【課題】光量をほとんど低下させずに、光センサが精度良く検出できる光量を確保する。
【解決手段】可視光を放射する光源１０１と、光源１０１の光を光均一化部１０３に集光する集光部１０２と、光を均一化する光均一化部１０３と、光均一化部１０３内を全反射する光の一部を取り出す光取得部１０４と、光取得部１０４が取り出した光を受光する光センサ１０５と、光センサ１０５の出力に応じて光源１０１の光量を調節する光源光量コントローラ１０６を備える光源装置。 （もっと読む）

【課題】画像表示デバイスに電圧を印加した際に画像内に生成し得る電圧要因欠陥等の表示欠陥を精度よく検出できる欠陥検出方法、および欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】欠陥検出装置の制御装置６は、電圧要因欠陥の検出を可能とする状態で駆動するための検査用電圧値で画像表示デバイスを駆動して検査画像を表示させる検査画像表示制御部６１１と、電圧要因欠陥の検出を不可能とする状態で駆動するための背景用電圧値で画像表示デバイスを駆動して背景画像を表示させる背景画像表示制御部６１２と、検査画像を撮像させて検査画像データを取得する検査画像データ取得部６１３と、背景画像を撮像させて背景画像データを取得する背景画像データ取得部６１４と、検査画像データおよび背景画像データの差分画像データを生成するシェーディング補正部６１５と、差分画像データに基づいて表示欠陥を検出する欠陥検出部６１６とを備える。 （もっと読む）

【課題】色表現範囲が広く，発光面の均斉度が高く，色斑の小さい，自由に色味と輝度を変化させることのできる欠陥検査用ライトテーブルを提供する。
【解決手段】筐体本体１１の上壁が透光性シート１２により構成され，筐体本体内部に，拡散剤が均一に分散させられた導光板１３が配置され，導光板の端面の入射部に向けて光を照射する複数の発光ダイオード１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃが，赤、青、緑又は赤、青、黄の３種類の波長のものであり，各発光ダイオードに電流を供給する電源回路１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃが，各波長毎にそれぞれ設けられ，各電源回路に調光器１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃがそれぞれ接続されている。 （もっと読む）

【課題】従来の検査装置において検査対象の細管等の内面を計測しようとすると、装置が大きいため検査対象の径が制限されたり、自動化が困難であるというような課題があった。
【解決手段】本発明では、このような課題を解決するために、管体１の一端側にスリット光源２とカメラ３を配置すると共に、他端側にスリット光源からのスリット光４の照射方向を管体の横方向に屈折させるスリット光屈折用部材５と、カメラの視線６方向を管体の横方向に屈折させる視線屈折用部材７を配置して、管体内を光路として構成したスリット光を用いた内面検査装置を提案している。 （もっと読む）

【課題】
観察場所を円錐状の並行光線として集中照射し、光の照射角度を自在に調節、変更（ズーミング）する。複数光源からの光を混合、均等な明るさと色調を得る。照射方向を切替可能にする。
【解決手段】
リング状導光体の出射面に設けた、円筒レンズの略焦点位置に光源の発光部を配置し、該導光体が入射・出射面に夫々円筒レンズを有し、これらが共焦点レンズの関係になるようにする。光線を、軸方向に移動可能な円環形状のフレネルレンズか、透明円筒の外面または内面にリニアフレネルレンズを形成したパイプ状フレネルレンズ、または軸方向に相対移動可能な円環形状曲面鏡に当てる。リング状導光体内の光路の一部に、中空球体を透明バインダー中に混入した光拡散性塗膜を配置し、その対向面に高反射性面を設ける。 （もっと読む）

【課題】簡単で安価な構成でありながらも高精度で高速に測定表面上の欠陥を検出可能な欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】測定表面Ｓａ、Ｓｂに平行なパターン面Ｓｃを有する測定対象Ｓに対して測定光Ｌ１を照射する光源２１と、測定光Ｌ１を測定対象Ｓに対して走査する光走査部２３と、測定光Ｌ１を測定対象Ｓに照射した際に、測定表面Ｓａ、Ｓｂから反射する検出光Ｌ２を且つパターン面Ｓｃからの回折光Ｍ１及び／または散乱光Ｍ２を避ける位置に配して成る光検出器３２と、パターン面Ｓｃで回折及び／または散乱した迷光Ｍが、光検出器３２に到達して検出されることを少なくとも防止する遮光筒４とを具備して成るようにした。 （もっと読む）

【課題】光学画像受光部の受光面上に照射されたパターン像の焦点合わせを容易にすること。
【解決手段】検査対象試料を載置する載置部と、載置部に載置された検査対象試料に照射光を照射する光照射部と、検査対象試料に照射された照射光を受光する光学画像受光部と、検査対象試料のパターン像の焦点を光学画像受光部に合わせる焦点調整装置と、検査対象試料上にスリット像を形成するスリット像形成装置と、検査対象試料上のスリット像を表示する観察用表示装置と、を備え、観察用表示装置で表示される検査対象試料上のスリット像から、光学画像受光部における検査対象試料のパターン像の焦点を調整する、光学画像取得装置。 （もっと読む）

