【課題】
金属パターンを有する基板の表面に施されためっきされていない非めっき部とめっきがされているめっき部の欠陥検査方法及び検査装置の提供である。
【解決手段】
めっきがされためっき部及びめっきされていない非めっき部で構成された金属パターンを有する基板を、一定速度で一方向へ移動する搬送し、５０と、金属基板を一定速度で一方向へ移動する搬送手段５０と同期を取り、かつ金属基板の表面に存在する圧延影響を軽減させるため仰角を持たせ金属基板表面を撮影し、金属基板の金属材料とめっき材料との反射強度差異が最も大なる波長域の光を利用し、かつ間接光で照射し、金属基板表面を撮影して得られた画像信号データを用いて、金属基板表面に存在する欠陥を判定する制御・画像処理による検査方法および検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】シフト減算処理して２値化する際に、ノイズを低減し、微小な欠陥の検出を可能にして、測定精度を向上させる。
【解決手段】検査パネルの画像を取り込むラインセンサーカメラと、当該ラインセンサーカメラと前記検査パネルとを相対的にずらす移動手段と、当該移動手段で前記ラインセンサーカメラと前記検査パネルとの間を設定速度で相対的にずらしながら、前記ラインセンサーカメラでスキャンして検査パネルの画像を取り込む制御部とを備えた検査装置である。前記制御部は、前記ラインセンサーカメラによるスキャンを、前記検査パネルの１画素に対して整数回になるように設定した。 （もっと読む）

【課題】基本的にはドーム型照明方式の考え方を用い、ローアングル光照明方式の不具合を解消しながらも、その場合に生じ得る照度不足や照度ムラといった新たな問題点を解決し、配線基板の検査をより精度良く行えるようにする。
【解決手段】光透過性及び光拡散性を有し、検査用カメラ３００が撮影する検査領域２０ａを覆うように近接配置される概略平板状又はドーム状をなす光拡散部材２と、その光拡散部材２の外側に離間して配置され、前記検査領域２０ａに当該光拡散部材２を透過させて光を照射する複数の光照射部材４と、前記光拡散部材２に設けられた撮影用観測孔２ａの周囲からカメラの方向に延びる筒状体３と、を備え、前記カメラが、それら筒状体３及び観測孔２ａを介し前記検査領域２０ａを撮影できるように構成するとともに、前記筒状体３のカメラ側開口に、前記光照射部材４からの直射光が入らないように構成した。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハやガラス基板に代表される被検査物の裏面における欠陥に関する検出結果を反映して、上述した被検査物の表面の欠陥を確実に検出する。
【解決手段】半導体材料または透明材料を含む固体材料を加工して形成された基板上に回路パターンを形成してなる被検査物について、回路パターンが形成されている表面全体に対応する表面画像を取得する表面画像取得部と、表面に対向する裏面全体に対応する裏面画像を取得する裏面画像取得部と、裏面画像に基づいて、被検査物の裏面に形成された欠陥要因を検出する要因検出部と、裏面において検出された欠陥要因の位置に基づいて、表面画像において注目すべき領域を特定する領域特定部と、特定された注目領域の画像に基づいて、被検査物の欠陥を検出する欠陥検出部とを備える。 （もっと読む）

【課題】表面を検査する方法および装置を提供すること。
【解決手段】表面の特性を検査する方法であって、第１の所定の放出角（α_１）で、検査される表面（９）上に放射を放出するステップと、第１の受信角（β_１）で、第１の放出角（α_１）で放出されて、検査される表面（９）から反射された、放射の少なくとも一部分を受信し、受信された放射の特徴である複数の第１の測定値を出力するステップと、第２の所定の放出角（α_２）で、検査される表面（９）上に放射を放出するステップと、第２の受信角（β_２）で、第２の放出角（α_２）で放出されて、検査される表面（９）から反射された、放射の少なくとも一部分を受信し、受信された放射の特徴である複数の第２の測定値を出力するステップと、第１の測定値と第２の測定値との間の比較を実行するステップと、を包含する、方法。 （もっと読む）

