【課題】規則的に配列する凹凸形状の検査体の超音波検査において、導波物質で検査表面を覆うことなく、簡便に検査可能な領域を拡大する超音波検査方法及び超音波検査装置を提供することにある。
【解決手段】制御部１０３は、超音波プローブの振動素子の組合せに応じて、使用する振動素子を選択する切替制御回路１０３Ｂと、前記超音波プローブの振動素子の組合せに応じて、使用する振動素子から超音波を送信するタイミングを遅延させる遅延制御回路１０３Ｃと、受信部から得られる信号を加算処理する加算部１０３Ｄとを備える。加算部１０３Ｄは、振動素子の組合せ毎の画像を合成処理して得られる検査画像を表示部１０４に表示する。 （もっと読む）

【課題】薄板形状の測定対象物の振動状態を一定に保ち、測定対象物のクラックの有無の検知について安定した測定を可能とする薄板検査装置を提供する。
【解決手段】薄板検査装置１００は、測定対象物１が載置される突起部３１と、一方の端部側に突起部３１が設けられ、測定対象物１の外周外側から内側に向かって延設された突起部設置部３２と、測定対象物１の外周外側に設置され、測定対象物１の設置位置を決定する位置決定部４０と、測定対象物１に向かって音波を放射し、測定対象物１を振動させる超音波発生部２０と、測定対象物１が振動することによって発生する音を検出し、その音情報に基づいて、測定対象物１のクラックの有無を検知するクラック有無判断部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】空間電荷分布の測定と同時に音響インピーダンスを考慮した信号補正をリアルタイムに行って、誘電体材料中で音波の減衰が大きい試料や音響的性質の異なる誘電体試料を重ねた多層誘電体においても正確な空間電荷分布を得る。
【解決手段】音響インピーダンス顕微鏡を用いて、試料をセットしていない状態で、圧電素子と接続された第１電極界面で反射する音波の大きさを測定し、第２電極を前記第１電極上にセットし反射する音波を測定し、試料を第１電極上にセットし音波の反射波形を測定するステップと、各種音響インピーダンスを算出し、試料の厚さ、各種音響インピーダンスに基づいて音波の減衰率αを算出するステップと、空間電荷分布測定装置に試料をセットし空間電荷分布の測定信号Ｐ_０（ｔ）を測定し、試料厚さｄおよび減衰率αに基づいて、測定信号Ｐ_０（ｔ）が補正された空間電荷分布Ｐ_ｓ（ｚ）を求める補正ステップを含む。 （もっと読む）

【課題】ミドルサイド電極の界面について、封止樹脂との接合やはんだ接合の状態を正確に検査することができる半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】第１の半導体素子１０を両面から挟むように、ローサイド電極４０及び第１のミドルサイド電極５０が設けられ、ローサイド電極４０及び第１のミドルサイド電極５０の外側の面が露出するように封止樹脂１００によりモールド成形された第１の樹脂モールド１１０と、第２の半導体素子１１を両面から挟むように、ハイサイド電極６０及び第２のミドルサイド電極５１が設けられ、ハイサイド電極６０及び第２のミドルサイド電極５１の外側の面が露出するように封止樹脂によりモールド成形された第２の樹脂モールド１２０とを有し、第１のミドルサイド電極５０と第２のミドルサイド電極５１の外側の面同士が、接合又は圧接により一体的に固定されるとともに、電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】超音波伝搬方向の機械走査を行わずに複数の検査層を検査して、各検査層の画像を鮮明に取得できる超音波プローブ，それを用いた超音波検査装置及び超音波検査方法を提供することにある。
【解決手段】アニュラアレイ超音波プローブ１０１Ａに用いる圧電振動素子１０１Ｂは、高分子圧電膜Ｂ４と、高分子圧電膜の一方の面に設けられた接地電極Ｂ５と、高分子圧電膜の他方の面に設けられるとともに、円環状で、かつ、同心円状に配置され、内周側はその面積が等しい等面積に形成され、外周側は、径方向の幅が等しい等幅に形成された信号電極Ｂ３とを備える。切替制御回路１０３Ｂと、遅延制御回路１０３Ｃにより、異なる複数の焦点位置に対する超音波の送信を行う。また、走査手段１０１Ｃによる機械的に２次元走査を制御する。 （もっと読む）

【課題】リチウムイオン二次電池の内部状況を詳細に検査する方法として、充放電試験による電流，電圧等の電気的信号以外の信号を用いて、短時間で、高精度な検査方法、及び検査装置を提供する。
【解決手段】電解液と正極，負極、及びセパレータからなる電極群が一つの容器内に配置されているリチウムイオン二次電池の検査方法において、前記容器の外側にアコースティックエミッション（超音波）を検出するセンサを密着させ、前記正極と負極の間に充電もしくは放電電流を印加及び停止した際に、電池容器内で発生するアコースティックエミッションを検知する。特に、電池に異なる値の複数の充放電電流を印加及び停止した際に発生するアコースティックエミッションの振幅強度を測定し、充放電流値とアコースティックエミッション振幅強度を線形近似して、その傾きと切片の数値をもって、当該電池がこれまで充放電したサイクル回数を推定する。 （もっと読む）

