【課題】基板上に立設されたピン側面における半田はい上がり高さを直接的に計測して、欠陥を精密に検出評価できるＰＧＡ実装基板の半田付け検査装置を提供する。
【解決手段】PGA実装基板に配置されたピンの半田付け画像を撮像して、取得された画像データをもとにピンの接合状態を評価するPGA実装基板の半田付け検査装置であって、PGA実装基板Ｋが載置される基板載置台11と、基板載置台の長手方向Ａに対して斜め方向に延伸して設けられたカメラ移動台12と、カメラ移動台上に設置しPGA実装基板を斜め上方向から撮像するカメラ撮像部13と、カメラ撮像部をカメラ移動台上でその長手方向に移動させるカメラ撮像部移動手段14と、を備え、PGA実装基板のピンの格子状配列に対し、投影線Ｘにおいて交差するようにカメラ撮像部内に設けたリニアイメージセンサ13aのセンサ列を、カメラ撮像部移動手段によって移動させ、PGA実装基板を斜め上方から撮像するようにした。 （もっと読む）

検査精密度を向上させることのできる基板検査装置を提供する。基板検査装置は少なくとも一つの照明モジュール、結像レンズ、第１ビームスプリッタ、第１カメラ及び第２カメラを含む。照明モジュールは検査基板に光を提供し、結像レンズは検査基板から反射された光を透過させる。第１ビームスプリッタは結像レンズを透過した光のうち一部を透過させ残りを反射させる。第１カメラは第１ビームスプリッタを透過した光の印加を受けて撮像し、第２カメラは第１ビームスプリッタから反射された光の印加を受けて撮像する。このように、一つの結像レンズを用いて検査基板を検査することによって、従来の結像レンズ間の光軸または倍率偏差に起因した検査精密度の低下を防止することができる。
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【課題】基板のずれ及び／又は破損を検出するのに必要なセンサの数を少なくし、比較的低コストで実施する。
【解決手段】移動中の基板１０６の少なくとも２つの平行な端部の長さに沿った、破損やずれ等の基板の欠陥の存在を検出する少なくとも２つのセンサ１４０Ａ、１４０Ｂを組み込んだ装置及び方法を提供する。一実施形態において、装置は、基板の欠陥を検出するための、少なくとも２つの平行な端部近傍で、基板をセンシングするセンサ構成を含む。他の実施形態において、装置は、基板サポート表面を有するロボット１１４又は１３０と、基板の欠陥を検出するための、少なくとも２つの平行な端部近傍で、基板をセンシングするセンサ構成とを含む。 （もっと読む）

【課題】異物がガラス壜の壜底部のナーリングの背後にある場合にも、異物を確実に検出することができる異物検査装置を提供する。
【解決手段】ガラス壜１の上方に配置されガラス壜１の上方からガラス壜１内を照明する照明２と、ガラス壜１の下方に配置されガラス壜１の底部１ａを透過した透過光を撮影する撮像手段３とを備え、ガラス壜１の底部１ａと撮像手段３との間に、半径方向内側と半径方向外側にそれぞれ逆円錐面を有し、半径方向内側の逆円錐面の下端に環状の開口部４ｃを形成した逆円錐状レンズ４を設け、ガラス壜１の底部１ａを透過した光の一部を逆円錐状レンズ４の環状の開口部４ｃを通過させて撮像手段３に入射させるとともに、ガラス壜１の底部外周部を透過した光の一部を逆円錐状レンズ４の半径方向内側および外側の２つの逆円錐面４ａ，４ｂを介して撮像手段３に入射させるようにした。 （もっと読む）

