【課題】サファイアインゴット等被測定物全体の散乱体の分布を短時間で測定できる光散乱観察装置を提供する。
【解決手段】被測定物５へレーザ光源１からのレーザ光線を照射し、被測定物から出射されるレーザ光線をＣＣＤカメラ６で撮影して被測定物内に存在する散乱体を観察する光散乱観察装置であって、レーザ光源と被測定物との間の光路上に、直線偏光の方位を回転させる２分の１波長板２と、第１のガルバノミラー３および第２のガルバノミラー４が配置されると共に、２分の１波長板を透過したレーザ光線が第１のガルバノミラーおよび第２のガルバノミラーにより反射されて２次元走査され、被測定物の全体に照射されるようになっていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】レーザ光線の入射時における境界面の散乱損失について煩雑な作業を必要とせずに簡便に減少できる光散乱観察方法を提供する。
【解決手段】エピタキシャル成長用基板に適用される単結晶ウェハー１の側面にレーザ光線を照射しかつ単結晶ウェハーから出射されるレーザ光線を顕微鏡を介しＣＣＤカメラで受光して単結晶ウェハーの結晶欠陥により生ずる散乱像を観察する光散乱観察方法であって、単結晶ウェハーのレーザ光線が照射される部位に上記単結晶の屈折率と同一若しくは近似の屈折率を有する光硬化型光学接着剤を塗布する共に、この接着剤を硬化させてレーザ光線の入射時における境界面の散乱損失を防止する樹脂被膜２を形成し、かつ、この樹脂被膜を介し単結晶ウェハーの側面にレーザ光線を照射して上記散乱像を観察することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電線端末部に露出させた芯線に素線の欠損があるかないかを確実に検査できる電線端末部の芯線検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の芯線検査装置１００は、左右方向に延びつつ前後方向に移動する電線１の芯線２に向けて、上下方向、斜め前方向および斜め後方向にそれぞれレーザー光を照射する第１の装置本体１０と、前後方向にレーザー光を照射する第２の装置本体３０とを備える。これにより、複数の方向から芯線を検査することができるから、芯線に素線の欠損があるかないかを確実に検査することができる。 （もっと読む）

【課題】凸部が表面に形成されたフィルムを巻いて形成されるロール状体について、隣接するフィルム間のギャップを検査員の主観を排除して計測する。
【解決手段】計測対象２（ロール状体）に照射光を当てる照明光源８と、上記照射光により生成され、計測対象２の端面から出射する出射光により形成される原画像を取得する画像センサ１０と、上記原画像において生じる、上記フィルムと、隣接するフィルム同士のギャップとのコントラスト差に基づき、上記ギャップを計測するＰＣ１２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 シート状物等、搬送される被検体の凹凸状欠点を精度良く自動検出可能な欠点検査方法および欠点検査装置を提供する。
【解決手段】
搬送される被検体の表面に投光部から光を一定の照射角度で照射するとともに該表面から反射される光を受光部で受光し、受光した光の強度に基づいて該被検体の欠点を検出する方法であって、前記投光部を被検体搬送方向における端部から所定幅遮光材で覆い、投光部の出力を一定にした場合に前記受光部で受光する被検体からの反射光の強度が投光部を遮光材で覆わないときに比べて低下するようにする。 （もっと読む）

【課題】 装置全体を小型化でき、かつ、被検物体への異物の付着も回避できる検査装置を提供する。
【解決手段】 被検物体１０Ａを支持する支持手段１１と、被検物体を照明して撮像する可動部(２Ａ,２Ｂ)を有し、該可動部を移動させて被検物体を走査する走査手段１２と、走査手段と被検物体との間に配置された透明な板状部材１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】高速な搬送装置と組み合わせても、その搬送過程で生じるバタツキやスキューといった変動に対して安定した検査を行う表面検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】複数の波長成分を含む光を回折型光学的変化素子１０２に照射する光源２０１と、回折型光学的変化素子１０２で回折された第１の波長の回折光および第２の波長の回折光を検知する光検知手段２０３と、光検知手段２０３の検出結果に基づいて、第１の波長の回折光および第２の波長の回折光の色の違いに関する評価値を計算する計算手段２０４とを備える。 （もっと読む）

【課題】様々な種類の被検査体の様々なピッチの繰り返しパターンに対しても、充分に欠陥を捉えることができること。
【解決手段】単位パターン５３が規則的に配列されてなる繰り返しパターン５１を表面に備えた被検査体５０の、上記繰り返しパターンに発生した欠陥を検査する欠陥検査装置１０であって、被検査体の検査領域を含む領域に、所望の入射角θｉから光を照射するための光源を有する光源装置１２と、該光源装置から光を照射した際に被検査体の検査面に対し垂直方向に発生する光を受光する受光光学系１４を有する観察装置１３とを有し、光源装置１２は、平行度が２°以内で、照度が３０００００Ｌｘ以上の光源が用いられたものである。 （もっと読む）

