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Fターム[2G051CC15]の内容

光学的手段による材料の調査の特殊な応用 (70,229) | 受光用光学系 (2,180) | 特定の分光技術の使用 (170)

Fターム[2G051CC15]に分類される特許

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【課題】 バンドパスフィルタを用いて制限した光を被検物の表面に当てて、その反射光により被検物の表面を安定的に観察する。
【解決手段】 被検物を照射する光源と、該光源の光から所定の波長成分を抽出するフィルタと、前記所定の波長の光で前記被検物を照明する照明光学系と、前記フィルタの前記抽出に用いる位置を前記照明光学系の光路中に保持した状態で、該光路に対して前記フィルタを連続して変位させる変位部と、前記照明された前記被検物の検査を行う検査光学系とを用いる。 (もっと読む)


【課題】点灯検査において、欠陥が検出可能な検査条件を選出できるカラー表示デバイスの検査条件選出装置を提供する。
【解決手段】本発明のカラー表示デバイスの検査条件選出装置であるコンピュータ2は、表示デバイスの各色の分光透過特性と、表示用照明の分光放射特性と、人間の明所比視感度特性との積の波長積分値をQ(C)とし、上記各色の分光透過特性と、検査用照明の分光放射特性と、撮像センサの分光感度特性と、光学フィルタの分光透過特性との積の波長積分値をP(C)とし、C種類の表示色から選ばれる、第1の表示色C1と第2の表示色C2との全ての組合わせに対し、P(C1) / (Q(C1)×P(C2)) の値を算出することによって得られた複数の最小値に対応する光学フィルタの分光透過特性および検査用照明の分光放射特性を算出する。 (もっと読む)


【課題】光透過性フィルムの欠陥の検出率及び検査効率を向上すると共に、欠陥の誤検出を抑制することができる光透過性フィルムの欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】光透過性フィルムAの欠陥検出装置は、欠陥候補検出部20、提示手段21、選択手段22、及び欠陥特定手段23を備える。欠陥候補検出部20は、検査対象である光透過性フィルムAを撮像し、得られた画像から光透過性フィルムAの欠陥候補を検出する。提示手段21は前記欠陥候補検出部20で検出された欠陥候補を提示する。選択手段22は前記提示された欠陥候補が欠陥か否かの選択を求める。欠陥特定手段23は、前記選択手段22で欠陥と選択された欠陥候補を欠陥と特定する。 (もっと読む)


【課題】 アライメント部によるアライメント処理を良好に実行できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 アライメント部130は、主として、定置台133と、複数の支持ピン134と、入出射部171と、を有している。定置台133は、ウェハーステージであり、基準用基板W1は、その上面に第1水平姿勢にて定置されている。複数の支持ピン134は、定置台133の上面から入出射部171側に立設されている。処理基板Wおよび比較用基板W2は、これら支持ピン134により第2水平姿勢にて支持される。入出射部171は、定置台133側に光を照射とともに、基準用基板W1および比較用基板W2で反射される反射光を受光する。そして、複数の支持ピン134による処理基板Wおよび比較用基板W2の支持状況は、基準用基板W1の反射光と比較用基板W2の反射光と、に基づいて判定される。 (もっと読む)


【課題】紙葉類、たとえば紙幣の厚みを非接触で検出したり、紙幣にテープ等の異物が貼られていることを非接触で検査できる方法および検査装置が望まれていた。
【解決手段】この発明では、紙幣14の厚さを非接触で検査するのに、テラヘルツ光12を用いる。テラヘルツ光12は、紙幣14の厚さの数分の1〜数倍の波長のものを使用する。テラヘルツ光12を紙幣12の片面側141から照射し、紙幣14の表面141および裏面142で反射されるテラヘルツ反射光121、124を検出する。検出したテラヘルツ反射光は、表面で反射された反射光121および裏面で反射された反射光124を含んでいるから位相差を有する。そして位相差は干渉の強さとして検知できる。その結果、紙幣の厚さを正しく、非接触で検出することができる。 (もっと読む)


【課題】チューブ内の流体物およびチューブに対して簡易分光を行い、流体物の状態ならびにチューブの品質を正確に、かつ迅速に、検知でき、また照射する光を自由に設定でき、機械的精度が必要とされないような、流体検知センサの提供をする。
【解決手段】投光手段と受光手段と信号処理手段からなり、流体が流通する透光性のチューブの外側に着脱自在に設けられる流体検知センサであって、流体検知センサのハウジング部がヒンジ機構により開閉自在とされ、チューブを挟み込める機構を備え、投光手段がアレイ状に配置された複数の投光素子から構成される。投光素子の各々が、ピーク波長が異なる光をチューブ内部に対して照射し、受光手段がチューブ内部を透過したピーク波長が異なる光を受光し、信号処理手段が、受光手段が受光した光の分光分析処理を行い、その変化をとらえて、チューブ内を流動もしくは滞留する流体物の状態を検知し得る構成とされる。 (もっと読む)


