【課題】微小点状欠陥の検出を精度良く行うことができる。
【解決手段】リング状の光出射部３Ａと、光出射部３Ａと鋼板２との間に、光出射部３Ａと同心円状で、かつ、光出射部３Ａの内径より径の小さい光学的な開口部を有する遮光板３Ｂとを有したリング照明装置３と、遮光板３Ｂの開口部の中心線Ｃ上に配置され、該開口部を介して鋼板２の表面を撮像する撮像部４と、を備え、撮像部４が撮像する鋼板２表面上の撮像領域Ａには、光出射部３Ａから照射された光のうち遮光板３Ｂの開口部縁部で回折した光のみが照射され、光出射部３Ａと鋼板２表面との間の距離Ｈは、撮像領域Ａ内の平均輝度レベルが所定レベル以上で、かつ、撮像領域Ａ内の輝度レベル差が所定範囲内となるように設定される。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＰシートの製造過程における錠剤の外観異常を検査するに際し、装置の大型化や検査効率の低下を抑制しつつ、検査精度の飛躍的な向上を図ることのできる錠剤検査装置及びＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】錠剤検査装置は、均一光Ｔ１を照射する第１照射装置２２ａと、スリット光Ｔ２を照射する第２照明装置２２ｂと、カメラと、画像処理装置とを備えている。カメラの撮像素子２３ｂは、均一光Ｔ１の照射領域を撮像する二次元撮像用撮像領域Ｋ１と、スリット光Ｔ２の照射領域を撮像する三次元計測用撮像領域Ｋ２とを有している。画像処理装置は、二次元撮像用撮像領域Ｋ１より得たデータを基に錠剤５の輝度画像を生成し、三次元計測用撮像領域Ｋ２より得たデータを基に錠剤５の形状画像を生成する。そして、輝度画像及び形状画像を基に、錠剤５の外観異常が検査される。 （もっと読む）

【課題】正規品種の紙カップと異品種の紙カップとを区別し、異品種の紙カップを製造工程から排出可能にする。
【解決手段】検査装置１は、製造工程における隣り合う工程間を繋ぐシューター２０内を通過する紙カップを撮像するエリアカメラ３と、エリアカメラ３が撮像して得た画像データと予め用意した比較用の画像データとを比較して、紙カップが正規品種か否かを判定する判定部１１と、判定部１１が正規品種でないと判定した場合、正規品種でないことを報知する警告制御部１２及び警告装置５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】建物の壁面全体の異常をリアルタイムに検出することのできる壁面異常検出装置を提供する。
【解決手段】壁面異常検出装置は、建物の近傍に固定され、建物の壁面をこの壁面に対して水平方向に撮像して建物部分の領域および建物以外の部分の領域が含まれる撮像画像を生成するカメラ１と、カメラ１により生成された撮像画像に含まれる建物部分の領域と建物以外の部分の領域との境界に基づいて壁面の異常を検出する異常検出部３とを備える。 （もっと読む）

【課題】
光学素子の欠陥を精度よく確認することができる外観検査装置を提供すること
【解決手段】
本発明の外観検査装置は、基板７の欠陥を検出する外観検査装置であって、前記基板７の平面に対してそれぞれ斜めに光を照射するとともに前記基板７を挟んで配置された複数の低倍率カメラ用光源３と、これらの低倍率カメラ用光源３の光軸と交差する方向に光軸を有するとともに、前記低倍率カメラ用光源３から照射されて前記基板７から反射または透過する光を撮像する低倍率カメラ４と、前記基板７の平面に対して垂直に光を照射する高倍率カメラ用光源５と、この高倍率カメラ用光源５の光軸と同一の光軸を有するとともに前記高倍率カメラ用光源５から照射されて前記基板７で反射された光を撮像する高倍率カメラ６と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワークに対してカメラを任意の位置、姿勢に移動させながら視覚検査を行うことができるものであって、設備全体の小型化を図る。
【解決手段】支持台２上にＹＺロボット３を設け、その前方に回転テーブル４を設ける。ＹＺロボット３は、Ｚ軸移動機構５、Ｙ軸移動機構６、前後（Ｙ軸）方向に延びる光軸Ｏを有しワークＷを撮影するカメラ７を備え、カメラ７を前後（Ｙ軸）及び上下（Ｚ軸）方向に自在に移動させる。回転テーブル４は、ワークＷを載置し、垂直方向に延びる回転軸θ周りに自在に回転させる。カメラ７の先端に１８０度以上の画角を有する超広角レンズ１０を設ける。 （もっと読む）

