【課題】強力な光源を得つつも、投光器に対する検査対象の距離を十分確保し且つ光量のムラを抑制し得る照度安定機構を提供する。
【解決手段】この照度安定機構は、複数の一次元ＣＣＤカメラと、これらＣＣＤカメラのゲインを正規化によって均一化するゲイン調整器と、複数のＣＣＤカメラの台数よりも一台多い複数の投光器とを備え、複数の投光器は、複数のＣＣＤカメラと互い違いに且つ隣り合うカメラ同士の中間に投光器の中央を合わせて配置されている。 （もっと読む）

【課題】
試料の表面の欠陥の検査中の試料の高さ変動により、照射したい領域と実際に照射している領域とに差異が生じるため、試料にレーザが照射されている領域とラインセンサで検出している領域の関係にずれが発生し、同一領域同士の信号を精度良く加算することが困難になる。
【解決手段】
試料の表面の欠陥を検査する欠陥検査方法であって、Ｈａｚｅ信号の分布と予め定めた光量分布とを比較して算出した検出信号の画素ずれ量を補正した検出信号を加算処理して欠陥を検出する工程を有する欠陥検査方法。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置及び検査方法を提供すること。
【解決手段】検査方法は、測定対象物を撮影して測定対象物のピクセル別にイメージデータを取得し、測定対象物のピクセル別に高さデータを取得し、測定対象物のピクセル別にビジビリティデータを取得し、取得されたイメージデータと、ピクセル別の高さデータ、及びビジビリティデータのうちの少なくとも１つとを乗算して結果値を算出し、算出された結果値を利用してターミナル領域を設定すること、を含む。よって、より正確にターミナル領域を判別することができる。 （もっと読む）

【課題】管状の貫通穴、有底穴の被検査物の内周囲面、及び周囲の被検査物の外観検査を容易に行うことができる検査装置を提供することを課題としている。
【解決手段１】管状の貫通穴、有底穴の被検査物（２）の内周囲面（２ａ）または周囲の被検査物に光を照射する照射手段（４）と、照射された光を、内周囲面（２ａ）または周囲に反射拡散する反射拡散手段（６）と、内周囲面または周囲を撮像する撮像手段（７）を備え、
該撮像手段（７）の魚眼レンズまたは広角レンズ（９）同軸上前方に該反射拡散手段（６）を配置した構成とし、該撮像手段（７）により検査を行う。 （もっと読む）

【課題】不感領域の影響を小さくして検査精度を向上させた表面検査装置を提供する。
【解決手段】被検物を支持するステージ１０と、ステージ１０に支持されたウェハＷの表面に照明光を照射する照明部２０と、照明光が照射されて被検物の表面から反射されて出射される光を所定の撮像面上に結像させるとともに光軸をずらす撮像光学系３０と、撮像光学系３０により撮像面上に結像された像を受光する画素及び画素の周囲に設けられて像を受光しない不感部を備え像を撮像する撮像部材と、撮像部材により撮像された像に基づいて被検物の表面の画像を生成する画像処理部４５とを備え、撮像光学系３０が撮像部材６０の撮像面上に結像される像の位置が所定長さだけずれるようにウェハＷの表面からの光軸をずらしながら撮像部材６０が複数回撮像し、画像処理部４５が撮像された複数の像における各画素を合成して合成画像を生成する。 （もっと読む）

【課題】エッジ破断部を検査するための、新規の改善された検査システム及び方法を提供すること。
【解決手段】検査システム（１０）が、光源（２０）と、回折格子（２３）と、位相シフトユニットと、イメージャ（３０）と、プロセッサ（１１）とを備える。光源（２０）は、光を発生するように構成される。回折格子（２３）は、発生した光の経路内にあり、光が通過した後に回折格子像を生成するように構成される。位相シフトユニットは、回折格子像の複数の位相シフトパターンを形成し、それを物体表面（１６）上に反射して、複数の投影位相シフトパターンを形成するように構成される。イメージャ（３０）は、投影位相シフトパターンの像データを取得するように構成される。プロセッサ（１１）は、像データから物体表面を再現するように構成される。検査方法についても開示する。 （もっと読む）

【課題】被検物の上面部又は下面部と側面部からの反射像を導き１台の撮像装置で撮像し、被検物の外周面を高精度で検査できる、光学外観検査装置を提供する。
【解決手段】搬送する被検物を撮像装置で撮像して検査する外観検査用の光学装置において、被検物Ｔを一列に整列して搬送する搬送手段６に、搬送手段６により搬送する被検物Ｔの上面部又は下面部から直交する反射光を撮像装置４０へと導く第１の光導手段２０と、該第１の光導手段とは離れた検査位置にて、該被検物Ｔの一側面部とその反対側の他側面部とからの反射光を、搬送手段６の搬送方向に対して搬送平面の所定角度で入射して撮像装置４０へとそれぞれ導く第２と第３の光導手段３０とが備えられ、これらの反射光を第１の光導手段２０と第２及び第３の光導手段３０とを通して撮像装置４０の走査軸上に導き、被検物Ｔのそれぞれの反射像を同一撮像面に結像する外観検査装置に用いられる光学装置である。 （もっと読む）

