【課題】化成被覆率を高精度・短時間で測定が可能な車両鋼板における化成被覆率の簡易計測方法及びその装置を提供する。
【解決手段】化成被膜が表面に被覆された車両鋼板の化成被覆率を計測する簡易計測方法であって、前記車両鋼板表面に光を所定の照射角度で照射し、当該車両鋼板表面から所定の受光角度で反射される正反射成分を用い、前記正反射成分を含む反射強度と前記正反射成分を含まない反射強度の比を得ることにより、前記車両鋼板における化成被膜の被覆率を計測する。 （もっと読む）

【課題】周期的に繰り替えられて形成された部分を有するワークの撮像及び検査に要する時間を短縮しつつ、欠陥の見逃しを低減できるワーク検査装置及びワーク検査方法を提供する。
【解決手段】ワークＷを一定の回転速度で回転させつつ、一定の間隔で出力される基準パルスに基づいた一定の周期毎に、ワークＷの歯部Ｗ１を少なくとも２カ所以上含むように撮像し、撮像したｋ（ｋは整数）番目の画像と（ｋ＋１）番目の画像との差分データに基づいて欠陥を検出する構成で、撮像エリアＡＲ１内の基準の歯部Ｗ１Ａ〜Ｗ１Ｄに対して斜めに光を照射する照明装置１００を備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】異物を検出する際に影の発生を抑制して異物検出感度を向上させるとともに、繊維条体の太さムラを良好に検出することができる繊維条体測定装置を提供する。
【解決手段】クリアラは、光源部３６と、透過光受光部及び反射光受光部を兼ねる受光部と、拡散部材３８と、を備える。光源部３６は、走行する紡績糸に対して光を照射する。受光部は、光源部３６から照射されて紡績糸を透過した光を受光する。また前記受光部は、光源部３６から照射されて紡績糸により反射された光を受光する。拡散部材３８は、光源部３６と紡績糸との間に配置され、光源部３６からの光を拡散させる。そして、拡散部材３８は、紡績糸の走行方向に平行な平面内で光を拡散させる度合いに比べて、当該走行方向と直交する平面内で光を拡散させる度合いの方が大きい。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、多結晶シリコンウェーハのコントラストを低減させて、多結晶シリコンウェーハ表面の異物を過検出することなく適切に検査することのできる、多結晶シリコンウェーハの検査方法及び装置を提供することにある。
【解決手段】本発明の多結晶シリコンウェーハの検査方法は、光源からの光をカバーの内面にて乱反射させて間接的にウェーハ表面を照明し、照明したウェーハ表面をカバーに設けられた撮像部を通してカバーの外部に設けられた撮像手段により撮像して画像を取得し、その画像よりウェーハ表面の欠陥を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検査対象のシリコンウエハに表面粗さ部分があっても欠陥部分を確実に識別する。
【解決手段】近赤外光源１から単波長の近赤外散乱光線Ｒ１をシリコンウエハＷに照射し、このシリコンウエハＷを透過した透過光線Ｒ２がカメラレンズ２で集光され、この集光された透過光線Ｒ２を撮像用カメラ３で受光して撮像し、画像処理部４が撮像用カメラ３の撮像画像上でシリコンウエハＷの表面粗さ部分となる成分を消去することにより、欠陥部分の画像が強調される。 （もっと読む）

【課題】処理に必要な資源を抑える技術を提供することにある。
【解決手段】照明ユニット３０の点灯状態に応じて、増幅制御ユニット６２が増幅器６０による画像信号の増幅率を調整することにより、複数の検査用画像の光量を平衡させる。したがって、複数の検査用画像に対する画像処理を円滑化できる。 （もっと読む）

【課題】高精度のパターン検査を行うことが可能なパターン検査方法等を提供する。
【解決手段】披検査パターンの設計データを、披検査パターンの検査に用いる照明の照明条件に依存した情報に基づいて加工する工程（Ｓ１２）と、加工された設計データから披検査パターンの参照データを生成する工程（Ｓ１４）と、実際に形成された披検査パターンのデータと参照データとを比較する工程と（Ｓ１５）、を備える。 （もっと読む）

【課題】
単一の統合条件においては複数の欠陥種を同時に検出することは困難であり、また、多次元の特徴量として扱って複数の欠陥を検出すると、信号処理にかかる計算コストが検出器の増加とともに増大するという問題が発生する。
【解決手段】
被検査対象物に照明光を照射する照明光学部と、前記照明光学部により照射され該被検査対象物から該被検査対象物の表面に対してそれぞれ異なる方位角方向および仰角方向に散乱する散乱光をそれぞれ検出する複数の検出器を備えた検出光学部と、前記複数の検出器により検出した該被検査対象物からの散乱光に基づく複数の信号のそれぞれについて、ゲイン調整および閾値判別に基づく欠陥判別を並列に行い、前記ゲイン調整および欠陥判別された結果に基づき欠陥を抽出する信号処理部と、を有する欠陥検査装置である。 （もっと読む）

