【課題】絶縁皮膜被覆帯状体の下層および上層の疵をそれぞれ区別して検出するに際して、従来と比べて簡略な構成により高い検出性能で検査する。
【解決手段】絶縁性不透明皮膜層および絶縁性透明皮膜層からなる絶縁皮膜被覆帯状体１の表面を照明し、撮像部２０で被覆帯状体１の表面を撮像して、疵を検査する。照明装置１０は、絶縁性透明皮膜層の略ブリュースター角で絶縁皮膜被覆帯状体１の幅方向に亘って照明し、撮像部２０は、略正反射角で反射光を撮像するもので、Ｐ偏光フィルターを介して撮像する第１の撮像装置２１と、Ｓ偏光フィルターを介して撮像する第２の撮像装置２２とを幅方向に配置する。さらに、第１の撮像装置２１と第２の撮像装置２２は、各撮像レンズの光軸を所定の距離だけ帯状体１の幅方向で互いに接近する向きにずらせて配置し、第１および第２の撮像装置２１、２２の撮像領域を一致させる。 （もっと読む）

【課題】時間とコストがかからない光学計測システムを提供する。
【解決手段】 光計測モデルを用いて半導体ウエハ上に形成されたパターニングされた構造を検査するシステムは、第１製造クラスタ、計測クラスタ、光計測モデル最適化装置、及びリアルタイムプロファイル推定装置を有する。 （もっと読む）

【課題】スループットへの影響を抑えつつ異なる種類の照明による画像を取得でき、かつ容易に構成可能な試料撮像装置及び照明方法を提供する。
【解決手段】試料撮像装置１を、奇数フィールドを成す画素信号と偶数フィールドを成す画素信号とが交互に受光部から取り出される撮像素子１５と、受光部から画素信号が取り出されるフィールドの切り替えに同期して試料表面を照明する照明光を切り替える照明光切替部２５と、を備えて構成する。 （もっと読む）

【課題】 物体表面の粗面として、入射光の波長より十分に大きい数十ミクロン程度の粗さを持ち、一定以上の面積を持つ粗面について、ミリメートル前後の局所的な不均一性を、高精度に、迅速に検出することができる表面状態検査装置及び表面状態検査方法を得ること。
【解決手段】 被検査対象の表面を照射するためのレーザー光源、及び該表面からの光回折像の一部を集光する光学系を有し、該表面の粗さの均一度を、該表面からの光回折像強度分布の変化から測定する検査装置において、入射光は所定の入射角度でＳ偏光で入射され、該法線から入射面内における所定の角度θ_Ｓの方向近傍への回折光を、開口数ＮＡの該光学系で集光し、光学系の近軸像面付近に設置された光束制限手段を介して、光強度検出器で光量変化を測定するときの角度θ_Ｓを適切に設定したこと。 （もっと読む）

【課題】 計測対象領域の横幅方向の全幅又はほぼ全幅にわたって粒状体の選別処理を適切に行うことが可能なように適正光量範囲を設定することを煩わしさの少ない状態で行うことが可能となる粒状体選別装置を提供する。
【解決手段】 粒状体群を横拡がり状態で計測対象領域Ｊを通過させ、計測対象領域Ｊからの光を受光する複数の受光部毎に受光する光の受光量が適正光量範囲から外れているか否かを判別して適正光量範囲から外れていると判別された粒状体を他の粒状体群とは異なる経路に分離させる粒状体選別装置において、複数の光量設定単位のうちの特定のものについての適正光量範囲を目標光量範囲調整用情報に基づいて求め、且つ、他の光量設定単位についての適正光量範囲を、粒状体判別処理を実行するに伴って得られる受光量が適正光量範囲から外れる判別頻度に基づいて、特定の光量設定単位における判別頻度と同じ又は略同じになるように自動的に変更調整して求める。 （もっと読む）

【課題】 短い時間で正確な欠陥検査ができる外観検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】 ステージ２に載置される検査対象部品３に対してＣＣＤカメラ１２により２次元画像を撮像し、この撮像画像に対し制御部１５により２次元画像処理して欠陥検査を行い、この欠陥と判定された部分に対して、さらに高さ情報を用いて欠陥の再判定を行う。 （もっと読む）

