【構成】
MEMSガスセンサは、シリコン基板に設けた絶縁膜に、SnO2膜とヒータ膜とを設けると共に、SnO2へ到達するガスを処理するフィルタと備えている。電源によりヒータ膜に電力を供給し、SnO2膜を間欠的にかつパルス的に可燃性ガスの検出温度へ加熱し、可燃性ガスを検出すると共に、100〜200℃の被毒ガスの除去温度へSnO2膜を間欠的に加熱する。
【効果】 フィルタを通過した被毒ガスによる被毒を防止できる。 （もっと読む）

【課題】イオン性金属触媒が導入された炭素材を用いた高感度ガスセンサー及びその製造方法を提供する。
【解決手段】製造方法は、（１）水酸化物を蒸留水に溶解させて水酸化物溶液を製造する第１ステップと、（２）第１ステップの過程を通じて製造された水酸化物溶液に金属触媒を投入して溶解させる第２ステップと、（３）第２ステップの過程を通じて得られた溶液に炭素材を担持させ、攪拌する第３ステップと、（４）第３ステップの過程を通じて得られた混合物を熱処理する第４ステップと、（５）第４ステップの過程を通じて熱処理された炭素材を洗浄する第５ステップと、（６）第５ステップの過程を通じて洗浄された炭素材を乾燥する第６ステップと、（７）第６ステップの過程を通じて得られた炭素材を基板にローディングしてガスセンサーを製造する第７ステップと、を含む。常温でも敏感度及び応答性に優れるガスセンサーを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】燃焼プロセス排ガス等の多成分ガス系に含まれる窒素酸化物、炭化水素、一酸化炭素、酸素等を直接検知可能な化学センサーアレイ及び方法を提供する。
【解決手段】（ｉ）少なくとも２つの化学／電気活性材料のアレイを含んでなる化学センサーを多成分ガス系に暴露する工程、応答を検出する工程、各化学／電気活性材料の応答を直接測定する工程とを含んでなる。化学／電気活性材料は半導体材料である。測定される応答は、静電容量、電圧、電流、ＡＣインピーダンスまたは、ＤＣ抵抗値である。 （もっと読む）

本発明に従い新規な水素センサーの製造方法が提供されるが、該方法は、弾性基板の表面に遷移金属またはその合金薄膜を形成するステップと、上記弾性基板に引張力を印加して、上記基板表面に形成された上記合金薄膜に複数のナノギャップを形成するステップと、を含み、上記薄膜への上記ナノギャップは、上記引張力の印加時には上記薄膜が該引張力の印加方向に伸長すると共に該印加方向に対して垂直方向に収縮し、該引張力を解除すると上記薄膜が該印加方向に収縮すると共に該印加方向に対して垂直方向に伸長することにより形成されることを特徴とする。
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【課題】検出感度を向上することができるガスセンサ用基板、ガスセンサ用パッケージ、およびガスセンサを提供する。
【解決手段】触媒５と検出対象ガスとの接触に起因する触媒反応により発熱反応が生じ、この発熱反応により発生する熱によって発熱抵抗体８の抵抗値が変化し、この抵抗値の変化に基づいて検出対象ガスを検知するガスセンサ１に用いられるガスセンサ用基板７であって、触媒５を担持するための担持部７１が設けられた基板７２を備え、発熱抵抗体８は、担持部７１の近傍の基板７２に設けられており、基板７２には、触媒５の発熱反応により発生した熱によって発熱抵抗体８の温度を上昇させるための切欠部Ｃが形成されている。 （もっと読む）

【課題】生体情報に含まれるマーカに対して、マーカ選択性と高い性能とを有する化学物質センシング素子を製造できる方法を提供する。
【解決手段】導電性基体の表面を特定化学物質に特異的に吸着し得る材料で表面修飾してなる、特定化学物質を検出するための化学物質センシング素子を製造する方法であって、特定化学物質との結合に関係する特定化学物質の電子軌道に吸着し得る可能性を有する候補材料について、それぞれの特定化学物質との吸着エネルギーを算出し、その結果に基づいて、上記候補材料の中から導電性基体の表面修飾材料に適すると予測される材料を選択する工程を含む、化学物質センシング素子の製造方法。 （もっと読む）

ＮＯ_ｘ貯蔵材料が、担体、即ち、担体上に含浸されたカリウム塩を包含し、その担体上に含浸されたカリウムが、白金族金属と共に促進され、及び、ＮＯ_ｘ貯蔵材料は、ＮＯ_ｘ貯蔵材料上のＮＯ_ｘ充填の量に基づき変化する電気特性を有する。直接のＮＯ_ｘ測定の装置は、ＮＯ_ｘ貯蔵材料で被覆されたセンサーを含む。ＮＯ_ｘ含有ガスのＮＯ_ｘフラックスを決定する方法は、ガスをその装置に曝し、且つ、装置により生成された信号を、ＮＯ_ｘフラックスの信号見本に転化することを含む。 （もっと読む）

