【課題】複数の波長域の光を利用した観察若しくは検査において適切な照明を提供する。
【解決手段】ダイクロイックミラー３ａ〜３ｃは、光源１からの光より、異なる波長域の光を抽出する。シャッタ２３ａ〜２３ｃは、ダイクロイックミラー３ａ〜３ｃの各々によって抽出された光を各々遮蔽する。駆動回路９８は、シャッタ２３ａ〜２３ｃで遮蔽させる光の選択を行う。ダイクロイックミラー３ａ〜３ｃは、シャッタ２３ａ〜２３ｃで遮蔽されなかった光を混合する。混合された光は、選択波長集光ポジション７に集光される。 （もっと読む）

【課題】 繰り返しパターンの方向が事前に分からなくても高感度な欠陥検査を行う。
【解決手段】 被検基板の表面に形成された繰り返しパターンを直線偏光により照明する手段と、直線偏光の振動面の表面における方向と繰り返しパターンの繰り返し方向との成す角度を複数の異なる角度に設定する手段（Ｓ１,Ｓ７）と、斜めの角度に設定された各状態で、繰り返しパターンから発生した正反射光のうち直線偏光の振動面に交差する偏光成分の光強度を測定する手段（Ｓ２,Ｓ３）と、各状態で測定された光強度のうち最大値に基づいて、繰り返しパターンの欠陥を検出する手段（Ｓ５,Ｓ６）とを備える。 （もっと読む）

【課題】青果物内部の局所的な内部品質を計測する場合などにおいて、青果物への測定光照射範囲と受光視野が制限されることなく高精度な計測が可能であり、さらに安定した搬送が可能な青果物搬送用トレーおよびそれを用いた内部品質評価方法を提供する。
【解決手段】略平板状の受座部材１１に青果物５１を載置しその上方に配置された略平板状の青果物保持用部材２１の開口部内に収まる青果物の側面部を可撓性部材２３によって保持する。透過光測定時には、受座部材と青果物保持用部材との間の空間を介して青果物側面部への光照射または透過光の受光を行う。あるいは、受座部材と青果物保持用部材とを、弾性を有する伸縮部材によって連結し、透過光測定時には、青果物保持用部材を受座部材に対して押し下げて、これにより青果物保持用部材の上側に露出した部分に対して測定光の照射および透過光の受光を行う。 （もっと読む）

【課題】チップ部品や内部に素子を内包したパッケージなどの割れ、欠けなどの外観不良部を高精度にかつ短時間で検査が可能な電子部品の外観検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】検査対象物１に照射する複数の照明手段３および４と、この照明手段３，４により照明された前記検査対象物１を撮像するための撮像素子と光学系からなる撮像部５と、撮像した前記検査対象物１の画像から外観形状の不良の有無を判断する画像処理装置５ａとを備えた外観検査装置であって、前記複数の照明手段３，４が、検査対象物１の側面全周方向から照射する第一の照明手段３と、上面方向から照射する第二の照明手段４からなり、前記第一および第二の照明手段３，４が互いに異なる色相の照明とした。 （もっと読む）

【課題】注射液剤中の異物を自動検出し、外乱要因のない環境下において当該異物の同定を的確に行なうことができる、ラマン分光測定法による注射剤中の異物自動測定方法およびその装置を提供する。
【解決手段】顕微ラマン分光装置のステージ下に置いた検査チップに注射液剤を注入し、低倍率の対物レンズによって検査チップの液材収容部をマッピングして画像を撮影し、撮影画像をコンピュータで二値化処理し、当該異物の重心の二次元座標を記録し、顕微ラマン分光装置の対物レンズを高倍率の対物レンズに切り替えて、異物が存在する座標位置にステージを移動し、ラマン分光測定法によって異物のスペクトルを取得し、前記スペクトルをコンピュータに記憶されているライブラリーと対比して、異物の物質名の同定を行なう。検査チップには、マイクロ流路を形成したものと、プール部を形成したものがある。 （もっと読む）

【課題】食品試料に含まれる異物を確実に除去すること。
【解決手段】第１波長のレーザー光および第２波長のレーザー光を食品試料（Ｓ）に照射するレーザー光源装置（７）と、前記食品試料（Ｓ）に照射された前記複数のレーザー光の反射光を検出する光検出器（８ａ〜８ｃ）と、前記光検出器（８ａ〜８ｃ）で検出された第１波長の反射光の強度と前記第２波長の反射光の強度との強度比を算出して比較することにより異物の混入を判別する異物混入判別手段（１１ａ）と、を備えた異物混入判別装置（６）。 （もっと読む）