【課題】連続して搬送されるタイヤコードの断線部、結節部、表面状態を同時に検出し、精度良くタイヤコードの表面状態を検査することを可能にする判定装置，タイヤコード処理装置及び状態判定方法を提供する。
【解決手段】直線方向に移動するタイヤコード３を所定の周期で撮像するカメラ２０；２１；２２；２３及び当該カメラ２０；２１；２２；２３の出力画像を処理する処理手段からなる判定装置において、タイヤコード３の移動速度を検出する速度検出手段と、カメラ２０；２１；２２；２３によるタイヤコード３の移動方向ｍの有効画素数Ｎをタイヤコード３の移動速度に基づき所定の画素数に設定する有効画素設定手段とを備え、有効画素範囲における現フレームＦ１の後部と次フレームＦ２の前部との移動方向重なりに基づく二重処理領域Ｎ０を、有効画素数Ｎをタイヤコード３の移動速度に基づき制御して最適化する。 （もっと読む）

【課題】透明物品に対して、透過照明を用いた高精度な外観検査を、検査漏れを可及的に低減しつつ行う。
【解決手段】外観検査装置は、ガラス管Ｇの外観検査が行われる第１回転盤１と第２回転盤２のそれぞれの回転軸Ｘ１，Ｘ２が互いに同一平面上で略直交するとともに、第１回転盤１の外周面に吸着保持されたガラス管Ｇの移動経路（Ｌ１）と第２回転盤２の外周面に吸着保持されたガラス管Ｇの移動経路（Ｌ２）とが、ガラス管Ｇの受渡位置で重複し、この重複部で第１回転盤１と第２回転盤２のそれぞれの外周面の吸着部１４，２４の指向方向が互いに略直交する構成とされている。 （もっと読む）

【課題】金属リング、又は、複数個の金属リングを積層して構成される金属ベルトの側方端面に傷が存在するか否かを確認することを容易にする。
【解決手段】検査装置３０は、第１固定ローラ３２ａ、第２固定ローラ３２ｂ及び可動ローラ３２ｃを備える。これらローラ３２ａ〜３２ｃは、ローラ本体９８ａ〜９８ｃと、該ローラ本体９８ａ〜９８ｃの下方底部に設けられたフランジ部材９６ａ〜９６ｃとを有する。ローラ本体９８ａ〜９８ｃは、フランジ部材９６ａ〜９６ｃに向かうにつれてテーパー状に縮径する。可動ローラ３２ｃが移動することでローラ３２ａ〜３２ｃに掛け渡された金属ベルト１２が緊張した後、ローラ３２ａ〜３２ｃが回転動作されると、該金属ベルト１２の下方側の側方端面２２ａがフランジ部材９６ａ〜９６ｃの上端面に着座する。この着座により、金属ベルト１２を構成する金属リング１８の上方側の側方端面２２ｂの位置が揃う。 （もっと読む）

【課題】実際の対象物と撮像手段との関係を確認する作業や、対象物と画像処理結果とを比較する作業を、モニタを用いることなく容易に行うことができるようにする。
【解決手段】撮像部１内に、ＬＣＤ１２を含む投光部１１をＣＣＤ１０と同軸になるように配備し、ＬＣＤ１２に表示された画像がＣＣＤ１０の視野に向けて投影されるようにする。処理部２では、ＣＣＤ１０により生成された画像を用いてワークＷ０の欠陥Ｄを検出し、その欠陥を含む領域Ｒに対応する領域ＲＰに周囲より明るい画像データが設定された投影用画像５０を生成し、これを投影部１１に与えて投影させる。この投影により、ワークＷ０の表面のうち、画像処理により欠陥として検出された範囲が、領域ＲＰの投影像によるマーキングパターンＭにより明示される。 （もっと読む）

【課題】互いに同期していない複数のデバイスにであっても遅延することなく再起動させる。
【解決手段】アドレスを指定することによりデータの書き込み、および、読み出しが可能に構成されたレジスタを複数有するレジスタ回路（１００）、アドレスを指定することによってレジスタ回路の複数のレジスタのデータを監視し、かつ、レジスタ回路の予め定められたレジスタにデバイスを起動させるためのデータを書き込むレジスタ制御回路（１２０）、指定されたアドレスとレジスタ回路から読み出されたデータとに基づいて複数のデバイスのうちいずれかのデバイスに所定の動作を行わせる信号発信回路（１１０）を備え、レジスタ回路（１００）では、複数のレジスタのうち予め定められた第１レジスタに複数のデバイスの各々の動作を共通して管理する第１ビットの集合が割り当てられているとともに、第１レジスタ以外の複数の第２レジスタのそれぞれに複数のデバイスの各々の動作を個別に管理する第２ビットがそれぞれ割り当てられている。 （もっと読む）

