【課題】徐冷工程が不十分であることに起因するガラスびんの永久歪みの検査を容易にできるようにし、自動化も可能にする。
【解決手段】ガラスびん底部下側と口部上方に、偏波面の方向ｘ、ｙが直交するように偏光板を対面して設け、一方の偏光板のびんと反対側に光源を、他方の偏光板のびんと反対側にラインセンサカメラを設け、光源から回転するびん底部に対して光を照射し、一方の偏光板、びん底部及び他方の偏光板を透過した光をラインセンサカメラで受光し、その受光量によりびんの歪みを検査することで、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】被観察物の端面が，面取り加工された光沢性の強い端面であっても，その端面の広い範囲を一望できる撮像画像を得ること。
【解決手段】光を透過させて透過光を拡散させる拡散板が，被観察物１の端面からその端面に連なる表裏両側の面に渡る範囲に対して内側の面が対向する屈曲形状又は湾曲形状に形成され，その外側に配置されたカメラ３０の位置から被観察物の端面１ａが見える覗き窓１４が設けられた光拡散部材１１と，その光拡散部材１１の外側に配列され，光拡散部材１１を介して端面１ａを照明する複数のＬＥＤ１２と，前記覗き窓１４に向かうカメラ３０の光軸方向に交差する方向へ光を照射するＬＥＤ２１及びレンズ２２と，カメラ３０と前記覗き窓１４との間においてＬＥＤ２１からの光を反射して前記覗き窓１４を通じて端面１ａに照射するとともにその端面１ａからの反射光をカメラ３０側へ通過させるハーフミラー２３とを備える。 （もっと読む）

光学検査システム又はツールは、照明の１つ又はそれよりも多くの特性が、異なる区域の検査の必要性を満たすように調節される動的照明を用いて物体を検査するように構成することができる。例えば、照明強度は、ツールがメモリの区域及びウェーハダイの周縁部特徴を検査する時に増加又は減少させることができる。一部の実施形態では、調節は、様々な特性を有する照明に基づいて撮った画像が検査工程の残りの部分の適合性に対して評価される検査前設定シーケンス中に得られるデータに基づくことができる。 （もっと読む）

【課題】検査設備を縮小するとともに検査工程を簡略化することができるレンズの検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象とするレンズ１０に対して光を照射してその反射光を撮影してレンズ１０の検査を行なう装置であって、上記レンズ１０の光軸Ｒの周りの第１の環状領域１７からレンズ１０に対して光を照射する第１の照明手段１１と、上記第１の環状領域１７の内側でレンズ１０の光軸Ｒに沿ってレンズ１０に対して光を照射する第２の照明手段１２と、上記第１の環状領域１７よりもレンズ１０側において第１の環状領域１７よりも外側の第２の環状領域１８からレンズ１０に対して光を照射する第３の照明手段１３とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】メンテナンス時における光源の交換が容易で、部品の汎用性が高いライン型光源装置を提供する。
【解決手段】複数のＬＥＤ光源１３がライン状に実装されている光源基板１１を、放熱部材１２に接合してなる光源ユニット７を本体ハウジング５に固設すると共に、駆動制御部６から延出する配線ライン１９を光源基板１１に対してコンプレッションコネクタ１６を介して接続させる。ＬＥＤ光源１３を交換するに際しては光源ユニット７全体を交換する。その際、光源基板１１がコンプレッションコネクタ１６を介して配線ライン１９と接続されているため、コネクタが自動的に挿脱されるため、作業性が良い。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】ウエハの層の検査用検査システムの偏光設定を選択するためにコンピュータを利用した方法、キャリアメディアおよびシステムを提供する。１つの方法は、ウエハから散乱される光の照明と集光の検査システムの偏光設定の異なる組合せを使って行われるウエハの走査の各々の結果を使ってウエハの層上の欠陥の母集団を検出するステップを含む。本方法はまた、各々が異なる組合せのうちの少なくとも２つに共通する欠陥を含む、異なる組合せの各々の欠陥の亜母集団を識別するステップと、当該亜母集団の各々の信号対雑音比の測定の特性を決定するステップも含む。本方法は、特性の最善値を持つ亜母集団に対応する検査に使用される照明と集光の偏光設定を選択するステップをさらに含む。 （もっと読む）

