【課題】
簡易な構成で安価な表面検査装置を提供することを目的の一つとする。また、検査対象又は周辺部材の劣化が少ない表面検査装置を提供することを目的の一つとする。
【解決手段】
光源の光を検査対象へ照射し、それから得られる光を検出して前記検査対象の表面の異常部位を検出する表面検査装置において、
前記光源としてピーク波長が３７０〜４００ｎｍであるＬＥＤ光源を用いることを特徴とする表面検査装置とする。
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【課題】ムラ検査装置において光学フィルタの透過波長帯を精度良く調整する。
【解決手段】ムラ検査装置１は、基板９を保持するステージ２、基板９の膜９２に向けて線状光を出射する光出射部３、基板９からの反射光を受光する受光部４、受光部４にて受光される光の波長帯を切り替える波長帯切替機構５、ステージ２を移動する移動機構２１、および、受光した光の強度分布に基づいて膜厚ムラを検査する検査部７を備える。波長帯切替機構５は、複数の光学フィルタ５１、および、各光学フィルタ５１の傾きを変更するフィルタチルト機構を備える。ムラ検査装置１では、フィルタチルト機構により選択光学フィルタ５１ａの光路に対する傾きを変更することにより、選択光学フィルタ５１ａの透過波長帯を精度良く調整することができる。その結果、選択波長帯を膜９２の特性に合わせて調整することにより、膜厚ムラをの検出精度を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】 卵を所定の処理速度で連続的に搬送させても個々の卵における内部異常の有無を高精度に判定することのできる検卵方法を提供する。
【解決手段】 第１測定部２で検査対象卵Ｅに光を照射し、検出された透過光データを分析して検査対象卵Ｅの光の透過度合いを判定し、判定された検査対象卵Ｅの光の透過度合いを露光時間制御部５に出力する。そして、前記露光時間制御部５が、該検査対象卵Ｅの光の透過度合いに応じた露光時間設定信号を前記第２測定部３の光電変換素子Ｒに出力し、該光電変換素子Ｒが検査対象卵Ｅにおける内部異常の判定のための透過光を受光する際に、前記露光時間制御部５から設定された露光時間で受光する。 （もっと読む）

【課題】光学補償フイルム等の僅かな厚みムラや塗工ムラまでを検出できるようにする。
【解決手段】連続的に搬送されるフイルム７の下側の面に光源部１５を配してあり、フイルム７に光を照射する。フイルム７からの透過光を受光する受光器１６は、フイルム７を俯瞰するように配置されており、その光軸Ｐとフイルム７に垂直な基準線（法線）Ｌｎと交差角度θ１が３０°≦θ１≦５０°となっている。また、受光器１６は、基準線Ｌｎを回転中心として搬送方向Ｓを基準に回転角度θ２だけ回転してあり、−６０°≦θ２≦＋６０°を満たすようになっている。 （もっと読む）

【課題】被検物体の反射光の光量を撮像素子の検出範囲内に調整することのできる表面検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】光源からの光を色分解光学系で複数の色光に色分解し、複数の色光の光路にそれぞれ配置された調光手段で光強度を調整する。調光手段で調光された複数の色光は色合成光学系で色合成された後、被検物に照明される。被検物で反射された光の一部は、反射光検出器で複数の色光毎に光強度が検出され、残りの反射光は、撮像部で被検物の反射像が撮像される。反射光検出器で検出された複数の色光の各色光の強度が、所定の値になるように調光手段は制御部によって制御される。 （もっと読む）

【課題】 カラー印刷物における黒色の部分の検査を迅速に行うことができる安価で信頼性の高い印刷物検査装置および方法を提供する。
【解決手段】 印刷物検査装置は、印刷物３０による白色光の反射光を受光するためのカラーＣＣＤラインセンサー１３１を利用して、印刷物３０による赤外光の反射光をも受光し、かかる赤外光の反射光がカラーＣＣＤラインセンサー１３１により検出された値を考慮して、印刷物３０における墨部分と、ＹＭＣの各インクの組み合わせによる黒色の部分とを識別する。 （もっと読む）

