本発明は、金属棒の表面傷の検出に伴う問題、さらに表面傷の非破壊検出のために、メタルフラット検査システムを金属棒に適用することに伴う問題の解決を指向する。前述の目的のために、計算ユニット、ライン光およびデータレートが高い線走査カメラで構成される特別設計の撮像システムが開発された。目標となる用途は、（１）断面積が任意の形状で均一である場合に、４．２５以下の周囲／断面積の比率を有し、（２）円形、楕円形または多角形の形状の断面を有し、（３）断面減少プロセスで機械的に製造される金属棒である。前記金属は、鋼、ステンレス鋼、アルミ、銅、青銅、チタン、ニッケルなど、および／またはその合金でよい。前記金属棒は、製造中の温度でよい。着脱式カセットが様々なミラーを含む。保護管が、移動する金属棒をライン光アセンブリおよび画像収集カメラから隔離する。汚染物質軽減機構が真空を適用して、空中浮遊の汚染物質を除去する。 （もっと読む）

【課題】基板上に設けられたクリームハンダ等に関する検査を行うに際し、より正確な検査を実現することの可能な基板の検査装置を提供する。
【解決手段】プリント基板３０に対し、第１リングライト１２により、入射角７４度で、４５０ｎｍを上回り５００ｎｍを下回る範囲にピーク波長をもつ青色光を照射する。また、情報領域を特定するために、入射角２０度で、第２リングライト１３により、５００ｎｍを上回り５９０ｎｍを下回る範囲にピーク波長をもつ緑色光を照射する。さらに、入射角０度で、第３リングライト１４により、６００ｎｍを上回り６８０ｎｍを下回る範囲にピーク波長をもつ赤色光を照射する。そして、プリント基板３０のほぼ真上に設けられたＣＣＤカメラ６により、各反射光に基づく撮像が行われ、各反射光に対応する複数の画像データに基づき、クリームハンダの領域を抽出する。その際、情報印刷領域を除外する。 （もっと読む）

【課題】刃の刃先を短時間で精度良く測定可能な刃先の検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】刃を保持する保持手段と、刃先を中心に刃を回転させる回転手段と、刃先を撮像する撮像手段と、撮像手段の光軸と同方向から照明を照射する照明手段とを用い、回転手段で刃を回転させつつ撮像手段で撮像し、刃の部位毎に、撮像画像が最も明るくなる回転手段の角度を求めて刃先の形状を測定することを特徴とする刃先の検査方法、および検査装置。 （もっと読む）

【課題】検査対象位置の軸方向および周方向に発生する亀裂およびその深さを容易かつ正確に検出できるレーザ照射装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るレーザ照射装置は、検査対象を検査計測する受信レーザ光Ｌ２を検査対象に照射させる第１光学素子１３と、超音波を励起させる送信レーザ光Ｌ１を検査対象に照射させる第２光学素子１４と、前記第１光学素子１３と前記第２光学素子１４を収容する光学系容器１２とを備え、前記第１光学素子１３の反射位置と前記第２光学素子１４の反射位置とを検査対象の周方向に沿って角度をつけて配置する。 （もっと読む）

【課題】撮影画像のコントラストを改善してチップ表面の凸部を容易に検出することを可能とする表面検査装置又は表面検査方法を提供する。
【解決手段】表面検査装置１に、光源からの光をライン状にしてステージ上に支持されたバンプ付きチップ２の表面に斜め一方向から光を照射するラインライトガイド５と、バンプ付きチップ２の表面の反射光を透過させるテレセントリック光学系７とを設け、テレセントリック光学系７によって結像された反射光によりバンプ付きチップ２の表面の凸部を検査する。 （もっと読む）

試料を検査する方法および装置を提供する。本装置は、第１照明源と、第１照明源から受け取った光エネルギを実質的に垂直な角度で前記試料に向かうように誘導する、中央掩蔽を提示する反射屈折対物レンズと、前記反射屈折対物レンズによって生じる前記中央掩蔽内に配置され、第２照明源からの追加照明を受け取って、前記試料に向けて追加照明の進路を変える、プリズムや反射面等の光学装置と、を含む。本方法は、第１照明源を用いて、前記試料の表面を各種の角度で照光することと、第２照明源を用いて前記表面を照光することとを含み、前記第２照明源による照光は、実質的に垂直な入射角度で行われ、また、反射、散乱、および回折されたすべてのリグを結像させることを更に含む。
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【課題】照明環境を動的かつ自動的に生成し、画像処理に最適な画像を得られるように構成した、いわばインテリジェント光照射装置とでも言うべき画像処理用光照射装置を提供する。
【解決手段】前記所定領域に、照射方向、照射立体角度、照射強度、照射範囲、スペクトル分布からなる光照射条件のうちの少なくとも１つを変更可能に光Ｌ１を照射するとともに、前記所定領域の全部又は一部における光照射状態を検出し、その光照射状態を参照しつつ、前記所定領域が変更される都度、前記画像処理装置による画像処理に先だって前記光照射条件のうちの少なくともいずれか１つを調整して、その画像処理目的に応じた光照射条件を設定する画像処理用光照射装置Ａ４とした。 （もっと読む）