【課題】金属リング、又は、複数個の金属リングを積層して構成される金属ベルトの側方端面に、曲がりや間隙等の異状が存在するか否かを確認することを容易にする。
【解決手段】検査装置３０は、第１固定ローラ３２ａ、第２固定ローラ３２ｂ及び可動ローラ３２ｃを備える。これらローラ３２ａ〜３２ｃは、ローラ本体９８ａ〜９８ｃと、該ローラ本体９８ａ〜９８ｃの下方底部に設けられたフランジ部材９６ａ〜９６ｃとを有する。ローラ本体９８ａ〜９８ｃは、フランジ部材９６ａ〜９６ｃに向かうにつれてテーパー状に縮径する。可動ローラ３２ｃが移動することでローラ３２ａ〜３２ｃに掛け渡された金属ベルト１２が緊張した後、ローラ３２ａ〜３２ｃが回転動作されると、該金属ベルト１２の下方側の側方端面２２ａがフランジ部材９６ａ〜９６ｃの上端面に着座する。この着座により、金属ベルト１２を構成する金属リング１８の上方側の側方端面２２ｂの位置が揃う。 （もっと読む）

【課題】撮像ユニットの位置を簡単に再調整できる外観検査装置を提供する。
【解決手段】この外観検査装置１では、支持部１３により、撮像ユニット４が平面視において回転テーブル２に重なる撮像位置と、撮像ユニット４が平面視において回転テーブル２に重ならない退避位置との間で撮像ユニット４の位置を切り替え可能となっている。したがって、回転テーブル２の交換やメンテナンスを行うにあたり、撮像ユニット４を退避位置に退避させることによって回転テーブル２を簡単に取り外すことができる一方で、交換やメンテナンスを終えた回転テーブル２を設置した後に撮像ユニット４を撮像位置に戻すことで、撮像ユニット４の位置を簡単に再調整できる。 （もっと読む）

【課題】特定の要因で発生するパーティクルの数を正確に計測することができるパーティクル数計測方法を提供する。
【解決手段】ガラス窓２４を介して本排気ライン１６内にレーザ光２５を入射し、該レーザ光２５と交差したパーティクルＰ１，Ｐ２から発生する散乱光Ｌ１，Ｌ２を光検出器２１によって受光し、該受光された散乱光に基づいてパーティクルの数を計測する際に、移動しないパーティクルＰ２がガラス窓２４に付着した汚れと見なされ、移動しないパーティクルＰ２の数が本排気ライン１６内において計測されたパーティクルの数から除外される。 （もっと読む）

【課題】異物の付着した面が被検物の２面のうちのいずれの面であるかを検出することが可能な異物検査装置を提供する。
【解決手段】異物検査装置は、被検物に検査光を投光する投光部と、検査光が投光されることによって被検物から生じる散乱光の強度を検出する検出器を含む受光部と、制御部とを備える。検出器は、偏光方向が第１の方向である検査光が投光されることによって被検物から生じる第１の散乱光の強度と、偏光方向が第２の方向である検査光が投光されることによって被検物から生じる第２の散乱光の強度とを検出する。制御部は、検出器により検出された第１の散乱光の強度および第２の散乱光の強度の比が基準値より大きいか小さいかによって異物が付着した面が第１面および第２面のいずれであるかを判定する。 （もっと読む）

【課題】位相欠陥と、パターン欠陥または異物とを、同時に検出可能な検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】検査装置１００は、透過照明光学系３０１によってマスク１０１の一方の面に光を照射し、マスク１０１を透過した透過光を透過結像光学系３０３を介して第１のフォトダイオードアレイ１０４に結像する。また、反射照明光学系３０２によってマスク１０１の他方の面に光を照射し、マスク１０１で反射した反射光を反射結像光学系３０４を介して第２のフォトダイオードアレイ１０５に結像する。透過照明光学系３０１の瞳面には第１の開口絞り２０３が配置され、透過結像光学系３０３の瞳面には、第１の開口絞り２０３と共役な形状であって位相差フィルタを備えた第２の開口絞り２０８が配置されている。 （もっと読む）

【課題】照明条件、もしくは検出条件の異なる検査結果を統合することで、ノイズやNuisance欠陥と真の欠陥を高精度に判別することができる欠陥検査装置及びその方法を提供することにある。
【解決手段】本発明は、被検査対象物を所定の光学条件で照射する照明光学系と、被検査対象物からの散乱光を所定の検出条件で検出して画像データを取得する検出光学系とを備えた欠陥検査装置であって、前記検出光学系で取得される光学条件若しくは画像データ取得条件が異なる複数の画像データから欠陥候補を検出する欠陥候補検出部と、該複数の画像データから検出された欠陥候補の情報を統合して、欠陥とノイズを判別する検査後処理部とを有する画像処理部を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】透明体の検出を簡易かつ高精度に行う。
【解決手段】透過光の偏光方向が変化する特性を有する透明体１１４を含む第一領域を撮像して、垂直偏光画像および水平偏光画像を撮像するカメラ１２と、透明体１１４を載置する載置台１１３と、カメラ１２から載置台１１３を挟んで、第一領域のうち少なくとも透明体１１４を含んで撮影される第二領域の範囲を含む位置に設置された偏光フィルタ１１２と、垂直偏光画像および水平偏光画像に基づく縦横偏光度画像の縦横偏光度の分布に基づいて透明体を検出する画像処理装置１３とを備える。 （もっと読む）