【課題】実際に製造された被検査基板を用いることなく、回折光を観察するための照明光源からカメラに至る光軸を調整する。
【解決手段】被検査基板に形成されたパターンを、光源３からの照明光の該パターンにおける回折光を検出器４により検出して検査する基板検査装置１の光軸調整方法であって、検査時に照明光が照射されることとなる被検査基板の表面位置に、被検査基板に代えて、照明光を反射する反射面１０ｂを有し、該反射面１０ｂが、検査時における被検査基板の表面方向に対し、回折角度αの１／２の角度だけ、光源３からの照明光の入射角度を減少させる方向に傾斜して配置される反射部材１０を配置し、該反射部材１０の反射面１０ｂにおける照明光の反射光に基づいて、光源３と検出器４との相対角度を調整する基板検査装置１の光軸調整方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】多大な開発費、開発期間を必要とせず、歩留まりを低下させることなく高速な検出器を提供し、欠陥検査装置の検査速度を向上させる。
【解決手段】検出器１２は複数のイメージセンサ１００を備え、画素方向に間隔を空けて複数個配列されたイメージンセンサ１００が２列配置され、各イメージンセンサ１００はスキャン方向では互い隣接しないように配置され、千鳥配置されている。画素数が多い大面積のイメージセンサの製作には多大な開発費等が必要であり、画素欠陥発生頻度が多くなる。本発明は、小面積のイメージンセンサ１００を複数配置している。一個のイメージンセンサ１００を取り付ける場合、取り付けに要する領域が必要であり、個々のイメージセンサ１００同士では、互いに一定距離を空けて配置しなければならず、空白領域ができてしまう。この空白領域を解消するため複数のイメージンセンサ１００が千鳥配置されている。 （もっと読む）

【課題】部品検査装置において、部品の複数の方向からの外観検査の作業効率を高める。
【解決手段】部品検査装置１は、棒状のワークを検査するための装置であって、ワークを載置して搬送可能な第１搬送ユニット１２と、第１搬送ユニット１２に載置されて搬送されるワークを検査する第１検査ユニット１３と、第１検査ユニット１３の検査結果に応じてワークを良品と不良品を選別する第１選別ユニット１４とを備えている。第１搬送ユニット１２は、ワークが保持される複数の溝が形成されたテーパー形状の部品載置面を有するテーパーディスク１７と、テーパーディスク１７を回転駆動するモータとを有している。テーパーディスク１７の回転軸は鉛直方向に対して傾斜している。溝は、部品載置面上をテーパー円盤半径方向に延び両端が開いた溝であって、ワークの両端面がテーパー円盤半径方向に向くようにワークを保持可能である。 （もっと読む）

【課題】薄板の表面及び端面の検査が可能であり、検査精度及び検査速度が促進され、その結果薄板の大量生産性に寄与する薄板検査装置の提供を目的とする。
【解決手段】本発明の薄板検査装置は、被検査物である薄板を載置する検査台と、検査台の上方に配設され、薄板に照明光線を照射する照明系と、検査台の上方に配設され、薄板を撮影するデジタルカメラとを備える薄板検査装置である。上記検査台は、法線が斜め上方を向くよう傾斜した鏡面を有する基台部と、その鏡面の前方に薄板を略水平に配置する架台部とを有している。上記基台部の鏡面を上下辺が略水平に配設される方形に形成し、上記架台部を基台部の鏡面に貼設されるプリズムとし、このプリズムは鏡面上辺より下方に位置する略水平面を有するとよい。上記基台部及びプリズムを断面が相似直角三角形の三角柱状に形成し、対偶する側面を平行に貼設するとよい。 （もっと読む）