【課題】簡易に構成することができるとともに、ベルトの表面状態を高精度に検査することのできるベルト検査装置を提供する。
【解決手段】金属ベルト18の内側平坦部20、外側平坦部22、側部平坦部24、26及び湾曲部28a〜28dに対して、導光部材44、46を介してR、G、Bの照明光を照射し、金属ベルト18によって反射された照明光を前記導光部材44、46を介してカラーカメラ40、42により検出する。検出された画像情報は、表面状態判定部78において、定常画像情報と比較することにより、傷の有無を判定する。 (もっと読む)


【課題】広い間隔の波長または波長範囲を使用して測定することができるスキャトロメー
タ測定方法および装置を提供する。
【解決手段】スキャトロメータは、異なる第一および第二波長範囲の放射を放出すること
ができる放射源を有する。どちらの波長範囲を使用しているかに従って必要に応じて色補
正を実行するために、可変光学要素が設けられている。したがって、1つのスキャトロメ
ータが、広い間隔の波長を使用して測定を実行することができる。 (もっと読む)


【課題】半導体ウェハなどに存在する欠陥または異物を検査する際に、複数の光学条件での検査を高速に行う欠陥検査装置及びその方法を提供することにある。
【解決手段】配線等の回路パターンを有する試料上の異物等の欠陥を検査するための欠陥検査装置において、複数の直線状ビームの各々を試料上の異なる検査領域に照射する照明光学系と、該照射された複数の検査領域を検出器上に結像する結像光学系とを備え、前記検出器は、前記結像光学系で結像された複数の光像の各々に含まれる互いに異なる複数の偏光成分をほぼ同時にかつ個別に受光して前記複数の偏光成分に対応する複数の信号として検出するように構成したことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】、二枚貝の検査を非破壊で行うにあたり、コンピュータ等の制御部で品質の判別を自動的に行うことが容易であるとともに、その処理が簡略化された二枚貝の検査方法及び検査装置を提供することを課題とする。
【解決手段】二枚貝に赤外線を含む光を照射し、照射した光の内で二枚貝を透過した透過光又は二枚貝から反射した反射光を受光し、受光した透過光又は反射光における1040乃至1140ナノメートルの範囲の所定波長成分の強度である第1強度と、前記受光部で受光した透過光又は反射光における1150乃至1370ナノメートルの範囲の所定波長成分の強度である第2強度とを比較することにより二枚貝の品質を検査する。 (もっと読む)


【課題】着色物品の表面状態を目視評価によらず、効果的かつ効率的な着色物品の表面の外観評価方法を提供する。
【解決手段】(a)光源、分光器および検出器を測定器本体内部に具備してなる分光光度計を着色物品表面の測定位置にセットし、該着色物品または該分光光度計の一方を固定させ、他方を移動可能な状態とし、測定の準備をするステップ;(b)上記物品表面における微小面積の分光反射率を上記着色物品または上記分光光度計を移動させ、連続して測定するステップ;(c)測定した上記分光反射率に基づき、表色値および/または統計値を算出し、物品表面の測定位置に対応する評価用データを作成するステップ;および、(d)上記評価用データに基づき、グラフを表示し、上記着色物品表面を評価するステップを包含することを特徴とする着色物品表面の外観評価方法。 (もっと読む)


【課題】砕け易い錠剤を用いた場合であっても、錠剤を破損させることなく、高速で錠剤を計数することができ、しかも、大量の錠剤におけるそれぞれの錠剤の形状及び組成の検査を行うことができる、錠剤の形状及び組成の連続検査装置を提供する。
【解決手段】斜めに傾けた回転円盤(2) の最下端部位に錠剤供給部(6) を配設し、回転円盤(2) の下降回転側に、一度に大量の錠剤を排出できる錠剤排出部(9) を 配設する。錠剤供給部(6) と錠剤排出部(9) との間に、検査ステージ(7) を配設する。回転円盤(2) の径方向に複数配設して形成した錠剤保持孔(4a)を、回転円盤(2) の外周縁側に沿って複数配設する。そして錠剤保持孔(4a)を、回転円盤(2) の周方向において等間隔に配した複数のブロック(B) 単位に区分けし、各ブロック単位内には同じ個数の錠剤保持孔(4a)を配設する。
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【課題】被検査対象であるパターンドメディアやビットパターンドメディア等からなる磁気記録媒体又はそのスタンパ等のパターン形状を高速で、且つ高感度に検査できるようにしたパターン形状検査装置及びその方法を提供することにある。
【解決手段】被検査対象を載置して回転させながら半径方向に移動させる移動機構と、該移動機構により回転させながら半径方向に移動する前記被検査対象に対して遠紫外光を含む広帯域の照明光を前記被検査対象に適する偏光状態で斜め方向から照射する照射光学系と、該照射光学系で照射された被検査対象から発生する0次反射光を検出する検出光学系と、前記検出された0次反射光を分光して得られる分光反射率波形を基に前記被検査対象に形成されたパターン形状を検査する形状検査手段とを備えたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】屈折・回折型レンズを用いたSchupmann光学系で配置される分光光学系により垂直落射照明を可能とし、かつ、DUV−UV(200nm〜400nm)領域の広帯域色補正を行うことを可能とする分光光学系および分光測定装置を提供する。
【解決手段】光源110と、視野絞り111と、リレーレンズ系140と、フィールドレンズ系150と、結像レンズ系160と、分光器170とを有し、リレーレンズ系140、フィールドレンズ系150および結像レンズ系160は、屈折型レンズおよび/または回折型レンズによるSchupmann光学系で配置され、かつ、リレーレンズ系140と結像レンズ系160のいずれか一方に回折型レンズを有する分光光学系であって、フィールドレンズ系150が2枚以上のレンズで構成され、そのうちの1箇所においてレンズが所定の距離だけ離して配置されている。 (もっと読む)