エッジ欠陥及びディスカラー検査装置。薄膜トランジスタ液晶表示装置用のガラス基板を運ぶローディングユニットと、ローディングユニットにより供給されるガラス基板のエッジ及びディスカラーを検査する検査ユニットと、ローディングユニット及び検査ユニットを制御する制御ユニットとを具備し、このような構成のエッジ欠陥及びディスカラー検査装置により、ガラス基板のエッジ欠陥及びディスカラーの有無の検査を薄膜トランジスタ液晶表示装置の製造工程中において自動で行うことができるので経済的であり、かつ連続の蒸着やエッチング、スパッタリングなどのプラズマを用いた工程間に本発明のエッジ欠陥及びディスカラーの検査装置を配して、リアルタイムにガラス基板の適合性を確認することができるので経済的かつ迅速な工程を図ることができる。
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【課題】半導体プロセスにおいて、色の違いによって検査対象物を判別する検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】カラー画像を撮像可能な撮像手段によって検査対象物のカラー画像を撮像し、ＲＧＢ色空間の色情報を取得する。ＲＧＢ色空間の色成分または他の色空間の色成分のグレースケール画像を作成し、パターン認識の手法によって検査対象物を検出する。あるいは作成したグレースケール画像から二値画像を作成し、二値画像に対してパターン認識を行い検査対象物を検出する。検出した検査対象物が占める画素の色データと、予め用意しておいた良品の検査対象物の色データとを比較し、検査対象物が良品であるか不良品であるかを判定する。また、ネットワークを通じて他の製造工程にこの判定結果を反映させ、製品の品質を高いものにする。 （もっと読む）

【課題】 核を迅速に判別する。
【解決手段】 検査対象の核１５に対し波長の異なる光を照射する照射手段５と、前記照射された光が前記核１５によって反射した反射光を検出する検査手段７と、前記検出された反射光に基づく光反射率の特性によって前記核１５を判別する判別手段９とよりなることを特徴とする。従って、前記照射手段５により核１５に対し光を照射して前記核で反射させ、この反射光を前記検査手段７によって検出することができる。そして、前記反射光に基づく光反射率の特性の相違によって、核１５を迅速且つ的確に判別することができる。 （もっと読む）

【課題】籾摺り処理を行う前の生籾の状態で、斑点着色等の被害粒を非破壊的に検出可能な生籾被害粒の非破壊判定方法及びその装置を提供する。
【解決手段】籾の一側面に光を照射し、前記籾を透過した透過光から得られる透過光画像を得て、前記透過光画像の平均輝度値及び／又は検出画素数を算出し、前記透過光画像の平均輝度値及び／又は検出画素数を予め設定された閾値と比較して被害粒か否かを判定する方法であるため、生籾の状態で内部の斑点着色粒等の被害粒を非破壊的に判定することが可能である。また、収穫直後或いは流通前に品質判定を行うことにより高品質米を確保することができ、商品の差別化を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 カラーフィルタのムラを精度よく正確に検査することができるカラーフィルタ検査装置を提供する。
【解決手段】 カラーフィルタ１６の透過率が低透過率となる波長帯域においてカラーフィルタ１６の透過光量のムラを検出する検出手段と、当該透過光量のムラを、カラーフィルタ１６の透過率が高透過率となる波長帯域におけるカラーフィルタ１６の透過光量のムラに換算する換算手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】
農産物の予め定めた計測部位を計測するに適した投光手段と受光手段を複数採用して、例えば農産物の異なる内部品質を効率的に高精度で判定すると共に、各受光手段からの計測信号を単一の処理手段で処理して装置のコストの低減化を図る農産物の内部品質判定装置を提供する。
【解決手段】
搬送手段により一列で搬送される農産物に投光手段により光を照射し、該照射により農産物を透過した光を受光手段により受光し、該受光された光に基づいて農産物の内部品質を判定する農産物の内部品質判定装置において、前記搬送手段で搬送される農産物の異なる部位をそれぞれ独立して計測するために、対となった投光手段及び受光手段を搬送手段の搬送方向に沿って複数配置すると共に、各受光手段からそれぞれ得られた光情報に基づいて単一の処理手段により農産物の内部品質を判定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＰシートの製造過程における外観不良を検査するに際し、錠剤の色識別精度の向上を図ることのできる外観検査装置、及び、ＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】外観検査装置２１は、照明装置２２、カメラ２３、及び画像処理装置２４等を備えている。そして、外観検査装置２１によって、照明装置２２から照射される光の反射光をカメラ２３により撮像し錠剤の色異常を検出する色識別検査が行われる。色識別検査に際しては、撮像されたカラー画像データのうち錠剤に相当する部分の複数の画素の中から輝度の高い順に所定数の画素を抽出し、当該所定数の画素の輝度の平均値を求め、当該輝度の平均値と所定の輝度基準値との差が許容範囲内か否かを判定することで、錠剤の色異常を検出可能にしている。 （もっと読む）

