【課題】大規模な装置を使わずに熱交換器管の検査が短時間ででき、また熱交換器管に発生する減肉を高精度で評価できる管群減肉検査装置と検査方法を提供すること。
【解決手段】管群減肉検査装置の甲探触子群の探触子ユニット２７ａ〜２７ｄからの送信信号を被検管１の減肉６の位置から反射させて探触子ユニット２７ａ〜２７ｄで受信させ、さらに、これに乙探触子群の探触子ユニット２８ａ〜２８ｄでＰ／Ｃ時間（Ｃ：被検管１を伝播する水平偏波の横波の速度（ｍ／ｓｅｃ）、Ｐ：甲乙一対の探触子群の間隔（ｍ））遅延させた受信信号とを加算して得られた複数の周波数の受信信号の中から減肉位置からの高次モード波の振幅を１以下とし、最低次ねじれモード波の受信信号の振幅を２倍として、予め作成されている減肉評価用のデータベース２５を参照して被検管１の減肉の評価をする管群減肉を検査する装置と方法。 （もっと読む）

【課題】
回路構成の簡素化が可能で、位相変化も正確に検出できる球状表面弾性波素子を用いた計測装置を提供する。
【解決手段】
球状表面弾性波素子の表面電極にバースト状の駆動信号を印加し、駆動信号によって球状表面弾性波素子の表面を周回する超音波振動による信号を用いて計測する球状表面弾性波素子を用いた計測装置において、駆動信号発振部からの位相差および振幅レベルの検出の基準信号と、球状表面弾性波素子の表面を周回する超音波振動から電気信号に変換され、再び受信処理部へ戻ってくる信号とを乗算回路部に加え検波し、低い周波数成分のみを通過させ、球状表面弾性波素子の表面周囲の状況変化による超音波振動変化を検出信号として取り出す計測装置において、検波回路等の周囲温度などによる変化分を取り除く回路を付加した球状表面弾性波素子を用いた計測装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】従来システムは、実験室内での実験では好適であるが、溶液フローシステムや恒温槽を必要とするシステムであるため実験室外では使い勝手が悪いという問題があった。そこで、このような問題を解決し、簡便な方法で抗原抗体反応を検出可能な弾性波センサとその検出方法を提供する。
【解決手段】弾性波センサの伝搬特性の変化に基づいて被測定物質を検出する検出方法において、横波型弾性表面波を発生させる励振工程と、被測定物質を希釈するための溶液である基準溶液を被測定物質が固定化された測定用弾性波素子に滴下する前の位相角度を測定する第一の位相測定工程と、基準溶液を測定用弾性波素子に滴下した後の位相角度を測定する第二の位相測定工程と、第一及び第二の位相測定工程で測定した位相角度に基づいて被測定物質の固定化量を推定する固定化量推定工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】既存の成型方法では金型の温度によって圧力やヒータの出力電力を制御している。これは、金型に囲まれているため、放射温度計などによるガラス素材温度の直接観察は困難であり、さらに、熱電対などによるガラス素材温度の測定では光学素子の形状精度を劣化させるため使用不可能であることが原因となっている。このため、ガラス素材の温度に敏感である弾性率もしくは粘度の詳細な制御は困難であり、高精度な光学素子を再現性良く作製することは困難であった。
【解決手段】本発明は、ガラスレンズ作製方法において、一方の金型に超音波発振素子７、他方に超音波受信素子８を設置し、その超音波の伝達速度、位相ずれを測定することによって、ガラスレンズの粘度・弾性率を測定し、粘度測定値が１０⁶程度になるようにヒータ出力量を、また、弾性率により算出される変形に必要な金型の加圧量を制御することによって、高精度なレンズを安定して提供する。 （もっと読む）