【課題】キャリブレーションを要することなく、しかも、撮像系の欠陥に起因する測定ミスを防止して、正確な検出を行う方法と、この方法に利用する検出装置を提供すること。
【解決手段】樹脂皮膜の表面を多数の小領域に分割すると共に、予想される筋ムラの方向（予想筋ムラ方向）に交差する方向を移動方向として、この移動方向に基材１とカメラ６とを相対的に移動させながら、前記樹脂皮膜の表面に照射光を照射してその反射光強度を前記小領域ごとに測定し、前記予想筋ムラ方向を積算方向として、この積算方向に沿って並んだ小領域の反射光強度を積算してその積算値を算出し、この積算値を相互に比較して、周囲の積算値に比べて前記積算値が大きいまたは小さい部位を塗布ムラのある領域として抽出する。 （もっと読む）

【課題】照明光を短波長化しなくても、確実に繰り返しピッチの微細化に対応できる表面検査装置および表面検査方法を提供する。
【解決手段】本発明の表面検査装置は、被検査基板を照明するための直線偏光の発散光束を射出する光源手段と、前記直線偏光の発散光束を該光束の主光線が所定の入射角を有するように入射して前記被検査基板に導く光学部材と、前記検査基板からの光束のうち前記直線偏光とは偏光方向が直交する直線偏光を受光する受光手段と、前記光源手段と前記受光手段との間の光路中に配置され、前記光学部材に起因して発生する偏光面の乱れを解消する少なくとも１つの偏光補正部材と、を有し、前記受光手段で受光した光に基づいて前記被検査基板の表面の検査を行う。 （もっと読む）

【課題】 光学フィルム貼り合わせ前に異物の有無を検査する。
【解決手段】 ＴＦＴとカラーフィルタとを製造した後、貼り合わせ処理、液晶注入処理、封止処理、異物検査処理、偏光板貼り付け処理を行って液晶セルを完成させる。 （もっと読む）

【課題】 ウェハ上の多様な欠陥を高速、高感度に検出するパターン欠陥検査装置および方法を提供する。
【解決手段】 パターン欠陥検査装置において、複数の波長を出力可能な照明光源３から射出された光を、照明光学系４で線状に照明する。ウェハ１上の回路パターンや欠陥により回折、散乱された光は、結像光学系５でラインセンサ６に集光され、ディジタル信号に変換され、信号処理部７で欠陥が検出される。このとき、照明光学系４の光軸１０１と結像光学系５の光軸１０２でなす面と配線パターンの方向をほぼ平行にし、さらに、結像光学系５の光軸１０２とウェハ１とのなす角度を、パターンからの回折光が少なくなる角度に設定することにより、高感度に欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】大面積の基材に塗布された透明感光性樹脂被膜の塗布ムラを効率的に検出する方法を提供すること。
【解決手段】基材１表面に対し斜め方向から照射光Ｘを照射し、斜め方向に出射する反射光の光路上に凸レンズ２が配置されており、この凸レンズ２の作用によって基材１の像３が結像される。凸レンズ２の光軸２ａは前記基材１の表面の法線１ａに対して傾いており、像３も基材１表面の法線１ａに対し傾いた位置に結像する。そして、この像３をカメラで撮影して画素に対応する領域ごとに反射光強度を測定する。次に、測定された反射光強度から塗布ムラを検出する。 （もっと読む）

【課題】 検査対象となる青果類のいずれの箇所においても、内部品質の情報を得ることができ、確実に青果類の内部において局在する傷害を検知することのできる青果類の内部品質評価装置および青果類の内部品質評価方法を提供する。
【解決手段】 青果類に対して光源から測定用光を照射し、青果類を透過した透過光を受光部において受光することによって、青果類の内部品質を評価する青果類の内部品質評価装置であって、青果類を載置するための予め開口部を有する載置体と、載置体に載置された青果類の下方より測定用光を照射する下方光源と、青果類の両側方より測定用光を照射する側方光源と、青果類の上方に設けられ、下方光源と前記側方光源の両光源より照射された測定用光のうち、青果類を通過した透過光を受光する受光部と、を備えることを特徴とする青果類の内部品質評価装置および、これを使用した青果類の内部品質評価方法によって、確実に青果類の内部において局在する傷害を検知することができる。 （もっと読む）

【課題】光学補償フイルム等の僅かな厚みムラや塗工ムラまでを検出できるようにする。
【解決手段】連続的に搬送されるフイルム７の下側の面に光源部１５を配してあり、フイルム７に光を照射する。フイルム７からの透過光を受光する受光器１６は、フイルム７を俯瞰するように配置されており、その光軸Ｐとフイルム７に垂直な基準線（法線）Ｌｎと交差角度θ１が３０°≦θ１≦５０°となっている。また、受光器１６は、基準線Ｌｎを回転中心として搬送方向Ｓを基準に回転角度θ２だけ回転してあり、−６０°≦θ２≦＋６０°を満たすようになっている。 （もっと読む）

