【課題】比較的簡易な装置により立体的な検査対象物の視覚検査を死角なしに行うこと。
【解決手段】視覚検査装置１が、検査対象物を撮影するカメラ３と、カメラ３と検査対象物との間に配置されるフレネルレンズ５にして、検査対象物をカバーする大きさのレンズ領域５ａを有するフレネルレンズ５と、検査対象物を載置するテーブル４とを具備し、フレネルレンズ５に向き合う検査対象物の外表面がカメラ３によって死角なしに撮影される。 （もっと読む）

【課題】容易かつ確実にＰＥＴプリフォームのサポートリングの異常を行うことができるＰＥＴプリフォーム検査装置を提供する。
【解決手段】ＰＥＴプリフォーム検査装置１０は、ＰＥＴプリフォーム１のサポートリング５上方に配置されたリング状照明部１４と、リング状照明部１４の上方に配置されサポートリング５からの反射光を撮像する検査カメラ１３とを備えている。検査カメラ１３に、検査カメラ１３からの検査情報に基づいてサポートリング５の異常を検出する検出部２０が接続されている。検出部２０は検査カメラ１３から検査情報に基づいて周辺明度差比較により異常ドットを検出し、この異常ドットの合計値が設定値を越えた場合にサポートリング５の異常と判断する。 （もっと読む）

【解決手段】 判定手段６は、カメラ５で撮影した４０００回の画像のデータに基づいて、タイヤ２の内面２Ａ全体についての三次元の基本画像８を作成する。
判定手段６の第１演算部６Ｂは、上記基本画像８を基にしてノイズを除去したタイヤ２の内面２の輪郭線１１の画像（Ｇ１）を求める。
次に、判定手段６の第２演算部は、上記基本画像８を基にして、ノイズと不良部分を除去した輪郭線１１だけの画像（Ｇ２）を求める。
次に、比較部６Ｄは上記Ｇ１とＧ２とを比較して、不良部分を強調した画像（Ｇ３）を求める。判定部６Ｆは、上記不良部分を強調した画像（Ｇ３）を基にしてタイヤ２の内面２Ａの外観の良否を判定する。
【効果】 タイヤ２の内面２Ａの外観の良否を正確に判定することができる。 （もっと読む）

【課題】基板表面付近の大気が不安定な雰囲気である場合であっても、精度よく異物の検出を行うことができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板を保持するステージと、ステージに載置されたに塗布液を塗布する塗布ユニットと、発光部と受光部とを有し受光部における受光変化量から異物を検出する異物検出手段と、この異物検出手段とは別に、発光部と受光部とを有し受光部における受光変化量から前記異物検出手段の受光変化量の基準となる基準変化量を計測する基準変化量計測手段とが備えられており、前記異物検出手段の受光変化量と前記基準変化量計測手段の基準変化量との差分から異物の有無を判断するように構成する。 （もっと読む）

【課題】明るさのムラを抑えつつＰＴＰシートの網目模様を強調した画像を取得することが可能な検査装置を提供する。
【解決手段】ＰＴＰシート２の長辺２ａと平行な方向に配列された複数の光源を有し、ＰＴＰシート２と直交する方向から見たときに、各光源から長辺２ａに対して斜めに傾いた方向の照明光をＰＴＰシート２に照射する照明器１０と、照明されたＰＴＰシート２を撮像するカメラ１１とを検査装置１に設ける。 （もっと読む）

【課題】繰り返しパターンの構造性複屈折を利用した表面検査において、偏光の乱れを十分に補正することが可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る表面検査装置１は、ウェハ１０を照明するための直線偏光の発散光束を射出する照明部３１〜３３と、照明部３１〜３３から射出された発散光束を反射させてウェハ１０へ導く凹面反射鏡３９と、照明部３１〜３３により照明されたウェハ１０からの光束のうち直線偏光と偏光方向が略直交する直線偏光成分を受光する受光部４０と、凹面反射鏡３９に起因して発生する偏光の乱れを補正する偏光補正部材３５とを備え、偏光補正部材３５は、照明部３１〜３３と凹面反射鏡３９との間の光軸に対し傾斜した状態で互いに平行に配置された二枚の平行平面板３６，３７からなり、当該平行平面板３６，３７は、使用波長に対する屈折率が１．６以下の材料を用いて形成されている。 （もっと読む）

少なくとも部分的に正反射性の挙動を示し、露光領域内に位置する対象物（２）の構造細部の反射による観察のための装置であって、放射線の流れを放射する少なくとも２つの別個の領域（２６、２７）を有する放射面（６）を伴い、少なくとも１つの特性が１つの領域と隣の領域とで異なる少なくとも１つの放射線源と、露光領域に対して放射線源と一直線を成して放射線の経路に位置する光学投影系と、光学投影系の入口絞り（１４）と放射面（６）とを光学的にリンクさせるようになっている光学露光系（１８）と、露光領域内の対象物と光学的にリンクされるとともに、その受けられる放射線が対象物（２）における偏向に依存する投影面（１０）とを含む装置。 （もっと読む）

