【課題】印刷回路基板の光を照射する対象部分に均一に光を当て、かつ印刷回路基板への光の入射を均一とすることで、微細配線パターンにおける突起や凹みといった三次元的な欠陥の検出を可能とする。
【解決手段】印刷回路基板の配線パターンの光学的検査に使用される装置であって、印刷回路基板の上方に設けられ該基板に向けて光を照射する光源と、照射された光を印刷回路基板上に導く円筒状の導光手段を有し、該導光手段の内壁面が、光の反射率が０％以上２０％以下である部材で構成されていることを特徴とする印刷回路基板の光学検査装置、および光学検査方法。 （もっと読む）

【課題】垂直、水平及びその他の角度のクラック（“亀裂”）を“膨れ”から区別することができるガラス容器の検査装置を提供すること。
【解決手段】検査ステーションにおいて回転しているガラス容器を検査するための装置。カメラが、ガラス容器上の関連する領域（例えば、口部）の像を撮像し、前記領域はある角度増分毎に撮像される。各像内で異常な対象物が分析され、データに対するその中心の偏りが測定される。最大値よりも小さい偏りによって、制御装置が、当該対象物を“膨れ”として特定することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】被検査面の微小な表面欠陥を地合ノイズの影響を受けずに安定して検査することのできる表面検査装置を提供する。
【解決手段】光源２から鋼板１の表面に照射された照明光の反射光を受光して鋼板表面の画像信号を得る撮像装置３の空間分解能を０．２ｍｍ以下にするとともに、照射位置での鋼板１の法線方向１ａを基準として撮像装置３を光源２と同じ側に配置し、かつ光源２から鋼板表面への照明光の入射角度αを６０°〜８０°の間の角度に設定するとともに、撮像装置３の受光角度β１を２０°〜αの間の角度に設定した。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の一方側に少なくとも液体を含む流体を供給し、他方側から流出する液体の状態を観察し評価することができるようにすることである。
【解決手段】液体透過状態評価装置１０は、測定対象物である多孔体１２を保持する保持部１４と、少なくとも液体を含む流体としての気液二相流れ２１を多孔体１２に供給する流入管２０と、透明回転板２２と、透明回転板２２を介し多孔体１２の下面を撮像する撮像装置２４と、透明回転板２２を回転する駆動部２６と、多孔体１２から流出した液体が液滴３０となって落下し透明回転板２２に付着した液滴３１を拭き取る拭取部２８とを含み、これらが適当な測定台１１の上に配置されて構成される。 （もっと読む）

本発明の方法は、走査データを生成するために、試験対象デバイス（１７０）の抜去後に試験ソケット（１２０）を走査するステップを有する。前記走査データが基準データと比較される。前記比較に基づいて前記試験ソケット（１２０）内にピン（２１０）の少なくとも一部が存在することが検出される。試験システム（１００）は、試験ソケット（１２０）、走査装置（１４０）および制御ユニット（１５０）を有する。前記試験ソケット（１２０）は、試験対象デバイス（１７０）を受容するように動作可能である。前記走査装置（１４０）は、走査データを生成するために、試験対象デバイス（１７０）の抜去後に、前記試験ソケット（１２０）を走査するように動作可能である。前記制御ユニット（１５０）は、前記走査データを基準データと比較し、前記比較に基づいて前記試験ソケット（１２０）内にピン（２１０）の少なくとも一部が存在することを検出するように動作可能である。
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【課題】蛍光ランプの蛍光塗膜の検査において、検査精度の飛躍的な向上を図る。
【解決手段】蛍光ランプ検査装置１は、面発光光源２と、カメラ３と、画像処理装置４とを備える。画像処理装置４は、画像メモリ５、演算装置６を備え、演算装置６は判定手段１７を有する。面発光光源２で光を照射された蛍光ランプ１１は、面発光光源２とは反対側に設けられたカメラ３で撮像され、画像データが画像メモリ５に記憶される。記憶された画像データに対して、判定手段１７は、欠け不良検査処理及び膜厚不良検査処理を実行する。両検査処理では、欠け不良や膜厚不良の異常部位を明部として、正常な部位を暗部として明確に区別することができる。その結果、ガラス管１１表面の反射光の影響を受けてしまう従来技術と比較して、飛躍的に検査精度の向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】複数の角度位置での試料画像に含まれる各欠陥を表す部分を単一の画像に集約させて表し、欠陥の属性（位置、形状、大きさ、数等）をより正確に判断することができるようにした検査装置及び方法を提供することである。
【解決手段】表面検査装置及び方法は、回転される半導体ウエーハ１０の表面を前記撮像カメラ３０にて撮影して得られる複数の角度位置での半導体ウエーハ画像のそれぞれから所定の基準画像を差し引いて差分画像を生成し、前記複数の角度位置での差分画像を角度位置の補正を行いつつ合成して合成画像を生成し、該合成画像から前記試料表面の欠陥を検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】孔内面の鋳巣、疵、バリ等の欠陥をＳ／Ｎ良く検出できる円筒孔検査装置を得る。
【解決手段】円筒の孔内面を照明するための照明手段４と、照明手段よりの照明光を伝達する導光手段５と、導光手段よりの照明光を孔内面に照射する照明照射手段６と、画像反射手段７を有し、照明照射手段より照射される照明の照射角度と孔内面にて反射されて画像反射手段に入射する画像の入射角度とが略正反射となるよう構成された内視鏡８と、内視鏡及び画像伝達手段を介して撮像手段より撮像された孔の内面の画像から欠陥を検出する欠陥検出手段１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】被検査物の外観検査と回転振れ検査を、同じ一次元撮像手段を用いる装置構成により高精度で行うことができるように、その検査方法について工夫すること。
【解決手段】被検査物の表面画像を入力して該被検査物の検査を行う方法であって、先ず、上記一次元撮像手段５をライン状の反射光に対して略平行な所定位置に移動し、少なくとも上記被検査物３の一周以上の画像を入力し、この入力した外観検査用画像を処理することにより、該被検査物の外観検査を行い、次に、上記一次元撮像手段５を上記被検査物３の中心軸に対して斜めになる所定位置に移動し、少なくとも該被検査物の一周以上の画像を入力し、この入力した偏心・回転振れ検出用画像から、該被検査物の回転時の偏心・回転振れを演算し偏心・回転振れ検査を行い、上記被検査物の外観検査と偏心・回転振れ検査を順次行うことである。 （もっと読む）

