【課題】 透明フィルム上の突起、窪み、折れなどの平面異常による不良を高速に検査するにあたり、反射率や透過率から検査する方式の表面検査装置では平面異常だけを選択的に検出することは非常に困難であった。またレーザ光を使った凹凸測定による検出方法では表裏の反射光を分別できず正確な測定ができなかった。
【解決手段】光源より出射された光を、前記平面に対してライン状に走査する光走査手段と、該走査光による該平面および平面異常部からの透過光を受光する反射光位置検知手段と、該検知手段からの検知信号により該平面異常部の角度を算出して平面異常の検査を行う角度検査測定部と、を有する光走査式平面検査装置とした。 （もっと読む）

【課題】疵の検査対象である薄鋼板等の帯状体のエッジの位置を精度良く特定して帯状体表面の疵を適切に検出する疵検査装置及び疵検査方法を提供すること。
【解決手段】移動する帯状体１を幅方向に横切る照射領域４００に帯状光を照射し帯状体１の表面の疵を検査する疵検査装置が提供される。この疵検査装置１００は、帯状体の移動方向Ｖに対して帯状体の幅方向の一側に所定の第１角度θ１だけ傾いた第１方向３１１に出射される第１帯状光と、帯状体の移動方向に対して帯状体の幅方向の他側に所定の第２角度θ２だけ傾いた第２方向３２１に出射される第２帯状光とを、照射領域に照射する照明手段１１０と、照射領域における第１及び第２帯状光の反射光を撮像して照射領域の画像を出力する撮像手段１２０と、撮像手段により撮像した反射光の強度に基づいて、照射領域の画像における帯状体１の幅方向の両エッジの位置を特定する画像処理手段１３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】透明基板を検査する方法において、十分なスピードを提供し、高度に仕上げられた表面を必要とせず、薄いガラスシートに限定されず、混入物の場所を特定の位置に識別し、極めて小さい混入物を検出するに十分な感度を示す、ガラス基板基材のバルクまたは内体積の正確な検査を可能にする。
【解決手段】屈折率整合光カプラと透明基板の表面の間に屈折率整合液を与える。透明基板の表面に沿う２つないしさらに多くの位置において、（ｉ）光カプラを通して透明基板にリボン光を導き入れる工程によって透明基板内の検査体積を光照射する工程、および （ii）検査体積と光学的に共役な検出器において検査体積からの散乱光を検出する工程、を反復する。 （もっと読む）

【課題】 本願は概して光計測に関し、より詳細には、フォトニックナノジェットによる半導体ウエハの検査領域の検査に関する。
【解決手段】 製造クラスタは、光学測定を用いて制御することができる。製造プロセスは、製造クラスタを用いて、ウエハ上で実行されて良い。誘電体ミクロン球の光のあたらない表面で誘起される光強度パターンであるフォトニックナノジェットが生成される。ウエハ上の検査領域はフォトニックナノジェットによって走査される。フォトニックナノジェットが検査領域を走査する際、誘電体ミクロン球からの再帰反射光が測定される。検査領域内での構造の存在は、再帰反射光の測定結果によって決定される。製造クラスタの1種類以上のパラメータは、検査領域内での構造の存在の決定に基づいて調節される。 （もっと読む）

【課題】
検査対象基板において不規則な回路パターン部分では、パターンからの散乱光によって欠陥信号が見落とされ、感度が低下する課題があった。
【解決手段】
光源から出射した光を検査対象基板上の所定の領域に所定の複数の光学条件をもって導く照明工程と、前記所定領域において、前記複数の光学条件に対応して生じる複数の散乱光分布の各々につき、所定の方位角範囲および所定の仰角範囲に伝播する散乱光成分を受光器に導き電気信号を得る検出工程と、該検出工程において得られる複数の電気信号に基づいて欠陥を判定する欠陥判定工程とを有することを特徴とする欠陥検査方法を提案する。 （もっと読む）

【目的】インテグレータによって生ずる輝点に起因する光学部品の劣化を抑制し、高精度の欠陥検査を長期間持続可能なレチクル欠陥検査装置およびこれを用いた検査方法を提供する。
【構成】パターンが形成されたレチクルに光を照射して得られるパターン画像を用いてレチクル上の欠陥を検査するレチクル欠陥検査装置であって、このレチクルに検査光を照射する照明光学系と、検査光が照射されたレチクルのパターン画像を検出する検出光学系を備え、照明光学系が、検査光の照度分布を均一化するためのインテグレータと、このインテグレータを、インテグレータの光軸に対して垂直方向に微動可能とする移動機構とを有することを特徴とするレチクル欠陥検査装置およびこれを用いた検査方法。 （もっと読む）