【課題】音波の温度依存性の影響を抑制して、効率的な粘弾性特性の測定が可能な粘弾性特性測定装置および粘弾性特性測定方法を提供する。
【解決手段】参照データメモリ部は、遅延部材温度と、入射音波の放射開始タイミングを基準とした経過時間とによって規定される２次元の参照データを格納する。補正参照データ決定部は、参照データメモリ部に格納される遅延部材温度毎の参照データに基づいて、温度計測部によって計測される遅延部材の温度計測値に応じた補正参照データを決定する。一例として、補正参照データ決定部は、参照データメモリ部に格納される複数の参照データのうち、対応の遅延部材温度が遅延部材の温度計測値に最も近いものを補正参照データに決定する。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で小型な液体撹拌装置および当該液体撹拌装置を適用した物質検出システムを提供する。
【解決手段】弾性表面波が伝播する基板と、基板の表面と平行な面内で凹形状の線を描く壁面を有し、基板の表面上に設けられる第１隆起部と、基板の表面と平行な面内で凹形状の線を描く壁面を有し、当該壁面の凹んだ側が第１隆起部が有する壁面の凹んだ側に対向するよう、基板の表面上に設けられる第２隆起部と、基板に設けられ、第１隆起部が有する壁面の凹んだ側から弾性表面波を励振する励振源と、を備え、第１隆起部が有する壁面および第２隆起部が有する壁面は、励振源が励振する弾性表面波によって基板の表面上を移動する液体を導き、基板の表面上に液体を環状に流動させることを特徴とする液体撹拌装置。 （もっと読む）

【課題】外部圧力の強度およびスリットに通過する液体の粘性度と誘電率を知ることが可能な、スリット弾性波を用いたＳＡＷセンサ素子を提供する。
【解決手段】素子内の液体を感知することができるように、その内部にスリット弾性波が通過するスリットを形成し、前記スリットを基準に上部と下部とに分けられる圧電基板と、前記圧電基板の一側に形成され、電気的な入力信号を前記スリット弾性波に変換する入力ＩＤＴと、前記圧電基板の前記入力ＩＤＴと反対の一側に形成され、伝播された前記スリット弾性波を受信して電気的な信号に変換する出力ＩＤＴと、前記圧電基板のスリット内に液体が入力されるようにする液体入力ポートと、前記圧電基板のスリット内の液体が出力されるようにする液体出力ポートと、を備えてなるスリット弾性波を用いたＳＡＷセンサ素子。 （もっと読む）

【課題】励起信号と周回信号との位相差を正確に計測する。
【解決手段】表面弾性波計測装置１０は、周回信号を互いに同位相の第１周回信号と第２周回信号とに等分配する周回信号分配器２１と、励起信号を互いに同位相の２つの第１基準信号に等分配する基準信号分配器２２と、一の第１基準信号の位相を変換して第１基準信号の位相に直交する位相を有する第２基準信号を生成する位相シフタ２３と、第１周回信号と第１基準信号とに基づいてＩ信号を出力するＩ系統乗算回路部２４と、第２周回信号と第２基準信号とに基づいてＱ信号を出力するＱ系統乗算回路部２５と、Ｉ信号とＱ信号とに基づいて、表面弾性波の振幅および位相を計測する計測部３０とを備える。 （もっと読む）

内部損傷、例えば材料クリープに起因した内部損傷について溶接継手（１０，１２，１４）の微細構造を検査する方法であって、第１の検査ヘッド（３０）によって少なくとも１つの超音波表面波を発生し、少なくとも１つの超音波表面波を第２の検査ヘッド（３２，４２）によって受信し、発生された超音波表面波と受信された超音波表面波との間の関係に基づいて微細構造内の音響特性を決定し、そして求められた音響特性に基づいて内部構造の損傷度を決定する。
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【課題】 計測対象内へ送信した超音波に生ずる非線形歪みを、音圧を上げずに測定する。
【解決手段】 送波子１４から計測対象へ２種類の入力音波を時分割で送信する。送信部１０は、互いに異なる所定の非線形歪みを予め与えた周期的波形に窓関数を乗じてパルス化した入力音波をそれぞれの種類について位相を変えて複数回送信する。信号処理部１８は、各種類の入力音波の受信信号の同時刻の値をサンプリングした位相系列を生成する。信号処理部１８は、計測対象が線形システムである場合に維持される両入力音波の位相系列同士の間の線形操作を、２種類の出力音波に対して行い、その上で両出力音波を比較する。その差波形に基づいて計測対象内にて新たに生じた非線形歪みの強度を測定する。 （もっと読む）