【課題】被検体からの光を略水平方向に偏向する偏向部と偏向された光を受光する撮像部とが水平支持された画像取込装置において、被検体の大型化に対応し、振動の影響を低減した検査を行うことができるようにする。
【解決手段】基板５０を水平方向に搬送しつつ、撮像領域を撮像して画像を取り込むようにした画像取込装置１００であって、撮像部４と、撮像領域の基板５０上からの光を撮像部４に入射せしめる偏向部５と、撮像部４および偏向部５を支持する水平支持体３と、基板５０の搬送路を跨ぐ状態で架設された梁部を、搬送方向に対する両側側の支柱部で支持してなる門型支柱２とを備え、水平支持体３は、梁部上において、搬送方向の上下流側にそれぞれ張り出した状態で固定され、撮像部４および偏向部５は、それぞれ水平支持体３の一方および他方の張り出し部に分けて配置された構成とする。 （もっと読む）

遠暗視野照明と改良された暗ストライプ照明との組み合わせである照明構成が開示される。この新規な組み合わせにより、例えば透明なフィルムの移動ウェブ上の傷の検出は、いずれか単独でなされるか又は個々の総和でなされるよりも確実なものとなる。
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【課題】基板端部に発生する研磨痕を、効率良く検出することができる基板端面端面検査装置を提供する。
【解決手段】照明光学系１から放出された照明光は、ウエハ２のベベル部３を斜め照明する。一方、ベベル部３の鉛直方向上方には、撮像光学系４が設けられており、ベベル部３の研磨痕により発生する回折光を受け、その像を撮像装置５の撮像面上に結像するようになっている。撮像光学系４の光軸は鉛直方向向きとされている。照明光学系１の光軸は、鉛直方向からθだけ傾いており、この結果ベベル部３での正反射光は撮像光学系４の対物レンズに入射することができない。そして、ベベル部３の研磨痕により発生する回折光が撮像光学系４の対物レンズに入射するようになっている。 （もっと読む）

【課題】 単位パターンのピッチが例えば５０μｍ〜１０００μｍであるような繰り返しパターンに生じた欠陥を、短時間で、高信頼に検査する。
【解決手段】 単位パターンが周期的に配列された繰り返しパターンを備えた被検査体の、繰り返しパターンに生じた欠陥を検査するパターン欠陥検査方法であって、繰り返しパターンに所定の入射角で光を照射して回折光を生じさせる工程と、繰り返しパターンからの回折光を受光して結像させる工程と、回折光を結像させた像を観察することにより繰り返しパターンに生じた欠陥を検出する工程と、を有し、回折光を受光して結像させる工程では、繰り返しパターンからの回折光のうち、絶対値が４５次〜１６００次の超高次回折光を受光する。 （もっと読む）

【課題】入射光を散乱する性質を有する対象面において周囲に対して凸状または凹状となる欠陥を容易に精度よく検出する。
【解決手段】欠陥検出装置１は、板金加工物である対象物９の対象面９１上にフラッシュ光である光束８１を導く光照射部２、光の照射方向とは反対側に配置されて対象面９１を撮像する撮像部３、および、対象物９を光照射部２および撮像部３に対して相対的かつ連続的に移動する移動機構４を備え、対象物９が連続的に移動する間に光の照射および撮像が繰り返される。光照射部２の光軸Ｊ１と撮像領域の法線Ｎとのなす角θ１は７０°以上９０°未満とされ、撮像部３の光軸Ｊ２と法線Ｎとのなす角θ２は０°以上４２°以下とされる。さらに、撮像領域の各位置に入射する光の入射方向の範囲の半角が０°以上３°以下とされる。これにより、撮像部３により取得された画像中の影として対象面９１上の欠陥を容易に精度よく検出することができる。 （もっと読む）

