【課題】 被転写体へのパターン転写に影響の大きな主表面近傍の内部欠陥を含む、ガラス基板の全ての領域の内部欠陥を良好に検出できること。
【解決手段】 合成石英ガラス基板４の端面２に対し離間して設置され、導入面２８が平坦で鏡面研磨され、屈折率が上記ガラス基板と略同一である透光性を有する光導入補助部材２５と、上記ガラス基板の端面２と光導入補助部材との間に介在され、屈折率が上記ガラス基板と略同一な超純水２６と、光導入補助部材の導入面から、この光導入補助部材及び超純水を介し上記ガラス基板内へ、波長が２００ｎｍ以下の短波長光を導入するレーザー照射装置２１と、この短波長光により上記ガラス基板の内部欠陥１６が発する、上記短波長光よりも長い波長の光１５、１７を受光するＣＣＤカメラ２３と、このＣＣＤカメラが受光した光の光量に基づき、上記ガラス基板の内部欠陥を検出するコンピューター２７とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】 板状体の表面粗さにかかわらず内部の欠陥をより正確に検査することを可能にする欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】 板状体１２に存在する欠陥部を検出する欠陥検出方法は、透明または半透明の板状体１２に投光装置１５から光を照射し、光が透過した板状体１２を、板状体１２を間に挟んで投光装置１５に対向配置した撮像装置１３によって撮像することを含む。投光装置１５と板状体１２との間に、光透過率が５０％以上９０％未満の拡散板１６を配置する。 （もっと読む）

【課題】
単色でも輝度ムラを起こすことなく高輝度が得られ、混色した場合にも色ムラのない均一照明光を出射できるようにする。
【解決手段】
平面側を発光面（５）とする透明導光板（６Ｒ、６Ｇ、６Ｂ）を積層して正面を発光面（２）とする透明導光体（Ｂ）を形成し、各色ＬＥＤ（４Ｒ、４Ｇ、４Ｂ）を前記導光板（６Ｒ、６Ｇ、６Ｂ）の側面に所定ピッチで装着し、ＬＥＤ（４Ｒ、４Ｇ、４Ｂ）を各色ごとに点灯／消灯／調光することにより、任意の色の照明光を照射できるようにした。 （もっと読む）

【課題】簡潔な構成で撮像位置による明るさ変動を減少し欠陥を的確に検出できる検査装置を得る。
【解決手段】検査対象の内周面に照明光を伝達する導光部材５と、検査対象の内周面に沿って検査対象と相対的に移動できるように配設される画像伝達部材２と、検査対象の内周面から画像伝達部材２を介して伝達される光により検査対象の内周面を撮像する撮像手段３と、撮像手段３によって撮像された複数の画像により欠陥を検出する欠陥検出手段１０とを備え、検査対象の内周面から画像伝達部材２へ向かう光以外の少なくとも一部の光を吸収する減反射板８を設けた。 （もっと読む）

【課題】被検体表面の微細な凹凸を精度良く、かつ、広範囲にわたって高速に検出可能なレンズユニット、このレンズユニットを用いた形状検出装置、形状検出方法およびシートの製造方法を提供すること。
【解決手段】光分離手段に直線偏光を入射させて、光路が互いに平行でかつ進行方向に対して直交する第１の方向にずれた位置にある互いに直交する振動方向を有する２つの直線偏光を生成する。これらを被検体表面に照射し、反射光を合成して１つの光線をなす。この光線を検光子で直線偏光を生成し、ラインセンサカメラで受光して、被検体表面の形状を検出する。 （もっと読む）

本発明は、航空機の構造体パネル（５）の表面の形状の異常箇所（６）を測定する方法に関するものであり、その方法は、その構造体パネル（５）の表面のその異常箇所（６）の箇所に目標となる模様を投影し、投影したこの目標模様の少なくとも二つの画像を取得し、そのような二つの画像を立体的相関関係で処理して、異常箇所の測定を行なうというものである。本発明は、また、その方法を実行するためのシステムにも関するものであり、そのシステムは、その構造体パネル（５）の表面の異常箇所（６）の箇所に目標模様を投影するのに適した投影装置（３）と、その目標模様の画像一つをそれぞれ撮影するのに適した少なくとも二つの撮影装置（２ａ，２ｂ）と、その目標模様のそのような画像を処理する手段とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】被検査物が円筒状をなす場合、その内周面も容易に検査でき、被検査物の表面が平面である場合には、一回の移動で検査できる領域を広くとることができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物１へ検査光を投光する投光ファイバー３と被検査物１からの反射光を受光する受光ファイバー４ａ，４ｂがファイバー保持筒５に内装され、受光ファイバー４ａ，４ｂが受光する反射光の検出量の大きさを判断して被検査物１の表面の傷，異物等を検出する表面検査装置であり、検査光と反射光をファイバー保持筒５の軸心５Ｃに対して、例えば直角に光路を変更する光路変更手段ＬＡと、検査光を被検査物１へ集光し、かつ、反射光を受光ファイバー４ａ，４ｂへ集光する集光手段ＬＣとを、ファイバー保持筒５の投光及び受光部の前方に設け、少なくとも光路変更手段ＬＡを軸心５Ｃの周りに回転させる回転手段ＲＭを設ける。 （もっと読む）