【課題】表面に透明薄膜が形成された基板等の試料において、透明薄膜の上面の微小な異物、キズ等の欠陥を高感度且つ高速に検査することができる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の欠陥検査装置によると、照明光学系は、試料の表面の法線に対して所定の入射角を有する検査用照明光を試料表面に照射し、試料表面にスリット状のビームスポットを生成する。試料の表面に対して所定の傾斜角にて傾斜した光軸を有する斜方検出系と試料の表面の法線に沿った光軸を有する上方検出系によって、ビームスポットからの光を検出する。斜方検出系と上方検出系の出力によって、試料の表面の透明薄膜上の欠陥を検出する。検査用照明光の入射角は、試料の表面の透明薄膜下面にて反射した反射光が透明薄膜上面にて全反射するときの入射角より僅かに小さい角度である。 （もっと読む）

【課題】同時型インクジェット印刷及び欠陥検査ためのシステムを提供する。
【解決手段】システムは、基板にインクを堆積させるように用いられる少なくとも１つの印刷ヘッドと、基板を走査するように用いられる少なくとも１つの画像デバイスと、印刷中に画像デバイスによって走査された画像データを受信し、処理された画像データを利用して基板上にいずれの印刷欠陥があるかどうかを確定し、基板の処理を示す制御信号を伝達するように用いられるコントローラを含む。画像デバイスは各印刷経路中に基板を走査するように用いられる。数多くの他の様態も開示されている。 （もっと読む）

【課題】円筒体等の被検査物の外周面の異常箇所を検査する外観検査装置において、装置構成を簡略化し、且つ、正確に異常箇所を検査することが可能で、しかも被検査物の取扱い、すなわち、入れ出しが容易な外観検査装置を提供すること。
【解決手段】円筒状、円柱状、略半円筒状、略半円柱状の被検査物Ｗ２の外周面の異常箇所を検査する外観検査装置において、前記被検査物の両端に配置された半円形状又は半リング形状の一対の照明手段２１０を有し、前記被検査物の長手方向中心上の所定の高さに撮像手段２２０を有し、円筒状及び円柱状の前記被検査物を回転させる機構を有することすることによって上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 磨耗しやすいローラの表面を適正に撮像する。
【解決手段】 ローラ３の表面に光を照射する光源７と、ローラ表面からの反射光を受光してローラ表面の画像を撮像するカメラ８とを具備した撮像装置において、ローラ表面の磨耗による変位を検出する変位検出センサ１８と、変位検出センサからの変位データに基づいてカメラ位置の補正量を演算し出力する制御部２０と、制御部からの出力によりカメラ位置を補正する位置補正機構とを具備する。シートの製造等に伴いローラの表面が磨耗しても、位置補正機構でカメラの位置を調整することができ、従ってカメラは十分な光量によってローラ表面の明確な画像を撮像することができ、例えば製造するシートの良否を正確に判定することができる。 （もっと読む）

【課題】 ローラに付着してシート上にしわや凹凸状の欠陥を発生させる異物を確実かつ容易に検出可能な異物検出装置及び異物検出方法を提供する。
【解決手段】 異物検出装置（１０）は、ローラ（３）に光を照射する光源（７）と、ローラ（３）からの反射光を受光して当該ローラ（３）の画像を撮像する撮像手段（８）と、撮像手段（８）により撮像された撮像画像の輝度の変化を輝度データとして抽出する輝度データ抽出手段（１３）と、前記撮像画像の輝度データが予め設定された閾値内か否かを判定し、その閾値外の場合にローラ（３）に付着した異物と判定する判定手段（１４）とを備える。 （もっと読む）

【課題】 回折光を確実に除去して表面欠陥の検査に必要なＳＮ比を確保できる表面欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】 被検面５ａを直線偏光によって照明する照明ユニット１０と、直線偏光によって照明されたときに被検面５ａから出射される散乱光のうち、直線偏光の振動面に垂直な偏光成分を受光する受光ユニット２０とを備える。また、受光ユニットは、直線偏光によって照明されたときに被検面から出射される正反射光の出射角をθｏ、正反射光の開口角をδθｏ、正反射光の光軸Ｃ３から受光ユニットの光軸Ｃ４を見込む角度をθｒ、受光ユニットの開口角をδθｒとして、条件式「δθｏ＜（θｒ−δθｒ）」「θｒ≦１０度」「θｏ≦６０度」を満足するように設定される。 （もっと読む）