【課題】
ディスク上の欠陥について円周疵か、島状欠陥かの判定を高速に処理することが可能な欠陥検査方法および検査装置を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、半径別の欠陥数ヒストグラムデータにおける半径別の欠陥検出量（欠陥検出個数）についての標準偏差値を越える集計トラック領域において、円周疵の検出をする。あるいは角度別の欠陥数ヒストグラムデータにおける角度別の欠陥検出量についての標準偏差値を越える集計角度領域において島状欠陥の検出をする。これにより円周疵あるいは島状欠陥を他の欠陥と分離して欠陥検出処理を段階的に行うことができるので、検出される欠陥数が増加してもデータ処理装置の処理ロードを低減することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は基板の内部欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】
まず基板の側面に、少なくとも光源を提供する。光源は、側面に向かって基板を透過する光線を発する。さらに基板の上表面のイメージを取得するイメージセンサモジュールを提供する。光線が側面に相対する入射角度は、光線が基板内で全反射によって伝達される第１所定角度内に制限する。これにより、光線が基板内を伝わり内部欠陥に遭遇した場合、欠陥部分に明点が形成され、イメージセンサモジュールがこの欠陥の位置を検出する。この種の方法は、内部欠陥の好適なイメージ解像度を確実に向上させる。このほか、本発明はさらに、上述の基板の内部欠陥検査方法に基づいた、基板の内部欠陥検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】鋼板の圧延プロセスにおけるロール疵を軽度なものから重度のものまで精度よく検出する圧延性ロール疵検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】熱延ラインの仕上げ圧延機１１の最終スタンドとダウンコイラ１４前のピンチロール１３との間の、冷却帯１２の後のランナウトテーブル上に、圧延性ロール疵検出装置１５を設置し、その投光部は、被検査体の幅方向斜めより被検査体の検査対象面上に光を照射する （もっと読む）

【課題】光線に指向性を与えることで、多くの光量が要求されるライン状撮像体に対し十分な光量を供給して微細欠陥の検出力の向上も図れるライン状照射体および該ライン状照射体を含む被検査基板外観検査用撮像ユニットの提供。
【解決手段】正反射側照射灯３２と暗視野側照射灯３３として用いられるライン状照射体１１と、正反射側照射灯３２と暗視野側照射灯３３との間に配置されるライン状撮像体３５とで構成され、正反射側照射灯３２は、射出口２７を搬送方向での下流側から被検査基板Ｐの検査位置Ｓに向けて、暗視野側照射灯３３は、射出口２７を被検査基板搬送方向での上流側から被検査基板Ｐの検査位置Ｓに向けてそれぞれ配置され、ライン状撮像体３５は、搬送方向と直交する垂直軸Ｌから上流側に向けて１５度程度後傾させた位置で受光できるようにその撮像面３５ａを位置させて配置した。 （もっと読む）

【課題】同軸照明を使った撮像照明手段において、明るい画像が撮像素子に取り込まれるようにするとともに、線幅の細くなっている部分を明瞭に撮像できるようにすること。
【解決手段】光源１００から出射した照明光は拡散板１０１を介してハーフミラー（ペリクル）１１０に入射し一部の光が反射されて基板Ｗ（被照明物）を照明する。基板Ｗで反射した光の一部はハーフミラー１１０を通過して撮像手段１２０の撮像素子１２１に入射し、基板Ｗに形成されたパターン像が撮像される。ハーフミラー１１０の、撮像対象（撮像領域）の像が通過する部分の外側であって照明光が入射する側に、被照明物に向かって照明光を全反射する反射部材（ミラー）１３０が取り付けられている。光源１００からの照明光は、上記ハーフミラー１１０で反射するとともに、この反射部材１３０で反射して基板Ｗに照射される。このため、基板Ｗ（被照明物）を明るく照明することができる。 （もっと読む）

【課題】電子写真装置用のブレードの表面における、緩やかな凹凸や、極微小なキズ及びムラ、微妙なコントラストを効率的に検出する。
【解決手段】電子写真装置用のブレード１の表面を照明し、ブレード１を照明に直交する方向に搬送しつつ、複数の画素が配列されたラインセンサー１１によって前記表面を撮像する第１ステップと、ラインセンサー１１の１つの画素４が出力する像情報信号に、この１つの画素４と連続する複数の画素４からなる所定領域における各画素がそれぞれ出力する各像情報信号を加算して１つの画素４における加算像情報信号とする加算処理を画素毎に行うことで画像処理する第２ステップと、画像処理された結果に基づいてブレード１の表面状態を判定する第３ステップと、を有する。 （もっと読む）