【課題】教示が簡単で低廉なコストの３次元クリームはんだ印刷自動検査を実現する。
【解決手段】水平姿勢の基板と、その上方から１次元イメージセンサカメラの横長視野に沿って幅広く基板を照明する拡散光光源と、基板に対してカメラ視軸が斜め角度を取る姿勢に設置した１次元イメージセンサカメラとが構成する３次元撮像幾何光学配置において、カメラのピクセル配置に直交する方向に基板を移動することによって、基板全面の３次元画像を獲得し、検体クリームはんだ印刷基板の３次元画像と基準クリームはんだ印刷基板の３次元画像との差分画像処理を行い、クリームはんだの広がりや高さの異常によって生じた教示閾値を超える差分のある画素を、異同画素として検出する。 （もっと読む）

【課題】被検査物の被検査面に向けて出射させる検査光を拡開させることにより、被検査物の被検査面の表面状態の検査に要する検査時間を短縮させることができる被検査物検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物検査装置は、被検査面１０をもつ被検査物１を保持する被検査物保持部１５と、検査光８を投光する投光部２と、投光部２から投光された検査光８を透過させると共に被検査物１の被検査面１０に向けて検査光８を出射させる導光体３と、被検査物１の被検査面１０で反射した反射光８ｈを撮像する撮像部６とを備える。導光体３は、被検査物１の被検査面１０に対向する側に形成され、検査光８をこれの出射角を拡開させて被検査物１の被検査面１０に照射させるように、断面で被検査面１０に突出する円弧凸状をなす出射面４８を備えている。 （もっと読む）

【課題】透光性を有するシーツ材の外観を容易に検査できるようにする。
【解決手段】透光性を有するシート材の外観を検査する外観検査システムにおいて、複数の互いに色が異なる単一色の背景板が、被検査物の搬送方向に直交する方向に搬送幅にわたって設けられ、搬送されてきた被検査物がその上を通過する。複数のリニアカラーセンサを内蔵するカメラが、前記複数のリニアカラーセンサのそれぞれが前記複数の背景板の１つの上の画像を撮像する位置に、設置される。画像処理装置は、被検査物の中の同一箇所が前記複数の背景板の上の被検査物を通るとき前記カメラにより撮像された被検査物の画像から、被検査物の外観の欠陥を検査する。 （もっと読む）

【解決手段】 素材ガラス２が割断されたか否かを検査する検査装置１５は、素材ガラス２に検査光Ｌ１を照射する検査光照射手段３２と、素材ガラス２からの反射光Ｌ２を受光する受光手段３３とを備えている。
素材ガラス２が割断されると割断面２Ｃ、２Ｄが生じ、検査光Ｌ１は素材ガラス２内に進入してから内部の裏面２Ｂと表面２Ａとによって交互に反射されてから割断面２Ｃによって反射されてから外部へ出て受光手段３３によって受光される。この受光手段３３によって反射光Ｌ２が受光されない場合には、素材ガラス２が完全に割断されていないと判定する。
【効果】 検査光照射手段３２と受光手段３３を近接させて素材ガラス２の表面側に配置できるので、検査装置１５の構成を小型化できる。 （もっと読む）

【課題】タイヤの表面の異種ゴムが加硫成形された部分を確実に識別することができるタイヤの表面検査方法および装置を供する。
【解決手段】ラインカメラ３によりタイヤ表面上に設定される被撮像ラインＬに向けて互いに反対側から光を照射する１対の第１投光器11ａ， 11ｂからなる第１照射手段11と、同第１照射手段11と異なる照射方向で被撮像ラインＬに向けて互いに反対側から光を照射する１対の第２投光器12ａ， 12ｂからなる第２照射手段12とを交互に作動して、タイヤ表面の被撮像ライン部分に交互に光を照射し、第１照射手段11と第２照射手段12の光の照射に同期してラインカメラ３によりタイヤ表面の被撮像ライン部分を撮像することを、タイヤ表面の被撮像ライン部分を順次変えて繰り返し行い、ラインカメラ３が撮像した画像を分析してタイヤＴの表面を検査するタイヤの表面検査方法および装置。 （もっと読む）

【課題】“まくれ”を検知することができるガラス容器を検査するための装置を提供すること。
【解決手段】ガラス壜の“まくれ”の有無を検査するための装置。底部の光が光を垂直方向上方へ導き、上方からガラス壜の像を結像するカメラに像を結ばせる。ビームスプリッタは、水平方向の光を射出する第二の光源からの光をシール面に向かって垂直方向下方へ再配向させる。壜の口は白色に見え、シール面は灰色に見え、灰色に見えている段部上の“まくれ”によって、環状段部が黒色に見える。 （もっと読む）