【課題】判定時に損傷を発生させることなく、ウェハの損傷の有無を精度よく判定することができる半導体装置の製造方法を得る。
【解決手段】半導体装置が設けられたウェハ１に音響信号発生部４を接触させずに、音響信号発生部４が発生した音響信号をウェハ１に入力させる。次に、ウェハ１と共鳴した音を含む音響信号を検出する。次に、検出した音響信号の周波数成分の強度を示すデータを求め、このデータをウェハに損傷が無い場合のデータと比較することにより、ウェハ１の損傷の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】基板に所定のストレスを加える工程が含まれた処理を施す前に、処理中の破壊を生ずる可能性のある基板を事前に見つけ出せるようにした基板事前検査方法を提供する。
【解決手段】基板にストレスを加えるストレス印加工程と、ストレス印加工程で加えたストレスに起因するアコースティック・エミッション現象で基板に発生する弾性波を検出する検出工程とを備え、検出工程で検出した弾性波に基づいて、基板が前記所定のストレスに耐えられるか否かを判断する。前記処理が、基板Ｓを吸着及び加熱するステージ３を備える処理室１で行う処理であって、前記所定のストレスを加える工程が、ステージ３に基板Ｓを吸着した状態で基板を所定の処理温度に加熱する加熱工程である場合、弾性波を検出するセンサ４を設けて、基板Ｓをステージ３に載置した状態で、加熱工程完了前にストレス印加工程及び検出工程を実行する。 （もっと読む）

【課題】 熟練した点検員でなくとも効率的に点検作業を行うことができ、且つ点検作業時の安全性の大幅な向上を図ることが可能な浸水量測定装置および浸水量測定方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明は、電気機器（ＡＳ１００）の外箱１００ａ内部への浸水量を外箱の外から測定する浸水量測定装置２００であって、外箱の底面１００ｂの下方において、底面から所定間隔ｄ離間し且つ底面に対して所定角θ１を有して配置され、非接触で外箱内に超音波２０２を入射する超音波発振部２４０、および超音波の反射波２０４を受信する反射波受信部２５０と、反射波受信部を外箱の底面に沿って超音波発振部に対して離接する方向に移動させる移動部２６０と、超音波発振部と反射波受信部の距離を算出する距離算出部２２０と、外箱内の浸水の有無および浸水量を算出する浸水量算出部２２２と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】受信波の位相反転の有無の判定を適切に行うことで、超音波検査の精度を向上する。
【解決手段】超音波を発生して送信波として検査対象物へ入射し、検査対象物から反射した反射波を受信波として受信する探触子２を備え、受信波を解析することで、検査対象物の内部状態を検査する超音波検査装置において、送信波は、ダンピング性能を持つ複数のピークを備えることで、ピークの前半部分にある立上りピークは、後半部分にあるピークよりも大きな波高値を示し、超音波検査装置の演算部５は、超音波探触子が受信した受信波が持つピークのうち、当該受信波の立上りピークを特定する制御と、送信波の立上りピークの極性と、受信波の立上りピークの極性とを比較する制御と、送信波の立上りピークの極性と、受信波の立上りピークの極性とが異なれば、検査対象物が剥離していると判定する制御と、を実行する。 （もっと読む）

【課題】 使用状態あるいはその使用状態に近い状態のまま、密閉された機器に浸入した液体の存在発見の検査を可能とする技術を提供する。
【解決手段】 前記の密閉容器(20)に接して超音波を発振する超音波発振装置(11)と、 その超音波発振装置(11)が発振した超音波の反射波を受信する超音波受信装置(11)と、 その超音波受信装置(11)が反射波を受信している際に前記の密閉容器(20)に対して振動を与える振動発生装置(12,13)と、 前記の超音波受信手段が受信した超音波の反射波および振動の波形を出力する出力手段（例えば出力モニタ）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の実施形態は、異物の検出精度を向上させることができる異物検出装置、異物検出方法、液滴吐出装置、および液滴吐出方法を提供する。
【解決手段】実施形態に係る異物検出装置は、電気信号を発生させる信号発生部と、前記電気信号を変換して液体中に圧力波を発生させる発信部と、前記液体からの反射波を受信して電気信号に変換する受信部と、前記液体に異物が含まれていない状態に関する情報を格納する格納部と、前記反射波を変換した電気信号と、前記格納された情報に基づく電気信号と、の差に基づいて前記異物の有無および前記異物の大きさの少なくともいずれかを検出する検出部と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】
被検体の三次元形状を、複雑な構造を採用することなく空気中で非接触検出することができるイメージング技術を提供する。
【解決手段】
第１電極ＥＰ１が形成された上面と第２電極ＥＰ２が形成された下面とが平行でかつ上面が被検体載置面である圧電振動子１１１に被検体を載置し、第１電極ＥＰ１と第２電極ＥＰ２との間にパルス電圧またはステップ電圧を加え、被検体載置面に載置した被検体７からの最初の振動速度応答を光学的に検出し、パルス電圧またはステップ電圧に相似する最初の振動速度応答の大きさから被検体の表面形状または内部構造にかかる情報を抽出する。 （もっと読む）