【課題】自動車のボディやその部品などの光沢塗装が施されるなどして表面反射の強い計測対象物であっても、簡単な構造により低コストで高精度かつ高速に表面の疵、塗装の剥がれや凹みなどの表面欠陥を検査することが可能な表面検査装置、表面検査プログラムおよび表面検査方法の提供。
【解決手段】曲面状壁１ｂを有する計測空間１を構成し、計測空間１内の計測対象物Ａに対して照明装置２−１，２−２，２−３の光源光を均一に減光して照明し、照明された計測対象物Ａの全照明画像の撮影を行うとともに、パターン光投影装置３によりパターン光を計測対象物Ａに直接当たらないように曲面状壁１ｂに投影して反射させ、カメラ装置４によりこの反射パターン光が投影された計測対象物Ａの反射パターン画像の撮像を行う。 （もっと読む）

【課題】異物の付着した面が被検物の２面のうちのいずれの面であるかを検出することが可能な異物検査装置を提供する。
【解決手段】異物検査装置は、被検物に検査光を投光する投光部と、検査光が投光されることによって被検物から生じる散乱光の強度を検出する検出器を含む受光部と、制御部とを備える。検出器は、偏光方向が第１の方向である検査光が投光されることによって被検物から生じる第１の散乱光の強度と、偏光方向が第２の方向である検査光が投光されることによって被検物から生じる第２の散乱光の強度とを検出する。制御部は、検出器により検出された第１の散乱光の強度および第２の散乱光の強度の比が基準値より大きいか小さいかによって異物が付着した面が第１面および第２面のいずれであるかを判定する。 （もっと読む）

【課題】１つ以上の空間光変調器（ＳＬＭ）を用いて検査システム内の光学ビームの位相および／または振幅を変える方法を提供する。
【解決手段】試料を光学的に検査する装置１００は、入射光ビーム１１５を試料１１６上に導くビーム発生器１０２を含む。試料からの出力ビーム１２５は、結像光学系１２０、１２４を通して検出器１２６に向けて導かれる。この装置はさらに出力ビームまたは入射ビームのいずれかの光路内に配置されるプログラム可能な空間光変調器（ＳＬＭ）を含む。空間光変調器は、照射開口１０８と共に第１ＳＬＭを、視野開口（field aperture）１１２と共に第２ＳＬＭを含み、入射ビームまたは出力ビームの位相または振幅プロファイルを調節するよう構成される。空間光変調器は、異なる検査モードを達成するために入射ビームの照射プロファイルを変えるよう構成されえる。 （もっと読む）

【課題】レジストパターンやエッチング後及び再エッチング後のパターンに関わらず、基準データを用いてＡＰＭ−ＰＥＲ検査法による線幅の検査を行うための基準データの生成方法を提供する。
【解決手段】ＡＰＭ−ＰＥＲ検査法による表面検査装置１００で用いられる基準データの生成方法であって、第１のエッチング工程（第１の工程）により異なる線幅の繰り返しパターンの組が形成された基準用ウエハ１０を複数作成し、さらに、この基準用ウエハ１０に対して異なる条件で第２のエッチング工程（第２の工程）を行い、それぞれの状態の基準用ウエハ１０から較正曲線を求め、これらの較正曲線が同一の曲線上にほぼ一致するエリアを検査対象座標として求める。 （もっと読む）

【課題】大掛かりな搬送装置を用いて異物を移動させたり異物を液中に引き込んだりする必要がなく、プルタブの背後の液面付近に異物がある場合にも、液面と容器内面が接触して盛り上がった箇所にある異物を精度良く検出することができる液面浮遊異物検出方法を提供する。
【解決手段】口部をプルタブ付キャップ２で密封した容器１内に充填された液体Ｌの液面Ｌｅ又は液面Ｌ付近に浮遊した異物を検出する検査方法において、容器１の下方に配置された照明５によって容器１内を容器底面側から照明し、容器１内の液体Ｌを介して液面Ｌｅを照明し、液面Ｌｅに到達する光の一部を液面と容器１内面が接触する部位で液面が盛り上がった箇所に入射させ、この入射光を前記盛り上がった箇所の液面Ｌｅと気体との界面で反射させ、界面で反射した反射光を容器１の側方に配置されたＣＣＤカメラ６により撮像する。 （もっと読む）