【課題】 錠剤やカプセルなどの被検物の正面および側面をラインセンサーを用いて同時に１つの撮像装置で検査できるようにする。
【解決手段】 被検物Ｊの右斜め後側面および左斜め前側面の像は、それぞれ左右の第１反射体３，４により反射されて被検物Ｊの上方向に位置するラインセンサー２上に結像させ、被検物Ｊの右斜め前側面および左斜め後側面の像は、それぞれ左右の第１反射体３，４および第２反射体５，６により反射されて被検物Ｊの上方向に位置するラインセンサー２上に結像させ、被検物Ｊの正面の像は直接ラインセンサー２上に結像させて撮像することができる。これにより被検物Ｊの正面および側面の５つの面の外観を同時に撮像することができる。 （もっと読む）

窓ガラスによって発生した一次像と二次像との間の逸脱角の決定方法を開示する。第１方法においては、窓ガラスを光源で照射し、画像取込装置を用いて、窓ガラスによって発生した光源の一次像と二次像を取り込む。一次像と二次像との間の距離を決定し、この距離から逸脱角を決定する。第２方法においては、一次像および二次像を、逸脱角を示す目盛りで表示したターゲット上に映す。逸脱角を、一次像と二次像の目盛りおよび位置から読み取る。この第２方法において、光源をターゲットの中心に設置する。両方の方法において、光源は少なくとも１個の発光ダイオードを備える。かかる方法を用いて窓ガラスのエッジ領域を検査するのが好ましい。
（もっと読む）

【課題】めねじ成形部品のめねじの成形良否を正確かつ迅速に判定することができるめねじ成形部品の良否判定装置の提供。
【解決手段】本発明は、少なくとも一端が開口する穴部壁面にめねじが形成されためねじ成形部品のめねじの成形良否を判定するものであり、照明手段４によりめねじ内部を照明して当該めねじを開口端側斜め上方から撮像手段５により撮影することによりめねじ開口端から複数リード分のねじ山の画像を撮像し、前記ねじ山の画像を明度に応じて二値化処理し、これにより得られた二値画像のねじ山を含むエリアにおける各数値の割合に応じてめねじ成形の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】平板形状の被検物体の端部の状態を精度よく検査する。
【解決手段】平板形状の被検物体１の端部を前記被検物体の表面あるいは裏面と平行な面に対して垂直方向位置から撮像する撮像手段４と、前記撮像手段により得られた画像と、予め記憶された参照画像とを比較することにより、前記端部の前記表面あるいは裏面に対して傾斜した部分の状態を検査する検査手段７とを備える。 （もっと読む）

【課題】平板形状の被検物体の端部の状態を精度よく検査する。
【解決手段】平板形状の被検物体１の端部に対して、前記被検物体の表面あるいは裏面の上方あるいは下方以外の位置から拡散光を照射する照明手段５と、前記端部を前記被検物体の表面あるいは裏面と平行な面に対して垂直方向位置から撮像する撮像手段４と、前記撮像手段により得られた像により、前記端部の前記表面あるいは裏面に対して傾斜した部分の状態を検査する検査手段７とを備える。 （もっと読む）

【課題】滑面における点状、線状又は面状の欠陥に関する完璧な光学的検査が可能となり、その場合のディメンションがサブミクロンの範囲となるような装置及び方法を提供すること。
【解決手段】テレセントリックレーザースキャナと、検出ユニットからなっており、前記テレセントリックレーザースキャナは、平滑面をほぼ垂直な方向で照明するためのレーザーと、走査ミラーと、照明及び検出ビームの案内のためのテレセントリック光学系とを有しており、前記検出ユニット）は、検出光学系と、前記検出光学系の近傍で同心的にテレセントリックレーザースキャナ方向に配置された中央絞りと、 平滑面上の欠陥箇所から発せられる散乱光の検出のための高感度光電子増倍管と、前記光電子増倍管）に前置接続されたスリット絞りとを有するように構成する。 （もっと読む）

ハニカム体における欠陥を検出するための装置および方法。動作時には、微粒子が、ハニカムの壁および／または栓に存在する欠陥を通ってハニカム体の出口端面に現れ、かつスクリーンのような透過性部材を通過し、そこで照明される。上記透過性部材は、上記出口端面に近接して、好ましくは接して配置される。この透過性部材の使用により、上記欠陥がより容易に検出されるように、信号対雑音比が改善される。透過性部材は反射防止表面を備えていることが好ましい。
（もっと読む）