【課題】高い検出特異性を有し、多成分系のガスから特定化学物質を検出することができる化学物質センシング素子、ならびにこれを備えたガス分析装置および呼気分析装置、ならびに化学センシング素子を用いたアセトン濃度検出方法を提供する。
【解決手段】導電性基体の表面をマンガンフタロシアニンで表面修飾してなるセンシング部を備える特定化学物質を検出するための化学物質センシング素子に関する。本発明の化学物質センシング素子において、特定化学物質がケトンであることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 検出感度及び応答速度に優れるとともに、簡便にセンサの再生処理を行なうことができ、更に装置の小型化を達成可能な呼気センシング装置を提供する。
【解決手段】
内部に呼気中の特定ガス成分を検出するためのガスセンサ４８，５０を備える筐体１８と、筐体１８内部に呼気を導入するための呼気導入部２８と、筐体１８内部から呼気を排出するための呼気排出部２４，２６と、筐体１８内部にガスセンサ４８，５０の機能を再生するための脱離ガスを流入させるための脱離ガス導入部３０２，３０４と、筐体１８内部から脱離ガスを排出するための脱離ガス排出部３０６，３０８と、脱離ガス導入部３０２，３０４から脱離ガス排出部３０６，３０８に向けて脱離ガスを送り込む送風機３１０，３１２と、ガスセンサ４８，５０及び送風機３１０，３１２の動作を制御する制御部３２とを含むようにする。 （もっと読む）

【課題】燃焼ガス排出物のような混合物の２種以上の成分を同時に分析して、たとえば、混合物中のガスのいずれをも分離する必要もなくガスをセンサーに直接接触させることにより生成させたデータだけから濃度を算出する。
【解決手段】化学的センサーおよび化学的センサーアレイを用いて多成分ガス系内のＮＯ_ｘ、炭化水素、一酸化炭素、酸素などの種々のガスの濃度を分析、感知、および測定する方法および装置である。センサーおよびセンサーアレイは、化学的／電気的活性物質を用いてガスの存在を分析および検出する。 （もっと読む）

【課題】ガス・センサを提供する。
【解決手段】ガス・センサ（１００）は、ガス検知層（１１８）と、少なくとも１つの電極（１１２）と、接着層（１１４）と、前記ガス検知層（１１８）及び前記接着層（１１４）に隣接する応答修正層（１１６）とを含む。ガス・センサ（１００）を排気システムに用いたシステムも開示する。またガス・センサ（１００）の製造方法も開示する。 （もっと読む）

【課題】ガス・センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】センサは、ＭがＷ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｓｒ、Ｍｏ及びそれらの組合せより成る群から選択された少なくとも１種類の化学元素であり、且つα、β、γが自己無撞着であるとして、一般的化学式ＭαＯβＮγを持つ少なくとも１種類の化合物を含むガス検知層であって、ＮＯ、ＮＯ_２ 、ＳＯ_２ 、Ｏ_２ 、Ｈ_２ Ｏ、ＣＯ、Ｈ_２ 及びＮＨ_３ より成る群から選択された少なくとも１種類のガスを検出することのできるガス検知層と、Ｔｉ、Ｃｒ及びそれらの組合せより成る群から選択された材料を含む接着層の中に配置された少なくとも１つの電極と、Ｍｇ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｚｎ、Ｎｂ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｔａ、Ｗ、Ｒｅ、Ｐｔ及びそれらの組合せより成る群から選択された材料を含む応答修正層とを含む。少なくとも１つの電極はガス検知層と連通状態にある。 （もっと読む）

【課題】化学センサーアレイを用いる、多成分ガス系中のＮＯ_ｘ、炭化水素、一酸化炭素および酸素をはじめとする、様々なガスの濃度に関連した情報の分析、検知および測定のための方法および装置の提供。
【解決手段】該センサーアレイは、化学／電気活性材料を用いてガスの存在を分析および検出する。少なくとも２つの化学／電気活性材料のアレイを含んでなる化学センサーを多成分ガス系に暴露する工程と、応答を検出する工程と、各化学／電気活性材料の応答を直接測定する工程とを含んでなる方法を提供する。好ましくは化学／電気活性材料は半導体材料であり、多成分ガス系は燃焼プロセス排ガスである。測定される応答は、静電容量、電圧、電流、ＡＣインピーダンス、またはＤＣ抵抗の測定値であり得る。 （もっと読む）

