【課題】検出したい欠陥を効率的に検出することのできる検査レシピを容易に特定することのできる技術を提供すること。
【解決手段】欠陥検査装置１１０は、複数の検査レシピで一の基板の欠陥検査を行い、検査レシピ毎に、基板における欠陥の位置、および、当該欠陥の特徴量、を対応させた欠陥情報を生成し、レビュー装置１２０は、欠陥情報に含まれている欠陥のうちから選択された欠陥について、選択された欠陥の種別を特定するレビュー結果情報を生成し、解析装置１３０は、欠陥情報と、レビュー結果情報と、を取得し、解析を行う欠陥の種別に対応する欠陥が有する特徴量に類似する特徴量を備える欠陥の個数を検査レシピ毎に集計する。 （もっと読む）

【課題】骨材とそれ以外の異物の、それぞれの可視光域と近赤外光域の輝度を算出し、それぞれの輝度増加率または輝度差を比較することによって骨材以外の異物を検出除去する異物除去装置を提供する。
【解決手段】本発明は、少なくとも、搬送される被選別材料を照明する照明手段と、照明された被選別材料を撮影する撮影手段と、撮影された画像を基に被選別材料中の骨材と異物のそれぞれの可視光域輝度と近赤外光域輝度との輝度増加率または輝度差を計算する画像処理手段と、該輝度増加率または輝度差が基準値以上になった場合に異物の除去信号を出す検出手段と、該除去信号に従って輝度増加率または輝度差が基準値以上となった異物を除去する除去手段とから構成されることを特徴とする異物除去装置である。 （もっと読む）

【課題】試料の表面の欠陥検査に加えて試料の裏面の欠陥検査も行なえること。
【解決手段】表面照明手段の基板に対する光照射角度及び表面撮像手段の基板に対する撮像角度の少なくとも一方を変更可能とした基板の表面を検査するための表面検査部と、基板の裏面を開放して保持し、一軸方向に基板を移動する基板の裏面検査用の移動手段を有し、裏面照明手段の基板に対する光照射角度及び裏面撮像手段の基板に対する撮像角度の少なくとも一方を変更可能とした基板の裏面を検査するための裏面検査部と、表面検査部及び裏面検査部で得られた基板の表面と裏面の画像データを処理する制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】被検査物品に印刷されたマークの検査において、被検査物品の下地の色に依存する検査の困難性を低コストの構成で軽減する。
【解決手段】コンベアによって搬送される飲料パックに追加印刷されているマークの印刷不良の有無を検査するにあたり、ＲＧＢのＬＥＤ２０Ｒ，２０Ｇ，２０Ｂを備えた照明ユニット２０は、飲料パックの品種毎に予め設定された照明条件に従ってＬＥＤ２０Ｒ，２０Ｇ，２０Ｂの発光強度が制御されることで、照明条件に応じた照明色の照明光を検査対象の飲料パックに照射し、モノクロＣＣＤカメラ１８は検査対象の飲料パックのうちマークが追加印刷された部分を検査用のモノクロ画像として撮像する。 （もっと読む）

【課題】被検査体のモデルを構築することが困難になっても、高精度に表面欠点の特徴量を算出する表面欠点検査装置を提供すること。
【解決手段】被検査体に光を照射する光照射手段と、前記被検査体を介した透過光または反射光を受光する受光手段と、前記受光手段の受光信号に基づいて前記被検査体の表面欠点を検出する欠点検出手段とを備えた表面欠点検出装置において、前記欠点検出手段は、統計処理に基づいて予め取得した補正情報を用いて前記受光信号を処理することにより、前記表面欠点の特徴量を算出することを特徴とする表面欠点検出装置。 （もっと読む）