【課題】光学式欠陥検査装置または光学式外観検査装置で検出した欠陥を電子顕微鏡等で詳細に観察する装置において、観察対象の欠陥を確実に電子顕微鏡等の視野内に入れることができ、かつ装置規模を小さくできる装置を提供する。
【解決手段】光学式欠陥検査装置または光学式外観検査装置で検出した欠陥を観察する電子顕微鏡5において、欠陥を再検出する光学顕微鏡14を搭載し、この光学顕微鏡14で暗視野観察する際に瞳面に分布偏光素子及び空間フィルタを挿入する構成とする。光学式欠陥検査装置または光学式外観検査装置で検出した欠陥を観察する電子顕微鏡5において、欠陥を再検出する光学顕微鏡14を搭載し、この光学顕微鏡14で暗視野観察する際に瞳面に分布フィルタを挿入する構成とする。 （もっと読む）

【課題】高感度で検査を行うことができる検査装置、検査方法、及びパターン基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様にかかる検査装置は、対物レンズ７と、対物レンズ７の視野の一部である第１の領域を、第１の偏光方向の直線偏光で照明し、対物レンズの視野内において前記第１の領域と異なる第２の領域を第１の偏光方向と異なる第２の偏光方向の直線偏光で照明する反射照明光学系５１と、第１の領域において、試料で反射した反射光を検出するＴＤＩカメラ１１ａと、第２の領域において、試料で反射した反射光を検出するＴＤＩカメラ１１ｂと、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】フォーカス異常とドーズ量異常を区別して検出することが可能な表面検査方法を提供する。
【解決手段】所定の繰り返しパターンを有するウェハの表面に直線偏光を照射する照射ステップ（Ｓ１０４）と、直線偏光が照射されたウェハの表面からの反射光を受光する受光ステップ（Ｓ１０５）と、対物レンズの瞳面と共役な面において、反射光のうち直線偏光の偏光方向と垂直な偏光成分を検出する検出ステップ（Ｓ１０６）と、検出した偏光成分の階調値から繰り返しパターンの線幅および露光時のフォーカス状態を求める演算ステップ（Ｓ１０７）とを有し、演算ステップでは、瞳面において線幅との相関が高い瞳内位置での階調値から線幅を求めるとともに、フォーカス状態との相関が高い瞳内位置での階調値からフォーカス状態を求める。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、薬剤容器内の凝集塊や白濁および異物を検出できる薬液混合監査支援システムおよび薬液混合検査方法を提供する。
【解決手段】本発明の薬液混合監査支援システム１０は、基台部１３と、基台部１３の表面１３ａの一部に設けられた、薬瓶１４ａを配置する薬瓶搭載部１４と、処方箋情報、監査情報および混合調製情報のうちの少なくとも何れかを画面１１ａに表示する情報提示部１１と、を備え、薬剤搭載部１４に配置された少なくともいずれかの薬瓶１４ａに入った薬液を輸液バッグ１２に混合した後に、輸液バッグ１２を情報提示部１１の画面１１ａ上に隣接して配置し、情報提示部１１を照明部として画面１１ａから幾何学パターン１５の照明光を輸液バッグ１２の背後より透過させて照射し、輸液バッグ１２内の異物１６または生成物１７を検査する構成からなる。 （もっと読む）

【課題】多数の連続した単繊維の束からなる糸条の欠陥の有無や種類を、糸条の撚りの有無にかかわらずオンラインで把握できかつ糸条の製造工程により製造される糸条パッケージの品質管理を、迅速に行うことができる欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】糸条または背景を照明して糸条と背景に明度差または色相差を生じさせて糸条を撮像し、得られた画像を処理することにより糸条の欠陥を検出する方法であって、（ａ）撮像した画像を明度差または色相差を基に処理し２値化画像を得る、２値化段階、（ｂ）前記２値化画像に細線化処理を行う細線化段階、（ｃ）前記細線化処理した画像上の細線の分岐点を除去し、糸条対応細線と欠陥候補細線とを分離する分離段階、（ｄ）前記欠陥候補細線の特徴量を記憶手段内に予め設定された欠陥特徴量の閾値と比較し、欠陥の該否および／または欠陥の種類の判定を行う判定段階の４段階により画像の処理及び判定を行う。 （もっと読む）

【課題】被検体を撮影する際に自動的に焦点を合せ、得られた画像から欠陥の有無を判断する欠陥検査方法及び欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】撮影して得られた画像から欠陥の有無を判断する欠陥検査方法において、撮像手段２の焦点を合せる自動焦点調節ステップと、被検体における欠陥の有無を判断する画像解析ステップとを具備し、自動焦点調節ステップは、被検体と撮像手段２との距離又は撮像手段２の焦点距離を複数回変更して撮影し、得られた各画像から被検体の輪郭を抽出処理し、各輪郭抽出画像に対して離散フーリエ変換処理を用いることで周波数領域に変換し、周波数領域における輝度値の総和を算出し、輝度値の総和が最大となる被検体と撮像手段２との距離又は撮像手段２の焦点距離を特定し、特定された被検体と撮像手段２との距離又は撮像手段２の焦点距離に調節する、とした。 （もっと読む）