【課題】 小型化および高機能化が容易なガスセンサ装置を提供する。
【解決手段】 少なくとも上面および下面に配線導体２が形成された絶縁枠体１の内側に半導体集積回路素子３が配置されて配線導体２と電気的に接続されているとともに、絶縁枠体１および半導体集積回路素子３の上面および下面のそれぞれに、ガスセンサ素子４が、半導体集積回路素子３の上面または下面に伝熱材５を介して接合され、かつ外周部分の少なくとも一部を絶縁枠体１の上面または下面に対向させて配線導体２と電気的に接続されているガスセンサ装置９である。半導体集積回路素子３と複数のガスセンサ素子４とが平面視でほぼ重なるように配置され、半導体集積回路素子３によりガスセンサ素子４の加熱が可能であるため、高機能化および平面面積の小型化が容易なガスセンサ装置９を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】ＮＨ₃ガスが、被検出雰囲気中において、ＮＯ₂等の他のガスと共存していても、ＮＨ₃ガスに対するガス選択性を良好に維持するようにしたアンモニアガスセンサを提供する。
【解決手段】アンモニアガスセンサは、絶縁基板１０と、一対の櫛歯状電極２０、３０と、感応層４０とを備えている。一対の櫛歯状電極２０、３０は、金属酸化物でもって形成されており、これら櫛歯状電極２０、３０は、絶縁基板１０上に櫛歯状に設けられている。感応層４０は、一対の櫛歯状電極２０、３０を介し絶縁基板１０上に積層されている。 （もっと読む）

【課題】低抵抗で、高導電性で、より大きな温度安定性及び化学検体に対する感度を有する頑丈なセンサ薄膜組成物と、これらのセンサ薄膜の製造方法の提供。
【解決手段】ポリマー吸収ケミレジスタ（即ち導電性センサ）のようなセンサ内の化学検体を検出するために使用されるセンサ薄膜の組成に関する。センサ薄膜組成物はシロキサンを含むポリマー樹脂と、少なくとも２つの異なる種を含む複数の導電性粒子を有するマトリックスを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】Ｈ_２Ｏ、ＣＯ、ＣＨ_４、ＣＯ_２などのガス中においても、また水中などにおいても、水素濃度を正確に検知することができる、構造簡単で安価な新しいタイプの水素検知素子を提供する。
【解決手段】、感応部１及び感応部１における電気抵抗変化を検出する検出部２を備えて形成される水素検知素子に関する。感応部１は１０族元素を含む非晶質合金から形成され、水素と反応して電気抵抗が変化する特性を有するものであることを特徴とする。感応部１が水素と反応して、電気抵抗が変化することを検出部２で検出することによって、水素濃度を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】室内空間において発生する一酸化炭素を、常温で効率的に除去でき、かつランニングコストの低い一酸化炭素除去機能付き空気調和機を提供する。
【解決手段】一酸化炭素を含む空気の導入口、清浄化された空気の排出口、および内部に空気通路を有する本体と、前記空気を空気通路に取り込む送風手段と、空気通路内に設けられた一酸化炭素除去触媒フィルタとを備えた空気調和機において、前記一酸化炭素除去触媒フィルタを流通する空気の湿度を高湿度（約６０〜９０％）に調節する湿度コントロール手段と、前記湿度コントロール手段の動作を制御する制御手段とを設ける。 （もっと読む）

【課題】湾曲する部位に貼付して湿度を計測する可撓性湿度センサを提供する。
【解決手段】有機高分子からなる支持基板１０上に一対の櫛状電極１２ｂと該電極から延設されるリード線接続端子１２ａとで構成される貴金属からなる電極構成体１２が接着剤１１により貼設され、該リード線接続端子１２ａには半田付けが可能な金属を析出させ、一対の櫛状電極面１２ｂには湿度に応答性するイオン伝導性感湿膜１３を被覆する構造からなり、該感湿膜の抵抗値の変化を測定することにより湿度を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】外部放熱によって生じる無駄な消費電力を削減しつつ、パッケージサイズの小型化を図ることができるガス検知器を提供すること。
【解決手段】本発明のガス検知器１は、空気層に挟まれた絶縁性耐熱材の基板９と、基板の表面上の発熱素子１０と、発熱素子１０に接合され発熱素子１０の加熱によって所定の温度に被検知ガスと反応するガス反応素子２と、基板１０の表面上の発熱素子１０の形成領域１０ｐ外に形成された複数の電極８と、基板９において発熱素子１０の形成領域１０ｐから電極８の形成領域８ｐを隔てる断熱溝９ｇと他の部材６、７を備えており、基板９の周辺の空気を断熱材として利用することにより発熱素子１０の形成領域１０ｐ外への放熱を防止する。 （もっと読む）