【課題】ＣＶＴのベルト等に用いられる金属リングの側縁検査装置であって、従来よりもさらに精度の高い検査装置を提供する。
【解決手段】側縁検査装置１は、回転テーブル２と、その上方に設けられた照明装置３及びカメラ４と、撮影された画像の処理を行う画像処理装置５等を備えている。回転テーブル２に載置された積層リング７ａの撮像位置Ｐに周方向両側から照明装置３の平面発光部９により照明を行う。この平面発光部９は、積層リング７ａの撮像位置Ｐから見ると、積層リング７ａの周方向から径方向に向けて１４゜から８４゜の間の角度領域に延在している。このような照明を行うことにより、凹部２３の形状がどのようなものであっても当該凹部２３からの反射光をカメラ４で撮像し、画像処理装置５で凹部２３の検出を行うことができる。 （もっと読む）

サンプルを検査する装置は、サンプルの表面のエリアに光学放射を向けるように適応された放射ソースと、複数の像センサとを備えている。各像センサは、上記エリアから異なる各々の角度範囲へ散乱された放射を受け取って、上記エリアの各像を形成するように構成される。像プロセッサは、各像の少なくとも１つを処理して表面上の欠陥を検出するように適応される。
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【課題】光学的検出器によって被検領域の光学的画像を撮像し、被検構造を明確に識別可能とするウエハ検査方法及びシステムを提供すること。
【解決手段】被検領域の光学的画像の撮像が実行されるウエハ検査方法において、 ウエハに１つの層が形成される前に、第１の光学的画像２５が撮像され、かつ当該層が少なくとも部分的に除去された後に第２の光学的画像２６が撮像されること、及び前記第１の光学的画像と前記第２の光学的画像との対比によって、ウエハ表面の撮像された被検領域が検査されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】構造を肥大化させることなく、良好な光伝達効率または光量ムラ軽減が可能な光伝達素子を提供する。
【解決手段】基端面を光導入面９ａ、先端面を光導出面９ｂ、側周面９ｃを内向きの反射面とし、前記光導入面９ａから内部に導入した光を前記光導出面９ｂから射出する光伝達素子９であって、前記側周面９ｃに、内部を進む光が外部に漏れないように全反射される角度を限度として傾斜する凹凸面９ｃ１を形成した。 （もっと読む）

【課題】 ウエハ表面上の欠陥及びエラーを十分なコントラストで提示可能にするウエハ検査方法及びシステムを提供すること。
【解決手段】 とりわけ露光エラーのようなマクロ欠陥を検出するためのウエハ（１６）の検査方法であって、ウエハ表面（１７）の少なくとも１つの被検領域がビーム源（２２）によって照明され、該ウエハ表面の被検領域の画像がカメラ（７）によって撮像され、該ウエハ表面の被検領域が得られた画像に基づいて検査される方法において、前記ウエハ表面（１７）の前記被検領域は、テレセントリックに照明されることを特徴とする。 （もっと読む）

従来使用していた検査装置および検査方法では、反射された可視光または紫外光を使用し、それによりたとえばウェハの微細構造サンプルを解析している。本発明の目的は、この装置の可能な用途を増やすことにあり、すなわち構造的な詳細を明らかにすることである。たとえば、塗装材料や中間材料が不透明であることから可視光または紫外光で見ることができないように両面を塗膜化されたウェハなどが対象となる。上述の目的は、反射光として赤外光を使用する一方で、光を透過させることにより実現される。すなわち、赤外線画像のコントラストを大きく改善し、サンプルを、反射または透過赤外光および反射可視光で同時に検査することができる。 （もっと読む）

投受光部（５２）は、液体が基板（１４）に供給されて縁部（３０）に流れる状態で、レーザ光を縁部（３０）に投光し、反射光を受光する。信号処理コントローラ（５４）は、反射波の電気信号を処理して縁部（３０）の状態を判断する。研磨途中の縁部の状態が監視される。また、研磨終点が検知される。レーザ光以外の送信波が用いられてもよい。縁部（３０）が流路形成部材で囲まれて、流路が好適に形成されてもよい。液体が基板縁部に流れる状況でも好適に縁部を測定可能にする。
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【課題】例えば欠陥を探しての試料の検査のあいだ、試料を照射する方法および装置を提供する。
【解決手段】ある局面において、照射装置は、それぞれ第１端および第２端を有する光ファイバの束を含む。照射装置は、１つ以上の入射ビームを、光ファイバの１つ以上の対応する第１端に選択的に伝達することによって、選択された１つ以上の入射ビームがファイバの１つ以上の対応する第２端から出力されるようにする照射セレクタをさらに含む。照射装置は、ファイバの対応する１つ以上の第２端から出力された選択された１つ以上の入射ビームを受け取り、選択された１つ以上の入射ビームを試料に向けて導くレンズ構成も含む。レンズ構成およびファイバは、ファイバの第２端において試料の画像化平面を画像化するよう互いに対して構成される。ある局面において、入射ビームはレーザビームである。本発明の具体的な応用例において、試料は、半導体デバイス、半導体ウェーハ、および半導体レチクルからなるグループから選択される。 （もっと読む）