【課題】偏光板を用いた欠陥の検出を精度良く行う。
【解決手段】走行するフイルム１６と投光器２２との間に第１偏光板２５を設置する。そのフイルム１６と受光器２４との間に、第１偏光板２５の偏光方向と直交するようにして第２偏光板２６を設置する。第１及び第２偏光板２５，２６はヨウ素系偏光板から構成される。投光器２２と第１偏光板２５との間にバンドパスフィルタ２７を設置する。バンドパスフィルタ２７は、投光器２２からの光のうち波長域が４２０ｎｍ以下及び７００ｎｍ以上の光を除去する。これにより、欠陥があるフイルム１６が位置するとき以外には、第１及び第２偏光板２５，２６から特定の偏光面の光以外の光が出ることが無くなり、欠陥に対する検出の精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】高分解能のマスク検査装置を提供すること。
【解決手段】本発明のマスク検査装置１００では、マスク１０８のパターン面１０８ｃの裏面側に対物レンズ１１２を配置した構成になっているため、パターン面１０８ｃと、対物レンズ１１２との間に、空気層を形成させることなく、屈折率約１．４４の純水１１４と屈折率約１．５６のマスク基板１０８ａだけであるため、液浸光学系を形成できる。これによって、同じ検査波長を用いた場合であっても、従来のマスク検査装置に比べ、分解能を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】検査対象の様相が品質に与える影響の大きさの度合いを示す値を導入することにより検査対象の品質のランク付けを可能とするとともに品質検査処理の高速化を実現する。
【解決手段】検査対象領域を撮影して得られた撮影データＤ１０に基づいて所定の品質検査処理を施すことにより検査対象領域の品質を検査する品質検査方法であって、前記品質検査処理に対応した外観検査処理用データＤ２０を用いて撮影データＤ１０の各位置における外観検査処理結果を算出するステップＳ３２と、前記各位置における外観検査処理結果に基づいて品質に与える影響の大きさの度合いを示す致命度を取得し、検査対象領域を写像するデータマッピング領域の前記撮影データの各位置に対応する位置を特定し、前記データマッピング領域の前記撮影データの各位置に対応する位置へ前記致命度をマッピングして致命度マッピングデータＤ５０を生成するステップＳ３３，Ｓ３４とを有する。 （もっと読む）

【課題】測定すべきターゲット構造のラフネスパラメータを求めることができるスキャトロメトリ測定方法を提供する。
【解決手段】スキャトロメトリ方法において、屈折率に関連する可変パラメータを有する表面層を含むモデルを使用することによって、ラフネスの値を取得することができる。 （もっと読む）

【課題】被検査物の周期性パターンの欠陥を画像検出するために、回折光によるコントラストの高い画像を検出する照明角度を容易に精度良く見出し、作業者間の検査精度のばらつきを抑えること。
【解決手段】 被検査物に光源からの光を略平行光として照射することで生じる回折光の測定を複数の照明角度で行い、各照明角度での回折光強度を取得する回折光強度データ取得ステップと、 照明角度ごとの回折光強度データを蓄積するデータ蓄積ステップと、 照明角度ごとの回折光強度データを用いて、照明角度ごとの欠陥の見易さを評価する欠陥評価値を計算する欠陥評価値計算ステップと、 欠陥評価値が最大値となる照明角度を設定する照明角度決定ステップと、 を含む欠陥検査装置における照明角度設定方法。 （もっと読む）

【課題】表面検査装置において、被検体の表面の法線に対して光軸が傾いた観察光学系により撮像や観察を行う場合に、像の歪みや画像の解像度の低下を低減像の歪みや画像の解像度の低下を低減して検査精度を向上することができるようにする。
【解決手段】表面検査装置１において、光源４と、光源４から出射される光により基板２を照明する照明手段と、照明手段で照明された基板２の表面からの光を撮像する撮像素子８と、基板２の表面の法線Ｎに対して光軸６ａを傾けることで、基板２から斜め方向に放射される光を撮像素子８に導く観察光学系６を有し、観察光学系６は、光軸６ａの傾き角θ_ＸＺに応じて、直交する２軸方向に異なる倍率を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】 検査精度の向上が図られた被膜検査装置及びそれに用いるパレットを提供する。
【解決手段】 本発明に係る被膜検査装置１０は、被検査物３０の検査領域Ｆを撮像して、被検査物３０の芯線３４ｂに被覆された被膜３４ａの状態を検査する被膜検査装置であって、被検査物３０が収容され、被検査物３０の検査領域Ｆに対応する部分に貫通孔２４ｂが設けられたパレット２４と、被検査物３０の検査領域Ｆに励起光を照射するＵＶ光源１６と、ＵＶ光源１６の励起光が照射された状態の被検査物３０を撮像するカメラ１４と、カメラ１４によって取得した被検査物３０の画像の処理をおこない、被検査物３０の被膜状態の合否を判定する画像処理装置１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】光源の制御を容易に行なうことが可能であり、かつ、被検査物体の表面の欠陥を高精度に検査することが可能な欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】欠陥検査装置１００は、ワークＷに対して所定方向から照射光ＬＡ１を照射する照射部１Ａと、ワークＷに対して照射光ＬＢ１を照射し、かつ、照射光ＬＢ１の照射方向を変更可能な照射部１Ｂとを備える。照射光ＬＢ１の照射方向が変化するとワークＷの表面における照射領域の大きさが変化する。ワークＷの表面の曲率（言い換えればワークＷの表面形状）に応じて照射部１Ｂの照射方向を調整することができる。たとえばワークＷの表面における照射範囲が最大になるように照射部１Ｂの照射方向を設定すれば、その範囲内で欠陥の有無を検査できるので、検査精度を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】被検査物の表面の欠陥を精度よく検査することが可能な欠陥検査装置および欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】照射部１は、ワークＷの表面に対してＡ色の照射光Ｌ１，ＬＡ１とＢ色の照射光ＬＢ１と、Ｃ色の照射光ＬＣ１とを照射する。撮像装置３はワークＷからの反射光を分光して、Ａ色画像、Ｂ色画像、およびＣ色画像を同時に生成する。Ａ色画像はＢ色画像（あるいはＣ色画像）に比べて、ワークＷの欠陥に対応する部分と、その周囲との明るさ（あるいは色）の差が小さい。また、１度の撮影でＡ色画像、Ｂ色画像、およびＣ色画像が同時に生成されるので２つの画像の間に位置ずれが生じるのを防ぐことができる。よって２つの画像を比較すればワークＷの欠陥のみを２つの画像の相違点として抽出することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】波長２００ｎｍ近傍の次世代マスク検査光源として、小型で低消費電力のマスク検査光源及びそのマスク検査光源を用いたマスク検査装置を提供する。
【解決手段】発振波長の異なる複数の半導体レーザ１１１ａ〜１１１ｄと、複数の半導体レーザ１１１ａ〜１１１ｄそれぞれに対応する波長変換結晶１１２ａ〜１１２ｄとを有する深紫外光源１１であって、深紫外光源１１は、半導体レーザ１１１ａ〜１１１ｄそれぞれから発振されるレーザ光を波長変換結晶１１２ａ〜１１２ｄで波長変換し、波長変換結晶１１２ａ〜１１２ｄで波長変換されたレーザ光を合成したレーザ光を出射することを特徴とする深紫外光源。 （もっと読む）