【課題】高解像度を維持又は向上させつつ、十分な焦点深度を確保することのできる光学式外観検査装置及び光学式外観検査方法を提供する。
【解決手段】被検査体９に検査光４を照射する検査光照射部と、該検査光照射部から照射された検査光４に対して被検査体９を位置決めする位置決め部８と、被検査体９に反射した検査光４の反射光と被検査体９を透過した検査光４の透過光とのうち少なくとも一方を受光する受光部と、該受光部で受光した前記反射光と前記透過光とのうち少なくとも一方に基づいて画像処理を行う画像処理部とを備えた光学式外観検査装置において、内部に被検査体９を収容すると共に液体Ｗが充填されて、被検査体９に向かう検査光４を屈折させる液浸収容部ａ５を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】中心オブスキュレーションがない高開口数（ＮＡ）の反射屈折対物系、及びそのアプリケーションを開示する。
【解決手段】このような対物系は、深紫外線（ＤＵＶ）放射を含む放射の広いスペクトルバンド幅で作用することができる。反射屈折対物系の屈折要素は、１タイプの材料（例えばＣａＦ₂及び／又は溶融石英など）から製造できることが重要である。また、このような反射屈折対物系の要素は光軸に対して回転対称である。反射屈折対物系は、（１）偏光ビームスプリッタ（第一偏光放射を通過させ、第二偏光放射を反射する）を使用する、及び／又は（２）１つ又は複数の折り畳みミラーを使用して、オフアクシス放射を反射屈折対物系の瞳内へと誘導することによって、中心オブスキュレーションを解消する。例示的反射屈折対物系が図２に図示されている。 （もっと読む）

【課題】パターンからの回折光による誤検出をなくし、異物を高精度に検査できる異物検査装置を提供する。
【解決手段】 本発明の異物検査装置は、被検物の表面に光を投光する投光器と、投光器によって表面に投光された光の表面における散乱光を受光する受光器と、受光器の出力に基づいて表面における異物の有無と大きさの少なくとも一方を判定する制御器とを備える。投光器は、投光器の光軸が表面に対して傾くように配置され、受光器は、受光器の光軸が投光器の光軸と表面の法線軸とを含む平面に対して第１角度だけ傾くように配置される。投光光の偏光軸が平面に対してなす角度を第２角度とするとき、制御器は、第１角度と第２角度との差が互いに異なる第１状態及び第２状態となるように投光光の偏光軸と受光器の配置の配置の少なくとも一方を制御し、第１状態における受光器の出力と第２状態における受光器の出力とに基づいて異物を判定する。 （もっと読む）

【課題】構造の継手部にある直径数ミリの穴内部全面を非破壊で直接横から正確に等距離から自動的または手動で検査をすることができる。
【解決手段】プローブ１１を検査対象の穴５内部に挿入し、上方から光を当ててプローブ先端のプリズム２６を介して穴側面を照らし、穴側面から反射した光を対物レンズ１３で集めＣＣＤカメラ１５により記録し、プローブを回転させて穴内部全面について画像を記録し、画像処理装置１６により検査対象の穴内部の画像を連続した一枚の画像に記録し、画像処理により損傷、亀裂、腐食等の有無や大きさや深さなどの程度およびその正確な位置を検査する。 （もっと読む）

【課題】撮像する領域の任意の点において光の入射する条件が同じである照明手段、及び、ピットの良否判定を行うことができるパターン検査装置を提供すること。
【解決手段】多数のＬＥＤ２をＬＥＤ支持部材３上に並べ、ＬＥＤ２から照明光が平行な状態で出射し、撮像領域Ｒに所定の入射角度θで入射するように各面光源ア〜クを構成する。ＬＥＤ２を並べる領域の大きさは、撮像領域Ｒの大きさよりも大きくする。８個の面光源ア〜クからは照明光が平行な状態で出射し、撮像領域Ｒの全体に所定の角度θで入射する。したがって、撮像領域ＲのＢＡＣ上の任意の点において、全方向から同じ角度の照明光が同じ照射強度で入射し、撮像領域のどの点においても、その条件が同じになる。このため、検査を行う全領域でピットの明るさ（輝度）の違いよって良否を判定することができる。 （もっと読む）

【課題】空間的なコヒーレンスに起因するゴースト像の発生を抑える技術を提供する。
【解決手段】インテグレータとして機能するフライアイレンズ１０４の分割数Ｎを、ある閾値より大きくすることで、観察される視野の領域内で発生するゴースト像のコントラストをあるレベルよりも小さくなるようにする。こうすることで、紫外レーザ光を用いたフォトマスクの欠陥の検査におけるゴースト像の影響を排除する。 （もっと読む）

【課題】透光部及び遮光部が所定のパターンに設定可能な液晶パネルと面照明との効果的な使用により、レンズの外観上の欠陥を撮像手段に精度良く撮像できて、検査の自動化等を図ることが可能なレンズ欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象レンズの製造時に発生する傷、割れ、異物、気泡等の欠陥を検査するレンズ欠陥検査装置であって、面照明と、該面照明と検査対象レンズとの間に配置されて透光部と遮光部が所定のパターンで設定可能な液晶パネルと、該液晶パネルから照射された光により検査対象レンズを撮像する撮像手段と、面照明、液晶パネル及び撮像手段を制御する制御手段と、を備えることを特徴とする。前記液晶パネルのパターンは、該液晶パネルの略全域に透光部と遮光部が形成可能な複数のパターンで形成される。 （もっと読む）

