【課題】立体角をわずかに変えて観察した際に表面塗装に生じる変化も表面特性検査の際に分解できるようにすることである。
【解決手段】本発明は、表面の光学的特性を検査するための装置に関するものであり、所与の一つ目の立体角で検査表面に光を照射する、少なくとも一つの主照射装置を備え、表面に照射され、そこから反射して戻ってきた光を補足するための少なくとも一つの主検出装置を備え、このとき主検出装置は位置分解して光を検出することができ、所与の二つ目の立体角で表面に対して配置されており、少なくとも一つの副照射装置または副検出装置を備え、これは所与の三つ目の立体角で光を検査表面に照射するか、または表面に照射されてここから反射して戻ってきた光を検出する。 （もっと読む）

【課題】ウェーハ上の欠陥分布を検査する表面検査装置において、欠陥検査と同時進行でウェーハの厚さとフラットネスを測定できるようにする。
【解決手段】本発明は、ウェーハを固定し、回転及び直線移動を行う搬送系と、前記直線移動の経路上に配置されたウェーハ上の欠陥の位置とサイズを特定する散乱光学系と、前記直線移動の経路であって、前記散乱光学系よりも前に配置されたフラットネス測定系と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】数秒／枚程度で生産されるパターンドメディアを全面を全数に亘って検査することを可能にするパターンドメディアの形状欠陥検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】基板に形成された寸法が１００nm以下の繰り返しパターンを検査する方法において、基板に複数の波長成分を含む光を照射し、この光を照射した基板からの反射光を分光して検出し、この分光して検出して得た信号を処理して分光反射率を求め、この求めた分光反射率から評価値を算出し、予め求めておいた評価値とパターン断面形状との関係に基づいて分光反射率から算出した評価値からパターンの形状欠陥を判定するようにした。 （もっと読む）

【課題】ピングリッドアレイパッケージ基板の製造のためのリードピン検査装置及びこれを利用したリードピン検査方法を提供する。
【解決手段】本発明の実施形態によるリードピン検査装置は、リードピンが挿入されるピン挿入孔を有する整列板、前記整列板に対向されて前記リードピンを撮影する撮影機構、前記撮影機構の周辺に沿って配置され、前記ピン挿入孔に挿入された前記リードピンに向けて光を照射する照明機構、前記照明機構を駆動させる照明駆動機、そして前記照明機構によって照射された光が前記リードピンから反射されて前記撮影機構に向けるように、前記照明駆動機を制御する制御機を含む。 （もっと読む）

【課題】空間フィルタの設定には、オペレータの目視によるスキャン画像の確認と空間フィルタの調整の繰り返し作業が必要とされる。また、設定状態がオペレータに依存する。
【解決手段】散乱光の像（ビーム像）と回折光の像（フーリエ像）を同時に観察すると共に、散乱光の像（ビーム像）と回折光の像（フーリエ像）の各強度プロファイルを同時に監視する。１本の空間フィルタだけを回折光の像の視野範囲でスキャンし、空間フィルタを挿入しない場合の強度プロファイルに対する状態変化を検出する。検出された状態変化に基づいて空間フィルタの設定条件を決定する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、オートフォーカス動作を行わなくとも、多分割セル方式によるＳ／Ｎ向上を可能とし、高感度の検査を実現できる光学式表面欠陥検査装置または光学式表面欠陥検査方法を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、被検査体に検査光を照射し、該被検査体の表面からの散乱光を受光器に結像し、該受光器からの出力に基づいて前記被検査体の表面の欠陥を検査する光学式表面欠陥検査装置または光学式表面欠陥検査方法において、前記受光器は一端が前記散乱光を受光する円形上の受光面を形成し、他端が複数の受光素子に接続された光ファイバーバンドルを有し、該光ファイバーバンドルは前記受光面において扇形状を有する複数のセルに分割され、該セル単位で該受光素子に接続されており、複数の前記セルの出力に基づいて前記検査を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ウェーハ上のＬＰＤを検出して結晶欠陥と付着異物とに分類する精度を向上させる方途を提供する。
【解決手段】ウェーハの表面に対して垂直の方向に照射させる垂直照射光の該照射表面からの散乱光のうち、高角度範囲に散乱する散乱光の検出強度から照射表面における輝点欠陥の第１のサイズを求め、照射表面に対して斜めの方向に入射させる斜め照射光の該照射表面からの散乱光のうち、低角度範囲に散乱する散乱光の検出強度から輝点欠陥の第２のサイズを求め、輝点欠陥を、第２のサイズに対する第１のサイズの比および予め求めた閾値に基づいて結晶欠陥と付着異物とに分類するに際し、垂直入射光の波長と斜め入射光の波長とを異ならせるようにする。 （もっと読む）