【課題】光学異方性をもつ薄膜を成膜したシートを走行させながら、薄膜中の欠陥部によって幅方向に偏りをもって放射される変調光を高精度に検出する。
【解決手段】光源３からの拡散光を偏光子４で直線偏光に変換して位相差フイルム２の検査光に用いる。凸レンズ６と光学系９及び絞り２８により、物体側でテレセントリックとなる結像光学系を構成する。位相差補償膜２に欠陥部Ｘが存在すると、その部分からの変調光Ｓが検光子７を通ってラインセンサ１０に結像される。変調光Ｓが位相差フイルム２の幅方向に偏った分布をもつことに対応して絞り２８の開口を光軸Ｐに関して非対称にし、変調光Ｓの検出感度を高める。 （もっと読む）

特に金属板生産ラインにおける残留酸化物汚れ（残留スケール）を、ラインを停止せずに、完全自動で検出及び分類するように設計された本発明は、検査すべき金属板（２）表面の全域にわたって移動するための手段（８）が装備され、高解像度ＣＣＤカメラ（１）とハイパワー照明装置（６−７）及び拡散光発生器を収容するフレーム構造またはボックス（４）から構成されており、カメラのビデオ信号は、得られた画像を処理して、残留酸化物汚れを検出及び分類できるようにするためのソフトウェアを備えたＰＣ（３）に送られる。前記ボックスまたはフレーム構造（４）の移動は、やはり前記ＰＣ（３）に接続されたプログラマブルオートマトン（１４）によって制御される。
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【課題】測定回数やデータ数を増やすことなく、タイヤ形状を精度よく検出することのできるタイヤ形状検出装置を提供する。
【解決手段】ＣＣＤカメラ１４のレンズとして、縦方向と横方向とで倍率の異なるアナモフィックレンズ１４Ｌを用い、かつ、上記ＣＣＤカメラ１４の向きを撮影した像が、タイヤの深さ方向に伸びた像となるように設置するとともに、座標変換手段１５を設けて、上記歪んだスリット光の画像(歪像)Ｓの２次元座標を引き伸ばされていないときの２次元座標に変換してから、上記スリット像の３次元座標を演算して、タイヤ１０の形状を検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】レーザ光線を照射して被測定物全体からのフォトルミネッセンス光の強度分布を短時間で測定できるフォトルミネッセンス測定装置を提供する。
【解決手段】この装置はレーザ光源１とＣＣＤカメラ８を具備し、被測定物５とＣＣＤカメラ間の光路上に、偏光フィルター６とレーザ光線の波長を遮断して測定波長のみを透過させるバンドパスフィルター７が配置され、レーザ光源と被測定物間の光路上に、集光レンズ２と第１のガルバノミラー３および第２のガルバノミラー４が配置され、集光レンズで集光されたレーザ光線が、第１のガルバノミラーと第２のガルバノミラーにより反射されて２次元走査されるようになっていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
検査装置並びに高さ計測装置において、照明手段を、試料上の所望の領域にレーザ光を斜方入射させて均一な強度分布でかつ高い光利用効率で照明することでより低いレーザパワーでも充分に検査又は計測を行えるようにして、比較的小型のレーザ光源を用いること可能にする。
【解決手段】
照明手段を、光学素子の回折光学素子により、照射部を介して試料上に照射される照明光が試料上の直線状の領域を直線状の全領域に渡ってほぼ均一の強度分布で直線状の全領域に渡って焦点が合った状態で照射するように照明光の光束の断面形状と強度分布とを変換するように構成した。 （もっと読む）

【課題】溶接ビードの欠陥の有無についての検査に要する時間を短縮することが可能な溶接ビードの検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】検査対象たる溶接ビード３の表面を含む所定の領域に相互に略平行な複数のライン光５・５・・・からなるラインパターン４を照射しつつラインパターン４が照射された所定の領域の画像６を撮像し、画像６を線形化して細線化画像７を生成し、欠陥が無い溶接ビードについて予め生成された細線化画像である基準細線化画像および細線化画像生成部１１１ｂにより生成された細線化画像７を比較することにより両者の一致度を算出し、算出された一致度に基づいて検査対象たる溶接ビード３の表面における欠陥の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】空間コヒーレンシーの高い光源を用いたケーラー照明系を実現する上で好適な光学構成を提供すること。
【解決手段】マスクのパターンを検査するパターン検査装置において、レーザ光を発生するレーザ発生装置と、パターンを有するマスクと、レーザ発生装置とマスクの間の光路に配置され、レーザ光を拡大して平行光束の光路を形成するエキスパンダ光学系と、平行光束の光路に配置され、光路を２つの光路に分けるビームスプリッタ光学系と、一方の光路に配置され、マスクに透過光を照射する透過照明光学系と、他方の光路に配置され、マスクに反射光を照射する反射照明光学系と、マスクのパターン画像を受光する受光装置と、受光装置で受光したパターン画像と基準画像とを比較する比較部と、備える、パターン検査装置。 （もっと読む）