【課題】レーザ光線の入射時における境界面の散乱損失について煩雑な作業を必要とせずに簡便に減少できる光散乱観察方法を提供する。
【解決手段】エピタキシャル成長用基板に適用される単結晶ウェハー１の側面にレーザ光線を照射しかつ単結晶ウェハーから出射されるレーザ光線を顕微鏡を介しＣＣＤカメラで受光して単結晶ウェハーの結晶欠陥により生ずる散乱像を観察する光散乱観察方法であって、単結晶ウェハーのレーザ光線が照射される部位に上記単結晶の屈折率と同一若しくは近似の屈折率を有する光硬化型光学接着剤を塗布する共に、この接着剤を硬化させてレーザ光線の入射時における境界面の散乱損失を防止する樹脂被膜２を形成し、かつ、この樹脂被膜を介し単結晶ウェハーの側面にレーザ光線を照射して上記散乱像を観察することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】サファイアインゴット等被測定物全体の散乱体の分布を短時間で測定できる光散乱観察装置を提供する。
【解決手段】被測定物５へレーザ光源１からのレーザ光線を照射し、被測定物から出射されるレーザ光線をＣＣＤカメラ６で撮影して被測定物内に存在する散乱体を観察する光散乱観察装置であって、レーザ光源と被測定物との間の光路上に、直線偏光の方位を回転させる２分の１波長板２と、第１のガルバノミラー３および第２のガルバノミラー４が配置されると共に、２分の１波長板を透過したレーザ光線が第１のガルバノミラーおよび第２のガルバノミラーにより反射されて２次元走査され、被測定物の全体に照射されるようになっていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】反射光、散乱光、透過光の光量変化が発生しにくい位相物体が被検査体である場合にも、高Ｓ／Ｎ比で良好な光検査を実現する。
【解決手段】光源１１から放射されるレーザ光を伝搬させるコアを有する光ファイバに導光し、光ファイバが射出側端部に有するプローブ部２２の先端部領域に光スポットを形成し、光スポットにより被検査体２の走査を行い、被検査体２を介した検査光における位相変化を検出する。 （もっと読む）

【課題】的確且つ厳密に防眩度を評価できる評価方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る評価方法は、測定工程と、算出工程とを備えている。測定工程は、表示装置９に対向配置された投影手段５により、それぞれの端辺が互いに対向するように離間して配置された一対の帯状部１０ａ、１０ｂを含む投影パターン１０を表示装置９に投影して投影パターン１０と同じ形状寸法の投影像１１を形成しながら、投影手段５を表示装置９の法線方向に変位させて、表示装置９から所定の距離だけ離間して投影手段５と共に移動する観者が投影像１１の一対の帯状部１０ａ、１０ｂのそれぞれの端部に相当する部分が相互に離間していることを視認可能な投影手段５と表示装置９との間の最大距離ｒ_MAXを測定する工程である。算出工程は、最大距離ｒ_MAXから表示装置９の防眩度を算出する工程である。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハ上に存在する多種多様な検査対象において、半導体素子の歩留りに影響しない擬似欠陥の検出を抑制し、しかも半導体素子の歩留りに影響する微小な検出欠陥を高コントラストで検出できるようにして、高感度で、且つ高速の微小な欠陥検査を実現した光学式検査方法及びその装置を提供することにある。
【解決手段】検査対象となる欠陥種に対応して、多様な光学機能を備えており、各光学機能別に検出したい検出欠陥及び検出したくない擬似欠陥の濃淡差などを蓄積し、高感度、低擬似率検査に有利な条件を効率的に選択する。光学系としては、波長帯域や照明方式並びにフィルタ条件の選択が可能である。 （もっと読む）

【目的】 より振動に強い信頼性の高いパタン検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【構成】 本発明のパタン検査装置２００は、１０６４ｎｍの波長を有する基本波（１）を発生する基本波光源（１）３１０と、１５６２ｎｍの波長を有する基本波（２）を発生する基本波光源（２）３２０と、基本波（１）と基本波（２）とに基づいて、波長が１９８ｎｍの深紫外光を発生させる波長変化部３３０と、基本波（１）用の光ファイバー３４２と、基本波（２）用の光ファイバー３４４と、波長変化部３３０を搭載し、波長変化部３３０により発生した深紫外光を照明光として被検査試料のパタンを検査するパタン検査部１００と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】方向性を有する欠陥であっても、欠陥の方向性に依存することなく欠陥像を撮像できる微分干渉顕微鏡を提供する。
【解決手段】本発明による微分干渉顕微鏡は、試料の微分干渉像を撮像装置(11)により撮像し、その映像信号を画像処理装置に出力する。画像処理装置において、第１のシャーリング方向の第１の微分干渉像と第１のシャーリング方向と直交する第２のシャーリング方向の第２の微分干渉像とを画像合成する。画像合成に際し、第１の微分干渉像と第２の微分干渉像とを２乗和処理して画像合成を行う。２乗和処理により、画像の輝度情報の符号が反転するので、欠陥のエッジの周囲にそって明のリング状の画像部分が形成され、方向性の無い欠陥像が撮像される。 （もっと読む）