【課題】従来検出困難であったポケット側壁や被検査物の外周面に付着したゴミなどの欠陥を確実に検出できるＰＴＰ包装品の外観検査装置を提供する。
【解決手段】ポケット部８２に錠剤（被検査物）８３を収容した後、ポケット部の開口面をカバーフィルム８４でシールする前の状態で包装用シート８１を搬送する搬送手段と、搬送経路中に設定された検査ポイントに位置して包装用シート８１の下方側に配置され、包装用シートを赤色領域の光で照明する赤色光照明手段１と、包装用シートの上方側に配置され、包装用シートを青色領域の光で照明する青色光照明手段２と、包装用シートの上方側に配置され、赤色光照明手段１と青色光照明手段２によって同時に照明された包装用シート８１を撮像する緑色領域に分光感度特性を有する撮像手段３と、該撮像手段から出力される緑色成分の画像データを用いてＰＴＰ包装品の外観異常を検出する画像処理装置４とで構成した。 （もっと読む）

【課題】 転写するドラム外周ブランケット上インキのムラの有無を検知できるムラ検査装置を提供すること。
【解決手段】 印刷方式のカラーフィルタ製造工程において、インキ転写用ブランケット面上にインキ塗工ムラがあった場合、転写されたガラス基板もインキ塗工ムラを有するパターンが形成される。欠陥を有するガラス基板は洗浄工程へ回さなければならない。このため転写前のブランケット面をラインカメラ４で撮像し、ブランケット面にインキ塗工ムラがある場合は、印刷機を停止させ、ブランケット洗浄工程へ移行させ、またはブランケット洗浄工程へ移行させるための信号を出力する。 （もっと読む）

平板表示パネルアセンブリーを備えた平板表示装置の検査システムにおいて、前記平板表示パネルアセンブリーを整列配置する検査ステージと、前記検査ステージの上方に配置され、前記平板表示パネルアセンブリーの測定領域に対して透過した透過光のスペクトルを測定する測定装置と、前記測定装置を前記検査ステージ上で等加速度で移送させる移送装置と、前記測定装置と電気的に連結され、前記測定装置から伝達されたスペクトルの電気的信号を処理して欠陥の有無、欠陥の種類、欠陥の不良程度を知らせる欠陥情報装置を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ラミネートフィルムの樹脂層の欠損部分（膜割れ、樹脂割れ）を検出する。
【解決手段】 ラミネートフィルム１に光を照射する照射装置２４と、ラミネートフィルム１を撮像するカメラ２３とを備える。カメラ２３は、照射装置２４からラミネートフィルム１に照射された光の反射光を撮像する。カメラ２３は、ラミネートフィルム１においてガイドローラ１７の周面の頂よりも下がった部位を撮像する。ガイドローラ１７として、表面が無光沢の黒色のものを用いる。 （もっと読む）

【課題】様々な領域を有する様々な被検査対象基板上に存在する微小な粒状異物や薄膜状の異物やスクラッチ等のキズ等などの欠陥を簡単な構成で、高速で、しかも高精度に検査できるようにした欠陥検査装置およびその方法を提供することにある。
【解決手段】照射光学系２０と、検出光学系３０と、画像処理部４０とを備え、前記照射光学系において、第１又は第２の光路に導かれたビーム光束を反射して下方に向けるミラー２６０３と、該ミラーで下方に向けられたビーム光束を平面上所定の傾き方向から傾斜角で被検査対象基板１上にスリット状ビーム９０として集束させるシリンドリカルレンズ２５１及び傾斜ミラー２６０４とを備えた欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】例えば食品や化粧品、薬品等の検査対象物に毛髪等の異物が含まれる場合の異物混入検査を確実に行う異物混入検査方法及びこれに用いる異物混入検査装置を提供する。
【解決手段】光照射時の異物と検査対象物との反射スペクトルが相似形をなさない場合の検査対象物内の異物混入検査方法であって、異物の輝度値と検査対象物の輝度値との相対関係が互いに異なる第１の波長帯域の光と第２の波長帯域の光を検査対象物に照射し、第１の波長帯域の光を照射することによって得られた輝度値と第２の波長帯域の光を照射することによって得られた輝度値を演算し、この演算結果に基づいて検査対象物に含まれる異物を検査対象物と識別可能な異物抽出画像を取得する。 （もっと読む）

【課題】透明な平板状製品の欠陥を容易に検査する。
【解決手段】検査対象の平板状透明製品１５を挟んで配置される一対の偏光子１，２と、偏光子１，２の一方１を通して検査対象１５を照明する白色照明光源４と、一方の偏光子１と検査対象１５との間に配置される広帯域位相子３と、白色照明光源４から照明光が照射され一対の偏光子の他方の偏光子２から出射する透過光を検出する検出手段８と、他方の偏光子２と検出手段８との間に配置されたフィルタ手段２０と、フィルタ手段２０により波長分散されて検出手段８が検出した透過光データから評価値を算出し、該評価値が増大する方向に偏光子１の光学軸の角度θ１と広帯域位相子３の光学軸の角度θ２とを独立に制御する演算手段１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】高速な搬送装置と組み合わせても、その搬送過程で生じるバタツキやスキューといった変動に対して安定した検査を行う表面検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】複数の波長成分を含む光を回折型光学的変化素子１０２に照射する光源２０１と、回折型光学的変化素子１０２で回折された第１の波長の回折光および第２の波長の回折光を検知する光検知手段２０３と、光検知手段２０３の検出結果に基づいて、第１の波長の回折光および第２の波長の回折光の色の違いに関する評価値を計算する計算手段２０４とを備える。 （もっと読む）