【課題】光沢のあり照明光を正反射する被撮像面の正常状態維持領域と加工又は劣化等により非正常状態になった領域を区別することを、手間をかけないで安定的に、所定の精度で、短時間に、低いコストで、且つ自動的に得る方法を提供する。
【解決手段】
カメラの光軸が被撮像面に垂直な方向に対して所定の角度の傾斜を持つようにカメラを配置し、且つカメラの所定の画素範囲に対応する被撮像面上の範囲（撮像範囲）からカメラのレンズの有効径内に入る反射光の内、撮像範囲で正反射された照明光が正反射前に通過するべきトンネル空間（入射光トンネル空間）が照明装置の発光面を貫通するように照明装置を配置し、光沢があり照明光を正反射する被撮像面を撮像する。 （もっと読む）

【課題】斜方検出系の合焦位置と照明の位置とを高精度に検出し、照明の位置を高精度に設定可能な欠陥検査装置を実現する。
【解決手段】照明系３００は合焦領域２０２を通過するように略一定速度で走査し、合焦領域２０２付近の基準チップ２０５の画像を取得する。取得した画像の様子から、合焦位置を求める。照明光３０１を、求めた合焦位置に向けて移動させ、１枚画像を取得し、照明認識位置を算出する。合焦位置と照明認識位置とのずれ量を算出し、ずれ量が許容値以上であれば、ずれ量が一定以下となるまで、照明系３００を移動させる。 （もっと読む）

【課題】ガラス管の内表面の形状に依存することなく、ガラス管の外表面の欠陥の有無を短時間で正確に検査する。
【解決手段】ガラス管の外表面欠陥検査方法であって、外表面１ａに対して垂直に光を照射しながら軸方向に走査した場合に、透過光の屈折方向が変化する形状変化部を内表面１ｂに有するガラス管１を検査対象とし、このガラス管１をその軸心回りに回転させながら、投光部３からガラス管１の軸方向に幅広の光をガラス管１の外表面１ａに対して垂直に照射すると共に、その照射した光のうちガラス管１の外表面１ａで垂直に反射して投光部３から照射した光の光軸Ｌ１と共通の光軸Ｌ２を有する反射光を受光部４で受光し、その受光した反射光に基づいてガラス管１の外表面１ａの欠陥の有無を検査する。 （もっと読む）

【課題】 物体の欠陥を検出するための方法および装置を提供する。
【解決手段】 物体２０を透過する波長の光５０を照射することによって物体２０を局部的に照明するステップ１０と、直接透過した照射光の部分４８の検出を少なくとも部分的に回避しつつ、かつ１回反射した照射光５０の部分５３ａ、５３ｂの検出を少なくとも部分的に回避しつつ、複数回反射した照射光５０の部分を検出するステップ１２と、検出した照射光５０の部分の強度の差を評価することによって欠陥２２を識別するステップ１４とを備える、物体２０の欠陥２２を検出するための方法ならびにこの方法を実施するための装置。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の切断面を複数の方向から立体的に検査して、ガラス基板の品質検査に利用される切断面情報を迅速且つ正確に光学的に検出可能とする。
【解決手段】ガラス基板１を固定する固定プレート１１０と、ガラス基板１の切断面１ａの上側、下側、平面プロフィール映像をそれぞれ得るための第１、第２、及び第３撮影手段１２０、１３０、１４０と、第１〜第３撮影手段１２０、１３０、１４０が固定され、それらを移動させるフレーム１５１を有するメインロボット１５０とを備えた切断面検査装置１００を提供する。この切断面検査装置１００により、光学的に取得された切断面情報をフィードバックして、ガラス基板１の生産性及び品質を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】面の機械的な測定を行うことなく、面、特に肌理のある面を客観的に評価する。
【解決手段】被検査面（１０）上に放射線を照射する工程と、面（１０）上に照射され、面（１０）で反射した放射線の少なくとも一部による画像を受ける工程と、記録画像の位置分解評価および画像を特徴付ける少なくとも１つの値（Ｋ）の決定を行う工程と、を含む肌理のある面（１０）の光学的検査のための方法であって、面を特徴付けるパラメータ（Ｇ）は、特徴値（Ｋ）を使用しながらおよび面の（既知または決定された）少なくとも１つのさらなる特性（Ｅ）を使用しながらに決定されることを特徴とする方法。 （もっと読む）