単位面積当たりおよび／または累積的欠陥密度などの複合構造の欠陥特性を測定するためのシステムおよび方法。１つの好ましい実施例では、複合構造の欠陥特性を測定する方法は一般に、複合構造の第１の基準点から欠陥までの第１の距離を測定するステップと、複合構造の第２の基準点から欠陥までの第２の距離を測定するステップと、複合構造の基準領域を確立するために第１の距離および第２の距離を用いるステップと、基準領域内で検知された各欠陥を考慮し、そこから複合構造を表す欠陥特性を生成するステップとを含む。
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本発明は、照明光を短波長化しなくても、確実に繰り返しピッチの微細化に対応できる表面検査装置および表面検査方法の提供を目的とする。そのため、被検基板２０の表面に形成された繰り返しパターンを直線偏光Ｌ１により照明する手段１３と、表面における直線偏光Ｌ１の振動面の方向と繰り返しパターンの繰り返し方向との成す角度を斜めに設定する手段１１，１２と、繰り返しパターンから正反射方向に発生した光Ｌ２のうち、直線偏光Ｌ１の振動面に垂直な偏光成分Ｌ４を抽出する手段３８と、偏光成分Ｌ４の光強度に基づいて、繰り返しパターンの欠陥を検出する手段３９，１５とを備える。 （もっと読む）

試料特に（製薬）錠剤を調査するための方法及び装置である。放射体及び/又は試料は、最初は、放射体が所定の距離にあり、試料表面の最初に照射した点の法線方向に位置する。放射体は25GHz〜100THzの範囲で複数の周波数を持つ光を試料の複数の点に照射する。放射体と試料とは相対的に位置を変えることが可能である。ただし、その位置の変更は、放射体と試料との間では所定の距離（試料表面と放射体との）を保存し、放射体は各照射点の法線と一致させ、透過又は反射した光を各点で検出することが可能になるようにする。この特徴的な応用として（製薬）錠剤のコーティングの形状及び組成を画像化するというのがある。
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【課題】コンパクトでありながら集光効率を向上させることができ、しかも照明ムラのほとんど無いライン光照射装置を提供する。【解決手段】複数の光ファイバ４の光導出端部４ａを一列に密に配列してなる光射出部２１及びその光射出部２１の前方であって前記列方向Ｐに沿って延伸するように配置した柱状レンズを対で有し、線状に収斂するライン光ＬＬを射出する複数の発光部２と、光照射対象であるワークＷに対向して配置され、そのワークＷを観測するための観測孔３ａ、３ｂが貫通させてあるものであって、前記各発光部２から射出されるライン光ＬＬの光軸面が所定線上で交わるようにそれら発光部２を保持する保持体３とを具備させた。 （もっと読む）

【目的】被検体表面の塵埃，膜厚むら等の欠陥を単純な画像として観察することができ、従って画像処理装置と組合わせて自動欠陥検査装置を構成するのが容易になる表面欠陥検査装置を得ることにある。
【構成】表面に薄膜を有する被検体２１の直前に配置され、かつ２１の観察視野とほぼ等しい大きさであって、光源１からの光を略平行な光束として２１に照射するとともに、２１の表面からの正反射光を通過させるコリメータレンズ１２と、１２の焦点近傍に配置され、任意に選択可能な複数の中心波長を持ち、１２に光を入射する狭帯域光源２〜５と、この光源からの光を反射または透過により１２を通過させて２１に垂直に照射させるハーフミラー１１と、２１の表面からの正反射光を１２に通過させ、１１で透過または反射させ、光源２〜５と共役な位置に入射瞳を有し、２１の表面を観察する結像レンズ１３を具備したもの。 （もっと読む）

【課題】遮光ブーツ等の薄肉ブーツに存在する欠陥を確実かつ効率的に検出することが可能な薄肉ブーツの検査装置を提供する。
【解決手段】蛇腹形状に成形された伸縮部１０２を備えた薄肉ブーツとしての遮光ブーツ１０１に存在する欠陥の有無を検査する検査装置であって、伸縮部１０２に照明光を照射する照明手段としての照明光源４１、導光ケーブル４２、光案内部材４３、プリズムブロック４４、反射板４５と、伸縮部１０１の照明光の非照射面側の画像を撮像する撮像手段としてのＣＣＤカメラ５２と、撮像した画像データに所定の処理を施して、当該画像データから前記伸縮部に存在する欠陥を抽出する画像処理手段としての画像処理装置５１とを有する。 （もっと読む）

【課題】 外光を遮ってＳ／Ｎ向上させ、高精度に卵の内部異常を検査することができる検卵装置を提供する。
【解決手段】 遮光筒15の両端開口16，16は、卵形の上側の部分に長方形を連結して卵形フラスコ状になしてあり、両端開口16，16の口端は遮光筒15の上面と面一になしてある。遮光筒15の上面には、前記両端開口16，16の口端の間を結ぶ帯状の上部開口17が設けてあり、上部開口17は、遮光シート18，18によって遮光されている。遮光筒15の中央、即ち前述した出光孔19a と入光孔19b との間に卵Ｅが搬送されたとき、投光器１から出射され出光孔19a を通過して前記卵Ｅに照射された光は、該卵Ｅを透過し、その透過光が入光孔19b を通過して受光器２に受光される。このとき、遮光筒15の両端開口16，16は前記卵Ｅの前後の卵Ｅ，Ｅ及びアーム26，26で閉塞される。 （もっと読む）