【課題】被検査物の表面の欠陥を精度よく検査することが可能な欠陥検査装置および欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】照射部１は、ワークＷの表面に対してＡ色の照射光Ｌ１，ＬＡ１とＢ色の照射光ＬＢ１と、Ｃ色の照射光ＬＣ１とを照射する。撮像装置３はワークＷからの反射光を分光して、Ａ色画像、Ｂ色画像、およびＣ色画像を同時に生成する。Ａ色画像はＢ色画像（あるいはＣ色画像）に比べて、ワークＷの欠陥に対応する部分と、その周囲との明るさ（あるいは色）の差が小さい。また、１度の撮影でＡ色画像、Ｂ色画像、およびＣ色画像が同時に生成されるので２つの画像の間に位置ずれが生じるのを防ぐことができる。よって２つの画像を比較すればワークＷの欠陥のみを２つの画像の相違点として抽出することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】クリームはんだ内部の状態を検出することができる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】照明装置５は、クリームはんだが塗布された基板に対して所定の強度の赤外光を照射する。撮像装置６は、その赤外光が照射された基板を撮像する。制御装置９の主制御部９５は、撮像装置６の取込画像の画像データから、基板から反射された赤外光の強度分布に基づいてクリームはんだの断面形状を検出することができる。また、除去部９５ｃによりクリームはんだ表面からの反射光を除去することができるので、はんだの断面形状をより正確に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】遮蔽部分の形状を変更することが可能な空間フィルタ、又は阻止波長を変更することが可能な波長フィルタとして利用できる光学フィルタを提供する。
【解決手段】光学フィルタ６０を、その入射光ＬＩの光軸に対して反射面を４５°傾けて配向され入射光を反射面で反射する第１の光Ｌ１及び反射面を透過する第２の光Ｌ２に分光する半透鏡６１と、第１の光Ｌ１を反対向きに反射して半透鏡６１に再び入射させる第１の反射鏡６２ａと、第２の光Ｌ２を反対向きに反射して半透鏡６１に再び入射させる第２の反射鏡６２ｂと、により構成し、第１及び第２の反射鏡６１、６２の少なくとも一方をその反射面の法線方向の位置をそれぞれ制御可能な複数のミラー素子で構成されたマイクロミラーアレイとした。 （もっと読む）

【課題】ゴースト粒子に対する感度が鈍感な粒子検出システムを提供する。
【解決手段】リソグラフィ装置は、放射のビームを条件付ける照明システムを有している。パターニングサポートによって、放射のビームの断面にパターンを付与するように機能するパターニングデバイスが支持される。基板サポートによって基板が保持される。投影システムによって、パターン化された放射のビームが基板のターゲット部分に投射される。粒子検出システムによって、対象の表面の粒子が検出される。粒子検出システムは、放射の照明ビームを生成する放射源を有している。放射の照明ビームは、第１の光路に沿って対象の表面の検出領域へ導かれる。放射ディテクタは、検出領域からの第２の光路に沿った放射の検出ビームを受け取る。第１の光路の長さと第２の光路の長さは、実質的に同じ長さになっている。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、欠陥の種類の判別ができ、かつ、検出特性にも優れた基板の欠陥検査装置を提供することである。
【解決手段】基板の欠陥検査装置において、基板４の主面に対して検出方向が略法線方向となるように設けられた光学的検出手段２と、基板４の主面に対して照射方向が斜めの角度となるように設けられた照明手段３と、光学的検出手段２の検出範囲に対する照明手段３の照射位置を変更する照射位置変更手段２４とを備える。 （もっと読む）

【課題】鉛フリー半田を用いた半田付けの際にも確実に半田付け状態を監視しながら半田付けを行うことができる半田付けの検査方法、半田接合方法、及び半田接合装置を提供する。
【解決手段】半田による接合が行われる接合部に配置した半田ごてと、接合部に半田を連続的に供給する半田供給手段と、基板を覆って接合部を暗中状態とする遮蔽体と、赤色よりも長波長の光を照射する光源と、この光源で照らされた接合部を撮影するカメラと、このカメラで撮影された画像から、この画像中の接合部における半田の面積を検出して、この半田の面積が所定値を越えた場合に半田供給手段による半田の供給を終了させる制御部とにより半田付けを行う。 （もっと読む）