【課題】超音波探触子で試料からの超音波反射エコーを受信し当該超音波探触子から生じる超音波反射エコ−信号に含まれる不必要な振動を減衰させ、明晰なＢスコープを得ることができ、測定精度を向上できる超音波映像装置を提供する。
【解決手段】この超音波映像装置は、水槽１２内の水１３中に配置された試料１１に対して超音波探触子１５から超音波を照射し、試料を超音波探触子で走査しながら試料の内部欠陥を映像化する。この装置は、試料からの超音波反射エコーを超音波探触子で受信し、それにより生じた超音波反射エコー信号に信号処理を施して振動打消し用信号を生成するための手段３２と、超音波反射エコー信号に対して振動打消し用信号を重ね合わせる手段３３とを備える。超音波反射エコー信号に含まれる不必要な振動は減衰させられる。 （もっと読む）

【課題】異方性を示す方向を精度良く決定することができ、特定の好適な位置に薄膜構造を形成して高精度な球状弾性表面波素子を作成することができる異方性球状材料の方向測定方法、異方性球状材料の方向測定装置および球状弾性表面波素子の製造方法を提供する。
【解決手段】弾性表面波制御手段１２が、マニピュレータ１１ｂに保持された球状材料１の表面の所定の位置で、軸に垂直な平面上の大円に沿って伝搬する弾性表面波を発生可能である。弾性表面波制御手段１２は、所定の位置における大円に沿って周回した弾性表面波の所定の物理量を測定可能である。マニピュレータ１１ｂにより、保持した球状材料１に対し、その周囲で大円に沿って弾性表面波制御手段１２を相対的に回転させ、互いに異なる複数の回転角ごとに弾性表面波の発生および物理量の測定を繰り返し、各回転角ごとに測定された物理量に基づいて、異方性を示す方向を決定する。 （もっと読む）

【課題】シリコン試料の表面に、適正化を図った薄膜振動子を形成することにより、シリコンウェーハ中の原子空孔濃度を、その濃度を高める等の加速処理を行うことなく、定量的に評価することができる、ウェーハ中に存在する原子空孔の定量評価装置等を提供する。
【解決手段】シリコンウェーハから所定の部位を切り出したシリコン試料５に対し外部磁場を印加する磁力発生手段２と、シリコン試料５を50Ｋ以下の温度域に冷却・制御可能な温度制御手段３と、シリコン試料５の表面に対し超音波パルスを発振し、発振させた超音波パルスをシリコン試料５中を伝播させ、伝播した超音波パルスの音速変化を検出する超音波発振・検出手段４とを有し、シリコン試料５の表面に、前記温度域でシリコン試料５の膨張に追随できる物性をもち、かつＣ軸が所定の方向に揃った薄膜振動子８を直接形成してなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】弾性波センサにおいて被測定物質の測定精度を向上させる。
【解決手段】センシング用弾性波の励振電極１２ａ，１４ａ及び受信電極１２ｂ，１４ｂと、センシング用弾性波の伝搬経路上に形成されたセンシング領域とをそれぞれ有する弾性波素子１２，１４と、各弾性波素子１２，１４におけるセンシング領域内の被測定物質を撹拌するための撹拌用弾性波を励振する撹拌電極２０，２２と、を同一基板表面１０ａ上に設ける。また、弾性波素子１２のセンシング領域には被測定物質に対して吸着性を示す感応膜１６を形成し、弾性波素子１４のセンシング領域には被測定物質に対して吸着性を示さない非感応膜１８を形成する。こうして、測定用の弾性波素子１２と基準用の弾性波素子１４の発振特性を比較することで、被測定物質の撹拌による温度上昇に起因した発振特性の変化のずれをキャンセルできる。 （もっと読む）

【課題】球状弾性表面波素子の表面に形成する感応膜形成プロセスにおいて、複数の周回経路の表面に選択的に感応膜を形成することで、独立して働く多機能素子を製造する方法を提供する。
【解決手段】弾性表面波が周回可能な円環状経路を複数有し、各経路に独自に受信電極を有する球形状表面を有する３次元基材の表面に、前記弾性表面波を励起検出する電気音響変換素子を有し、環境変化に従って伝搬状態が変化する感応膜を有する球状弾性表面波素子であって、経路毎に感応膜のパターンが異なっていることを特徴とする球状弾性表面波素子を提供するものである。 （もっと読む）