【課題】検査時にウェーハが水平方向や垂直方向に急速に変位しても、受光装置のフォーカス位置が合い、受光装置のフォーカス位置がずれることなく観測ポイントが視野中心に合った状態を維持することが可能な円板体外周検査装置を提供する。
【解決手段】円板体外周検査装置１は、円板体Ｗの径方向と円板面Ｓｗとの直交方向への変位量ΔＸ、ΔＹを検出する変位量検出装置３と、該表面Ｗｓでの散乱光Ｌを反射する第１ミラーとその反射光を散乱光Ｌの光軸に平行で逆向きに反射する第２ミラー４２とを備えるミラー部４と、ミラー部４を光軸方向とそれとの直交方向に夫々移動させるアクチュエータ５とを備え、散乱光Ｌが該表面Ｗｓで角度θ（下向き正）方向に散乱される場合、アクチュエータ５は、ミラー部４を、該表面Ｗｓでの散乱光Ｌの光軸方向及びそれとの直交方向にそれぞれ（ΔＸcosθ−ΔＹsinθ）／２及び（ΔＸsinθ＋ΔＹcosθ）／２だけ移動させる。 （もっと読む）

【課題】基板の表面に形成する膜を構成する物質の屈折率と、膜厚と、半導体回路のパターンピッチなどの基板表面状態の情報から照明光として使用するのに最適な波長の光を選択して設定することができる、観察装置を提供すること。
【解決手段】被検物（ウェハ１０）の表面に光を照射して観察する観察装置であって、前記被検物の表面に光を照射する照明部２０（光源２１、波長選択フィルタ２４，２５）と、前記照明部によって光が照射された前記被検物の表面を観察する観察部３０（２次元カメラ３１，画像処理部３１）と、前記被検物の表面状態に基づいて前記照明部が照射する光の波長を選択して設定する波長設定部４０（演算部４１、画像処理部４２、ハードウェア制御部４３）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】セルギャップ調整層上のフォトスペーサーなどの立体構造物を具えた高機能、高精細なカラーフィルター基板の外観欠点の検出を容易にする検査方法を提供する。
【解決手段】カラーフィルター基板に検査用光線を照射し、該カラーフィルター基板からの反射光を光電変換素子で受光して電気信号に変換し、得られた電気信号を画像処理してカラーフィルター基板の欠陥検出を行うカラーフィルター基板の検査方法において、該検査用光線が該カラーフィルター基板上に形成された検査対象物の略補色となる波長を含むことを特徴とするカラーフィルター基板の検査方法。
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マイクログロスは、ターゲット表面領域から光がどのくらい反射するかを示す新規な二次元表現である。マイクログロスを測定するシステムおよび方法は、表面の外観が重要になる様々な製品の反射特性を示すデータを算出することができる。これらの製品は、紙、プラスチック、およびセラミックを含む。マイクログロス特性は、製紙におけるスーパーカレンダリングプロセスを制御するためのパラメータとして使用することができる。製品を等級分けするのに、マイクログロス特性を標準グロスとともに使用することができる。 （もっと読む）

【課題】高性能の装置を用いることなく、搬送路上を搬送されてくる検査基板の精密な画像を得て精度よく検査すること。
【解決手段】基板外観検査装置１は、基板３３を一定方向に沿って移動させる搬送ライン２５と、基板３３に対して照明光を出射する照明部１３と、照明部１３から出射され基板３３において反射した反射光、または、基板３３を透過した透過光を受光する撮像部１５と、照明部１３および撮像部１５を一体的に移動させる駆動部７と、駆動部７の駆動を制御する制御部１１とを有し、制御部１１は、駆動部７による照明部１３および撮像部１５の移動を基板３３の移動方向と同一方向に沿って移動させる。 （もっと読む）

【課題】面照明とルーバー層からなる照明手段の使用により所定の角度を持った平行光源を多数形成できると共に、撮像手段のフォーカス位置を最適に設定し、レンズの外観上の欠陥を撮像手段で精度良く撮像して検査の自動化を図ることが可能なレンズ欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象レンズの製造時に発生する傷、割れ、異物、気泡等の欠陥を検査するレンズ欠陥検査装置であって、面照明及び該面照明から照射される光を多数の平行光源とするルーバー層からなる照明手段と、該照明手段から照射されて検査対象レンズを透過した光を撮像する撮像手段と、該撮像手段の検査対象レンズに対するフォーカス位置を調整しつつ撮像データを処理して検査対象レンズの良否を判定する制御手段と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】散乱方位角別の散乱光強度分布情報が得られ、かつ、高感度で異物・欠陥を検出可能な表面検査装置を実現する。
【解決手段】回転放物面の一部分を反射面とする集光用凹面鏡１６１と回転放物面の一部分を反射面とする結像用凹面鏡１６３とを使用し広い立体角に対応可能とする。反射鏡である集光用凹面鏡１６１及び結像用凹面鏡１６３を使用し、レンズ周囲を挟み込んで保持するような支持体は不要で有効開口面積が小となることは無い。反射鏡からなる方位別検出光学系１６０を複数個設け特別なレンズ研磨加工することなく全集を隙間無く埋め尽くし全方位の反射光を検出できる。散乱回折・反射光信号統合部２００は複数の方位別検出光学系１６０のうち予め指定された散乱方位に対応する方位別検出光学系１６０からのデジタルデータを合算し、Ｓ／Ｎ比を向上することが可能である。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタ基板の検査対象の着色層の表面ムラを精度良く、かつ安定に検査するためのカラーフィルタ基板のムラ検査装置及びムラ検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のカラーフィルタ基板のムラ検査装置は、カラーフィルタ基板の検査対象表面へ検査光を斜め方向に照射する光源１０と、検査対象表面からの斜め方向の反射光を受光する受光部２０と、検査対象表面からの垂直方向の反射光を受光する受光部３０と、を備えるカラーフィルタ基板のムラ検査装置において、前記受光部２０及び前記受光部３０の受光面にカラーフィルタ基板の検査対象の着色層の色成分のみをカットするバンドパス光学フィルタ４０を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

