【課題】透光性を有するシーツ材の外観を容易に検査できるようにする。
【解決手段】透光性を有するシート材の外観を検査する外観検査システムにおいて、複数の互いに色が異なる単一色の背景板が、被検査物の搬送方向に直交する方向に搬送幅にわたって設けられ、搬送されてきた被検査物がその上を通過する。複数のリニアカラーセンサを内蔵するカメラが、前記複数のリニアカラーセンサのそれぞれが前記複数の背景板の１つの上の画像を撮像する位置に、設置される。画像処理装置は、被検査物の中の同一箇所が前記複数の背景板の上の被検査物を通るとき前記カメラにより撮像された被検査物の画像から、被検査物の外観の欠陥を検査する。 （もっと読む）

【課題】空間像エミュレーティング光学によってレチクルを評価する。
【解決手段】レチクル評価のためのシステム、方法及びコンピュータ可読媒体であり、該方法は、（i）イメージングプロセス中に、異なる偏光条件及び必要に応じて干渉条件下で、レチクルの複数のイメージを得るステップと、（ii）（i）該複数のイメージ及び（ii）イメージングプロセスと露光プロセスの違いに応じて、出力空間像を生成するステップとを含み、該露光プロセス中に、該レチクルのイメージがウェーハ上に投影される。 （もっと読む）

【課題】成形品の外面と内部とに連続するように形成された孔と孔との境界縁に生じたバリの画像を容易に得る。
【解決手段】成形品の外面と内部とに連続するように形成された孔と孔との境界縁に生じたバリの画像を得るために境界縁及びその近傍領域に光を照射するバリ検出用照明装置１であって、境界縁及びその近傍領域の全体に照明可能な照明具２と、照明具２を孔内に挿入するために照明具２を先端に有した棒体と、照明具２の駆動電源１６とを備え、照明具２が発光体（ＬＥＤチップ５）と発光体を覆う覆部６とを備え、覆部６が光拡散部７を備えた。 （もっと読む）

上部部分にカメラレンズ孔（１３００）を形成し、少なくとも１組の低角度光源（１６００）を受け取るようになったドーム形状の拡散器（１１００）と、カメラレンズ孔（１３００）の近くで拡散器（１１００）上に搭載された複数の明視野光源（１２５０）とを含む検査システム。 （もっと読む）

【課題】欠陥検出感度が高く、電磁波照射方向の欠陥寸法も検出できる方法及び装置を提供すること。
【解決手段】検査対象部材を透過する波長のテラヘルツパルス光を該検査対象部材に照射する照射工程と、前記検査対象部材を透過した前記テラヘルツパルス光の電場振幅時間分解波形を検出する検出工程と、を有し、前記電場振幅時間分解波形の位相情報及び或いは振幅情報から前記検査対象部材の内部欠陥を検査することを特徴とする内部欠陥検査方法。 （もっと読む）

【課題】多大な開発費、開発期間を必要とせず、歩留まりを低下させることなく高速な検出器を提供し、欠陥検査装置の検査速度を向上させる。
【解決手段】検出器１２は複数のイメージセンサ１００を備え、画素方向に間隔を空けて複数個配列されたイメージンセンサ１００が２列配置され、各イメージンセンサ１００はスキャン方向では互い隣接しないように配置され、千鳥配置されている。画素数が多い大面積のイメージセンサの製作には多大な開発費等が必要であり、画素欠陥発生頻度が多くなる。本発明は、小面積のイメージンセンサ１００を複数配置している。一個のイメージンセンサ１００を取り付ける場合、取り付けに要する領域が必要であり、個々のイメージセンサ１００同士では、互いに一定距離を空けて配置しなければならず、空白領域ができてしまう。この空白領域を解消するため複数のイメージンセンサ１００が千鳥配置されている。 （もっと読む）

【課題】薄板の表面及び端面の検査が可能であり、検査精度及び検査速度が促進され、その結果薄板の大量生産性に寄与する薄板検査装置の提供を目的とする。
【解決手段】本発明の薄板検査装置は、被検査物である薄板を載置する検査台と、検査台の上方に配設され、薄板に照明光線を照射する照明系と、検査台の上方に配設され、薄板を撮影するデジタルカメラとを備える薄板検査装置である。上記検査台は、法線が斜め上方を向くよう傾斜した鏡面を有する基台部と、その鏡面の前方に薄板を略水平に配置する架台部とを有している。上記基台部の鏡面を上下辺が略水平に配設される方形に形成し、上記架台部を基台部の鏡面に貼設されるプリズムとし、このプリズムは鏡面上辺より下方に位置する略水平面を有するとよい。上記基台部及びプリズムを断面が相似直角三角形の三角柱状に形成し、対偶する側面を平行に貼設するとよい。 （もっと読む）