ウェハ検査システムは、300mmウェハ全体の明視野像及び暗視野像を得るための明視野撮像ビーム経路及び暗視野撮像ビーム経路を有する。光学系は、テレセントリック撮像を提供し、光学収差が低い。前記明視野撮像ビーム経路及び暗視野撮像ビーム経路は、折り曲げられ、前記光学系は、容積が小さく設置面積が少なくて済むように一体化され得る。 (もっと読む)


【課題】回折スペクトルの情報を失わずにオーバレイを測定するために、より小さいターゲットで使用することができる放射を提供する放射源を提供する。
【解決手段】放射が基板で反射した結果としての角度分解スペクトルを高開口数のレンズの瞳面で測定することによって、基板の特性を割り出す装置及び方法。特性は、角度及び波長に依存してよい。基板で反射する放射は、放射状に偏光する。 (もっと読む)


【課題】 食品の品質評価を高精度で行うことができる食品検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 食品検査装置1の光源10から出力される近赤外光L1は、検査対象物40の照射位置P1に到達する。近赤外光L1が照射する検査対象物40の照射位置P1を含み、検査台30に平行な面を照射面Sとする。近赤外光L1が照射面Sに対して正反射した場合、正反射光は光路L2を進む。一方、照射位置P1にて拡散反射した光のうち、光路L3方向に散乱した光は、光路L3を進み、検出部20に到達する。このとき光源10及び検出部20は、検出部20と照射位置P1とを結ぶ直線、すなわち光路L3と、光源10から出力される近赤外光が正反射した場合の光路L2と、のなす角a1が45°以上となるように配置される。 (もっと読む)


【課題】読取装置の光学系の空間周波数特性以外にも記録媒体の種類やインクの特性に依存して空間周波数特性が変化しても検査精度を保つこと。
【解決手段】印刷基準データに基づいて記録部6により記録媒体1に記録を行い、この記録媒体1に記録された画像を画像取得部7により撮像して検査画像データを取得し、印刷基準データと検査画像データとを比較検査部20により照合して記録不良を検査する場合、補正データ演算部17により印刷基準データと検査画像データとに基づいて色調整係数とフィルタ係数とから成る補正データを取得し、色調整部18及びフィルタ処理部19により印刷基準データを色調整係数とフィルタ係数とに基づいて補正し、この補正された補正印刷基準データと検査画像データとを比較・照合する。 (もっと読む)


【課題】二次元画像の画質を適切に検査できる画質検査装置を提供する。
【解決手段】 CCDカメラ1から出力される画像データは、画質検査装置2に入力される。画質検査装置2は、検査対象となる二次元画像の検査領域に対して、窓関数を用いて検査領域の境界における不連続性の影響を抑制するような補正を行う補正手段21と、補正手段21により補正された後の画像について、視覚の感度の周波数特性と、検査対象となる二次元画像の周波数成分とを積算することで欠陥強度を算出する欠陥強度算出手段22と、欠陥強度算出手段22により算出された欠陥強度に基づいて上記二次元画像の画質を判定する判定手段23と、を備える。 (もっと読む)


【課題】外形不良及び表面不良を正確に抽出し、欠陥不良を高精度に検出するとともに、被検査物の大きさに対して十分に小型化を図ったチェーンの外観検査装置及びそれを用いた外観検査方法を提供する。
【解決手段】チェーンCの平面を垂直に照射するリング型照明手段110と、リング型照明手段110の中央穴112からチェーンCを臨むように設置された撮像手段120と、チェーンCの傾斜面C3を鋭角方向から照射し、リング型照明手段110よりもチェーンCに近接して設置され、リング型照明手段110の照射光とは異なる色相の照射光を照射するリング型ローアングル照明手段130とを有していることにより、前記課題を解決する。 (もっと読む)


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