【課題】短時間に限られる測定であっても、超音波探触子の位置とスポット溶接部の位置のずれや、超音波探触子と金属板との接触状態に影響されずに、信頼性高くスポット溶接部の健全性を評価する。
【解決手段】スポット溶接部２の外側の金属板（１ａ、１ｂ）の複数の送波位置から複数方向へ向けて、被検体の表面沿いに伝搬する超音波を送波し、スポット溶接部の外側の金属板の複数の受波位置において、伝搬経路にスポット溶接部を含まない被検体の表面沿いに伝搬してきた超音波、及び伝搬経路にスポット溶接部を含む被検体の表面沿いに伝搬してきた超音波を受波し、受波された超音波の形態（伝達時間や振幅）を基準と比較することにより、スポット溶接部の健全性を評価する。 （もっと読む）

【課題】 ｃＭＵＴとｐＭＵＴとを組み合わせた超音波振動子を提供する。
【解決手段】 マイクロマシンプロセスを用いて製造される超音波振動子は、超音波を送信させるための制御信号が入力される第１の電極と、前記第１の電極が形成されている基板と、前記第１の電極と所定の空間を隔てて対向している接地電極である第２の電極と、前記第２の電極が積層され、前記第１及び第２の電極間に電圧が印加されることにより振動して前記超音波を発生させるメンブレンと、前記メンブレンと接している圧電膜と、前記圧電膜と導通している第３の電極とを備えることにより、上記課題の解決を図る。 （もっと読む）

【課題】煩雑な作業を必要とすることなく物体の表面から深さ方向への硬さ分布を正確に測定する。
【解決手段】 表面１ａから深さ方向へ硬さが変化している物体１の硬さ分布を測定する方法であって、物体１の表面１ａに広帯域超音波の表面波ＵＬを異なる二つの伝播距離Ｌ1，Ｌ2で生じさせ、伝播距離の差とこの時生じる各周波数における超音波の位相差とから、各周波数における表面波ＵＬの音速を算出し、当該音速に基づいて、各周波数に対応した深さにおける物体１の硬さの指標値を算出する。物体１の表面１ａに向けて集束する広帯域超音波を発信する超音波センサ５を設けて、発信される超音波の集束点ＦＰを表面１ａから異なる深さＺ1，Ｚ2の二位置に設定することにより、表面１ａに広帯域超音波の表面波ＵＬを、異なる二つの伝播距離Ｌ1，Ｌ2で生じさせる。 （もっと読む）

【課題】低コストで、かつ高感度に欠陥を検出できるケーブル接続部の欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】電力ケーブル接続部のゴム材料からなる部品（測定試料１）に探触子３により振動波を注入し、当該振動波によって欠陥２にて生じる反射振動波を検出することにより、欠陥２の有無を判定し、また、振動波の注入時から反射振動波の検出時までの時間差を算出し、当該算出時間差に測定試料１の音響伝播速度を乗じることにより、欠陥２の位置を標定する。 （もっと読む）

【課題】欠陥部信号からの幾何学的特徴部信号の識別及び区別の自動化を遂行する方法及びアルゴリズムの提供。
【解決手段】長さのある構造物のＮＤＥにおいて、欠陥部信号から幾何学的特徴部信号を識別し見分ける方法及び関連するアルゴリズム。本方法は、評価される長さのある構造物から問合せ信号（反射される構成要素を含む）を集め、その信号を、データベースに保管された既知の幾何学的特徴部から選択された基準信号と比較する段階を含む。比較は、信号位相の判定を伴う。同じ位相信号は、発信源を幾何学的特徴部として識別し、逆位相信号は、発信源を欠陥部として識別する。比較は、信号それぞれをゲート制御し、各点の相関値の配列を作成する段階を伴う。相関値は分析され、信号位相の判定（最大及び最小相関値の比較に基づく）が行われる。相関値と、その最大値及び最小値との比較によって、信頼性因子を判定できる。 （もっと読む）