【課題】ｐおよびｓ偏光ビーム両方の測定にかかる時間を短縮する。
【解決手段】基板Ｗの特性を求めるために、基板Ｗから回折した後、２本の直交的に偏光したビームの同時測定を実行する。直交する方向に偏光された放射を有する直線偏光光源Ｐ、Ｓは、一方が他方に対して９０°回転した２つの非偏光ビームスプリッタを介して渡される。次に、組み合わせたビームは、基板Ｗで回折してから、非偏光ビームスプリッタを通して戻され、移相器およびウォラストンプリズム５０を通過してから、ＣＣＤカメラＣＣＤで測定される。この方法で、２つの偏光ビームの様々な位相段階で、位相および強度をこれによって測定することができ、ビームの偏光状態を求めることができる。移相器をゼロに変更する（つまり位相シフトがない）と、基板の回折格子は、そのパラメータが、同じ検出器システムでＴＥおよびＴＭ偏光で同時に測定される。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハ表面や表面近傍に存在する異物や欠陥等に由来して発生する散乱光の強度が照明方向に依存する異方性を有する場合であっても主走査方向の回転角に依存せずに均一な感度で異物や欠陥等の検査が可能な表面検査装置を実現する。
【解決手段】光源１１からの光はビームスプリッタ１２で、略等しい仰角を有し、互いに略直交する２つの方位角からの２つの照明ビーム２１、２２となり、半導体ウェハ１００に照射され、照明スポット３、４となる。照明光２１、２２による散乱・回折・反射光の和を検出するとウェハ１００自身又はそこに存在する異物や欠陥が照明方向に関する異方性の影響を解消できる。これにより、異物や欠陥等に由来して発生する散乱光の強度が照明方向に依存する場合であっても主走査方向の回転角に依存せずに均一な感度で異物や欠陥等の検査が可能となる。 （もっと読む）

【課題】、装置が大掛かりにならず、エッジ部分の詳細な観察が出来る上に、エッジ部分に生じた微細な欠陥の発見が容易な表面検査装置を提供すること。
【解決手段】被検物体（半導体ウエハ１０）のエッジ部分１１に光を照射して該エッジ部分１１を観察する表面検査装置で、前記被検物体１０のエッジ部分１１に、該エッジ部１１の接線方向と垂直な方向（法線方向）の第１の方向の光と該第１の方向の光に対して傾斜する第２の方向の光とを照射する光照射部（拡散照明部材２０）を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、検査対象の寸法が検査光の波長以下となっても、高解像度の検査をすることができるパターンの検査装置、パターンの検査方法および半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】透過光による検査を行うための第１の投光系、反射光による検査を行うための第２の投光系、の少なくとも一方と、検査対象物上のパターンの画像を撮像するための検査光学系と、前記検査対象物を載置移動させるためのステージと、前記パターンにより回折される光を強めるための回折光制御手段と、を備えたことを特徴とするパターンの検査装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】コヒーレント光を使用した照明装置において、干渉を低減し、均一な照明光を得ること。
【解決手段】コヒーレント光の光束を反射により複数に分割する第１分割部と、分割された光束が通り、可干渉距離以上の光路差を有する複数の第１迂回光路と、少なくとも１つの第１迂回光路の一部に配置され、配置されない該第１迂回光路との間で可干渉距離以上の光路差を生じさせる光路差形成材と、第１迂回光路を通過してきた複数の光束を一体にする第１合成部と、を備え、一体になった光束を照明対象物に照射する、照明装置。 （もっと読む）

【課題】 被照射物体又は被検査物体上の広範囲の照射面を効率良く均一に照明すること。
【解決手段】 光源手段と、該光源手段から射出した光を入射させる入射面と、該入射面を介した光を被照射面側へ出射させる出射面とを含む導光光学系と、
該導光光学系の出射面と該被照射面との間であって、被照射基準面に平行で出射光軸を挟んで対向配置した反射手段とを有し、
該反射手段は、該光源手段からの光であって、該導光光学系の出射面から出射し、該被照射基準面に対し垂直方向の成分を持つ方向に出射した光を該被照射面方向に反射させること。 （もっと読む）