実施形態において、表面検査システムは、線形偏光子（１０５）およびアポクロマート抑制装置（１０７）のうちの少なくとも１つを含む偏光制御アセンブリ（１０３）、開口制御機構（１０９）、およびビームスプリッタ（１１３）、を含み、対象の表面上へ放射線を指向する放射線指向アセンブリと、線形偏光子（１１９）およびアポクロマート抑制装置（１２１）のうちの少なくとも１つを含む偏光制御アセンブリ（１１７）、開口制御機構（１２３）、および少なくとも１つの放射線検出装置（１２７）、を含み、前記対象の前記表面から反射する放射線を収集する放射線収集アセンブリと、を含む。 （もっと読む）

【課題】被写界深度が狭い超高分解カメラを用いた検査において、複雑な機構やシステムを構築することなく容易で安価に、基板を上下振動無く安定して搬送することで、被写界深度からはずれることなく、搬送しながら検査すること。
【解決手段】空気の吹き出しおよび吸引によって基板２を浮上させながら一定の高さに維持する基板浮上機構３と、前記基板浮上機構３と同様に空気の吹き出しおよび吸引によって基板２を一定の高さで空間保持する基板保持機構４と、前記基板浮上機構３の一側面からはみ出した前記基板２の片端部を固定する基板把持機構と、前記基板浮上機構３の一側面と隣接して設けられ、前記基板浮上機構３および前記基板保持機構４への空気の供給および前記基板浮上機構３および前記基板保持機構４からの空気の吸引を行う浮上制御部と、前記基板２の表面検査を行う検査部Ｂを備える。 （もっと読む）

【課題】天然木材から直接各位置における繊維潜り角を測定する。
【解決手段】天然木材１に正対してカメラ３が配置される。光源２は天然木材１に対する照明角度が変更可能となされている。処理装置４は、光源２の照明角度を所定の角度、例えば10°毎に変えながら撮影した天然木材１の画像に基づいて、実際の撮影時の光源２の角度及び実際に撮影して得られた輝度値により、光源２の角度を変更する角度より小さい所定の角度、例えば 1°毎の輝度値を補間して求め、それらの全ての輝度値の中で最大輝度を与える光源２の角度を求め、その光源２の角度に基づいて各画素位置における繊維潜り角を定める。
これによって、カメラ３で撮影された画像の全ての画素位置について繊維潜り角ξを求めることができ、各画素位置に対して繊維潜り角が登録された２次元のスカラ場を生成することができる。 （もっと読む）

【課題】めっきの製造条件の微少な変動によらず、配線パターン及びめっきの検査を同時に行なうことが可能な金属基板表面の検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】基板を所定速度で移動する搬送段階と、基板の法線方向から０°〜１０°傾いた方向から、搬送と同期を取るかまたは所定時間間隔で、基板表面を撮影する撮像段階と、基板の非めっき部の金属材料とめっき材料との反射強度の差が最大となる波長域の光を間接光で照射する照明段階と、照射光のうち、基板の非めっき部の金属材料とめっき部のめっき材料の反射強度の差が小さい、特定照射角度の光の一部を選択的に照射させないようにする半照明阻止段階と、撮像段階にて得られた画像データを用いて、基板表面に存在する欠陥部を抽出、自動判定する画像処理段階と、を備えた金属基板表面の検査方法および検査装置。 （もっと読む）

【課題】検査対象の不良部分を簡易に、かつ高い精度で検出する検査装置。
【解決手段】銅箔検査装置１０は、ライト１２、ＣＣＤカメラ１４、ガイドローラ１６、及び制御部１８を含んで構成されている。
銅箔２０に光を照射するライト１２は、各ガイドローラ１６間の中心部に位置する銅箔２０の読取位置Ｏを照射する位置に設置されており、読取位置Ｏに光を照射する。ライト１２により照射されることにより読取位置Ｏで正反射された光は、矢印Ｐの方向に進行する。本実施の形態のＣＣＤカメラ１４は、矢印Ｐの方向とは数度異なる矢印Ｑの方向に垂直な面で光を受光するように設けられており、受光した光の強度に応じて画素毎に例えば８ビットの輝度信号に変換した画像データを制御部１８に出力する。 （もっと読む）