【課題】 液晶パネルを視野角方向から鮮明に撮像できる液晶パネルの撮像装置を提供する。
【解決手段】ＣＣＤカメラ５１０はラインセンサを有する。ＣＣＤカメラ５１０をラインセンサが液晶パネル９００に平行になるように支持する。ＣＣＤカメラ５１０が液晶パネル９００を見込む角を視野角θに調整する。そして、ＣＣＤカメラ５１０の焦点を液晶パネル９００の表示面９６０に合わせる。ＣＣＤカメラ５１０と液晶パネル９００の表示面９６０に平行に移動させてラインセンサの撮像領域Ｌを液晶パネル９００の表示面９６０に沿って走査させる。撮像されるラインごとの撮像データを合成して合成画像を生成する （もっと読む）

【課題】 円筒状ワーク表面の凹凸欠陥を短時間で感度良く検出できるとともに、設置スペースが少なくて済む表面欠陥検出装置を提供すること。
【解決手段】 被検査物である円筒状ワーク１の中心軸１ｃの方向と平行に配置され、円筒状ワーク１の中心軸１ｃを含む平面内において中心軸１ｃに対して直角な方向から所定角度傾いた方向から平行光を照射する半導体レーザ１１と、配列方向及び受光面が円筒状ワーク１の中心軸１ｃの方向と平行になるように配置され、半導体レーザ１１により照射された平行光の円筒状ワーク１表面からの正反射光を受光して電気信号に変換するラインセンサ１２と、ラインセンサ１２により得られる電気信号を処理して円筒状ワーク１表面の凹凸欠陥部２を検出する信号処理回路１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】 複雑で高価な装置を用いることなく光を用いた観察によって微細な試料を可視化することが可能な技術を提供する。
【解決手段】 本発明の装置は微細な試料を可視化する装置であって、試料を載置可能な載置面を備え格子状に変化する光透過特性の分布を備える載置板と、載置板に光を照射する光源と、載置面と略平行な撮像面に形成される像の画像データを取得する画像データ取得手段と、取得した画像データを復元する復元装置を備えている。その復元装置は、取得された画像データを光学系を伝達したことによって劣化した画像として扱い、原画像への復元処理を行う。その復元装置は、劣化画像の分布、原画像の分布を、確率密度関数の分布として捉え、伝達関数を条件付確率の確率密度関数として捉える。上記の確率密度関数についてのＢａｙｅｓの理論に基づく関係式から、劣化画像の分布に対して最大に尤もらしい原画像の分布を反復計算によって算出する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、フレキシブル印刷回路基板ユニットが連続して形成されたフィルムまたはテープ形態の検査対象物外観を光学的な方式を利用して自動検査する自動光学検査システム及び方法に関する。
【解決手段】本発明の自動光学検査システムは、検査対象物が提供される巻き出し部と、 前記巻き出し部から提供される前記検査対象物の表面を検査するビジョン検査部と、前記検査対象物に形成された前記フレキシブル印刷回路基板ユニットのうち欠陥として判定されたユニットを表示するマーキング部と、検査を終えた前記検査対象物が巻かれる巻き取り部とを含み、前記ビジョン検査部は互いに異なる視野を有して前記フィルムテープを撮像する撮像部材を含む。このような構成を有する本発明によると、より高い検査品質を得ることができ、検査品質を高めることができるという格別の効果を有する。 （もっと読む）

【課題】防眩性フィルムの部分的な輝度ムラの定量的な評価の支援を行うことが可能な防眩性フィルム評価支援装置を提供する。
【解決手段】散乱効果による防眩処理を施された防眩性フィルム２の評価の支援を行う防眩性フィルム評価支援装置は、前面にスリット４が形成された面光源３と、防眩性フィルム２で反射した面光源３からの光を受光して該光に応じたデータを出力する受光手段５と、受光手段５から出力されたデータのうち防眩性フィルム２上の散乱領域９（反射する光のうち正反射光ａよりも散乱光ｂの方が多く受光手段５に入射する領域）から得られたデータに基づいて、散乱領域９における光の散乱性能を評価するための指標を算出するコンピュータ６とを備える。 （もっと読む）

【課題】湾曲した表面も測定できる、光学的表面特性の検査装置を提供する。
【解決手段】光学的表面特性の検査装置であって、ビームを検査対象表面（５）に発射する第１照射装置（２）を備え、表面（５）から反射したビームを検出して少なくとも一つの信号を出力する少なくとも一つの第１検出装置（６）を備え、この信号は、検出されたビームの少なくとも一つのパラメータを特徴づけ、該検出装置（６）は多数の画像センサエレメント（１１）を備え、これらは所与の検出範囲（７）に配置されており、また、制御装置が備わっており、これらは反射したビームが検出範囲に当たる位置の変化により生じた信号の変化を少なくとも部分ごとに補正する。 （もっと読む）