【課題】
曲率の違いや光学デバイスの位置に影響されない高速かつ安価な光学デバイス欠陥検査方法及び光学デバイス欠陥検査装置を提供すること。
【解決手段】
撮像手段３の焦点を被検査レンズ２に合わせ、撮像手段３により撮像される被検査レンズ２画像内のドットパターン８の濃度差が無くなる位置まで光源５を被検査レンズ２より移動させ、濃度差の無い画像内に生じる画像の歪み１１により被検査レンズ２の欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物が積層構造であり、表面が透過性の有る光沢面であっても、表面の凹凸欠陥を検出することが可能な表面欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】照明部１から明暗が交互に存在する線状の光を検査対象物４に照射しその検査対象物４からの反射光をラインカメラ６により撮影して第１の原画像を得る。画像処理部８は、予め、表面に凹凸欠陥が存在しない基準物に照明部１からの光を照射しその基準物からの反射光を撮影して得た第２の原画像を記憶しており、これらの第１と第２の原画像を基に、検査対象物４の表面に存在する凹凸欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】配線間の底部のショートに対する検査感度を向上させ、微細化されたパターンであり、平行に並んだ複数の配線間の底部におけるパターンショートであっても検出可能な欠陥検査方法を実現する。
【解決手段】欠陥検出を行なう被対象物である試料に照射する光の偏光（アルファ）（ｓ偏光からの角度（アルファ））を、試料の回路パターンの条件、照射光の方位角及び入射角を所定の計算式に代入して算出する。偏光（アルファ）は、ｐ偏光とｓ偏光との間にある。算出した偏光（アルファ）の光を試料に照射して欠陥を検査する。これにより、配線間の底部のショートに対する検査感度を向上させ、微細化されたパターンであり、平行に並んだ複数の配線間の底部におけるパターンショートであっても検出可能な欠陥検査方法を実現することができる。 （もっと読む）

【目的】回転位相板及び四分割ミラーを用いずにインコヒーレント化する照明装置を搭載したパターン欠陥検査装置を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様のパターン欠陥検査装置１００は、基本波を発光する光源１４０と、基本波を、基本波の偏向状態を維持した第１と第２の分波に分岐し、第１の分波と第２の分波とを同一光路長で合成する光学系１４２と、第１の分波の光路上に配置され、第１の分波の偏向面と第２の分波の偏向面とが直交するように第１の分波を偏向するλ／２波長板３０と、光学系１４２により合成された合成波をパターンが形成された被検査対象に照射する光学系１４４と、被検査対象を載置するＸＹθテーブル１０２と、を備えたことを特徴とする。本発明によれば、回転位相板及び四分割ミラーを用いずにインコヒーレント化された照明光を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成により、検査対象に応じて平面画像と斜め画像の撮影の切換えが可能な基板検査装置および基板検査方法を提供する。
【解決手段】本基板検査装置は、基板上の被検査対象ａに上方から照明光を照射する上側照明具１１０と、斜め側方から照明光を照射する下側照明具１２０と、上側照明具および下側照明具の軸中心上方に設けられた撮影部１３０と、撮影部と被検査対象との間に挿入可能に設けられた斜め画像を撮影しうるように撮影部の光路を被検査対象の斜め方向に誘導する光学手段１４０と、光学手段を移動、回転させることより平面画像と斜め画像の撮影の切換えおよび斜め画像の撮影方向の変更を行う光路変更手段１５０と、これらを制御すると共に、撮影した画像に基づいて被検査対象の状態の良否を判定する制御手段２００と、を備える。この基板検査装置は、さらに、スリット光照射手段１９０を備えることができる。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査装置を簡単に調整する方法を提供する。
【解決手段】光源１から出射された光をパターンが形成された試料１０に照射する、偏光子７を含む照明光学系と、その照射による試料１０の表面からの反射光を受光する、検光子１２を含む受光光学系とを有する欠陥検査装置の調整方法であって、偏光子７及び検光子１２は、照明光学系及び受光光学系にそれぞれ挿脱可能に保持され、偏光子７及び検光子１２のいずれか一方を挿入し、他方を離脱した状態で受光光学系の瞳像を取得し、取得した瞳像に生じる明暗のパターンに基づいて、挿入した偏光子７又は検光子１２を回転調整することを特徴とする欠陥検査装置の調整方法。 （もっと読む）

卵取扱装置に組み込まれる視覚システムであり、本システムは、茶色及び白色の卵の両者の色調及び不良の少なくとも一方を検出するためのソフトウェア制御を組み込む。筐体が、遠隔の視覚パソコンシステムに対してスイッチにより有線通信する複数の高解像度生成カメラを組み込む。非線形拡散器が、前記カメラと関連する前記筐体の開口内部全体の均一な照明を促進するために、前記筐体の開口底部に沿って取付けられる。前記カメラは、許容範囲内の不良及びはじかれるべき不良の種類を分類し、且つ最終梱包用に卵をより一様な色調のグループに分別するのを補助するため、前記関連卵取扱装置に沿って連続的に移送される複数の卵の各々の複数の高解像度画像を生成するよう動作可能である。
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