【課題】基板上に存在するスジ状の欠陥を検出することができる基板検査装置および基板検査方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板Ｗ上に存在するスジ状の欠陥に起因する模様の方向と、光学系に起因するスジ状の模様の方向とが画像上で異なるように、撮像部２６と照明部２４を、ガラス基板Ｗ上に存在するスジ状の欠陥の方向（Ｘ方向）と異なる方向（Ｙ方向）に移動させながら撮像を行う。その結果、ガラス基板Ｗ上に発生するスジ状の欠陥に起因する模様の方向と、光学系に起因するスジ状の模様の方向とが異なる画像が得られる。それらの方向の違いを考慮した輝度値の演算を行うことによって、ガラス基板Ｗ上に存在するスジ状の欠陥を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】容器に装着された蓋の検査を容易に行うことができる容器蓋検査方法を提供する。
【解決手段】液体１２が収容された容器３の蓋４を検査する際には、容器３の下側より容器３に収容された液体１２に下部照明３１からの光４４を当てる。すると、この光４４は、液体１２を通過する際に液体１２を全体的に光らせるので、当該液体１２を照明として利用することができる。この状態において光屈折体６１を通して容器３の上部の画像をカメラ３３で取得し、その画像を画像処理部７１に入力する。すると、カメラ３３では、蓋４の上面６２及び容器３の側面１１側に折曲された蓋４の周縁部の像が撮影され、このカメラ画像を用いた検査が画像処理部７１で行われる。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、中空糸膜モジュールの不通糸欠陥の有無およびその発生の程度を中空糸膜モジュールを劣化させることなく非接触の方法によって判断することが可能であり、良否の判定を従来の方法よりも正確に行うことができる方法およびその装置を提供することを課題とする。
【解決手段】
中空糸膜モジュールのポッティング端面に光源による光を照射し、前記端面からの反射光を撮像し、前記撮像によって得られた画像と予め定めるモデル画像との相関をとって中空部分が空洞になっている中空糸膜を検出し、前記中空部分が空洞になっている中空糸膜をマスクし、前記撮像画像について前記中空部分が閉塞している中空糸膜部分と樹脂部分との２値化処理を行い、前記２値化処理画像から中空部分が閉塞している中空糸膜を検出し、前記中空部分が閉塞している中空糸膜の本数が予め定める閾値を上回る場合は中空糸膜モジュールを不良品と判定する検査方法およびかかる手段を有する装置。 （もっと読む）

【課題】粒子などのフィラーが存在するフィルムの中から、迅速かつ高精度な欠陥検査を可能にし、該欠陥検査の情報を記録若しくは添付したフィルム状製品を提供することにある。
【解決手段】光学的特性が異なる粒子などのフィラーが存在するフィルム状検査対象に対して、斜方照明と落射照明の２系統の検出光学系を備え、照明光の照射角および照明光の波長を選択することで、撮像される画像から欠陥とフィルム中に存在するフィラーの濃淡度の相違を検出し、これに基づいて欠陥を弁別し、さらに欠陥種、大きさ、欠陥の検出座標を検査結果として記録若しくは添付することで、フィルム状製品の品質管理を改善して付加価値を高める。 （もっと読む）

【課題】鋼帯の連続移送ライン内で鋼帯の表面欠陥を精度良く検出するための光学的検出方法及び装置を提供する。
【解決手段】鋼帯表面を照射する光源(1)及びその光学画像を撮像するラインカメラ(2)を鋼帯移送方向Yに対し傾斜配置し、走査線Z(鋼帯幅方向Xに対し角度θの傾斜をなす)に沿ってラインカメラ(2)を走査して光学画像を取り込む。この斜め走査の効果として、鋼帯の幅方向と同じ成分の微細な線状疵等を検出対象とする表面欠陥検出操作において、カメラの走査方向と欠陥成分とに傾斜角がつき、一走査で得られる画像情報のなかに正常部と欠陥部の情報が存在することになり、ベースノイズ（鋼帯の表面粗度,光沢,その他の要因による信号）の変動を伴なう実操業の欠陥検出条件のもとで、表面欠陥の有無および大きさ等を精度良く判定することができる。
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