【課題】カラーマッチングが不十分又は不可能であることによる検出エラーを、特に暗視野画像においても実質的に減少できる装置及び方法を提供すること。
【解決手段】第１及び第２の照明モード、特に明視野及び暗視野照明でウエハ６の表面の一領域８を照明するための１以上の落射光照明装置２、２’、照明された領域８の画像を検出するための１以上の検出装置４、各落射光照明モードでの最適化された強度及び色の数値を記憶するための装置を備える検査装置及びその検査方法である。 （もっと読む）

【課題】基板に対する照明光の照射方向の切り替えを短時間で行うこと。
【解決手段】ホルダ本体１の略真上に配置された第１の照明系４に対してホルダ本体１の左右両側に第２の照明系として左側照明系７と右側照明系８とを配置する。 （もっと読む）

【課題】鏡面である対象面上の各位置における傾斜方向および傾斜角を容易かつ精度よく求める。
【解決手段】欠陥検出装置１では、点光源である光源部１１からの光束がビームスプリッタ１４１およびレンズ１４２を介して平行光として対象面９１に照射され、対象面９１からの反射光がピンホール板１５が位置する集光面に集光される。ピンホール板１５のピンホール１５１を透過した光は、レンズ１６を介して平行光とされてイメージセンサ１７へと導かれる。反射光は対象面９１の各位置の傾斜方向および傾斜角に応じた集光面上の位置に集光されるため、取得される画像では傾斜方向および傾斜角が同じ領域が明るくなる。したがって、ピンホール板１５をＸＹ移動機構２１により移動しつつイメージセンサ１７にて画像の取得を繰り返すことにより、対象面９１上の各位置の傾斜方向および傾斜角を求めることができる情報を容易かつ精度よく取得することができる。 （もっと読む）

【課題】光利用効率よく、精度の高い光学検査を行いうる光学検査装置を実現する。
【解決手段】被検体に検査光を照射し、被検体を透過した検査光もしくは被検体に反射された検査光を投射面に投射し、投射面上の光強度分布により被検体における欠陥を検査する装置であって、検査光としてレーザ光を用い、レーザ光を微小な光放射面から放射させ、光拡散部材によりコヒーレント性を低減させ、光拡散部材をレーザ光に対して変位させることにより、投射面におけるスペックルノイズを解消させる。 （もっと読む）

【課題】 一方で、例えば僅かに異なる立体角の下で塗装部を種々に眺めることによって
生じるそのような変化を分離することができるが、他方で、互いに著しくずれている角度
で観察することもできるようにする。
【解決手段】 少なくとも一つの所定の第一立体角にして検査すべき表面に放射する少な
くとも一つの第一照射装置と、輻射を位置分解して検出することができ、少なくとも一つ
の所定の第二立体角にして前記表面に対して配置されていて、前記表面に照射され、この
表面から戻って来る輻射を捕捉する少なくとも一つの第一検出装置と、を備えた、光表面
特性を検査する装置において、前記照射装置および／または前記検出装置を配置している
状態の少なくとも一つの立体角が可変できるようになっており、前記照射装置と前記検出
装置が少なくとも一部光反射特性を保有する一つの空間の中に配置されている、ことを特
徴とする装置。 （もっと読む）

【課題】円筒体を回転させること無く、より正確な検査を行うことができる円筒体外観検査方法を提供する。
【解決手段】基準となるワークの側面画像を円筒展開して曲面部分が平坦に展開された変換画像を取得する。ワークの回転と変換画像の取得を繰り返して変換画像を全周に渡って取得して合成し、ワーク全周の基準画像を形成する。検査対象のワークの側面画像に表示されたワーク像の正面部分を円筒展開して正面展開画像を生成し（Ｓ３）、正面展開画像と基準画像をパターンマッチングする（Ｓ４）。そのマッチングの度合いに基づいてワークの検査を実施する（Ｓ５）。 （もっと読む）

【課題】 製造ライン等において、複屈折特性を有する光学補償層が形成された被検査フィルムの光学的欠陥検査を簡易かつ容易に行うことができるフィルムの欠陥検査装置よおび方法を提供する。
【解決手段】 複屈折特性を有する光学補償層を有する被検査フィルムに、光を入射して、被検査フィルムを透過した透過光を測定することにより、被検査フィルムの光学的欠陥を検査に際し、被検査フィルムのフィルム面に投光する照明光源と、透過光を測定する受光手段との間に、被検査フィルムの光学補償層の複屈折特性を相殺する補正フィルムを設け、かつ、この補正フィルムが、被検査フィルムに対して、偏光子よりも内側に配置することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）