【課題】基板の粗さを得る方法、及び基板の粗さを得るための装置において、ウェハ加工途中の微細な凹凸のパターンを有するパターン付きウェハの表面粗さを測定することを可能にすることで、ウェハ間の膜厚や膜質のばらつきによる歩留まりを向上させることを目的とする。
【解決手段】基板に形成されたパターンに関する設計情報を得る第１のステップと、前記設計情報を用いて、前記基板の表面粗さを得ることができる表面粗さ測定領域を得る第２のステップとを有する基板の粗さを得る方法、及び基板の粗さを得るための装置である。 （もっと読む）

【課題】反射防止フィルムの製造において、異物などの欠陥とその周辺の膜厚の微小な変化による欠陥を正確に検出できる検査方法を提供するものである。
【解決手段】反射防止透明フィルムの欠陥検査方法であって、被検体の表面を撮像および画像処理し、検出した欠陥の箇所の座標および欠陥画素数と、欠陥部を中心とした欠陥画像を保存し、次に、保存した前記欠陥画像を欠陥部を中心に外周方向にｎ画素分の画素に対して濃度を取得すること、また更には、欠陥画像に対し、欠陥周辺の濃度を取得、処理して欠陥サイズを判定ことを特徴とする反射防止透明フィルムの欠陥検査方法である。 （もっと読む）

【課題】アライメント精度を高める。
【解決手段】実施形態のアライメント方法は、局所領域設定ステップと、局所アライメントステップと、シフトステップとを、含む。局所領域設定ステップでは、局所領域設定部が、アライメント対象領域の中から、アライメント要求精度以上の精度で行われる局所アライメントの実行対象領域である局所領域を設定する。局所アライメントステップでは、局所アライメント部が、前記局所領域において、検査対象のパターン画像と検査基準の基準パターン画像との前記局所アライメントを行い、局所アライメント結果であるシフト量を得る。シフトステップでは、シフト部が、前記シフト量を用いて前記基準パターン画像全体をシフトする。 （もっと読む）

【課題】 不規則な回路パターン部分では、パターンからの散乱光によって欠陥信号が見落とされ、感度が低下する。
【解決手段】 基板試料を載置してＸ-Ｙ-Ｚ-θの各方向へ任意に移動可能なステージ部と、基板試料を斜方から照射する照明系と、照明された検査領域を受光器上に結像する結像光学系とを有し、該照明系の照射により前記基板試料上に発生する反射散乱光を集光する。更に、互いに異なる複数の偏光成分を同時に検出する偏光検出部を有する。更に、上記偏光検出部で検出される互いに異なる複数の偏光成分信号を複数チップ間あるいは所定領域の画像内で比較して、統計的な外れ値を試料上の欠陥として検査する。 （もっと読む）

【課題】
検査対象基板において不規則な回路パターン部分では、パターンからの散乱光によって欠陥信号が見落とされ、感度が低下する課題があった。
【解決手段】
光源から出射した光を検査対象基板上の所定の領域に所定の複数の光学条件をもって導く照明工程と、前記所定領域において、前記複数の光学条件に対応して生じる複数の散乱光分布の各々につき、所定の方位角範囲および所定の仰角範囲に伝播する散乱光成分を受光器に導き電気信号を得る検出工程と、該検出工程において得られる複数の電気信号に基づいて欠陥を判定する欠陥判定工程とを有することを特徴とする欠陥検査方法を提案する。 （もっと読む）

【課題】溶接ビードの幅方向の位置ずれ量を算出するためのコストを抑えることができる溶接ビードの品質検査方法を提供する。
【解決手段】溶接ビードの品質検査方法は、床小梁との結合部分と端板の溶接ビード側端、溶接ビードの端板との結合部分にそれぞれ影ができるように光を当て、モノクロＵＳＢＣＣＤカメラで撮像する。得られた２つのモノクロ画像データを二値化し、端板の溶接ビード側端に相当する基準線ａ、溶接ビードの床小梁との結合線ｂ、溶接ビードの端板の結合線ｃをそれぞれ設定する。次に、双方の結合線ｂ、ｃの間に中間線ｄを設定し、基準線ａから仮想溶接線ｅを設定する。そして、仮想溶接線ｅの垂直方向Ｙの位置に対する中間線ｄの垂直方向Ｙの位置のずれ量Ｙａを算出する。 （もっと読む）

【課題】吸収体パターンを被着させる前のマスクブランクの段階で位相欠陥を検出することが可能な装置を提供する。
【解決手段】マスク検査装置１００は、ＥＵＶ光を反射する多層膜が形成されたマスクブランクの表面に照明光を照明する照明光学系と、マスクブランク表面から反射された同じ位置の像について、異なるデフォーカス量でデフォーカスさせた位置で撮像するセンサ１０５，３０５と、異なるデフォーカス量で撮像されたマスクブランク表面の同じ位置での第１と第２の光学画像を用いて、マスクブランクの欠陥の有無を判定する判定部１７６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】異物を検出する際に影の発生を抑制して異物検出感度を向上させるとともに、繊維条体の太さムラを良好に検出することができる繊維条体測定装置を提供する。
【解決手段】クリアラは、光源部３６と、透過光受光部及び反射光受光部を兼ねる受光部と、拡散部材３８と、を備える。光源部３６は、走行する紡績糸に対して光を照射する。受光部は、光源部３６から照射されて紡績糸を透過した光を受光する。また前記受光部は、光源部３６から照射されて紡績糸により反射された光を受光する。拡散部材３８は、光源部３６と紡績糸との間に配置され、光源部３６からの光を拡散させる。そして、拡散部材３８は、紡績糸の走行方向に平行な平面内で光を拡散させる度合いに比べて、当該走行方向と直交する平面内で光を拡散させる度合いの方が大きい。 （もっと読む）