【課題】薄板である測定対象物の形状等のバラツキや支持手段の設置位置に関わらず、測定対象物のクラックの有無の検知について安定した測定を可能とする薄板検査装置を得る。
【解決手段】振動板１２から放射される音波によって、測定対象物５０は、音圧の疎密に伴い、浮力を得て、その全体が加振され、変位量Δｒ２で振動する。 （もっと読む）

【課題】 この発明は、装置が大型化することなく、検査のばらつきが少ない太陽電池用シリコンウェハのクラックの検出方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 この発明のシリコンウェハのクラックの検出方法は、シリコンウェハ１に超音波発生装置３から超音波３１を付与し、シリコンウェハ１を共振させ、この共振により、シリコンウェハ１内に不可視クラックが存在する場合にはクラックを成長させて亀裂を生じさせ、欠陥があるシリコンウェハ１を判別可能とする。 （もっと読む）

【課題】真空容器内のＥＵＶ光源の異常を、大気解放することなく早期に発見する。
【解決手段】大気圧以下の減圧下でプラズマを発生し、プラズマから放射されるＥＵＶ光を取り出すＥＵＶ光源と、ＥＵＶ光源からのＥＵＶ光を、所望の半導体パターンが形成されたマスクに導く第１の光学系と、マスクからの反射光又はマスクの透過光を試料上に導く第２の光学系と、を備え半導体露光装置において、光源のアコースティックエミッションを検出する検出部１８０を設け、検出部１８０の出力から光源の異常を検出する。 （もっと読む）

【課題】被検査体の内部を精度良く検査する。
【解決手段】超音波検査装置１０を用い、被検査体１の第１の面１ａ側から発信部１１によって超音波信号を発信し、被検査体１の第２の面１ｂ側において、カンチレバー１２を走査し、被検査体１を伝播した超音波信号をカンチレバー１２によって受信する。カンチレバー１２の走査位置ごとに、発信部１１から発信した超音波信号と、カンチレバー１２で受信した超音波信号との差分を、信号処理部１４によって検出し、検出した差分を、表示部１５によって２次元表示する。 （もっと読む）

【課題】部品接合部について接合状態を精度良く簡易に検査する接合検査方法を提供すること。
【解決手段】接合部５１の接合状態を超音波を使用して検査するための接合検査方法であって、検査対象となる接合部５１の近くに設定した加振位置５５を超音波ツール２１からの超音波によって加振し、その加振位置５５から伝わった超音波による振動によって接合部５１に生じる熱又は音を検出手段３１で検出し、その検出手段３１によって得られた検出データに基づいて接合状態を出力する。 （もっと読む）

【課題】電池を開封することなく電池要素内に気泡が生じているか否かあるいは電池要素内のいずれの位置に気泡が生じているか否かを検出し得る装置を提供する。
【解決手段】電極（４、６）を電解質層（５）を介して積層することにより電池要素（２）を構成する電池（１）の電池内部状態検出装置であって、電池要素（２）の一方の側より電池要素（２）内部に向けて超音波を入射する超音波発振子（２６）と、電池要素（２）内部で反射してきた超音波を電池要素（２）の一方の側と同じ側で受信する超音波受信子（２７）とを電池要素（２）の外部に設け、超音波受信子（２７）により得られる信号に基づいて電池要素内に気泡が生じているか否かを検出する。 （もっと読む）

【課題】 気泡に影響されることなく液体の特性を正確にかつ安定的に測定する。
【解決手段】 略水平方向に沿って側方から流入した液流は、ＳＡＷセンサ２の反応場としての短絡伝搬路及び開放伝搬路に当たった後、澱むことなく上方へ向けて流れ、液流に含まれ、側方から移動してくる気泡は、収納部本体１２内に滞留することなく収納部本体１２の内壁面の隅部を通過して内壁面に沿って上昇し、ＳＡＷセンサ２の短絡伝搬路及び開放伝搬路に当たることなく上方へ移動して、収納部本体１２から排出される。 （もっと読む）