【課題】欠陥検出の感度を高めると同時に、誤検出を低減して欠陥検出の精度を高める。
【解決手段】暗視野光学系２は、被検査物である透明基板１の暗視野像を得る。処理部５は、暗視野光学系２により得られた暗視野像に基づいて、透明基板１の表面における欠陥の候補を検出する。微分干渉光学系３は、処理部５により検出された欠陥の候補を含む透明基板１の微分干渉像を得る。処理部５は、微分干渉光学系３により得られた微分干渉像に基づいて、前記欠陥の候補がその周囲に対して凹をなすか凸をなすかを判定し、当該候補が凹をなすと判定すると当該候補を欠陥であるとし、当該候補が凹をなさないと判定すると当該候補は欠陥ではないとする。 （もっと読む）

【課題】干渉縞の発生を大幅に抑制することができる光学系、パターン検査装置、パターンの検査方法、パターンを有する物品の製造方法を提供する。
【解決手段】入射する光を複数のビームに分割するインテグレータユニットと、前記インテグレータユニットを光軸の回りに回動させる第１の駆動手段と、前記インテグレータユニットの出射側に設けられ、互いに光路長が異なる複数の凹部を有する回転位相板と、前記回転位相板を回転させる第２の駆動手段と、を備えたことを特徴とする光学系が提供される。 （もっと読む）

【課題】外観検査用照明装置及び外観検査装置において、収束光を用いて高精度な外観検査を実現すると共に、装置の小型化を図る。
【解決手段】被検査基板２１に対し照明光を照射する外観検査用照明装置１０において、散乱光ＳＬを発する面光源１１と、この面光源１１より発せれた散乱光ＳＬから略平行光ＰＬを抽出する平行光抽出部材１２と、この平行光抽出部材１２より抽出された略平行光ＰＬを集光する集光レンズ１３と、を備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】高解像度で微細構造物の欠陥を検査できるようにする。
【解決手段】この欠陥検査装置は、光ビームを互いに特性の異なるＰ偏光ビームＰ１とＳ偏光ビームＳ１とに分岐すると共に、これら偏光ビームを互いに走査幅分の間隔で離隔する態様で、検査対象面９ａに照射させる第１及び第２の偏光ビームスプリッタ３、６と、検査対象面９ａ上を各偏光ビームＰ１、Ｓ１で走査する偏向走査手段２と、偏向走査手段２とＸＹステージとの駆動を制御して、検査対象面９ａ上を偏向走査手段２に各偏光ビームＰ１、Ｓ１で順次走査させ、全体として２重走査させる走査制御回路１０と、検査対象面９ａから反射する２種の反射光Ｐ２、Ｓ２を受光して電気信号に変換し、検出信号を生成する光電変換器１２、１３とを備え、光電変換器１２、１３から出力される検出信号を用いて、検査対象面を写すＰ偏光反射画像とＳ偏光反射画像とを取得して、微細構造物の欠陥の有無を検査する。 （もっと読む）

【課題】
従来技術の欠陥の検出方法では、欠陥と汚れの区別が困難であり、汚れと欠陥とを容易に区別することができる欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】
透明板状体を照明して透明板状体の欠陥を検出する欠陥検出方法において、該透明板状体の裏面に照明光を散乱させるローラー状の散乱手段を設け、散乱手段を照明して照明光を散乱させ、透明板状体中を全反射して照明光を伝搬させる。この全反射して透明板状体の中を伝搬する照明光が透明板状体の欠陥を照明し、欠陥によって散乱する光を検出する。 （もっと読む）

【課題】高いパターン欠陥検出精度を有する表面検査装置を提供すること。
【解決手段】被検査基板１４に所定の方向に偏光された光を照射する照明光源装置１１と、前記被検査基板で反射された光により、前記被検査基板の表面像を検出する撮像素子１９と、前記撮像素子の光入射側に配置され前記所定の方向と略直交する方向の偏光を透過する検光子１７と、前記照明光源装置と前記検光子との間に配置された反射鏡１３、１５とを有し、前記反射鏡の有効光束に対するＦナンバーが４．５以上である表面検査装置１００。 （もっと読む）

【課題】液晶パネルなどの表示装置の欠陥評価を精度良く行うことができる表示欠陥評価装置を提供すること。
【解決手段】表示欠陥評価装置１は、ランプ１１と、ランプ１１の光を予め設定された比率で分離するビームスプリッタ１２と、分離された一方の光を検査用パネル２に入射するミラー１３と、疑似欠陥表示用パネル１５と、分離された他方の光を疑似欠陥表示用パネル１５に入射するミラー１４と、各パネル２，１５から出射された光を合成するプリズム１６と、プリズム１６から出射された光を投影する投影レンズ１７と、制御装置１８を備える。制御装置１８は、各パネル２，１５を制御するパネル制御手段１８１と、検査用パネルの欠陥候補の透過率を検査用パネル２の透過率と疑似欠陥表示用パネル１５の疑似欠陥２２の透過率とから求める透過率算出手段１８２と、前記欠陥候補の透過率に基づいて欠陥候補の欠陥を判定する欠陥判定手段１８３とを備える。 （もっと読む）