【課題】基板と、該基板に配された構成部材と、を含み、該構成部材が配された側とは反対の側から該構成部材が基板を介して視認可能である検査対象物における基板の欠陥のみを確実に検出することができる欠陥検出方法等を提供する。
【課題手段】本発明は、検査対象物の基板面に対して構成部材が配された側とは反対の側から照射される照明光を、前記基板に入射した前記照明光が当該基板の前記基板面に対する臨界角近傍で反射されるような入射角で前記基板面に対して照射する工程と、前記基板面からの正反射光を撮像して得られた撮像画像又は当該撮像画像に対して所定の補正処理を行った後の撮像画像から前記欠陥を検出する工程と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＰＤＰを製造する際に、基板上の突起の検出を高精度に行うことができる欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】基板を載せるステージ２２と、そのステージ２２の上面に対して平行にレーザー光を照射するレーザー照射装置２３およびレーザー光を受光する受光装置２４を有する検出装置とを備えた欠陥検査装置２１を用い、基板上に誘電体層が形成されてなるＰＤＰ用基板２０をステージ２２上に載せて、レーザー照射装置２３からレーザー光を照射しながら、ＰＤＰ用基板２０がレーザー照射装置２３と受光装置２４との間を通過するように、少なくともＰＤＰ用基板２０または検出装置を移動させてレーザー光を受光装置２４で受光し、その受光による信号レベルの変化から突起の大きさを求めるステップ１と、前記突起の大きさを用いて良否判定を行うステップ２とを有する。 （もっと読む）

【課題】光沢度の異なるさまざまな被測定物について、人間の視覚特性に良好に対応した光沢むらの評価を行うことを可能にする。
【解決手段】画像評価装置は、プレ撮像を実行して（ステップＳ１）、被測定物の光沢度を推定する（ステップＳ２）。その後、推定した光沢度に基づいて撮像時間と入射角偏差を設定し（ステップＳ３、Ｓ４）、設定された条件で被撮像物を再度撮像する（ステップＳ５）。画像評価装置は、このようにして得られた画像信号から光沢むらを示す評価値（ＧＵ）を算出する。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置および方法において、簡素な手段によって縦筋ノイズを除去することができるようにする。
【解決手段】ライン照明ユニット３と、ラインセンサカメラ６と、それらと基板とを副走査方向に相対移動する基板保持移動ユニット４と、基板保持移動ユニット４の移動動作およびラインセンサカメラ６の撮像動作を制御することにより基板の２次元の走査画像を取得せしめる装置制御部１３と、走査画像の画像データを演算処理することにより縦筋ノイズを検出する縦筋ノイズ検出手段と、縦筋ノイズ検出手段が検出した縦筋ノイズを除去処理して補正画像を生成する縦筋ノイズ除去手段とを有する画像ノイズ処理部１５と、補正画像から欠陥抽出を行う欠陥抽出処理部１６を備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】 周期構造の欠陥を容易かつ迅速、確実に測定できる周期構造欠陥測定装置を提供すること。
【解決手段】 被検査物３の周期構造３−１のｘ方向、ｙ方向の並び方向から光源１からの光を照射し、前記被検査物３の周期構造３−１へ前記光が照射されたときの前記被検査物３の周期構造３−１のｘ方向、ｙ方向の並び方向からの反射回折光を光検出器４で同時に検出し、前記検出した反射回折光をもとに前記被検査物３の周期構造３−１の欠陥を画像処理装置により容易かつ迅速、確実に測定し判定する。 （もっと読む）

【課題】光学部品の汚れやくもりを検査者が見逃すことなく検査することができる光学部
品検査装置を提供する。
【解決手段】固定冶具６に反射ミラー３を固定して光源装置２からの光を検査冶具４に取
り付けた光学部品９の下面側に略４５度の入射角で照射すると共に、固定冶具６により光
学部品９の鉛直上方にカメラ装置５を固定して光学部品９を鉛直上方から撮影する。そし
て、カメラ装置５により撮影した画像をパソコン８のディスプレイ１６に表示することで
、検査者はディスプレイ１６に表示された画像を見て光学部品９に汚れやくもりが無いか
どうかの検査を行うようにした。 （もっと読む）

【課題】シート上に散布された紛体の目付分布、目付量を非接触でリアルタイム計測を可能とする、紛体の目付測定方法を提供する。
【解決手段】平面基材上に載置された紛体に光を照射し、前記紛体により散乱、回折もしくは反射された光または前記粉体からの蛍光発光の強度を測定し、この測定値と予め作成しておいた検量値と比較することにより粉体の目付を測定することを特徴とする紛体の目付測定方法。 （もっと読む）