【課題】 高精度な外観検査を行うことができる照明装置を提供する。
【解決手段】 この発明に係る外観検査用照明装置２０は、暗視野用の発光ダイオード群６８と、明視野用の発光ダイオード群７０とを、備える。暗視野法による外観検査時には、暗視野用の発光ダイオード群６８のみが有効化され、明視野法による外観検査時には、明視野用の発光ダイオード群７０のみが有効化される。それぞれの発光ダイオード群６８または７０から発せられた照明光は、拡散板７４または７８によって拡散されてから、検査対象物であるコンタクトレンズ５０に照射される。従って、コンタクトレンズ５０は、一様な明るさで照明され、いわゆる照度むらは生じない。このため、当該コンタクトレンズ５０全体にわたって、一様な精度で外観検査を行うことができる。なお、暗視野法による外観検査時には、明視野用拡散板７８の上方は、シャッタ板８０によって覆われる。 （もっと読む）

【課題】委託分析においては、委託費用が高価であり、且つ分析結果が出るまでに長い時間がかかる等の問題点があり、ＥＬＩＳＡ法を用いた簡易分析においては、数時間で分析結果が出るものの、試料作成作業に時間がかり面倒であり、破壊検査であるため全数検査は不可能であった。
【解決手段】投光部７やミラー１１・１７・・・や受光部３２等を具備した農薬検知装置２０を筐体２３内に収容し、該筐体２３の上面に青果物６を載置するステージ３を設け、該ステージ３を農薬検知装置２０の検知部とし、前記残留農薬濃度等の測定結果若しくは判定結果を表示する表示部３０を前記筐体２３上面に具備し、前記筐体２３上面に操作部２１を設けた。 （もっと読む）

【課題】粉粒体中に混入した異物を高精度に検出することができる粉粒体検査装置を提供する。
【解決手段】粉粒体検査装置１は、粉粒体Ｆを供給する供給機構１０と、供給機構１０から供給された粉粒体Ｆの層厚を調整して落下させる落下機構２０と、落下する粉粒体Ｆ内に異物が混入しているか否かを検査する検査機構３０と、異物を回収する異物回収機構５０と、落下経路の下端部まで落下した粉粒体Ｆを回収する良品回収機構５５とからなる。検査機構３０は、落下中の粉粒体Ｆに向けてレーザ光を走査しながら照射する投光部３１と、レーザ光を拡散反射させる光拡散部材３７と、粉粒体Ｆや光拡散部材３７によって拡散反射されたレーザ光を受光して電気信号を生成する光検出部４０と、生成した電気信号を基に異物混入の有無を判定する判定部４５とを備える。 （もっと読む）

【課題】 回折光を確実に除去して表面欠陥の検査に必要なＳＮ比を確保できる表面欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】 被検面５ａを直線偏光によって照明する照明ユニット１０と、直線偏光によって照明されたときに被検面５ａから出射される散乱光のうち、直線偏光の振動面に垂直な偏光成分を受光する受光ユニット２０とを備える。また、受光ユニットは、直線偏光によって照明されたときに被検面から出射される正反射光の出射角をθｏ、正反射光の開口角をδθｏ、正反射光の光軸Ｃ３から受光ユニットの光軸Ｃ４を見込む角度をθｒ、受光ユニットの開口角をδθｒとして、条件式「δθｏ＜（θｒ−δθｒ）」「θｒ≦１０度」「θｏ≦６０度」を満足するように設定される。 （もっと読む）

改良型ホログラフィ撮像システムのための方法およびシステムは、光源、１つまたは複数の撮像システム・コンポーネント、ビームスプリッタ、空間フィルタ、およびビーム結合器を備えてもよい。光源は、電磁エネルギーの第１ビームを生成するように動作してもよく、また、１つまたは複数の撮像システム・コンポーネントは、第１ビームの少なくとも一部分に、ターゲットと相互作用させるように動作してもよい。ビームスプリッタは、第１ビームがターゲットと相互作用した後に、ターゲットと相互作用する第１ビームの部分を、参照ビームとターゲット・ビームに分離するように動作してもよい。空間フィルタは、参照ビームから０次画像情報を抽出し、０次画像情報を０次ビームとして伝達するように動作してもよい。ビーム結合器は、０次ビームをターゲット・ビームと結合して、ホログラフィ画像を生成するように動作してもよい。
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【課題】対象物、特に半導体構造の検査時の系統的測定誤差を低減する方法の提供。
【解決手段】重ね合わせ不良を測定するために提案される測定構造は、照射装置（１２）、前記照射装置（１２）の光線を対象物に集光する対物レンズ（１４）、及び光線をセンサユニット（２０）に結像する鏡筒レンズ（１８）を有している。前記測定構造の光路には、結像面軸方向の倍率色収差の補償が行われるように入射光線の波面を波長別に傾斜させる補償器（２２）が備えられる。 （もっと読む）