【課題】高感度、かつ清浄度や異物の座標再現性などの点で性能低下がないウェハ表面検査装置を提供する。
【解決手段】検査テーブル６に載置したウェハ５の表面にレーザ投光部３からのレーザ光１１が入射するレーザ照射位置１０に、気体吹き付けユニット１から冷却気体９を吹き付けることによりウェハ５表面に存在する異物の温度上昇を防ぎ、異物の分解を抑制することによって、清浄度や異物の座標再現性などの点で性能低下がないウェハ表面検査装置が実現できる。 （もっと読む）

【課題】物品表面が劣化しても容易且つ高精度に真正を確認することのできる物品確認装置、物品確認方法及び物品確認プログラムの提供。
【解決手段】光源部２２により照明されたカード表面の所定領域を、カメラ２４により撮像して当該物品表面の再現不能な微細な特徴を含む特徴画像を示す画像情報を取得し、この画像情報を前記物品の特徴情報として外部記憶装置３４に記憶しておき、前記物品が真正であるか否かを判定する際に、ＣＰＵ１２により、当該物品表面の前記所定領域における前記画像情報を確認用情報としてカメラ２４により取得し、取得した前記確認用情報と外部記憶装置３４により記憶されている前記特徴情報とのパターンマッチングにより前記特徴画像が同一か否かを判定し、同一であると判定した場合に外部記憶装置３４により記憶されている前記特徴情報を前記確認用情報に更新する。 （もっと読む）

【課題】各次数の回折光が小さい角度で生じる場合、特定の次数の回折光を検出する方法によらず、被検査物の周期構造の欠陥を検出する装置を提供すること。
【解決手段】周期構造が形成された被検査物に、光源からの光を略平行光として照射する光照射手段と、該被検査物から生ずる回折光の画像を検出する画像検出手段を有し、該画像検出手段は、前記回折光の光強度の包絡線におけるメインローブあるいはサイドローブにおいて、回折光強度がピーク強度より低く、０より大きい値を示す回折角度で回折光を画像検出することを特徴とする周期構造の欠陥検出装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 検査対象物の外観検査作業をより効率的に行う。
【解決手段】 この発明に係る外観検査用容器３４は、概略椀型の形状をしており、具体的には下方に向かってドーム状に突出した底部６０と、この底部６０の周縁から上方に向かって真っ直ぐに延伸する円筒状の壁部６２と、から成る。そして、この容器３４は、光源ユニット２０の上面８２に設けられた円形の容器載置孔８４に載置される。さらに、当該容器３４内には、検査対象物であるコンタクトレンズ５０の乾燥を防ぐための液体７０が注入され、この液体７０が注入された容器３４内に、コンタクトレンズ５０が、その前面を下方に向けた状態で投入される。このように容器３４内に投入されたコンタクトレンズ５０は、重力に従って、おのずと当該容器３４の底部６２の中心Ｏに向かって収束する。そして、当該中心Ｏを基準とする一定位置に、セットされる。 （もっと読む）

【課題】 被転写体へのパターン転写に影響の大きな主表面近傍の内部欠陥を含む、ガラス基板の全ての領域の内部欠陥を良好に検出できること。
【解決手段】 合成石英ガラス基板４の端面２に対し離間して設置され、導入面２８が平坦で鏡面研磨され、屈折率が上記ガラス基板と略同一である透光性を有する光導入補助部材２５と、上記ガラス基板の端面２と光導入補助部材との間に介在され、屈折率が上記ガラス基板と略同一な超純水２６と、光導入補助部材の導入面から、この光導入補助部材及び超純水を介し上記ガラス基板内へ、波長が２００ｎｍ以下の短波長光を導入するレーザー照射装置２１と、この短波長光により上記ガラス基板の内部欠陥１６が発する、上記短波長光よりも長い波長の光１５、１７を受光するＣＣＤカメラ２３と、このＣＣＤカメラが受光した光の光量に基づき、上記ガラス基板の内部欠陥を検出するコンピューター２７とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】 従来の人の目視検査に代わり、実用レベルで自動で凹凸変形を検出できる検査方法と検査装置を提供する。
【解決手段】 断面所定幅のレーザ光を照射する照射部と該照射部からのレーザ光を受光しその光量を検出する受光部とを有するレーザ検出部と、該レーザ検出部により検出された光量からフランジ部の変形の有無を判断する凹凸変形検出処理部と、ワークを、そのフランジ部を天側に、該フランジ部の地側の面側で所定の水平面上で保持し、その注出部の筒方向中心線を軸として前記所定の水平面上で回転させながら、前記レーザ検出部に搬送供給し、且つ、該レーザ検出部から搬出する搬送部とを備えたもので、前記レーザ検出部は、ワークのフランジ部の天側の面部に沿いレーザ光を照射して、受光するものであり、また、前記凹凸変形検出処理部は、ワークのフランジ部の天側の面部の位置変化に伴う、レーザ光の受光量の変化から、凹凸変形欠陥の有無を検出するものである。 （もっと読む）