【課題】撮像手段の数を少なくしながらも、高精度に検出することができる外観検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象物（Ｃ）の外観を検査する外観検査装置において、
検査対象物（Ｃ）を特定方向から見たときの主検査面を撮像するように設置された撮像手段（３）と、該検査対象物（Ｃ）を前記特定方向とは異なる方向から見たときの副検査面の画像を前記撮像手段（３）に取り込むように該副検査面からの光の方向を変更する変更手段（４，５，６，７）とを備え、検査対象物（Ｃ）の副検査面から撮像手段（３）までの第１光路の光路長に検査対象物（Ｃ）の主検査面から該撮像手段（３）までの第２光路の光路長を合わせるために、該第２光路を冗長させる光路冗長手段（１０，１２）を備えた。 （もっと読む）

【解決手段】 判定手段６は、カメラ５で撮影した４０００回の画像のデータに基づいて、タイヤ２の内面２Ａ全体についての三次元の基本画像８を作成する。
判定手段６の第１演算部６Ｂは、上記基本画像８を基にしてノイズを除去したタイヤ２の内面２の輪郭線１１の画像（Ｇ１）を求める。
次に、判定手段６の第２演算部は、上記基本画像８を基にして、ノイズと不良部分を除去した輪郭線１１だけの画像（Ｇ２）を求める。
次に、比較部６Ｄは上記Ｇ１とＧ２とを比較して、不良部分を強調した画像（Ｇ３）を求める。判定部６Ｆは、上記不良部分を強調した画像（Ｇ３）を基にしてタイヤ２の内面２Ａの外観の良否を判定する。
【効果】 タイヤ２の内面２Ａの外観の良否を正確に判定することができる。 （もっと読む）

少なくとも部分的に正反射性の挙動を示し、露光領域内に位置する対象物（２）の構造細部の反射による観察のための装置であって、放射線の流れを放射する少なくとも２つの別個の領域（２６、２７）を有する放射面（６）を伴い、少なくとも１つの特性が１つの領域と隣の領域とで異なる少なくとも１つの放射線源と、露光領域に対して放射線源と一直線を成して放射線の経路に位置する光学投影系と、光学投影系の入口絞り（１４）と放射面（６）とを光学的にリンクさせるようになっている光学露光系（１８）と、露光領域内の対象物と光学的にリンクされるとともに、その受けられる放射線が対象物（２）における偏向に依存する投影面（１０）とを含む装置。 （もっと読む）

【課題】従来の検査装置では、光透過性の基板の表裏面の区別と、付着物と傷との区別が困難であるという課題がある。
【解決手段】照明装置１３からの光を第２屈折部材１６および第１屈折部材１５で屈折させて照明装置１３の法線方向の光量を激減させた光を作成し、この光を基板１２に照射および透過させた後に撮像装置１４で撮像することで、光透過性の基板１２の表裏面の区別と、付着物と傷との区別を行うことが可能な検査を行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ノズルのストロークを稼ぎつつ、ノズルの伸縮がスムーズに行われるようにする。
【解決手段】ノズル２から圧延ロール５０の表面に水を吐出し、ノズル２の先端部と圧延ロール５０との間に水柱１０１を形成して、その水柱１０１を介して圧延ロール５０の表面を撮像して観察するためのノズル装置１００において、水が供給されるボディ１と、ボディ１から二段階のテレスコープ式に伸縮するノズル２と、ノズル２を縮ませる方向に付勢力を付与するスプリング４、６とを備え、ボディ１内の水圧によりノズル２がスプリング４、６の付勢力に抗して伸びる構成にした。この場合に、内側ノズル２２の後端にドーナツ状の円板材２８を接着等により固定し、両ノズル２１、２２の前進開始が略同タイミングとなるように調整する。 （もっと読む）