【課題】むらのない均一なライン状の光を照射することができる検査用照明装置を提供する。
【解決手段】基板と、前記基板上に１列に複数並べ設けられたＬＥＤと、前記基板に対して垂直に起立し、かつ、基端面が前記１列に複数並べ設けられたＬＥＤに臨むように配置されて、前記ＬＥＤから発した光を前記基端面から導入するとともに前記基端面に対向する先端面から導出する透明かつ中実な導光板と、を備えているようにした。 （もっと読む）

【課題】内部に存在する微小な異物を容易に検出することができる電気光学装置の検査方法および電気光学装置の製造方法ならびに電気光学装置の製造装置を提供する。
【解決手段】電気光学装置の検査方法は、第１の基板と第２の基板とが電気光学物質を介して貼り合わされてなり、第１および第２の基板の一方の基板の貼り合わせ面と反対側の面に第３の基板が接着された電気光学装置２の検査方法であって、電気光学装置２に駆動信号を印加しない状態で、電気光学装置２に光源２２から光を入射させる工程と、電気光学装置２の一方の面に対向配置され、電気光学装置２から出射される出射光を、出射光の偏光軸と交差する偏光軸２６ａを有する偏光板２６を介して観察する観察工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】マスクブランクの製造過程で発生する欠陥を容易かつ確実に検出することができるマスクブランク用基板の製造方法、およびマスクブランクの製造方法を提供すること。
【解決手段】マスクブランクの製造工程では、検査対象品に検査光を照射した際の反射光を光電変換装置５９で受光して電気信号に変換し、電気信号を検査対象品表面における位置情報と対応付けてデータ記憶部に記憶する信号取得工程を行う。次に、第１基準値以上の欠陥の有無を判定して検査対象品の良品判定を行う第１判定工程を行い、良品と判定された検査対象品に対して、第１基準値よりも小さい第２基準値以上の微小欠陥の有無を判定する第２判定工程を行う。最後に、検出された微小欠陥同士の距離関係や位置関係から近接する微小欠陥集合体の有無を判定し、微小欠陥集合体として判定されたものが第１基準値以上であるかを基準に検査対象品の良品判定を行う第３判定工程を行う。 （もっと読む）

【課題】カメラに向かって凸な形状を有する検査対象物の全体を適切な明るさで撮影できるようにする。
【解決手段】カメラ５に向かって凸な形状を有するワーク１０の球体部１０ａを撮影する際に用いる照明装置６であって、球体部１０ａよりもカメラ５に近い前方に配置されるリング光源７と、球体部１０ａとカメラ５とを結ぶ撮像軸の周りにおいてリング光源７から球体部１０ａの最大外径部１０ｅの後方までを囲む反射ハウジング８とを備えている。 （もっと読む）

【課題】高いコントラストで検査を行うことができる検査装置及び検査方法並びにそれを用いたパターン基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】
本発明にかかる検査装置は、光を透過するガラス基板２１の透過率に基づいて欠陥を検出して、ガラス基板２１と、反射面を有する第１の膜２９とを備える試料を検査する検査装置であって、ガラス基板２１の一方の面である入射面から試料に光を入射させる光源１１と、開口数が０．００２以上０．２以下で、光源１１からの光を反射面上に集光する対物レンズ１７と、ガラス基板２１に斜めに入射した入射光が反射面で正反射されることによって、ガラス基板２１において入射光が通過した位置と近い位置を斜めに通過して入射面から出射された光を検出する光検出器３２とを備えるものである （もっと読む）

【課題】パターン検査において、簡素な方法により適切なパラメータを決定する装置、コンピュータプログラム、及び方法を提供する。
【解決手段】被検査体に関する情報であってパターン及び欠陥の形状、製造上の下地膜厚ばらつき、及び各膜の光学定数の情報並びにパターン検査装置に関する情報であって光学条件の情報を入力する入力手段と、前記入力手段に入力された情報を用いて前記被検査体の光学像を取得する光学像取得手段と、前記光学像を用いて前記被検査体の欠陥及び背景の信号強度を取得する手段と、前記欠陥の信号強度と前記背景の信号強度との差分を前記下地膜厚ばらつきごとに取得する手段と、前記下地膜厚ばらつきに対する前記差分を光学条件ごとに比較する手段と、を備えたことを特徴とするパラメータ決定装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】光学式欠陥検査装置または光学式外観検査装置で検出した欠陥を電子顕微鏡等で詳細に観察する装置において、観察対象の欠陥を確実に電子顕微鏡等の視野内に入れることができ、かつ装置規模を小さくできる装置を提供する。
【解決手段】光学式欠陥検査装置または光学式外観検査装置で検出した欠陥を観察する電子顕微鏡5において、欠陥を再検出する光学顕微鏡14を搭載し、この光学顕微鏡14で暗視野観察する際に瞳面に分布偏光素子及び空間フィルタを挿入する構成とする。 （もっと読む）