【課題】照明装置の部品点数、部品コスト、組立時間及び組立コストを低減すること。
【解決手段】平面的に配列された光源により放出される収束光線を実現する装置及び方法を提供する。１つの実施例では、半導体又は他の物体を検査する画像装置を提供する。前記画像装置は、物体から反射された光の像を写す１又は２以上のレンズを含む。前記画像装置は、平面的な回路基板に取り付けられた第１光源と、前記回路基板に取り付けられた第２光源とを含む。前記画像装置は、前記第１光源からの光を第１方向から前記物体に向ける第１フレネルプリズムと、前記第２光源からの光を第２方向から前記物体に向ける第２フレネルプリズムとを含む。１つの実施例では、前記画像装置は、前記光の発散を増加させ又は減少させる１又は２以上の光学素子を含む。 （もっと読む）

【課題】シリコンウエーハの終端縁部あるいは終端縁部に設けられるノッチなどの立体的な鏡面状の表面の欠陥検査を行う表面欠陥検査装置の場合、精密な画像を得ようとすると、多数台の撮像カメラが必要となる。本発明は、シリコンウエーハの終端縁部あるいは終端縁部に設けられたノッチ部のような立体的な部位の撮像検査において、装置の構成を簡単化するとともに、装置にかかる費用の削減を図ることを目的とする。
【解決手段】 検査対象物を撮像する１台の撮像手段と、ドーム状の形状に形成され、その略頂部に前記撮像手段の観測用窓を設けた第１の拡散光照明手段と、前記撮像手段の光学系の光軸と同軸に照射する第２の拡散光照明手段と、撮像手段と正対しない撮像対象部位を撮像する光路屈折手段と、前記撮像手段の撮像データを演算処理する画像処理手段とから構成され、立体的形状の検査対象物の複数の部位を１台の撮像手段で同時に撮像する。 （もっと読む）

【課題】少ないＬＥＤで必要な領域に光を効率良く照射することができるＬＥＤ照明装置を提供すること。
【解決手段】ＬＥＤ照明装置１０は、光軸が照明装置の中心軸方向に傾斜して配置された複数のＬＥＤ１５と、ＬＥＤの前面に配置され、ＬＥＤの中心からレンズの中心へ延びる軸が照明装置の中心軸側に傾斜しているレンズとを備える。レンズの表面等に光拡散手段１４を備えてもよい。更に、円錐形の側面形状のプリント配線基板に複数の表面実装型ＬＥＤを装着してもよい。従来よりも必要な領域に光を効率良く照射することができるので、従来と同じＬＥＤを使用した場合には従来よりも照度が上がり、また従来より少ないＬＥＤでも従来と同じ照度が得られ、発熱も減少する。 （もっと読む）

【課題】 検査対象物で反射した光を検出することにより刻印文字を検査する場合に、刻印文字の部位にかかわらず確実に検出することができる刻印文字の検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】 投光手段６から出射する光の進行と共に方位角度が回転する円偏光を車体番号の文字が刻印されたフレーム１に照射して反射させ、この反射光のうち、文字の刻印されていない部分で正反射することにより偏光状態が保持された円偏光は偏光板１５で遮断し、文字が刻印されることにより表面が改質した部分で反射することにより部分偏光状態となった光の大部分は偏光板１５で透過させて、この透過光の強度を測定し、この測定された透過光の強度に基づいて、刻印された文字を認識し、この認識された文字と制御装置９に設定された文字とを比較することにより、設定された文字がフレーム１に正確に刻印されていることを検査する。 （もっと読む）

【課題】照明環境を動的かつ自動的に生成し、画像処理に最適な画像を得られるように構成した、いわばインテリジェント光照射装置とでも言うべき画像処理用光照射装置を提供する。
【解決手段】前記所定領域に、照射方向、照射立体角度、照射強度、照射範囲、スペクトル分布からなる光照射条件のうちの少なくとも１つを変更可能に光Ｌ１を照射するとともに、前記所定領域の全部又は一部における光照射状態を検出し、その光照射状態を参照しつつ、前記所定領域が変更される都度、前記画像処理装置による画像処理に先だって前記光照射条件のうちの少なくともいずれか１つを調整して、その画像処理目的に応じた光照射条件を設定する画像処理用光照射装置Ａ４とした。 （もっと読む）

【課題】ホログラムを備えた被検査物の真偽のための検査を迅速かつ確実に行えるものでありながら、コスト面において有利な検査器を提供する。
【解決手段】光を照射するための光源４と、この光源４からの光を下方に位置する被検査物に備えたホログラムに照射し、かつ、該ホログラムからの異なる方向の反射光を取り込んで同一方向又はほぼ同一方向となる上方へ屈折させるための反射型プリズム７とをケース３に備えた。 （もっと読む）