【課題】防湿剤が適切に塗布されているかどうかを検査する基板検査装置を提供する。
【解決手段】紫外線が照射されることにより蛍光を発する蛍光剤を含む防湿剤の塗布されたプリント基板を検査する基板検査装置１であって、プリント基板に紫外線を斜めに照射する紫外線照射部１１と、プリント基板の画像を撮影する撮影部１３と、防湿剤の塗布されるべき領域を示す基準情報が記憶される基準情報記憶部１５と、撮影部１３が撮影した、紫外線照射部１１からの紫外線が照射されたプリント基板の画像から、蛍光領域の画像を取得する蛍光領域画像取得部１４と、取得された蛍光領域の画像の輝度を所定のしきい値と比較した結果と基準情報とを用いて、防湿剤の塗布されるべき領域に防湿剤が塗布されているかどうか判断する判断部１６と、その判断結果を出力する判断結果出力部１７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】対象物の光学的検査のための装置及び方法を提供する。
【解決手段】支持要素に、光源のアレイ（３２）を形成する複数の光源（３０）が配列される。撮像ユニット（３４）が、対象物の複数の画像を撮影するために使用される。さらに、評価及び制御ユニット（３６）が、画像に基づいて対象物の特性を決定する。支持要素は、回転方向の回転の際に、対象物を収容するための検査空間（４４）を画定する。さらに、アレイは、回転の際に、回転方向で第１の横方向の広がり（４６）を有する外被面（４２）を画定する。アレイは、回転方向で第２の横方向の広がり（１０４）を有する。第２の横方向の広がりは、外被面の第１の横方向の広がりよりも小さい。評価及び制御ユニット（３６）は、光源を用いて可変の明暗パターン（４９）を外被面全体の上に生成するために、支持要素の現在の回転位置に基づき光源を制御するように形成される。 （もっと読む）

【課題】被検物の上面部又は下面部と側面部からの反射像を導き１台の撮像装置で撮像し、被検物の外周面を高精度で検査できる、光学外観検査装置を提供する。
【解決手段】搬送する被検物を撮像装置で撮像して検査する外観検査用の光学装置において、被検物Ｔを一列に整列して搬送する搬送手段６に、搬送手段６により搬送する被検物Ｔの上面部又は下面部から直交する反射光を撮像装置４０へと導く第１の光導手段２０と、該第１の光導手段とは離れた検査位置にて、該被検物Ｔの一側面部とその反対側の他側面部とからの反射光を、搬送手段６の搬送方向に対して搬送平面の所定角度で入射して撮像装置４０へとそれぞれ導く第２と第３の光導手段３０とが備えられ、これらの反射光を第１の光導手段２０と第２及び第３の光導手段３０とを通して撮像装置４０の走査軸上に導き、被検物Ｔのそれぞれの反射像を同一撮像面に結像する外観検査装置に用いられる光学装置である。 （もっと読む）

【課題】トランジットタイム原理に基づいた光学センサに関し、仕切りスクリーンの検査を可能にする光センサの提供。
【解決手段】光学センサは、発光パルスを観察領域に放射するための光源と、前記発光パルスのビーム方向を、回転させるための回転装置と、前記観察領域における対象物により反射された光パルスを検知するための検知器と、前記センサの内部を周囲環境から離隔しておくための、透明な仕切りスクリーンを含むハウジングと、前記仕切りスクリーンの透光性をテストするためのテスト装置と、前記光源を制御し、前記検知器により検知された前記光パルスを評価し、且つ、対象物からの距離を、前記光パルスの測定されたトランジットタイムに基づいて決定するための、前記テスト装置と協働する制御及び評価ユニットとを含む。 （もっと読む）