【課題】
半導体デバイス等の製造工程中に発生する微小な異物やパターン欠陥を高解像検出するための深紫外光を光源とする装置において、短波長化による光学系へのダメージを検知して、ダメージ部分を退避する手段と、光学系配置の異常を製造時と比較検知して補正する手段とを備え、被検査対象基板上の欠陥を高速・高感度で安定検査できる装置および方法を提供すること。
【解決手段】
光学系の光路内に照明光の強度，収れん状態を検知する手段を設けて、光学系の異常を検知し、異常箇所が光軸と一致しないように退避する手段と、光学系を調整して製造時の光学条件となるように補正するように構成したことにより、検査装置内の光学系の長寿命化と微小欠陥の安定検出を図った。 （もっと読む）

【課題】悪環境下においても、鋼帯の欠陥を全幅方向に精度よくしかも安定に検査することができる鋼帯の欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】一定間隔で配置されたＬＥＤ素子の上側に、ＬＥＤ素子からの光線を板幅方向にのみ拡散させる拡散板７を配置した構造の線状下部光源４を、走行する鋼帯１の下方に全幅にわたり配置する。また鋼帯１の上方には、鋼帯１の穴欠陥２または割れ欠陥３を透過した光線を撮影するラインセンサカメラ５を設置した。線状下部光源４の輝度を板幅方向に均一とすることができ、しかも非常に高輝度とすることができるので、悪環境下においても精度のよい検査が可能となる。拡散板７としては例えばレンチキュラーレンズシートを利用することができる。 （もっと読む）

【課題】コストを上げることなく、撮像素子のダイナミックレンジ内で、計測光の偏光計測を行うことができ、偏光計測の精度を高めることができる感度調整方法を実現する。
【解決手段】本発明の感度調整方法は、バイアス光として、無偏光をカメラへ照射するバイアス光照射工程と、計測光を、特定の偏光成分に限定して、撮像素子へ入射させる偏光成分限定工程と、特定の偏光成分の強度の計測値と、撮像素子のダイナミックレンジにおける上限閾値または下限閾値とを比較し、この比較結果に基づいて、計測値がダイナミックレンジ内になるように、既知の偏光または上記バイアス光の光量を調整する光量調整工程（Ｓ００３〜Ｓ００６）とを含むので、撮像素子のダイナミックレンジ内で、計測光の偏光計測を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】光源から出射された照明光の拡散光を低減することで、欠陥部分の発見がし易い照明光を出射することができる照明装置を提供する。
【解決手段】検査対象物に対し検査用の照明光を照射する照明装置１において、光源から出射された照明光の拡散を低減する拡散低減手段を備えることとする。拡散低減手段としては、遮光部材および集光レンズを使用することができる、また、遮光部材としては、筒体３、遮光板を使用することができる。 （もっと読む）

【課題】装置構成を複雑化することなく、油等の影響を抑えて表面欠陥の検出精度を高くすることができる欠陥検査装置および欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】被検査対象Ｓの表面の欠陥を検査する装置であって、入射側偏光部材１２と、被検査対象Ｓに光を照射する光源１１とを備えた投光手段１０と、受光側偏光部材２２と、被検査対象Ｓの表面において反射した光を受光側偏光部材２２を通して受光する受光部２１とを備えた撮影手段２０とからなり、投光手段１０の入射側偏光部材１２は、光源１１から被測定対象Ｓに向けて放出される光の一部が、入射側偏光部材１２を透過せずに被測定対象Ｓの表面に直接照射されるように設けられている。液体の影響を低減した反射光を撮影手段２０が受光するので、被測定対象Ｓの表面欠陥の検出精度を高くすることができる。 （もっと読む）

【課題】被検査物体の６面が隙問なく整列配置され、電子カメラによる撮影面の広がりを最低限度に抑制した、小型コンパクトな多面外観検査装置を提供する。
【解決手段】透明体は観察平面部から入光した光源からの照明光を直交反射して、不透明体である被検査物体の上下左右の周面を照明する４個の斜面と、照明光を２度にわたって直交反射して被検査物体の背面を照明する対向斜面を備え、収納凹部の底面寸法と深さ寸法は被検査物体の外のり寸法が最大である場合の背面寸法と高さ寸法に相当し、少なくとも被検査物体の複数面は収納凹部の内壁に接触するようにして投入され、電子カメラは観察平面部に整列投影された被検査物体の複数面の外観を撮影し、画像処理装置によって被検査物体に外観上の特異性があるかどうかが判定される。 （もっと読む）