【課題】 微小流路内に発生した付着物を正確に検出すると共にその付着物の物性を特定することが可能な微小流路内における付着物の検出方法及びこれを用いた微小流路を実現する。
【解決手段】 微小流路内の付着物の検出方法を用いた微小流路において、表面の一部に光導波路が形成された第１の基板と、この第１の基板上であって光導波路が形成された側に設けられ、試料が流れる微小流路を構成するための溝が光導波路の表面の一部に交差するように形成されると共に溝の両端に試料導入口及び試料排出口がそれぞれ形成された第２の基板と、光導波路の一端から光を入射する光源と、光導波路の他端から出射される光を測定する光強度測定手段とを備える。 （もっと読む）

改良型ホログラフィ撮像システムのための方法およびシステムは、光源、１つまたは複数の撮像システム・コンポーネント、ビームスプリッタ、空間フィルタ、およびビーム結合器を備えてもよい。光源は、電磁エネルギーの第１ビームを生成するように動作してもよく、また、１つまたは複数の撮像システム・コンポーネントは、第１ビームの少なくとも一部分に、ターゲットと相互作用させるように動作してもよい。ビームスプリッタは、第１ビームがターゲットと相互作用した後に、ターゲットと相互作用する第１ビームの部分を、参照ビームとターゲット・ビームに分離するように動作してもよい。空間フィルタは、参照ビームから０次画像情報を抽出し、０次画像情報を０次ビームとして伝達するように動作してもよい。ビーム結合器は、０次ビームをターゲット・ビームと結合して、ホログラフィ画像を生成するように動作してもよい。
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【課題】ウェーハの表面を検査する装置及び方法を提供する。
【解決手段】少なくとも１つの広帯域スペクトルによりウェーハの画像領域を照明する照明手段、照明に基づくウェーハの画像領域の多色イメージングのための検出器を備えた光学画像手段、及び複数の狭帯域スペクトルを選択する画像手段を具備したフィルタ装置を有するウェーハの表面を検査する装置と、複数の狭帯域スペクトルを共通の強度レンジに平均化し、少なくとも１つの広帯域スペクトルによりウェーハの画像領域を照明し、照明に基づいて画像領域から複数の狭帯域スペクトルを映すステップを有するウェーハの表面を検査する方法が実現する。 （もっと読む）

【課題】 印刷物や食品に含まれる印刷不良や夾雑物の検査において、特定の色の印刷不良や夾雑物の検出精度を向上させることができる欠陥検出方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 被検査面をカラー画像として撮像し、この被検査面画像とマスタ画像とを比較してその濃度レベル差が予め設定された第１許容値を超えた欠陥部分の欠陥画像データを作成し、被検査面画像の色空間を他の色空間に変換した第２被検査面画像データから、単又は複数の予め設定された範囲の色要素を抽出した抽出画像データを作成し、前記欠陥画像データと前記抽出画像データとが一致するか否かを判定した抽出欠陥画像データを作成し、当該抽出欠陥画像データの欠陥領域の大きさが予め設定された許容値以上であれば欠陥箇所として検出する。 （もっと読む）

【課題】 良品の被検出体と不良品の被検出体との選定に優れた、特に、実際に使用する環境において不良品となる被検出体を検出することができる検出方法及び装置、並びに、選択方法を提供する。
【解決手段】 被検出体の欠陥を検出する検出方法であって、前記被検出体を異なる２つのエネルギー状態にするステップと、前記被検出体に所定の光を照射して、前記異なる２つのエネルギー状態における各々の光学情報を取得するステップと、前記取得ステップで取得した前記異なる２つのエネルギー状態における各々の光学情報から前記被検出体の欠陥の有無を判断するステップとを有することを特徴とする検出方法を提供する。 （もっと読む）

真珠核の交差２軸での異方性を検出することにより材質に異方性のある真珠核と異方性の無い真珠核とを判別する。異方性の検出は、真珠核の液中での浮力による回転、又は真珠核の磁化率、又は真珠核の光透過率、又は真珠核の光反射率を用いた。従って、球形状の核の交差２軸での異方性を確実且つ迅速に検出し、核の材質を検査することを特徴とする。
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