【課題】タイヤの外観検査において被検体となるタイヤ全てのマスター画像を画像処理手段に記憶させることがないように、外観検査毎に被検査対象となるタイヤからマスター画像を作成するタイヤのマスター画像生成方法及びマスター画像生成装置を提供する。
【解決手段】撮像画像に対してパターンマッチングし、所定のマッチング率以上の領域をマッチング画像として抽出するマッチング画像抽出ステップと、モデル画像の画素幅と、マッチング画像の画素幅とを同一方向、かつ、同一幅で漸増させて、当該モデル画像と当該マッチング画像とをパターンマッチングし、モデル画像とマッチング画像とのマッチング率の変化を探索するマッチング率探索ステップと、マッチング率探索ステップでマッチング率が所定の閾値以下に変化したときのモデル画像の画素幅にモデル画像の大きさを変更するモデル画像変更ステップとを含むようにした。 （もっと読む）

【課題】検査対象のビンの中に、正常品のビン（充填時に設定した形状のビン）とは異なるビン（異種ビン：設定外の形状のビン）が含まれているときに、異種ビンが存在することを簡単に検知することに適したビン検査装置を提供する。
【解決手段】立設されているビンに対して上側から装着される検査ヘッドと、予め定められている鉛直方向の異なる位置に設置されていて、前記ビンに対して上側から装着されている状態の前記検査ヘッドの方向に向けて、それぞれ水平方向に検査光を発射する複数個の光電センサとを備えており、前記複数個の光電センサから鉛直方向の異なる位置で、水平方向に発射される複数本の検査光が前記検査ヘッドの上端側で遮光されるか否かを利用して、前記検査ヘッドが装着されたビンが正常品のビンであるか否かを把握するビン検査装置。 （もっと読む）

【課題】搬送路の幅が短い環境であっても、照明条件の異なる複数の検査を実行するのに必要な光学系を配備して、シートの両面に対する検査を実行する。
【解決手段】シートＳの搬送路の上方にカラーカメラＣ１を、下方にモノクロカメラＣ２を、それぞれ受光面をシートＳに向け、シートＳの搬送方向に沿って位置ずれした状態で配備する。各カメラＣ１，Ｃ２に対し、その撮像対象領域に斜め方向から光を照射する青色光源１０Ｂ_１，１０Ｂ_２を設けると共に、カメラＣ１に搬送路を介して対向する位置に赤色光源１０Ｒをその光軸をカメラＣ１に合わせた状態で配備する。欠陥検出装置３には欠陥検出のための処理を行う検出部として、カメラＣ１からの青色画像データＤ_Ｂを処理する検出部３０Ｂと、カメラＣ１からの赤色画像データＤ_Ｒを処理する検出部３０Ｒと、カメラＣ２からのモノクロ画像データＤ_ＢＬを処理する検出部３０ＢＬとが設けられる。 （もっと読む）

【課題】バンプ検査のスループットを向上することが可能な検査装置を提供する。
【解決手段】顕微鏡から入射されたウェハの表面の像をセンスし、ウェハ１の表面の第１の検査画像データを取得する第１の受光センサ６と、顕微鏡から入射された像に対してウェハ１の表面に形成されたバンプの上部の基準位置にピントを補正し、顕微鏡から入射されたバンプの像をセンスし、バンプの第２の検査画像データを取得する第２の受光センサ７とを備え、第１の受光センサ６により取得された第１の検査画像データと、予め取得された第１の基準画像データとを比較し、この比較結果に基づいてウェハの表面の欠陥を検出する第１の画像処理ユニット８と、第２の受光センサ７により取得された第２の検査画像データと、予め取得された第２の基準画像データとを比較し、この比較結果に基づいてバンプの不良を検出する第２の画像処理ユニット９とを備える。 （もっと読む）

【課題】フィルムの外観検査を容易に行うためのフィルム検査装置を提供すること。
【解決手段】フィルムの巻き出しまたは巻き取りロール２本と、前記ロール１本毎に各巻き芯の軸部の両端を平行な２本のアームの一方の端で保持するスイングアーム機構２組と、全てのアームの他端部を共通に貫く旋回中心軸と、を有し、２本のロールは平行に配置され、各ロールにより両端部を固定したフィルムの一部を平面状に保持して検査することを特徴とする。 （もっと読む）