【課題】面照明とルーバー層からなる照明手段の使用により所定の角度を持った平行光源を多数形成できると共に、撮像手段のフォーカス位置を最適に設定し、レンズの外観上の欠陥を撮像手段で精度良く撮像して検査の自動化を図ることが可能なレンズ欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象レンズの製造時に発生する傷、割れ、異物、気泡等の欠陥を検査するレンズ欠陥検査装置であって、面照明及び該面照明から照射される光を多数の平行光源とするルーバー層からなる照明手段と、該照明手段から照射されて検査対象レンズを透過した光を撮像する撮像手段と、該撮像手段の検査対象レンズに対するフォーカス位置を調整しつつ撮像データを処理して検査対象レンズの良否を判定する制御手段と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】偏光素子の劣化を監視して検査精度の低下を把握することが出来る検査装置を提供すること。
【解決手段】光源から照射された光によって被検査物（半導体ウェハ１０）から生じる光を検出する検出部（撮像素子３５）と、前記光源から前記検出部に至る光路（照明光学系２０、受光光学系３０）中に配置された偏光素子２３，３３と、これら偏光素子２３，３３の基準となる基準偏光素子との比較に基づいて偏光素子２３，３３の劣化度を監視するモニター部５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】散乱方位角別の散乱光強度分布情報が得られ、かつ、高感度で異物・欠陥を検出可能な表面検査装置を実現する。
【解決手段】回転放物面の一部分を反射面とする集光用凹面鏡１６１と回転放物面の一部分を反射面とする結像用凹面鏡１６３とを使用し広い立体角に対応可能とする。反射鏡である集光用凹面鏡１６１及び結像用凹面鏡１６３を使用し、レンズ周囲を挟み込んで保持するような支持体は不要で有効開口面積が小となることは無い。反射鏡からなる方位別検出光学系１６０を複数個設け特別なレンズ研磨加工することなく全集を隙間無く埋め尽くし全方位の反射光を検出できる。散乱回折・反射光信号統合部２００は複数の方位別検出光学系１６０のうち予め指定された散乱方位に対応する方位別検出光学系１６０からのデジタルデータを合算し、Ｓ／Ｎ比を向上することが可能である。 （もっと読む）

実施形態において、表面検査システムは、線形偏光子（１０５）およびアポクロマート抑制装置（１０７）のうちの少なくとも１つを含む偏光制御アセンブリ（１０３）、開口制御機構（１０９）、およびビームスプリッタ（１１３）、を含み、対象の表面上へ放射線を指向する放射線指向アセンブリと、線形偏光子（１１９）およびアポクロマート抑制装置（１２１）のうちの少なくとも１つを含む偏光制御アセンブリ（１１７）、開口制御機構（１２３）、および少なくとも１つの放射線検出装置（１２７）、を含み、前記対象の前記表面から反射する放射線を収集する放射線収集アセンブリと、を含む。 （もっと読む）

【課題】高い指向性を有する照明光束を物体に照射することができる照明装置を実現する。
【解決手段】照明装置は、幅Ｐを有する発光領域１１から発光する光源１０と、該光源からの発散光束が入射する入射面を有し、該入射面からの光束を物体に向けて照射する光学部材２とを有する。入射面のうち発光領域の中心からの距離ｄが最も短い入射点から発光領域の幅方向両端を見込む角度θが、以下の条件を満足する。θ＝２tan^−１{(Ｐ／２)／ｄ}≦α。但し、αは入射面の幅をＤとしたときの光学部材から射出する光束の開き角度で、α＝２tan^−１{(Ｄ／２)／ｂ}である。また、ｂは入射面から、光学部材の焦点距離ｆに応じた発光領域の像位置までの距離で、光学部材のパワーを１／ｆとしたときに、ｂ＝１／｛（１／ｆ）−（１／ｄ）｝である。 （もっと読む）

【課題】カラーハイライト照明で検出が難しいはんだの急峻な面や平坦面を判別できるようにするとともに、はんだ以外の部位を白色照明下で撮像できるようにする。
【解決手段】基板Ｓの上方に、カラーカメラ１Ａと赤外線カメラ１Ｂとを各受光面が基板面に対向するように配備する。またカメラ１Ａ，１Ｂと基板Ｓとの間には、赤、緑、青の各可視光をそれぞれ異なる方向から照射する第１照明部２Ａと、カメラ１Ａの光軸１１に沿って赤外光を照射する第２照明部２Ｂとを設ける。カメラ１Ａでは、第１照明部２Ａからの光に対する基板Ｓからの反射光の入射によるカラー画像を生成し、カメラ１Ｂは、赤外光に対する反射光の入射による濃淡画像を生成する。フィレット以外の部位を検査する場合には、カラー画像の対応箇所の画像を処理し、フィレット検査の際には、カラー画像および濃淡画像を用いて５段階の傾斜レベルに相当する部位を特定する。 （もっと読む）

【課題】
光学的手法を用いて、被検査体面の長手方向に生じる微小凹凸状欠点を精度良く検出することを可能とする検査装置を提供すること。
【解決手段】
被検査体である連続走行しているシート状物の一面に高指向性の光照射手段、他面に受光手段を、光照射手段からの照射軸と受光手段の受光軸が被検査体で一致するように配設し、受光手段の開口角を光照射手段からの照射軸と受光手段の受光軸との角度θの２倍より小さくすることにより、受光手段で受光した透過光に基づいて、被検査体表面に存在する微小凹凸欠点を高精度に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】拡散板の大きさを適当な大きさとした照明用アダプタを提供する。
【解決手段】光源と被照明物体との間に挿入して用いられる照明用アダプタであって、拡散板１と開口絞り２とを有し、拡散板１の半径をＡ、厚さをｈ、減衰係数をα、前記開口絞りの半径をＢとしたとき、
【数１】


の条件を満たすことを特徴とする照明用アダプタ。 （もっと読む）