【課題】基板上に形成された形状の欠陥を良好な効率で検出する欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】基板上に形成された形状の欠陥を検査する欠陥検査方法であって、前記基板上の分割された複数の領域にそれぞれ形成される所定のパターンに対して、光学式方法で順次１次検査を行って当該複数の領域から２次検査を行う該領域を選択する第１の工程と、前記第１の工程で選択された前記領域に対して、電子線を用いた前記２次検査を行って前記欠陥を検出する第２の工程と、を有することを特徴とする欠陥検査方法。 （もっと読む）

【課題】目視では判別できない塗膜の劣化を定量的に診断することができる塗膜劣化診断方法を提供する。
【解決手段】診断対象とする樹脂塗膜１１の劣化状態を診断する方法において、
光源１２から出射される光Ｌを上記樹脂塗膜１１に照射し、その樹脂塗膜１１からの反射光Ｌ１を分光器１３内に入力し、その分光器１３で、上記樹脂塗膜１１の劣化要因となるＯＨ基に起因する特定波長の吸光度を測定し、その吸光度から樹脂塗膜１１の劣化の程度を定量的に求める。 （もっと読む）

【課題】従来の異物検査装置においては、適切に異物を分類できないという課題があった。
【解決手段】流体を濾過するフィルタの表面に付着した異物を検査する異物検査装置であって、フィルタ表面から取得された、波長帯が異なる２以上の画像情報である多波長画像情報を受け付ける画像情報受付部１０２と、多波長画像を用いて、異物を検出する異物検出部１０３と、多波長画像情報を用いて、異物検出部１０３が検出した異物の色に関する情報である色情報を取得する色情報取得部１０４と、色情報を用い、所望の統計処理を含む処理を行って、異物を分類する異物分類部１０５と、異物分類部１０５が異物を分類した結果を出力する出力部１１１とを具備する。 （もっと読む）

【課題】微小な凹凸欠陥の形状を、計測できるようにした安価な表面検査装置及びその方法を提供する。
【解決手段】半導体レーザのような広帯域のレーザ光源を干渉計に用いた光干渉方式を用いた表面検査装置において、照明光源に可干渉距離の短いスペクトルの幅の広い半導体レーザを使用し、分岐光学要素４と合成光学要素１５との間の２つの光路の各々に、互にわずかに異なる周波数で変調する変調光学要素５、１０と光路長を調整できる光路長可変光学要素８、１３とを設置し、干渉強度を計測しながら、前記光路長可変光学要素８、１３を調整して干渉強度が最大となるように構成した。 （もっと読む）

【課題】長時間を要することなく、被検査体の欠陥を高感度に検出することができる検査装置を提供する。
【解決手段】被検査体の表面の欠陥を検出する検査装置であって、前記被検査体の表面を第１の角度で照明する明視野照明手段と、前記被検査体の表面を前記第１の角度と異なる第２の角度で照明する暗視野照明手段と、前記明視野照明手段の正反射角方向に配置され、前記被検査体の表面からの拡散光を受光するレンズ系と光電変換センサとを有する受光光学系と、前記明視野照明手段で前記被検査体を照明した際の前記光電変換センサの出力信号と前記暗視野照明手段で前記被検査体を照明した際の前記光電変換センサの出力信号との差分を演算する演算手段とを有することを特徴とする検査装置を提供する。 （もっと読む）