【課題】照明光を短波長化しなくても、確実に繰り返しピッチの微細化に対応できる表面検査装置および表面検査方法を提供する。
【解決手段】本発明の表面検査装置は、被検査基板を照明するための直線偏光の発散光束を射出する光源手段と、前記直線偏光の発散光束を該光束の主光線が所定の入射角を有するように入射して前記被検査基板に導く光学部材と、前記検査基板からの光束のうち前記直線偏光とは偏光方向が直交する直線偏光を受光する受光手段と、前記光源手段と前記受光手段との間の光路中に配置され、前記光学部材に起因して発生する偏光面の乱れを解消する少なくとも１つの偏光補正部材と、を有し、前記受光手段で受光した光に基づいて前記被検査基板の表面の検査を行う。 （もっと読む）

【課題】
サーモリフレクタンス法による高速検査可能な測定装置及び方法の提供。
【解決手段】
ニポウディスク１２０を有する共焦点光学系を備え、共焦点光学系を介して被検査対象のサンプルの複数の箇所に、検査用と加熱用レーザ光を照射し、被検査対象のサンプルからの複数の箇所からの反射光に基づき複数の箇所の熱物性情報を同時に取得する。 （もっと読む）

【課題】 基板の欠陥を、簡便かつ高い精度で検知する。
【解決手段】 基板１の表面を検査する表面検査装置１００であって、暗部と明部とを交互に平行に配列させたストライプパターンを、被検査面１ａに照射するパターン照射部３と、検知しようとする欠陥の高さと比べて浅い被写体深度で、ストライプパターンが形成された被検査面１ａの画像を撮像する撮像部４と、撮像部４により撮像された画像における暗部の像の消失を検知することにより、被検査面上の欠陥を検知する欠陥検知部６とを備える。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハの表面の異常を検出するためのシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】表面の検査を高い感度で高い処理能力で行うシステムに焦点合わせさせられた光ビームを検査されるべき表面に全反射の角度で向ける。前記ビームと前記表面間に前記ビームが前記表面の全てを実質的にカバーし、通路で散乱させられた光が異常検出のために集められるような相対運動が惹起させられる。前記走査の通路はまっすぐな走査通路区分の複数のアレイから構成されている。前記焦点合わせされた光ビームは幅が５〜１５ミクロンの範囲で前記表面領域を照明し、このシステムは、１５０ｍｍ直径のウェーハ（６インチウェーハ）を毎時４０ウェーハ以上、２００ｍｍ直径のウェーハ（８インチウェーハ）を毎時２０ウェーハ以上、３００ｍｍ直径のウェーハ（１２インチウェーハ）を毎時１０ウェーハ以上の検査が可能である。 （もっと読む）

【課題】リフレクタ部材とＬＥＤとを正確に位置決めでき、しかも組み立てが簡単でがたつきも生じず、部品点数も少ないライン光照射装置を提供する。
【解決手段】
ケーシング２と、長尺基板３１に複数のＬＥＤ３２を１又は複数列に搭載してなる発光ユニット３と、ケーシング２の側板２１に支持されて発光ユニット３の左右に配置した一対のリフレクタ部材４とを備えたものであって、前記各リフレクタ部材４が発光ユニット３を、左右方向については、当該発光ユニット３の発光中心から左右に等しい位置に設けた各外向き面を、両側から直接的又は間接的に狭圧し、縦方向については、ケーシング２の底板２２に直接的又は間接的に押しつけることにより、固定するようにした。 （もっと読む）

【目的】 従来技術では、干渉ノイズを低減化するため、照明光学系内に多くの時間的、空間的均一化のための手段を設けたため、光学系の光損失が増大し、過大な照明光源出力が要求されるに至った。そこで、光学系の光損失を従来より低く抑えながら干渉ノイズを低減化することを目的とする。
【構成】 コヒーレント光を照射する可干渉光源１０２と、反射面の形状を変化させ、前記可干渉光源１０２から照射されたコヒーレント光１０１を反射する反射ミラー１０６と、前記反射ミラー１０６により反射され、被検査試料となる基板１１０に照射されたコヒーレント光を受光するカメラ１１４と、を備えたことを特徴とする。そして、前記反射ミラーは、ランダムに反射面の形状を変化させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光路の光軸に対して光学部材が傾斜して挿入される場合でも、撮像視野内での位置と被検物体上の位置とを関係を維持できる検査装置を提供する。
【解決手段】被検査基板２０を照明する照明手段Ｌｓと、被検基板からの光を集光し、被検基板の像を結像する結像手段３７と、結像された像を撮像する撮像手段３９と、被検基板から撮像手段に至る光路中に設けられ、通過する光束の光軸に対して入射面が傾斜して配置される光学板部材３８と、光学板部材を前記光路から出し入れする移動手段４１と、移動手段により、光学板部材が光路中にある時とない時とで、撮像手段による撮像範囲内での被検基板の像の位置に対して異なる補正を行う補正手段とを備える。 （もっと読む）