【課題】帯状被検査体に開口を設けたり、溶接線を利用したりして検査性能を診断する場合の不具合を避け、ラインを停止させることなく安定的に検査性能を診断できるようにする。
【解決手段】搬送される鋼板１０２の表面に光を照射する光源１０３と、鋼板１０２からの反射光を受光して撮像するカメラ１０７と、光源１０３と鋼板１０２との間に配置され、光源１０３の光の透過率を変化させることのできる液晶パネル１０５とを備える。表面検査システムの検査性能を診断するときに、鋼板１０２の搬送速度に応じて液晶パネル１０５による投影時間を変えたり、液晶パネル１０５による透過率を変化させて影の輝度を変えたりすれば、様々な大きさや形状、輝度の疵に対する検査性能を保証することができる。 （もっと読む）

【課題】青果物内部の局所的な内部品質を計測する場合などにおいて、青果物への測定光照射範囲と受光視野が制限されることなく高精度な計測が可能であり、さらに安定した搬送が可能な青果物搬送用トレーおよびそれを用いた内部品質評価方法を提供する。
【解決手段】略平板状の受座部材１１に青果物５１を載置しその上方に配置された略平板状の青果物保持用部材２１の開口部内に収まる青果物の側面部を可撓性部材２３によって保持する。透過光測定時には、受座部材と青果物保持用部材との間の空間を介して青果物側面部への光照射または透過光の受光を行う。あるいは、受座部材と青果物保持用部材とを、弾性を有する伸縮部材によって連結し、透過光測定時には、青果物保持用部材を受座部材に対して押し下げて、これにより青果物保持用部材の上側に露出した部分に対して測定光の照射および透過光の受光を行う。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハの欠陥（クラックや異物など）の検査において、半導体ウエハを透過する赤外光をカメラで撮像し、その撮像画像を用いて検査する場合に、被検査物の外側から漏れて出る光の為に、カメラがハレーションを生じ、結果として被検査体の周辺部の検査が出来ないという課題があった。
【解決手段】被検査体１を赤外光源３で照明し、被検査体１を透過した光を赤外カメラ６で撮影し、被検査体の検査を行う。被検査体の周囲から微小量の間隙１０を有するマスク手段８を用いることで、被検査物の周辺部分を検査することが可能となる。また、被検査体１を支持する手段はそれぞれが退避可能な構成のものを複数組用い、交互に退避させることで全面を検査できるようにした。 （もっと読む）

【課題】せん断加工面の照明の仕方を工夫して圧延スジを撮影しないようにする。
【解決手段】圧延鋼板のせん断加工面の欠陥を検査する欠陥検査装置（１０）において、前記せん断加工面を直接光（Ｆａ）により照明する第１照明手段（１８）と、前記直接光を反射させた反射光（Ｆｂ）により前記せん断加工面を照明する第２照明手段（１９）と、前記直接光と反射光によって照明された前記せん断加工面の画像を撮影する撮影手段（１７）と、前記撮影手段によって撮影された画像に基づいて前記せん断加工面の欠陥の有無を判定する判定手段（２０）とを備える。 （もっと読む）

【課題】広範囲の管内照明に於いて、発光型の異なる２種類の照明をカメラの周囲に配置して、前方向の照明と横方向の照明を使い分け、前方、側方のいずれの管内撮影においても常に最適な照度で管内の各部を照明できる信頼性の高い管内検査カメラの照明装置および管内検査カメラの照明方法を提供する。
【解決手段】カメラ本体２０を収容した筐体１０に、側周発光型のＬＥＤとリフレクタとを備えた直視用集光照明装置部３１と、ドーム状発光型のＬＥＤと拡散板とを備えた側視用散照明装置部３２とを設けて、集光照明装置部３１を用いて管１内を直視撮影し、拡散照明装置部３２を用いて管１内を側視撮影する。 （もっと読む）

透明基板（１２）を照明するために明視野光源及び暗視野光源を組み合せて同時に用いることによる、基板の欠陥を検出するための装置（１０）及び方法。装置は基板が移動している間に混入物及び表面欠陥のいずれをも同時に検出することができ、製造環境における基板の特性評価を簡略化することができる。
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【課題】 表面欠陥の良否判別をより詳細に実施する表面検査装置を提供する
【解決手段】 本発明の表面検査装置は、偏光観察状態では、偏光方向の異なる２つの偏光素子を照明光路と受光光路にそれぞれ設け、照明光の振動面に対して被検基板のパターンを斜め向きに設定する。この状態で受光光路の光束を結像して光強度信号を生成する。この光強度信号の第１信号レベルを、予め記憶する良否の判定条件（第１条件）で良否判定する。一方、本発明の表面検査装置は、偏光素子の少なくとも一方を光路から外してオープン観察状態とする。この状態で得られる光強度信号の第２信号レベルを、予め記憶する良否の判定条件（第２条件）で良否判定する。この２種類の良否判定によって被検基板の良否判定を一段と詳細に行うことができる。 （もっと読む）