【課題】青果物の外観検査と内観検査との双方を行うことができ、さらに、１回の測定でこれらの検査を同時に行うことができる青果物の品質検査装置の提供。
【解決手段】二次元状に画素が配列された受光素子面を有する固体撮像装置に分光装置を接続し、一次元の被撮像領域からの光をスリットへ導きスリットを通過した一次元像を回折格子で波長毎に分散させ受光素子面の画素行方向を一次元像の位置軸とし、画素列方向を波長軸として一次元像の各位置に対応する画素行方向の各画素について画素列方向の各画素に波長分解したスペクトルを得るようにし青果物を移動させながら、この移動方向と略垂直である一次元の被撮像領域からの光をスリットへ順次入射させ、これにより移動の方向へ連続し各位置における被撮像領域からの一次元像について受光素子面の画素行方向の各画素について画素列方向の各画素に波長分解したスペクトルを得て検査を行う。 （もっと読む）

【課題】サンプルを検査するための改良された検査装置を提供すること。
【解決手段】放射線ビームを提供するように構成された放射システムと、サンプルの平坦な基準部及びサンプルのパターン形成済み部にそれぞれ向けて送られる第１の照明ビーム及び第２の照明ビームを放射線ビームから生成するように構成されたビームスプリッタと、平坦な基準部及びパターン形成済み部から散乱された放射線の再結合を含む検出ビームを検出するように構成されたビーム検出器とを有する検査装置が開示される。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウエハあるいはペレット上の欠陥を高速で確実に検出することができる半導体外観検査装置を提供する。
【解決手段】 半導体外観検査装置２ａは、検査対象面１０ａで反射した反射光から、少なくともその半値幅が１００ｎｍ波長帯域の１／２以下からなる狭帯域幅のピークを有する透過光を生成するとともに、１００ｎｍ波長帯域内において、透過光を複数の波長で選択的に出力させるようにした透過特性切替装置１６を備える。透過特性切替装置１６は、その実効光路長が設定中心透過波長の整数倍からなるように厚みが設定された液晶デバイスを少なくとも１つ有する複数の平行ニコル液晶セルおよび垂直ニコル液晶セルを組み合わせてなる波長可変液晶フィルタ１４と、各液晶セルに複数の電位を多段に切り替えて印加する駆動回路１５とから構成される。 （もっと読む）

【課題】目的物を蛍光剤で処理し、目的物に光を照射し、照射された目的物からの蛍光を画像記録部により記録して目的物中の割れを検出すること。
【解決手段】目的物（１１）を蛍光剤で処理し、目的物（１１）に光を照射し、照射された目的物からの蛍光を画像記録部（１３、５４）により記録することからなる、目的物中の割れを検出する方法であって、画像記録部（１３、５４）により得られた目的物（１１）の画像を、画像の色内容に関して自動的にデジタル化して目的物中の任意の割れを検出するために分析することを特徴とする方法。 （もっと読む）

【課題】 容器の口部の形状的特徴が検査精度に与える影響を抑えて、容器の口部を高精度かつ高効率で検査できる検査装置を提供する。
【解決手段】 容器２の口部５の少なくとも一部に沿って配置され、口部５を励起させる波長を含んだ照明光１４を口部５に照射する照明装置６と、口部５で生じた励起光１６を受光して、励起光１６が形成する口部５の像を取得する撮像手段１０と、励起光１６の波長以外の波長域成分の少なくとも一部が像に与える影響を排除するフィルタ手段９とを口部検査装置に設ける。 （もっと読む）

【課題】反射防止フィルムの欠陥検出を自動的に行う装置および方法を実現する。
【解決手段】本発明によれば、反射防止フィルム４０の被検部位に少なくとも可視光領域を含む検査光ａ，ｂを照射する光源部１と、検査光が被検部位で反射してなる反射光ｅから、フィルム面の法線方向に対して平行に進む平行光成分ｆを抽出する光学系１３と、平行光成分を複数の波長成分光に分光する色分解プリズム１４と、分光された各波長成分光をそれぞれ撮像する撮像デバイス２０〜２４と、各撮像デバイスによって撮像された撮像データから被検部位における各波長成分光の光強度と波長との相関曲線を求め、相関曲線において、被検部位のフィルム厚の変動に対する光強度の感度が大きな波長における光強度と、予め知られている良品の被検部位に対応する部位の相関曲線から得られる当該波長における光強度との差に基づいて、被検部位のフィルム厚を求める処理部４とを備える。 （もっと読む）

【課題】 スループットの高い表面検査装置を提供する。
【解決手段】 光源５からの放出される照射光を集光レンズ部６により平行光とし、ハーフミラー１３により反射させて、対物レンズ２により被検査物１の被検査領域を落射照明する。被検査領域の像は、対物レンズ２を介して、ハーフミラー１３を透過し、カメラ８により撮像される。カメラ８としては、カラー映像が撮像可能なＣＣＤを撮像素子としたようなものが使用できる。この実施の形態においては、光源５として、輝度を調整しても、放出される光の分光スペクトルの変化が少なく、かつ、放出される光の分光スペクトルの時間変化が少ない発光ダイオードを用いている。 （もっと読む）